JP2019138707A - 物理量計測装置 - Google Patents

Abstract

【課題】物理量の計測精度を高めることができる物理量計測装置を提供する。【解決手段】エアフロメータ１０はバイパス流路３０を有しており、バイパス流路３０は、流入口３３から流入した空気を流出口３４から流出させる通過流路３１と、通過流路３１から分岐した計測流路３２とを有している。計測流路３２は、通過流路３１との境界部に含まれた計測入口３５から延びた分岐路３２ａを有しており、通過流路３１に対する分岐路３２ａの分岐角度θが６０度以下になっている。流入口３３の中心Ｃａと流出口３４の中心Ｃａとを通る仮想の直線を通過通り線ＣＬ１と称し、分岐路３２ａの中心線に一致する仮想の直線を分岐一致線ＣＬ２と称すると、通過通り線ＣＬ１に対する分岐一致線ＣＬ２の傾斜角度が分岐角度θになっている。【選択図】図５

Description

この明細書による開示は、物理量計測装置に関する。

流体の物理量を計測する物理量計測装置として、例えば特許文献１には、空気を通過させるバイパス流路と、このバイパス流路から分岐したサブバイパス流路とを有する物理量計測装置が開示されている。この物理量計測装置においては、空気の流量を検出する流量センサがサブバイパス流路に設けられており、バイパス流路からサブバイパス流路に流れ込んだ空気が流量センサの検出対象になる。

特開２０１３−１９０４４７号公報

しかしながら、バイパス流路からサブバイパス流路が分岐した構成では、バイパス流路からサブバイパス流路に流れ込む空気として、バイパス入口からバイパス流路に流入した順流の他に、バイパス出口からサブバイパス流路に流入した逆流が想定される。バイパス出口から逆流が流入した場合、実際にはバイパス出口から流入した逆流が流量センサに到達したにもかかわらず、バイパス入口から流入した順流が流量センサに到達したとして物理量計測装置が流量の計測を行ってしまうことが懸念される。この場合、物理量計測装置による流量の計測精度が低下してしまう。

本開示の主な目的は、物理量の計測精度を高めることができる物理量計測装置を提供することにある。

上記目的を達成するため、開示された第１の態様は、
流体の物理量を計測する物理量計測装置（１０）であって、
流体が流入する流入口（３３）及び流体が流出する流出口（３４）を有し、物理量を計測する対象である流体を流入口及び流出口を通じて通過させる通過流路（３１）と、
通過流路を流れる流体が流入する分岐入口（３５）を有し、通過流路から分岐した分岐流路（３２）と、
分岐流路において流体の物理量を検出する物理量検出部（２２）と、
を備え、
分岐流路は、
流入口の中心（Ｃａ）及び流出口の中心（Ｃｂ）の両方を通る仮想の直線である通過通り線（ＣＬ１）を想定した場合に、通過通り線が延びる通過方向（α）において分岐入口から流出口側に向けて延びていることで通過流路に対して傾斜している傾斜分岐路（３２ａ）を有しており、
分岐入口において傾斜分岐路の中心線に一致する仮想の直線を分岐一致線（ＣＬ２）と称すると、通過通り線に対する分岐一致線の傾斜角度（θ）が６０度以下である、物理量計測装置である。

第１の態様によれば、傾斜分岐路が通過流路から流出口側に向けて延びた構成において、通過通り線に対する分岐一致線の傾斜角度が６０度以下になっている。この構成では、通過通り線に対する分岐一致線の傾斜角度が６０度以下だと、流出口から通過流路に流入する逆流が発生してもその逆流は分岐流路に流れ込みにくい、という事象を利用して、流出口からの逆流が物理量検出部に到達することを抑制できる。この場合、実際には流出口から流入した逆流が物理量検出部に到達したにもかかわらず、流入口から流入した順流が物理量検出部に到達したとして物理量計測装置が物理量の計測を行ってしまうことが生じにくくなる。したがって、物理量計測装置による物理量の計測精度を高めることができる。

