JP2019147976A - 窒化ガリウム薄膜の製造方法、発光素子 - Google Patents
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Description
本発明は、前記初期層薄膜の成長率を4.0nm/分未満の値にする窒化ガリウム薄膜の製造方法である。
本発明は、前記主層薄膜の成長率を4.2nm/分以上の値にする窒化ガリウム薄膜の製造方法である。
本発明は、前記ターゲットは前記基板と面するようにして防着板容器の中に配置し、前記防着板容器の中にスパッタリングガスを導入する窒化ガリウム薄膜の製造方法である。
本発明は、前記ラジカルガン部の前記放出口には、窒素ガスのイオンを除去するフィルタを配置する窒化ガリウム薄膜の製造方法である。
本発明は、p型の前記初期層薄膜上にn型の前記主層薄膜を形成する請求項1乃至請求項5のいずれか1項記載の窒化ガリウム薄膜の製造方法であって、前記主層薄膜は500℃以上の温度で成長させる窒化ガリウム薄膜の製造方法である。
本発明は、前記初期層薄膜をサファイア結晶面上に成長させる窒化ガリウム薄膜の製造方法である。
本発明は、通電により発光する無機発光層と、p型窒化ガリウム層と、n型窒化ガリウム層とを有し、前記n型窒化ガリウム層は、前記p型窒化ガリウム層に接触して成長された初期層薄膜と前記初期層薄膜に接触して成長された主層薄膜とを有し、前記無機発光層と前記初期層薄膜と前記主層薄膜とは直列接続され、前記初期層薄膜は前記主層薄膜よりも小さな成長速度で成長された発光素子である。
本発明は、前記初期層薄膜は3.2nm/分以上4.0nm/分未満の範囲の成長率で成長された発光素子である。
p型の窒化ガリウム薄膜上にn型の窒化ガリウム薄膜を成長させ、半値全幅の小さなn型の窒化ガリウム薄膜を得ることができる。
真空槽10の内部には、基板配置部20と、スパッタ部30と、ラジカルガン部40と、を有している。
基板ホルダ21は真空槽10の天井に設けられ、ヒータ23は、基板ホルダ21に配置された基板22の裏面と天井との間に位置するように天井に固定されている。
スパッタ部30は、防着板容器31を有しており、防着板容器31の内部には、スパッタ電極32が配置されている。スパッタ電極32は容器形形状であり、スパッタ電極32である容器の中には金属ガリウムから成るターゲット33が配置されている。
真空槽10は接地電位に接続されており、スパッタ電源35が動作するとスパッタ電極32に負電圧のスパッタ電圧が印加され、加熱電源28が動作するとヒータ23が通電され、ヒータ23は発熱する。
真空槽10の内部に真空雰囲気が形成された後、スパッタガス源36から防着板容器31の内部にスパッタリングガスを導入し、スパッタ電源35を動作させてスパッタ電極32に交流のスパッタ電圧を印加すると、ターゲット33の表面がスパッタリングされ、金属ガリウムの粒子がターゲット33から飛び出し、基板ホルダ21に配置された基板22に到達する。交流のスパッタ電圧は13.56MHzの高周波電圧である。
真空槽10には、装置用容器42が設けられており、反応筒44は、装置用容器42の内部に配置されている。
図中符号24はシャッターであり、回転軸25によって回転される。ここではシャッター24は開けられている。
基板22の表面に到達した金属Gaから成るスパッタリング粒子と原料ガスのラジカルとは基板22の表面で反応し、基板22の表面に窒化ガリウム薄膜を成長させる。
基板22のスパッタリング粒子が到達する表面にはサファイア結晶が露出されている。
発光層53は多重量子井戸(MQW)構造の窒化ガリウム薄膜である。p型下地薄膜54の不純物はアルミニウムである。
6、58……主層薄膜
22、51……基板
32……スパッタ電極
40……ラジカルガン部
49……放出口
50……発光素子
53……発光層
Claims (9)
- 基板に向けてラジカルガン部の放出口から窒素ガスのラジカルを放出しながら金属ガリウムのターゲットが配置されたスパッタ電極に交流電圧を印加して前記ターゲットをスパッタリングし、
窒素ガスとガリウムとが反応した窒化ガリウムの薄膜である主層薄膜をエピタキシャル成長させるスパッタリング方法であって、
前記基板上には、前記主層薄膜よりも小さな成長速度で成長された窒化ガリウム薄膜から成る初期層薄膜が設けられ、
前記主層薄膜は前記初期層薄膜に接触して成長させる窒化ガリウム薄膜の製造方法。 - 前記初期層薄膜の成長率を4.0nm/分未満の値にする請求項1記載の窒化ガリウム薄膜の製造方法。
- 前記主層薄膜の成長率を4.2nm/分以上の値にする請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の窒化ガリウム薄膜の製造方法。
- 前記ターゲットは前記基板と面するようにして防着板容器の中に配置し、
前記防着板容器の中にスパッタリングガスを導入する請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の窒化ガリウム薄膜の製造方法。 - 前記ラジカルガン部の前記放出口には、窒素ガスのイオンを除去するフィルタを配置する請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載の窒化ガリウム薄膜の製造方法。
- p型の前記初期層薄膜上にn型の前記主層薄膜を形成する請求項1乃至請求項5のいずれか1項記載の窒化ガリウム薄膜の製造方法であって、前記主層薄膜は500℃以上の温度で成長させる窒化ガリウム薄膜の製造方法。
- 前記初期層薄膜をサファイア結晶面上に成長させる請求項1乃至請求項6のいずれか1項記載の窒化ガリウム薄膜の製造方法。
- 通電により発光する無機発光層と、
p型窒化ガリウム層と、
n型窒化ガリウム層とを有し、
前記n型窒化ガリウム層は、前記p型窒化ガリウム層に接触して成長された初期層薄膜と前記初期層薄膜に接触して成長された主層薄膜とを有し、
前記無機発光層と前記初期層薄膜と前記主層薄膜とは直列接続され、
前記初期層薄膜は前記主層薄膜よりも小さな成長速度で成長された発光素子。 - 前記初期層薄膜は3.2nm/分以上4.0nm/分未満の範囲の成長率で成長された請求項8記載の発光素子。
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JP2009135197A (ja) * | 2007-11-29 | 2009-06-18 | Showa Denko Kk | Iii族窒化物半導体の製造方法、iii族窒化物半導体発光素子の製造方法、及びiii族窒化物半導体発光素子、並びにランプ |
JP2013125851A (ja) * | 2011-12-14 | 2013-06-24 | Ulvac Japan Ltd | 成膜装置及び成膜方法 |
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