JP2019144241A - ジャイロスコープのための感度増幅器ならびに関連システムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明者らは、ジャイロスコープを使用して角運動が検出される精度は、高感度が重要である用途の要望を満たすにはしばしば低すぎることを認識および理解した。自動車用途における角運動の検出は、例えば、数ミリ度/秒以下の低い角速度を検出できるような感度を要求することが多い。本発明者らは、十分に正確な角速度の測定を提供する際の制限因子が、ジャイロスコープ信号を増強するために使用される感度増幅器の乏しい性能に起因することが多いことを認識および理解した。感度増幅器は、角運動に応答してジャイロスコープによって生成される信号を増強するために、ジャイロスコープに関連して一般に使用される。残念ながら、従来の感度増幅器は、乏しいノイズ除去能力および/または非線形応答に苛まれている。非線形性およびノイズは、特に角運動が生じる速度が低いとき、角運動を正確に検出する回路の能力を決定的に損なう。
図1は、いくつかの実施形態に従う、ジャイロスコープ100を示すブロック図である。ジャイロスコープ100は、共振器102およびセンサ104を含む。共振器102は、周期的な駆動信号によって駆動されたとき、周期的に共振するように構成されている。センサ104(いくつかの実施形態では加速度計であり得る)は、角速度を検知するように構成されている。したがって、ジャイロスコープ100が角運動を被ったとき(例えば、ジャイロスコープが軸に対して回転されたとき)、角運動が生じる角速度(例えば、回転速度)はセンサ104を使用して感知され得る。
ジャイロスコープ信号から角速度を推測するために、ジャイロスコープ信号のさらなる処理がしばしば必要とされる。処理は、アナログおよび/またはデジタルドメインで行われてもよく、アナログ−デジタル変換を含む様々な動作を伴ってもよい。残念ながら、ジャイロスコープ信号は、処理回路のためには振幅において弱すぎることが多い。ある特定のアナログ−デジタル変換器(ADC)は、例えば、ある値を上回る入力電圧を必要とし得、そうでなければ、ほとんどの場合でノイズをサンプリングする。ジャイロスコープ信号のレベルを処理に適切なレベルに適合させるため、いくつかの実施形態では感度増幅器が使用される。
本明細書に記載の技術の態様は1つ以上の利点を提供し得、それらのいくつかは上述されている。そのような利点のいくつかの非限定的な例をここに記載する。必ずしもすべての態様および実施形態が、ここに記載される利点の全てを提供するわけではないことを理解されたい。さらに、本明細書に記載の技術の態様は、ここに記載されるものにさらなる利点を提供し得ることを理解されたい。
102 共振器
102 信号駆動共振器
104 センサ
114 周波数応答
200 ジャイロスコープ
202 試験質量
204 センサ
210 静止フレーム
212 カプラ
214 アンカ
220 固定電極
222 自由端ビーム
300 装置
302 感度増幅器
306 演算増幅器(OA)
308 フィードバック回路
310 フィードバック回路
408 コンデンサ
410 能動負荷
414 コンデンサ
502 抵抗回路
520 周波数応答
600 フィルタ
700 フィルタ
Claims (20)
- 微小電気機械システム(MEMS)装置であって、
ジャイロスコープと、
感度増幅器と、
を含み、感度増幅器は、
前記ジャイロスコープに連結された入力端子、および出力端子を有する演算増幅器と、
前記演算増幅器の前記入力端子および前記出力端子の間に連結され、アンチエイリアスフィルタおよび抵抗回路を含む、フィードバック回路と、
を含む、MEMS装置。 - 前記アンチエイリアスフィルタが、1つ以上の切り替えコンデンサを含む、請求項1に記載のMEMS装置。
- 前記フィードバック回路が櫛形フィルタとして構成されるように、前記1つ以上の切り替えコンデンサを制御するように構成された制御回路をさらに含む、請求項2に記載のMEMS装置。
- 前記アンチエイリアスフィルタが、前記ジャイロスコープの共振周波数で振動する信号を減衰させるように構成されている、請求項1に記載のMEMS装置。
- 前記アンチエイリアスフィルタがさらに、前記共振周波数の1つ以上の整数倍数で振動する信号を減衰させるように構成されている、請求項4に記載のMEMS装置。
- 前記感度増幅器が、前記フィードバック回路と並列に連結された無効回路をさらに含み、前記無効回路が高域周波数応答を呈する、請求項1に記載のMEMS装置。
- 前記無効回路がコンデンサを含む、請求項6に記載のMEMS装置。
- 前記抵抗回路が能動負荷を含む、請求項1に記載のMEMS装置。
- 微小電気機械システム(MEMS)ジャイロスコープを使用して角運動を検知するための方法であって、
共振周波数を有する前記MEMSジャイロスコープの角運動に応答して、前記角運動の速度を表すジャイロスコープ信号を生成することと、
前記ジャイロスコープ信号を演算増幅器の入力端子に提供することと、
前記演算増幅器の前記入力端子と前記演算増幅器の出力端子との間に連結されたフィードバック回路を使用することによって、前記ジャイロスコープ信号に基づいて出力信号を生成することと、
前記演算増幅器の前記入力端子と前記演算増幅器の前記出力端子との間に連結されたフィルタを使用することによって、前記出力信号を前記共振周波数で減衰させることと、
を含む方法。 - 前記減衰が、
前記出力信号をアンチエイリアスフィルタでろ波することを含む、請求項9に記載の方法。 - 前記出力信号を前記アンチエイリアスフィルタでろ波することが、互いに対して異位相の複数の切り替えコンデンサを充電することを含む、請求項10に記載の方法。
- 前記互いに対して異位相の複数の切り替えコンデンサを充電することが、Mを前記複数の切り替えコンデンサの数とすると、2π/Mによって与えられる位相差で前記複数の切り替えコンデンサを充電することを含む、請求項11に記載の方法。
- 前記出力信号を前記アンチエイリアスフィルタでろ波することが、前記共振周波数に実質的に等しい速度で前記複数の切り替えコンデンサを充電することを含む、請求項11に記載の方法。
- 前記出力信号を前記共振周波数の倍数で減衰させることをさらに含む、請求項9に記載の方法。
- 前記ジャイロスコープ信号は電流信号であり、前記出力信号は電圧信号であり、前記ジャイロスコープ信号に基づいて前記出力信号を生成することが、前記電流信号を前記電圧信号に変換することを含む、請求項9に記載の方法。
- 微小電気機械システム(MEMS)装置であって、
ジャイロスコープと、
前記ジャイロスコープに連結された入力端子、および出力端子を有する演算増幅器と、
前記演算増幅器の前記入力端子および前記出力端子の間に連結され、低域周波数応答を呈する第1のフィードバック回路と、
前記第1のフィードバック回路と並列に連結され、高域周波数応答を呈する第2のフィードバック回路と、
を含むMEMS装置。 - 前記第1のフィードバック回路が、アンチエイリアスフィルタを含む、請求項16に記載のMEMS装置。
- 前記アンチエイリアスフィルタが、複数の切り替えコンデンサを含む、請求項17に記載のMEMS装置。
- 前記第1のフィードバック回路が、前記アンチエイリアスフィルタと直列に連結された抵抗回路をさらに含む、請求項17に記載のMEMS装置。
- 前記第2のフィードバック回路が、無効回路を含む、請求項16に記載のMEMS装置。
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