第２の態様は、
流体の物理量を計測する物理量計測装置（１０）であって、
流体が流入する流入口（３３）及び流体が流出する流出口（３４）を有し、物理量を計測する対象である流体を流入口及び流出口を通じて通過させる通過流路（３１）と、
通過流路を流れる流体が流入する分岐入口（３５）を有し、通過流路から分岐した分岐流路（３２）と、
分岐流路において流体の物理量を検出する物理量検出部（２２）と、
を備え、
分岐流路は、
流入口の中心（Ｃａ）及び流出口の中心（Ｃｂ）の両方を通る仮想の直線である通過通り線（ＣＬ１）を想定した場合に、通過通り線が延びる通過方向（α）において分岐入口から流出口側に向けて延びていることで通過流路に対して傾斜している傾斜分岐路（３２ａ）を有しており、
傾斜分岐路の内周面は、
分岐入口において傾斜分岐路の中心線に一致する仮想の直線を分岐一致線（ＣＬ２）と称すると、分岐入口のうち通過方向において流入口側の端部である流入側端部（３５ａ）から分岐一致線に沿って延びた流入傾斜面（５７）と、
分岐入口のうち通過方向において流出口側の端部である流出側端部（３５ｂ）から分岐一致線に沿って延びた流出傾斜面（５８）と、
を有しており、
流入傾斜面のうち通過方向において流出口に最も近い部分（５１ａ）を通り、通過方向に直交する仮想の直線である流入直交線（ＣＬ４）と、
流出傾斜面のうち通過方向において流出口に最も近い部分（５１ｂ）を通り、通過方向に直交する仮想の直線である流出直交線（ＣＬ５）と、
分岐入口の流入側端部を通り、通過方向に直交する仮想の直線である流入入口線（ＣＬ６）と、
を想定した場合に、
通過方向において流入入口線と流入直交線との離間距離である第１直交距離（Ｄａ）が、通過方向において流入直交線と流出直交線との離間距離である第２直交距離（Ｄｂ）以上である、物理量計測装置である。

第２の態様によれば、傾斜分岐路が通過流路から流出口側に向けて延びた構成において、第１直交距離が第２直交距離以上になっている。この構成では、第１直交距離が第２直交距離以上だと、流出口から通過流路に流入する逆流が発生してもその逆流は分岐流路に流れ込みにくい、という事象を利用して、流出口からの逆流が物理量検出部に到達することを抑制できる。このため、上記第１の態様と同様の効果を奏することができる。

なお、特許請求の範囲およびこの項に記載した括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものにすぎず、本開示の技術的範囲を限定するものではない。

第１実施形態におけるエアフロメータを上流外面側から見た斜視図。 エアフロメータを下流外面側から見た斜視図。 エアフロメータを流入口側から見た正面図。 エアフロメータをコネクタ部側から見た側面図。 吸気管に取り付けられた状態のエアフロメータの縦断面図。 図５のＶＩ−ＶＩ線断面図。 図５における計測入口周辺の拡大図。 流量の変化態様を示す図。 脈動特性と振幅比との関係を示す図。 分岐角度が異なる構成について説明するための図。 分岐角度と脈動特性との関係を示す図。 第２実施形態における吸気管に取り付けられた状態のエアフロメータの縦断面図。 図１２における計測入口周辺の拡大図。 第３実施形態における吸気管に取り付けられた状態のエアフロメータの縦断面図。 図１４における計測入口周辺の拡大図。 第４実施形態における吸気管に取り付けられた状態のエアフロメータの縦断面図。 図１６における計測入口周辺の拡大図。

以下、本開示の複数の実施形態を図面に基づいて説明する。尚、各実施形態において対応する構成要素には同一の符号を付すことにより、重複する説明を省略する場合がある。各実施形態において構成の一部分のみを説明している場合、当該構成の他の部分については、先行して説明した他の実施例の構成を適用することができる。また、各実施形態の説明において明示している構成の組み合わせばかりではなく、特に組み合わせに支障が生じなければ、明示していなくても複数の実施形態の構成同士を部分的に組み合わせることができる。そして、複数の実施形態及び変形例に記述された構成同士の明示されていない組み合わせも、以下の説明によって開示されているものとする。

