JP2019138772A - センサ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図2は、実施例1に係るセンサ装置10の斜視図である。図3は、図2に示したセンサ装置10を図2とは異なる方向から見た斜視図である。図4は、図2に示したセンサ装置10を図2とは異なる方向から見た斜視図である。図5は、図2に示したセンサ装置10を図2とは異なる方向から見た斜視図である。図6は、図3に示したセンサ装置10にカバー110が取り付けられた状態を示す図である。本実施例に係るセンサ装置10は、以下の点を除いて、実施形態に係るセンサ装置10と同様である。
Δ1=Δ2×(Fi/Fo)2 (1)
ただし、Fiは、可動式結像レンズ356の焦点距離を示し、Foは、対物レンズ360の焦点距離を示す。
図14は、実施例2に係るセンサ装置10の斜視図である。図15は、図14に示したセンサ装置10を図14とは異なる方向から見た斜視図である。図16は、図14に示したセンサ装置10にカバー110が取り付けられた状態を示す図である。本実施例に係るセンサ装置10は、以下の点を除いて、実施例1に係るセンサ装置10と同様である。
100 ボード
102 第1面
102a 凹部
104 第2面
106a 第1辺
106b 第2辺
106c 第3辺
106d 第4辺
110 カバー
112 第1カバー
114 第2カバー
120 把手
122 フレーム
130 インシュレータ
210 光源
212 ピンホール
214 コリメートレンズ
220 光検出器
222 ピンホール
224 カップリングレンズ
226 端子
230 撮像器
250 AOM
300 光学系
302 第1部分
304 第2部分
312 ミラー
314 ビームスプリッタ
320 ユニット
322 ミラー
324 干渉フィルタ
326 光コネクタ
332 ミラー
334 ビームスプリッタ
342 可動ミラー
344 ミラー
346 ミラー
352 結像レンズ
354 転送レンズ
356 可動式結像レンズ
358 チューブ
360 対物レンズ
362 レボルバー
370 照明光学系
400 ダイヤモンドセンサ
400a 第1面
400b 第2面
402 ホルダ
402a 第1面
402b 第2面
402c 第3面
402d 第4面
410 第1ホルダボード
412 第1部分
414 第2部分
416 第1開口
418a 溝
418b シーリング部材
420 第2ホルダボード
426 第2開口
430 アンテナ
432 端子
440 発振器
442 アンプ
444 スイッチ
500 磁気源
502 鉄心
504 永久磁石
510 ホルダ
512 凹部
514 フレーム
520 移動機構
522 ベース
524 クロスローラガイドステージ
524a ガイドレール
524b キャリア
526 スペーサ
530 ピエゾステージ
Claims (15)
- 以下を備えるセンサ装置:
第1面を有するボード;
前記ボードの前記第1面上の光源;
前記ボードの前記第1面上の光検出器;
前記ボードの前記第1面上のダイヤモンドセンサ;及び
前記光源からの光を前記ダイヤモンドセンサに送ることが可能であり、前記ダイヤモンドセンサからの光を前記光検出器に送ることが可能であり、前記ボードの前記第1面上の光学系、
ここで、前記光学系は、第1部分を含み、
前記光学系の前記第1部分は、前記光源からの光を前記第1面に沿う方向から前記第1面に向かう方向に向かわせることが可能であり、前記第1面からの光を前記光検出器に向けて前記第1面から離れる方向から前記第1面に沿う方向に向かわせることが可能である。 - 請求項1に記載のセンサ装置であって、
ここで、前記光学系は、第2部分を含み、
前記光学系の前記第2部分は、前記光学系の前記第1部分からの光を前記ダイヤモンドセンサに向けて前記第1面に沿う方向から前記第1面から離れる方向に向かわせることが可能であり、前記ダイヤモンドセンサからの光を前記光学系の前記第1部分に向けて前記第1面に向かう方向から前記第1面に沿う方向に向かわせることが可能である。 - 請求項1又は2に記載のセンサ装置であって、
前記ボードの前記第1面上の撮像器をさらに備え、
ここで、前記光学系の前記第1部分は、前記第1面からの光を前記撮像器に向けて前記第1面から離れる方向から前記第1面に沿う方向に向かわせることが可能である。 - 請求項1から3までのいずれか一項に記載のセンサ装置であって、
ここで、前記ボードは、前記第1面の反対側の第2面を有し、
前記センサ装置は、前記ボードの前記第2面から突出していて、前記ボードを支持するための支持材をさらに備える。 - 請求項4に記載のセンサ装置であって、
発熱素子をさらに備え、
ここで、前記発熱素子は、前記ボードの前記第2面上に搭載されている。 - 請求項1から5までのいずれか一項に記載のセンサ装置であって、
前記ダイヤモンドセンサを保持するためのホルダをさらに備え、
ここで、前記ホルダは、第1面と、前記第1面の反対側の第2面と、を有し、
