JP2019138869A - 熱物性測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図3は、図2のIII−III線に沿う断面図である。
薄板41は、例えば、厚さ200μm以下のシリコン製基板(シリコンウエハ)、厚さ10〜100μmのSUS(Steel Use Stainless)製(及びそれに相当する熱拡散率を有する材料)の薄板、厚さ20μm程度のカーボングラファイト製のシート等である。絶縁薄膜42は、薄板41の表面に形成され、薄板41へ電気を流さないために絶縁性を有している。また、絶縁薄膜42は、計測感度を向上するために熱伝導率の低い材料からなる。絶縁薄膜42は、例えば厚さ0.6μmのポリメタクリル酸メチル樹脂(PMMA)からなる。金属薄膜43は、絶縁薄膜42の表面に形成され、交流電圧の印加及び温度変化の検出に用いられる。金属薄膜43は、例えば長さ4mm、幅2mm、厚さ0.2μmの金からなる。
薄板の熱伝導率を求める方法は、(a)金属薄膜43の表面に対する周期的な加熱による金属薄膜43の表面上の温度応答を測定することにより、金属薄膜43の表面上の温度変化の振幅A及び位相差θを求める工程と、(b)金属薄膜43の熱伝導率λ1,体積比熱容量C1及び膜厚d1、絶縁薄膜42の熱伝導率λ2,体積比熱容量C2及び膜厚d2、並びに、薄板41の熱伝導率λ3,体積比熱容量C3及び膜厚d3を含み、薄板41が有限であることを考慮した金属薄膜43の表面上の温度の時間依存性を示す第1関数を導出する工程と、(c)振幅A及び位相差θを含む金属薄膜43の表面上の温度の時間依存性を示す第2関数と、第1関数と、に基づいて、薄板41の熱伝導率λ3と、絶縁薄膜42の熱伝導率λ2とを求める工程と、を含む。
以下、上記工程(a)から工程(c)を具体的に説明する。
金属薄膜43に加えられる単位時間当たりの熱量Q(t)[W]は、周波数2f[Hz]に依存するので、角周波数2ω[s−1]で加えられる単位時間当たりの熱量Q(t)[W]は次式の通りとなる。
具体的には、複数の周波数fに対して、それぞれ、金属薄膜43の表面上の温度応答を測定することにより、金属薄膜43の表面上の温度変化の振幅A及び位相差θを測定し、各周波数において振幅A及び位相差θをそれぞれ求める(工程(a))。そして、第1関数及び第2関数に基づいて、薄板41の熱伝導率λ3と、絶縁薄膜42の熱伝導率λ2と、を求める(工程(b)、工程(c))。また、フィッティングは、求められた振幅Aの値が、(式8)の関係と近似又は最小となるように、補正又は近似させることにより行う。更に、振幅Aに加えて、位相差θの値が、(式9)の関係と近似又は最小となるように、フィッティングを行う。より、精度を高めることができるからである。
尚、近似や最小とする方法については、最小二乗法等の公知の方法を用いることができる。
また、本実施形態では、試料40表面におけるレーザ光80のスポット径を100μmとしているが、本発明のレーザ光のスポット径はこれに限られるものではなく、金属薄膜43の幅の十分の一以下になっていればよい。
尚、薄板の寸法は、長さ7mm、幅5mmであり、金属薄膜は絶縁薄膜上の中央部に長さ4mm×幅2mmで成膜した。
2 ケース
3 測定室
3a 断熱層
4 レーザ光源
5、6 集光レンズ
7 光学フィルタ
8 受光装置
12 レーザ照射装置
13 光検出装置
21 交流電源
22 測定装置
23 XYステージ
23a 治具
241、242 プローブ
25 移動制御装置
33 同期検波器
34 信号発生器
35 演算装置
40 試料
41 薄板
42 絶縁薄膜
43 金属薄膜
Claims (2)
- 熱伝導率が未知である薄板上に、熱伝導率が未知である第2薄膜と、第1薄膜と、を順に積層して形成された試料に対して、
(a)前記第1薄膜の表面に対する周期的な加熱による前記第1薄膜の表面上の温度応答を測定することにより、前記第1薄膜の表面上の温度変化の振幅A及び位相差θを求める工程と、
(b)前記第1薄膜の熱伝導率λ1,体積比熱容量C1及び膜厚d1、前記第2薄膜の熱伝導率λ2,体積比熱容量C2及び膜厚d2、並びに、前記薄板の熱伝導率λ3,体積比熱容量C3及び膜厚d3を含み、前記薄板が有限であることを考慮した前記第1薄膜の表面上の温度の時間依存性を示す第1関数を導出する工程と、
(c)前記振幅A及び前記位相差θを含む前記第1薄膜の表面上の温度の時間依存性を示す第2関数と、前記第1関数と、に基づいて、前記薄板の熱伝導率λ3と、前記第2薄膜の熱伝導率λ2と、を求める工程と、
を含むことを特徴とする熱物性測定方法。 - 前記工程(a)における前記第1薄膜の温度応答は、複数の周波数ωの電気的又は光学的な周期的な加熱による前記第1薄膜の表面上の温度変化を、サーモリフレクタンス法により測定することを特徴とする請求項1に記載の熱物性測定方法。
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CN111965212B (zh) * | 2020-07-31 | 2023-05-09 | 捷耀精密五金(深圳)有限公司 | 热物性计算方法、热物性测试系统、电子设备及存储介质 |
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