（第１実施形態）
図１〜図４に示すエアフロメータ１０は、ガソリンエンジン等の内燃機関を有する燃焼システムに含まれている。図５に示すように、エアフロメータ１０は、燃焼システムにおいて、内燃機関に吸入空気を供給する吸気通路１２に設けられており、吸気通路１２を流れる吸入空気等の気体やガスといった流体の流量や温度、湿度、圧力等の物理量を計測する。この場合、エアフロメータ１０が物理量計測装置に相当する。

エアフロメータ１０は、吸気通路１２を形成するダクト等の吸気管１２ａに取り付けられている。吸気管１２ａには、その外周部を貫通する貫通孔としてエアフロ挿入孔１２ｂが設けられている。このエアフロ挿入孔１２ｂには円環状の管フランジ１２ｃが取り付けられており、この管フランジ１２ｃは吸気管１２ａに含まれている。エアフロメータ１０は、管フランジ１２ｃ及びエアフロ挿入孔１２ｂに挿入されることで吸気通路１２に入り込んだ状態になっており、この状態で吸気管１２ａや管フランジ１２ｃに固定されている。

本実施形態では、エアフロメータ１０について、幅方向Ｘ、高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚを定義しており、これら方向Ｘ，Ｙ，Ｚは互いに直交している。エアフロメータ１０は高さ方向Ｙに延びており、吸気通路１２は奥行き方向Ｚに延びている。エアフロメータ１０は、吸気通路１２に入り込んだ入り込み部分１０ａと、吸気通路１２に入り込まずに管フランジ１２ｃから外部にはみ出したはみ出し部分１０ｂとを有しており、これら入り込み部分１０ａとはみ出し部分１０ｂとは高さ方向Ｙに並んでいる。エアフロメータ１０においては、一対の端面１０ｃ，１０ｄのうち、入り込み部分１０ａに含まれた方をエアフロ先端面１０ｃと称し、はみ出し部分１０ｂに含まれた方をエアフロ基端面１０ｄと称する。この場合、エアフロ先端面１０ｃとエアフロ基端面１０ｄとが高さ方向Ｙに並んでいる。なお、エアフロ先端面１０ｃ及びエアフロ基端面１０ｄは高さ方向Ｙに直交している。また、管フランジ１２ｃの先端面も高さ方向Ｙに直交している。

図１〜図４に示すように、エアフロメータ１０は、ハウジング２１と、吸入空気の流量を検出する流量検出部２２（図５参照）と、吸入空気の温度を検出する吸気温センサ２３（図４参照）とを有している。ハウジング２１は、例えば樹脂材料等により形成されている。エアフロメータ１０においては、ハウジング２１が吸気管１２ａに取り付けられていることで、流量検出部２２が、吸気通路１２を流れる吸入空気と接触可能な状態になる。ハウジング２１は、ハウジング本体２４、リング保持部２５、フランジ部２７及びコネクタ部２８を有しており、リング保持部２５に対してＯリング２６（図５参照）が取り付けられている。

ハウジング本体２４は全体として筒状に形成され、ハウジング２１においては、リング保持部２５、フランジ部２７及びコネクタ部２８がハウジング本体２４に一体的に設けられた状態になっている。リング保持部２５は入り込み部分１０ａに含まれ、フランジ部２７及びコネクタ部２８ははみ出し部分１０ｂに含まれている。

リング保持部２５は、管フランジ１２ｃの内部に設けられており、Ｏリング２６を高さ方向Ｙに位置ずれしないように保持している。Ｏリング２６は、管フランジ１２ｃの内部において吸気通路１２を密閉するシール部材であり、リング保持部２５の外周面と管フランジ１２ｃの内周面との両方に密着している。フランジ部２７には、エアフロメータ１０を吸気管１２ａに固定するネジ等の固定具を固定するネジ孔等の固定孔が形成されている。コネクタ部２８は、流量検出部２２に電気的に接続されたコネクタターミナルを保護する保護部である。

