JP2019148825A5 - - Google Patents
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Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015246298 | 2015-12-17 | ||
JP2015246298 | 2015-12-17 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017556106A Division JP6708217B2 (ja) | 2015-12-17 | 2016-12-14 | パターン描画装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019148825A JP2019148825A (ja) | 2019-09-05 |
JP2019148825A5 true JP2019148825A5 (enrdf_load_stackoverflow) | 2019-11-14 |
JP6828766B2 JP6828766B2 (ja) | 2021-02-10 |
Family
ID=59056887
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017556106A Active JP6708217B2 (ja) | 2015-12-17 | 2016-12-14 | パターン描画装置 |
JP2019092552A Active JP6828766B2 (ja) | 2015-12-17 | 2019-05-16 | パターン描画装置 |
JP2019128033A Active JP6753493B2 (ja) | 2015-12-17 | 2019-07-10 | パターン描画装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017556106A Active JP6708217B2 (ja) | 2015-12-17 | 2016-12-14 | パターン描画装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019128033A Active JP6753493B2 (ja) | 2015-12-17 | 2019-07-10 | パターン描画装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (3) | JP6708217B2 (enrdf_load_stackoverflow) |
KR (1) | KR102641407B1 (enrdf_load_stackoverflow) |
CN (2) | CN109478018B (enrdf_load_stackoverflow) |
TW (1) | TWI722074B (enrdf_load_stackoverflow) |
WO (1) | WO2017104717A1 (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017104717A1 (ja) * | 2015-12-17 | 2017-06-22 | 株式会社ニコン | パターン描画装置 |
JP6900978B2 (ja) * | 2017-07-25 | 2021-07-14 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
WO2019065224A1 (ja) * | 2017-09-26 | 2019-04-04 | 株式会社ニコン | パターン描画装置 |
TWI648604B (zh) | 2017-12-27 | 2019-01-21 | 財團法人工業技術研究院 | 數位直接成像方法與系統、影像產生方法與電子裝置 |
JP6819737B2 (ja) * | 2019-07-22 | 2021-01-27 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
TWI762945B (zh) * | 2020-06-09 | 2022-05-01 | 源台精密科技股份有限公司 | 無光罩曝光機之動態補正方法及裝置 |
CN115860145A (zh) * | 2022-12-26 | 2023-03-28 | 环旭电子股份有限公司 | 芯片位置正确性的机器学习系统及机器学习方法 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2905762B2 (ja) * | 1997-10-31 | 1999-06-14 | 株式会社金田機械製作所 | 傾斜歪打消信号を利用した印刷用刷版露光装置 |
JP2003115449A (ja) * | 2001-02-15 | 2003-04-18 | Nsk Ltd | 露光装置 |
JP2004272167A (ja) * | 2003-03-12 | 2004-09-30 | Dainippon Printing Co Ltd | パターン形成装置、パターン形成方法、基材 |
JP4413036B2 (ja) * | 2004-02-25 | 2010-02-10 | 新光電気工業株式会社 | 描画装置、描画データ生成装置、描画方法、および描画データ生成方法 |
US7045771B2 (en) * | 2004-03-16 | 2006-05-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Light beam scanning apparatus and image forming apparatus |
JP4338577B2 (ja) * | 2004-04-28 | 2009-10-07 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 露光装置 |
JP2006098727A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | 伸縮状態の検出手段を設けた長尺の可撓性記録媒体と、この可撓性記録媒体に伸縮状態を補正して画像を描画可能な描画方法及び装置 |
KR101261353B1 (ko) * | 2005-03-31 | 2013-05-09 | 후지필름 가부시키가이샤 | 묘화점 데이터 취득 방법 및 장치, 묘화 방법 및 장치 |
JP2007025394A (ja) * | 2005-07-19 | 2007-02-01 | Fujifilm Holdings Corp | パターン形成方法 |
JP2010026465A (ja) * | 2008-07-24 | 2010-02-04 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | パターン描画装置 |
JP5406510B2 (ja) * | 2008-11-18 | 2014-02-05 | キヤノン株式会社 | 走査露光装置およびデバイス製造方法 |
US8335999B2 (en) * | 2010-06-11 | 2012-12-18 | Orbotech Ltd. | System and method for optical shearing |
JP6074898B2 (ja) * | 2012-03-26 | 2017-02-08 | 株式会社ニコン | 基板処理装置 |
JP6013097B2 (ja) * | 2012-09-14 | 2016-10-25 | 株式会社Screenホールディングス | パターン描画装置、パターン描画方法 |
JP2015145990A (ja) * | 2014-02-04 | 2015-08-13 | 株式会社ニコン | 露光装置 |
TWI709006B (zh) * | 2014-04-01 | 2020-11-01 | 日商尼康股份有限公司 | 圖案描繪裝置及圖案描繪方法 |
WO2015152217A1 (ja) * | 2014-04-01 | 2015-10-08 | 株式会社ニコン | 基板処理装置、デバイス製造方法及び基板処理装置の調整方法 |
JP6349924B2 (ja) * | 2014-04-28 | 2018-07-04 | 株式会社ニコン | パターン描画装置 |
JP6361273B2 (ja) * | 2014-05-13 | 2018-07-25 | 株式会社ニコン | 基板処理装置及びデバイス製造方法 |
CN105137721B (zh) * | 2015-09-24 | 2017-04-12 | 山东科技大学 | 扫描工作台各速度段进行激光直写二值图案的方法与装置 |
WO2017104717A1 (ja) * | 2015-12-17 | 2017-06-22 | 株式会社ニコン | パターン描画装置 |
-
2016
- 2016-12-14 WO PCT/JP2016/087262 patent/WO2017104717A1/ja active Application Filing
- 2016-12-14 JP JP2017556106A patent/JP6708217B2/ja active Active
- 2016-12-14 CN CN201680074442.8A patent/CN109478018B/zh active Active
- 2016-12-14 CN CN201910501101.XA patent/CN110221527A/zh active Pending
- 2016-12-14 KR KR1020187016527A patent/KR102641407B1/ko active Active
- 2016-12-16 TW TW105141671A patent/TWI722074B/zh active
-
2019
- 2019-05-16 JP JP2019092552A patent/JP6828766B2/ja active Active
- 2019-07-10 JP JP2019128033A patent/JP6753493B2/ja active Active
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