JP2019161097A - Efemシステム及びefemシステムにおけるガス供給方法 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、EFEM1及びその周辺の概略構成について、図1を用いて説明する。図1は、本実施形態に係るEFEM1及びその周辺の概略的な平面図である。図1に示すように、EFEM1は、筐体2と、搬送ロボット3と、複数のロードポート4と、を備える。EFEM1の後方には、ウェハWに所定の処理を施す基板処理装置6が配置されている。EFEM1は、筐体2内に配置された搬送ロボット3によって、ロードポート4に載置されているFOUP(Front-Opening Unified Pod)100と基板処理装置6との間でウェハWの受渡しを行う。
次に、筐体2及びその内部の構成について、図2を用いて説明する。図2は、本実施形態に係るEFEM1の断面図である。なお、図2においては、搬送ロボット3等の図示を省略している。
以上のように構成されたEFEM1では、内部空間40の雰囲気を窒素で置換することによって、内部空間40(特に搬送室41)の酸素濃度及び湿度が目標値以下に維持される。本実施形態では、酸素濃度の目標値が100ppm、湿度の目標値として露点温度が−70℃に設定されているものとする。もちろん、これらの目標値は適宜変更が可能であるし、湿度の目標値を露点温度以外の指標で設定してもよい。
メンテナンス等でEFEM1の内部空間40を開放する際や、メンテナンス等の終了後にEFEM1の内部空間40を窒素雰囲気に戻す際には、通常稼働時と異なる制御が行われる。図4は、メンテナンス時のガス供給制御を示すフローチャートである。オペレータによってメンテナンスを行う旨の信号が入力されると、制御装置5は、バルブ63を閉めるとともにバルブ73を開いて、EFEM1の内部空間40にCDAを供給し始める(ステップS11)。その後、内部空間40の酸素濃度が所定値(例えば19.5%)以上となり(ステップS12でYES)、内部空間40を安全に開放できる状態となったら、制御装置5はインターロック58を開錠する(ステップS13)。
本実施形態に係るEFEMシステム10は、EFEM1の内部空間40の雰囲気を窒素(不活性ガス)で置換することによって、内部空間40の酸素濃度及び湿度(露点温度)を目標値以下に維持するものであって、内部空間40に窒素を供給可能な窒素供給路61(不活性ガス供給路)と、窒素供給路61から内部空間40に窒素を供給する状態と供給しない状態とに切り換えるバルブ63(第1切換部)と、内部空間40にCDA(乾燥空気)を供給可能なCDA供給路71(乾燥空気供給路)と、CDA供給路71から内部空間40にCDAを供給する状態と供給しない状態とに切り換えるバルブ73(第2切換部)と、を備える。このような構成を有するEFEMシステム10によれば、大気開放されていたEFEM1の内部空間40に、窒素の代わりにCDAを供給することによって、内部空間40の湿度を下げることができる。したがって、内部空間40の湿度を目標値まで下げるのに必要となる窒素の供給量を削減することができる。
上記実施形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。
5:制御装置(制御部)
10:EFEMシステム
40:内部空間
57:湿度計
61:窒素供給路(不活性ガス供給路)
63:バルブ(第1切換部)
71:CDA供給路(乾燥空気供給路)
73:バルブ(第2切換部)
74:除湿フィルタ
75:分岐路
76:窒素富化フィルタ
77:切換バルブ(第3切換部)
Claims (7)
- EFEMの内部空間の雰囲気を不活性ガスで置換することによって、前記内部空間の酸素濃度及び湿度を目標値以下に維持するEFEMシステムであって、
前記内部空間に前記不活性ガスを供給可能な不活性ガス供給路と、
前記不活性ガス供給路から前記内部空間に前記不活性ガスを供給する状態と供給しない状態とに切り換える第1切換部と、
前記内部空間に乾燥空気を供給可能な乾燥空気供給路と、
前記乾燥空気供給路から前記内部空間に前記乾燥空気を供給する状態と供給しない状態とに切り換える第2切換部と、
を備えることを特徴とするEFEMシステム。 - 前記内部空間の湿度を測定する湿度計と、
前記第1切換部及び前記第2切換部を制御する制御部と、
をさらに備え、
前記制御部は、
大気開放されていた前記内部空間が密閉された後、前記乾燥空気供給路から前記乾燥空気を前記内部空間に供給し、
前記内部空間の湿度が所定値まで下がると、前記乾燥空気の供給を停止し、前記不活性ガス供給路から前記不活性ガスを供給することを特徴とする請求項1に記載のEFEMシステム。 - 前記制御部は、前記内部空間が大気開放されている間、前記乾燥空気供給路から前記乾燥空気を前記内部空間に供給することを特徴とする請求項2に記載のEFEMシステム。
- 前記乾燥空気供給路に、前記乾燥空気をさらに除湿するための除湿フィルタが設けられていることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載のEFEMシステム。
- 前記不活性ガス供給路は、前記不活性ガスとして窒素を供給するものであり、
前記乾燥空気供給路から分岐する分岐路と、
前記分岐路に設けられ、前記乾燥空気から酸素を除去して窒素濃度を高める窒素富化フィルタと、
前記乾燥空気が前記乾燥空気供給路を通るか、前記分岐路を通るかを切り換える第3切換部と、
をさらに備えることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載のEFEMシステム。 - EFEMの内部空間の雰囲気を不活性ガスで置換することによって、前記内部空間の酸素濃度及び湿度を目標値以下に維持するEFEMシステムにおけるガス供給方法であって、
大気開放されていた前記内部空間が密閉された後、乾燥空気を前記内部空間に供給する乾燥空気供給工程と、
前記内部空間の湿度が所定値まで下がると、前記乾燥空気の供給を停止し、前記不活性ガスを供給する不活性ガス供給工程と、
を備えることを特徴とするEFEMシステムにおけるガス供給方法。 - 前記内部空間が大気開放されている間、前記乾燥空気を前記内部空間に供給することを特徴とする請求項6に記載のEFEMシステムにおけるガス供給方法。
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