流量検出部２２はハウジング本体２４の内部空間２４ａに設けられており、吸気温センサ２３はハウジング２１の外側に設けられている。吸気温センサ２３は、吸入空気の温度を感知する感温素子や、感温素子から延びたリード線、リード線に接続された吸気温ターミナルを有している。ハウジング２１は、吸気温センサ２３を支持する支持部を有しており、この支持部は、ハウジング２１の外周側に設けられている。

図５に示すように、ハウジング本体２４は、吸気通路１２を流れる吸入空気の一部が流れ込むバイパス流路３０を形成している。バイパス流路３０は、エアフロメータ１０の入り込み部分１０ａに配置されている。バイパス流路３０は、通過流路３１及び計測流路３２を有しており、これら通過流路３１及び計測流路３２は、ハウジング本体２４の内部空間２４ａにより形成されている。なお、吸気通路１２を主通路と称し、バイパス流路３０を副通路と称することもできる。また、図５においては、Ｏリング２６の図示を省略している。

通過流路３１は、奥行き方向Ｚにハウジング本体２４を貫通している。通過流路３１は、その上流端部である流入口３３と、下流端部である流出口３４とを有している。計測流路３２は、通過流路３１の中間部分から分岐した分岐流路であり、この計測流路３２に流量検出部２２が設けられている。計測流路３２は、その上流端部である計測入口３５と、下流端部である計測出口３６とを有している。通過流路３１から計測流路３２が分岐した部分はこれら通過流路３１と計測流路３２との境界部になっており、この境界部に計測入口３５が含まれていることになる。なお、計測入口３５が分岐入口に相当し、計測出口３６が分岐出口に相当する。また、通過流路３１と計測流路３２との境界部を流路境界部と称することもできる。

流量検出部２２は、回路基板とこの回路基板に搭載された検出素子とを有しており、チップ式の流量センサである。検出素子は、発熱抵抗等の発熱部や温度検出部を有しており、流量検出部２２は、検出素子での発熱に伴う温度の変化に応じた検出信号を出力する。

エアフロメータ１０は、流量検出部２２を含んで構成されたセンササブアッセンブリを有しており、このセンササブアッセンブリをセンサＳＡ４０と称する。センサＳＡ４０はハウジング本体２４に収容されている。センサＳＡ４０は、流量検出部２２に加えてＳＡ本体４１を有している。ＳＡ本体４１は、流量検出部２２の検出信号について各種処理を行う回路チップや、回路チップを支持するリードフレーム、これら回路チップやリードフレームを保護する樹脂製のモールド部などを有しており、流量検出部２２はモールド部等により支持されている。なお、センサＳＡ４０を検出ユニットやセンサ部と称することもできる。

計測流路３２を流れる空気の流量に応じた検出信号を回路チップに対して出力し、回路チップは、流量検出部２２の検出信号を用いて流量を算出する。回路チップの算出結果が、エアフロメータ１０が計測した空気の流量ということになる。なお、高さ方向Ｙにおいて吸気通路１２の中央位置にエアフロメータ１０の流入口３３及び流出口３４が配置されている。高さ方向Ｙにおいて吸気通路１２の中央位置を流れる吸入空気は、奥行き方向Ｚに沿って流れている。ここで、奥行き方向Ｚと通過方向αとが一致していることに起因して、吸気通路１２において吸入空気が流れる向きと、通過流路３１において吸入空気が流れる向きとはほぼ一致している。

ここで、流量検出部２２の検出精度を適正に保つには、検出素子での吸気流量に伴う温度検出部での温度変化がある程度大きい必要があり、その温度変化を大きくするには検出素子に触れる流体の流速がある程度大きいことが好ましい。これは、流体の流速に応じた検出素子の温度変化に対して、自然対流により検出素子に作用する温度変化の影響を低減するためである。このように、検出素子に触れる流体の流速が適度に大きくなることで、自然対流の影響が低減されるため、流量の検出精度を高めることができる。

