JP2019145822A - 熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 内管
3 排気ジャケット
4 給気アダプタ
5 保持具
6 閉塞部材
6A 貫通孔
7 加熱機構
8 回転機構
W ワーク
10 熱処理装置
11 反応室
12 給気ノズル
13 軸受
14 ターンテーブル
15 熱電対
20 成膜遅延カバー
21A、21B ピース
22A、22B 切り欠き
23 大孔
24A、24B 小孔
25 固定プレート
26A、26B 孔
31 排気口
41 接続口
42 内管支持部
71 ヒータ
72 枠体
73 断熱材
82 シャフト
121 ガス入口
122 ガス出口
251 ピン部
Claims (4)
- ワークが収容される反応室が形成された反応管と、
前記反応室で前記ワークを保持する保持具と、
前記保持具を支持し、前記反応室を密閉する閉塞部材と、
前記閉塞部材の前記反応室側の面を覆い、前記閉塞部材に対して着脱自在に配設された石英製の成膜遅延カバーと、
前記反応管と前記閉塞部材との間に配置される給気アダプタと、
を備え、
前記給気アダプタは、前記反応室へプロセスガスを供給するためのガス供給管が接続される接続口が形成された側面部を有し、
前記成膜遅延カバーは、前記給気アダプタの前記側面部の内周面に近接対向する側面部を有する有底筒状であって且つ前記側面部の上端から前記反応室の中心に向かって迫り出した部分を有する形状に形成されており、前記成膜遅延カバーの前記側面部及び前記迫り出した部分には、前記接続口に接続された前記ガス供給管が通る切り欠きが形成されている、熱処理装置。 - 前記成膜遅延カバーは、少なくとも2つに分割して構成されており、その分割数が、前記ガス供給管の数に対応して設定されている、請求項1に記載の熱処理装置。
- 前記成膜遅延カバーは、前記分割数に対応した数のピースを固定プレートでつなぎ止めて構成されている、請求項2に記載の熱処理装置。
- 前記反応管内で前記給気アダプタに支持される両端開放の内管と、
前記給気アダプタと前記反応管との間に配設される排気ジャケットであって、排気口が形成された側面部を有する排気ジャケットと、
をさらに備え、
前記ガス供給管は、前記内管の下端から当該内管内にプロセスガスが導入されるように構成されている、請求項1〜3の何れかに記載の熱処理装置。
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