JP2019155255A - 注入装置及び注入方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】注入時間を短縮し気泡の噛み込みを抑制できる注入装置及び注入方法を得る。【解決手段】注入ノズル１が注入剤４を対象器２に注入する。この注入剤４の注入時に振動発生装置５が注入ノズル１を複数の方向に振動させる。【選択図】図１

Description

本発明は、対象器に注入剤を注入する注入装置及び注入方法に関する。
多量の液体の注入剤を対象器に注入する際に、対象器内で注入材料が広がるのに時間がかかるため、注入時間が長くなる。また、対象器の内部構造によっては注入後に対象器内に大きな気泡が残っていた。特に高粘度の注入剤は流動性が悪いため、広がりが遅く、気泡の噛み込みが多くなる。これに対して、注入剤の注入時に注入ノズルを一方向に振動させる技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特開平１−２８４３６４号公報
しかし、注入ノズルを一方向に振動させるだけでは、対象器のコーナー又は箱形の対象器の四隅などに注入剤が入り込みづらく、注入後の対象器に気泡が噛み込むという問題があった。
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は注入時間を短縮し気泡の噛み込みを抑制できる注入装置及び注入方法を得るものである。
本発明に係る注入装置は、対象器に注入剤を注入する注入ノズルと、前記注入剤の注入時に前記注入ノズルを複数の方向に振動させる振動発生装置とを備えることを特徴とする。
本発明では、振動発生装置が注入剤の注入時に注入ノズルを複数の方向に振動させる。これにより、注入剤を振動させて波を作ることで高粘度の注入剤でも流動性がよくなる。従って、注入剤の広がりが早くなるため、高粘度の注入剤の注入時間を短縮できる。また、対象器のコーナー及び箱形の対象器の四隅にも注入剤が入り込みやすくなるため、対象器内への気泡の噛み込みを抑制できる。
実施の形態１に係る注入装置を示す断面図である。 実施の形態１に係る注入ノズルを示す下面図である。 実施の形態１に係る注入装置を示す斜視図である。 対象器の一例を示す上面図である。 実施の形態２に係る注入装置を示す斜視図である。
実施の形態に係る注入装置及び注入方法について図面を参照して説明する。同じ又は対応する構成要素には同じ符号を付し、説明の繰り返しを省略する場合がある。
実施の形態１．
図１は、実施の形態１に係る注入装置を示す断面図である。注入ノズル１が対象器２の上方に配置され、ノズルヘッド３から排出した注入剤４を対象器２に注入する。この注入剤４の注入時に振動発生装置５が注入ノズル１を複数の方向に振動させる。例えば注入ノズル１の振動の周波数は１０００Ｈｚ以下、振幅は１ｍｍ以下である。
図２は、実施の形態１に係る注入ノズルを示す下面図である。振動発生装置５は、注入ノズル１の側面の複数の箇所にそれぞれ設けられた複数の振動発生器５ａ，５ｂと、振動発生器５ａ，５ｂを駆動するアンプ５ｃとを有する。ここでは２個の振動発生器５ａ，５ｂが注入ノズル１の側面に設けられ、注入ノズル１は横向きの２方向に振動する。これに限らず、振動発生器は３個以上でもよいし、注入ノズル１が縦方向に振動するようにしてもよい。
図３は、実施の形態１に係る注入装置を示す斜視図である。注入ノズル１は直交軸６に取り付けられており、注入剤４を注入しながら上下左右に移動可能である。例えば、注入ノズル１を対象器２の上方で円を描くように動かしながら対象器２に注入剤４を注入する。これにより、対象器２内にまんべんなく注入剤４を注入することができる。
以上説明したように、本実施の形態では、振動発生装置５が注入剤４の注入時に注入ノズル１を複数の方向に振動させる。これにより、注入剤４を振動させて波を作ることで高粘度の注入剤４でも流動性がよくなる。従って、注入剤４の広がりが早くなるため、高粘度の注入剤の注入時間を短縮できる。
図４は、対象器の一例を示す上面図である。例えば、箱形の対象器２の各辺に対して４５°の方向に注入ノズル１を振動させながら注入剤４を注入する。このように注入剤４を振動させることで、箱形の対象器２の四隅にも注入剤４が入り込みやすくなる。なお、対象器２が丸型の場合でも、注入ノズル１を振動させることで対象器２のコーナーに注入剤４が入り込みやすくなる。このように対象器２のコーナー及び箱形の対象器２の四隅にも注入剤４が入り込みやすくなるため、対象器２内への気泡の噛み込みを抑制できる。
なお、本実施の形態に係る注入装置は半導体装置の製造に利用できる。この場合、対象器２は半導体装置のケースであり、注入剤４は封止樹脂である。ただし、これに限らず、本実施の形態に係る注入装置は他の装置の製造にも利用でき、同様の効果を得ることができる。
実施の形態２．
図５は、実施の形態２に係る注入装置を示す斜視図である。２個の注入ノズル１が直交軸６に並べて設けられている。なお、注入ノズルの個数は３個以上でもよい。複数の注入ノズル１の各々に複数の振動発生器５ａ，５ｂが設けられている。この複数の注入ノズル１から注入剤４を同時に出すことで、多量の注入剤４を一度に注入できる。
１ 注入ノズル、２ 対象器、４ 注入剤、５ 振動発生装置、５ａ，５ｂ 振動発生器

Claims (6)

  1. 対象器に注入剤を注入する注入ノズルと、
    前記注入剤の注入時に前記注入ノズルを複数の方向に振動させる振動発生装置とを備えることを特徴とする注入装置。
  2. 前記振動発生装置は、前記注入ノズルの側面の複数の箇所にそれぞれ設けられた複数の振動発生器を有することを特徴とする請求項１に記載の注入装置。
  3. 前記注入ノズルの振動の周波数は１０００Ｈｚ以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載の注入装置。
  4. 前記注入ノズルは前記注入剤を注入しながら上下左右に移動可能であることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の注入装置。
  5. 前記注入ノズルが複数個、並べて設けられていることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の注入装置。
  6. 注入ノズルが対象器に注入剤を注入する際に振動発生装置により前記注入ノズルを複数の方向に振動させることを特徴とする注入方法。
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