なお、流量検出部２２は、吸入空気の流量を流体の物理量として検出する物理量検出部に相当する。また、流量検出部２２は、熱式の流量センサに限定されず、超音波式の流量センサやカルマン渦式の流量センサ等であってもよい。

図６に示すように、ハウジング本体２４の外周面は、上流外面２４ｂ、下流外面２４ｃ及び一対の中間外面２４ｄを有している。ハウジング本体２４の外周面において、上流外面２４ｂは吸気通路１２の上流側を向いており、下流外面２４ｃは吸気通路１２の下流側を向いている。一対の中間外面２４ｄは、幅方向Ｘにおいて互いに反対側を向いており、いずれも奥行き方向Ｚにおいて上流外面２４ｂと下流外面２４ｃとの間に設けられている。上流外面２４ｂは、奥行き方向Ｚに対して傾斜した傾斜面になっている。具体的には、上流外面２４ｂは、幅方向Ｘにおいてハウジング本体２４の幅寸法を吸気通路１２での上流側に向けて徐々に小さくするように湾曲した傾斜面になっている。

図５に示すように、上流外面２４ｂには流入口３３が設けられ、下流外面２４ｃには流出口３４が設けられている。図６に示すように、一対の中間外面２４ｄには計測出口３６がそれぞれ設けられており、これら計測出口３６は幅方向Ｘに並んでいる。なお、計測出口３６は、上流外面２４ｂと中間外面２４ｄとの境界部を奥行き方向Ｚに跨いだ位置に設けられていてもよい。

計測流路３２の内周面は、計測出口３６を形成する形成面３８ａ〜３８ｃを有している。ハウジング本体２４の外周部には、計測出口３６を形成する貫通孔が設けられており、形成面３８ａ〜３８ｃはこの貫通孔の内周面に含まれている。形成面３８ａ〜３８ｃのうち上流形成面３８ａは計測出口３６の上流端部３６ａを形成しており、下流形成面３８ｂは計測出口３６の下流端部３６ｂを形成している。接続形成面３８ｃは、上流形成面３８ａと下流形成面３８ｂとを接続しており、これら形成面３８ａ，３８ｂを挟んで一対設けられている。

上流形成面３８ａは、奥行き方向Ｚに直交しており、計測出口３６の上流端部３６ａからハウジング本体２４の内部に向けて幅方向Ｘに延びている。下流形成面３８ｂは、奥行き方向Ｚに対して傾斜しており、計測出口３６の下流端部３６ｂからハウジング本体２４の内部に向けて上流外面２４ｂ側に真っ直ぐに延びた傾斜面になっている。

吸気通路１２においてハウジング本体２４の外周側で生じる吸入空気の流れについて簡単に説明する。吸気通路１２を下流側に向けて流れる空気のうち、ハウジング本体２４の上流外面２４ｂに到達した空気は、傾斜面である上流外面２４ｂに沿って進むことで向きを徐々に変えつつ計測出口３６に到達する。このように、上流外面２４ｂにより空気の向きが滑らかに変わるため、計測出口３６の近傍で空気の剥離が生じにくくなっている。このため、計測流路３２を流れる空気が計測出口３６から流出しやすくなり、計測流路３２内の流速が安定しやすくなる。

また、計測流路３２を流れて計測出口３６から吸気通路１２に流出する空気は、傾斜面である下流形成面３８ｂに沿って流れることで、吸気通路１２での下流側に向けて流れやすくなる。この場合、下流形成面３８ｂに沿って計測出口３６から流出した空気が、吸気通路１２を流れる吸入空気に合流する際に渦流など気流の乱れが発生しにくくなっているため、計測流路３２内の流速が安定しやすくなる。