前記ダイヤモンドセンサは、第1面と、前記第1面の反対側の第2面と、を有し、
前記ホルダの前記第1面は、前記ダイヤモンドセンサの前記第1面のうちの少なくとも一部分を露出する第1開口を有し、
前記ホルダの前記第2面は、前記ダイヤモンドセンサの前記第2面のうちの少なくとも一部分を露出する第2開口を有する。 - 請求項6に記載のセンサ装置であって、
ここで、前記ホルダは、前記第1面を有する第1ホルダボードと、前記第2面を有する第2ホルダボードと、を含み、
前記第1ホルダボードは、前記ホルダの前記第1面の反対側の第3面を有し、
前記第2ホルダボードは、前記ホルダの前記第2面の反対側の第4面を有し、
前記第1ホルダボード及び前記第2ホルダボードは、前記第3面及び前記第4面が互いに対向するように互いに接合されている。 - 請求項7に記載のセンサ装置であって、
ここで、前記第2ホルダボードは、前記第4面上にあって前記ダイヤモンドセンサに電磁波を照射するためのアンテナを有する。 - 請求項8に記載のセンサ装置であって、
ここで、前記第1ホルダボードは、前記第1開口を有する第1部分と、前記第1部分以外の第2部分と、を含み、
前記第1ホルダボードの前記第1部分は、前記第1ホルダボードの前記第2部分に対して、取り付け可能かつ取り外し可能であり、
前記第1ホルダボードの前記第1部分が前記第1ホルダボードの前記第2部分に取り付けられている場合、前記ダイヤモンドセンサは、前記第1ホルダボードの前記第1部分における前記第3面と前記第2ホルダボードの前記第4面の間に位置する。 - 請求項9に記載のセンサ装置であって、
ここで、前記ホルダは、シーリング部材を有し、
前記シーリング部材は、前記第1ホルダボードの前記第1部分が前記第1ホルダボードの前記第2部分に取り付けられている場合、前記第1ホルダボードの前記第1部分における前記第3面と前記ダイヤモンドセンサの前記第1面の間に位置し、かつ前記第1開口を囲む。 - 請求項1から10までのいずれか一項に記載のセンサ装置であって、
前記ダイヤモンドセンサに磁場を照射するための磁気源をさらに備え、
ここで、前記磁気源は、前記ダイヤモンドセンサに対して可動である。 - 請求項11に記載のセンサ装置であって、
ここで、前記磁気源は、前記ダイヤモンドセンサの上方を通過するように可動である。 - 請求項12に記載のセンサ装置であって、
ここで、前記磁気源は、前記ボードの前記第1面に沿った第1方向に第1分解能で可動であり、前記ボードの前記第1面に沿って前記第1方向に交わる第2方向に前記第1分解能より小さい第2分解能で可動である。 - 請求項1から13までのいずれか一項に記載のセンサ装置であって、
前記ボードの前記第1面上に位置する把手をさらに備える。 - 以下を備えるセンサ装置:
第1面を有するボード;
前記ボードの前記第1面上の光源;
前記ボードの前記第1面上の光検出器;
前記ボードの前記第1面上のダイヤモンドセンサ;
前記ダイヤモンドセンサを保持するためのホルダ;及び
前記光源からの光を前記ダイヤモンドセンサに送ることが可能であり、前記ダイヤモンドセンサからの光を前記光検出器に送ることが可能であり、前記ボードの前記第1面上の光学系、
ここで、前記ホルダは、第1面と、前記第1面の反対側の第2面と、を有し、
前記ダイヤモンドセンサは、第1面と、前記第1面の反対側の第2面と、を有し、
前記ホルダの前記第1面は、前記ダイヤモンドセンサの前記第1面のうちの少なくとも一部分を露出する第1開口を有し、
前記ホルダの前記第2面は、前記ダイヤモンドセンサの前記第2面のうちの少なくとも一部分を露出する第2開口を有する。
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WO2022163677A1 (ja) * | 2021-01-27 | 2022-08-04 | 住友電気工業株式会社 | ダイヤモンド磁気センサユニット及びダイヤモンド磁気センサシステム |
WO2023013235A1 (ja) | 2021-08-03 | 2023-02-09 | スミダコーポレーション株式会社 | 測定装置および測定方法 |
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WO2016083140A1 (en) * | 2014-11-27 | 2016-06-02 | Universität Stuttgart, Körperschaft Des Öffentlichen Rechts | Method and device for measuring strong magnetic fields on a nanometer scale, e.g. on a hard disk write/read head |
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2018
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