図５に示すように、計測流路３２は、計測入口３５と計測出口３６との間にて折り返された折り返し形状になっている。計測流路３２は、通過流路３１から分岐した分岐路３２ａと、分岐路３２ａから流れ込んできた空気を流量検出部２２に向けて案内する案内路３２ｂと、流量検出部２２が設けられた検出路３２ｃと、計測出口３６から空気を排出する排出路３２ｄを有している。計測流路３２においては、上流側から分岐路３２ａ、案内路３２ｂ、検出路３２ｃ、排出路３２ｄ、の順で並べられている。

検出路３２ｃは、奥行き方向Ｚに延びていることで通過流路３１と平行になっており、通過流路３１からはみ出し部分１０ｂ側に離間した位置に設けられている。分岐路３２ａ、案内路３２ｂ及び排出路３２ｄは、検出路３２ｃと通過流路３１との間に設けられている。案内路３２ｂ及び排出路３２ｄは、検出路３２ｃから通過流路３１に向けて高さ方向Ｙに延びていることで互いに平行になっている。分岐路３２ａは、案内路３２ｂと通過流路３１との間に設けられており、通過流路３１に対して傾斜した傾斜分岐路に相当する。分岐路３２ａは、計測入口３５から奥行き方向Ｚに対して流出口３４側に向けて延びており、真っ直ぐな流路になっている。排出路３２ｄは、通過方向αにおいて案内路３２ｂよりも流出口３４側に設けられており、計測出口３６から検出路３２ｃに向けて延びている。

吸気通路１２において、エンジンの運転状態などに起因して吸入空気の流れに脈動が生じた場合、この脈動に伴って、上流側から流れる順流に加えて、下流側から順流とは逆向きに流れる逆流が発生することがある。順流は流入口３３から通過流路３１に流入するのに対して、逆流は流出口３４から通過流路３１に流入することが懸念される。例えば、順流が流入口３３から流入し、更に通過流路３１から計測流路３２に流れ込んだ場合、この順流の流量が流量検出部２２により検出される。一方、吸気通路１２にて発生した逆流が流出口３４から流入し、更に通過流路３１から計測流路３２に流れ込んだ場合、この逆流の流量が流量検出部２２により検出される。

流量検出部２２は、計測流路３２での空気の流量に加えて、計測流路３２での空気の流れを検出することが可能になっている。しかしながら、流出口３４から流入した逆流が計測流路３２に流れ込んだ場合、この逆流は、流入口３３から流入した順流と同様に計測流路３２を計測入口３５から計測出口３６に向けて流れることになる。このように、計測流路３２においては、流出口３４から流入した逆流が流れる向きと流入口３３から流入した順流が流れる向きとが同じになるため、流量検出部２２は順流と逆流とを区別して検出することができない。このため、実際には計測流路３２を流れる空気に逆流が含まれているにもかかわらず、計測流路３２を流れる空気の全てが順流であるとして、エアフロメータ１０が空気の流量を計測することになってしまう。この結果、エアフロメータ１０の計測精度が低下することが懸念される。

また、吸気通路１２においては、空気がエアフロメータ１０の周囲を通過することに伴って渦流やよどみなど気流の乱れが生じることがある。例えば、吸気通路１２を順流として流れている空気が、ハウジング本体２４の中間外面２４ｄを通り過ぎる場合、そのまま下流側に進もうとする流れと、下流外面２４ｃに沿って進もうとする流れとが混在することで気流の乱れが生じる。この気流の乱れが、下流外面２４ｃの下流側など流出口３４の周辺に存在している場合に、吸気通路１２において逆流が生じると、この逆流が気流の乱れを含んで不安定な状態になり、この不安定な逆流が流出口３４から通過流路３１に進入することが懸念される。

そこで、エアフロメータ１０では、流出口３４から通過流路３１に逆流が流入したとしても、分岐路３２ａが通過流路３１から流出口３４側に向けて分岐していることで、この逆流が通過流路３１から分岐路３２ａに流れ込むということが生じにくくなっている。特に、エアフロメータ１０においては、通過流路３１に対する分岐路３２ａの分岐角度θが６０度又はそれよりも小さい値に設定されている。すなわち、θ≦６０度という関係が成り立っている。本実施形態では、分岐角度θが例えば４０度に設定されている。このため、通過流路３１から分岐路３２ａに逆流が流れ込むということが更に生じにくくなっている。

バイパス流路３０においては、通過流路３１に対して仮想の通過通り線ＣＬ１が設定され、分岐路３２ａに対して仮想の分岐一致線ＣＬ２が設定されており、分岐角度θは、通過通り線ＣＬ１に対する分岐一致線ＣＬ２の傾斜角度になっている。

まず、通過通り線ＣＬ１について説明する。ハウジング本体２４においては、通過流路３１が奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びていることで、流入口３３と流出口３４とは奥行き方向Ｚに並べられている。この場合、流入口３３の中心Ｃａと流出口３４の中心Ｃｂとの両方を通る仮想の直線を通過通り線ＣＬ１と称すると、この通過通り線ＣＬ１は、通過流路３１の中心線に一致している。すなわち、中心Ｃａ，Ｃｂは、幅方向Ｘ及び高さ方向Ｙの両方について位置が同じであり、奥行き方向Ｚに並べられている。このため、通過通り線ＣＬ１が延びる方向を通過方向αと称すると、この通過方向αは奥行き方向Ｚに一致している。また、通過方向αに直交する方向を直交方向βと称する。

通過流路３１において、直交方向βでの断面積を流路面積と称すると、この流路面積は、通過方向αにおいて均一になっている。ここで、流入口３３及び流出口３４は通過通り線ＣＬ１に直交している。このため、流入口３３の開放面積及び流出口３４の開放面積は、通過流路３１の流路面積と同じになっている。なお、通過流路３１は、直交方向βでの断面形状がほぼ矩形状になっている。

次に、分岐一致線ＣＬ２について説明する。計測流路３２においては、分岐路３２ａが真っ直ぐに延びていることで分岐路３２ａの中心線が直線になっている。このため、分岐路３２ａの中心線に一致する仮想の分岐一致線ＣＬ２を想定すると、この分岐一致線ＣＬ２が直線になっている。分岐路３２ａは、その上流端である計測入口３５と、下流端部である分岐下流口５１とを有しており、分岐下流口５１は、分岐路３２ａと案内路３２ｂとの境界部に含まれている。分岐一致線ＣＬ２は、計測入口３５の中心と分岐下流口５１との中心とを通っている。

計測流路３２において、分岐一致線ＣＬ２に直交する方向での断面積を流路面積と称すると、この流路面積は、分岐一致線ＣＬ２が延びる方向において均一になっている。ここで、計測入口３５及び分岐下流口５１は分岐一致線ＣＬ２に直交していない。このため、計測入口３５の開放面積及び分岐下流口５１の開放面積は、計測流路３２の流路面積より大きくなっている。これら開放面積は、分岐一致線ＣＬ２に対する計測入口３５や分岐下流口５１の傾斜角度が大きいほど大きくなる。

なお、計測流路３２においては、案内路３２ｂ、検出路３２ｃ及び排出路３２ｄのそれぞれについて、中心線に直交する方向での断面積を流路面積と称すると、各流路面積は各中心線が延びる方向において均一になっている。また、案内路３２ｂ、検出路３２ｃ及び排出路３２ｄの各流路面積は、分岐路３２ａの流路面積と同じになっている。さらに、計測流路３２においては、計測流路３２の中心線に直交する方向での断面形状がほぼ矩形状になっている。

本実施形態のエアフロメータ１０では、分岐角度θが６０度より小さいことの他にも、通過流路３１から分岐路３２ａに逆流が流れ込むことを抑制する構成が実現されている。

図７に示すように、通過流路３１の内周面は、通過天井面５５及び通過床面５６を有している。通過天井面５５は、流入口３３においてエアフロ基端面１０ｄ側の端部３３ａと、流出口３４においてエアフロ基端面１０ｄ側の端部３４ａとにかけ渡されており、通過通り線ＣＬ１に沿って延びている。通過床面５６は、流入口３３でのエアフロ先端面１０ｃ側の端部３３ｂと、流出口３４でのエアフロ基端面１０ｄ側の端部３４ｂとにかけ渡されており、通過通り線ＣＬ１に沿って延びている。通過天井面５５と通過床面５６とは、通過通り線ＣＬ１を挟んで対向しており、互いに平行な状態で通過方向αに延びている。

通過天井面５５には計測入口３５が設けられており、通過天井面５５は、計測入口３５と流入口３３との間に設けられた流入天井面５５ａと、計測入口３５と流出口３４との間に設けられた流出天井面５５ｂとを有している。ここで、計測入口３５は、通過方向αにおいて流入口３３側の端部である流入側端部３５ａと、通過方向αにおいて流出口３４側の端部である流出側端部３５ｂとを有している。流入天井面５５ａは、計測入口３５の流入側端部３５ａと流入口３３とにかけ渡されており、流出天井面５５ｂは、計測入口３５の流出側端部３５ｂと流出口３４とにかけ渡されている。

分岐路３２ａの内周面は、流入分岐面５７及び流出分岐面５８を有している。流入分岐面５７は、流入天井面５５ａから案内路３２ｂに向けて延びており、流出分岐面５８は、流出天井面５５ｂから案内路３２ｂに向けて延びている。ここで、分岐路３２ａの分岐下流口５１は、通過方向αにおいて流入口３３側の端部である流入側端部５１ａと、通過方向αにおいて流出口３４側の端部である流出側端部５１ｂとを有している。流入分岐面５７は、計測入口３５の流入側端部３５ａと分岐下流口５１の流入側端部５１ａとにかけ渡されており、流出分岐面５８は、計測入口３５の流出側端部３５ｂと分岐下流口５１の流出側端部５１ｂとにかけ渡されている。流入分岐面５７と流出分岐面５８とは、分岐一致線ＣＬ２を挟んで対向しており、互いに平行な状態で分岐一致線ＣＬ２に沿って延びている。

流入分岐面５７においては、通過方向αにおいて流入口３３に最も近い部分が計測入口３５の流入側端部３５ａであり、通過方向αにおいて流出口３４に最も近い部分が分岐下流口５１の流入側端部５１ａである。流出分岐面５８においては、通過方向αにおいて流入口３３に最も近い部分が計測入口３５の流出側端部３５ｂであり、通過方向αにおいて流出口３４に最も近い部分が分岐下流口５１の流出側端部５１ｂである。

なお、流入分岐面５７が流入傾斜面に相当し、流出分岐面５８が流出傾斜面に相当する。また、通過流路３１や計測流路３２といったバイパス流路３０の内周面は、ハウジング２１の内周面のうちバイパス流路３０を形成している形成面のことである。

上述したように、通過天井面５５と通過床面５６とが通過通り線ＣＬ１に沿って平行に延び、流入分岐面５７と流出分岐面５８とが分岐一致線ＣＬ２に沿って平行に延びている。このため、流出天井面５５ｂに対する流出分岐面５８の傾斜角度、及び計測入口３５に対する流入分岐面５７の傾斜角度は、いずれも分岐角度θと同じになっている。この場合、流出口３４から流入した逆流が通過流路３１から分岐路３２ａに流れ込むには６０度以下の角度で急旋回する必要が生じるため、逆流が通過流路３１から分岐路３２ａに流れ込みにくくなっている。その一方で、流入口３３から流入した順流が通過流路３１から分岐路３２ａに流れ込むには、１２０度より大きい角度で流れる向きが徐々に変わればよいため、順流が通過流路３１から分岐路３２ａに流れ込みやすくなっている。

本実施形態では、通過通り線ＣＬ１に直交する仮想の直線として、流入直交線ＣＬ４、流出直交線ＣＬ５、流入入口線ＣＬ６及び流出入口線ＣＬ７を想定しており、これら線ＣＬ４〜ＣＬ７はいずれも直交方向βに延びている。流入直交線ＣＬ４は、分岐下流口５１の流入側端部５１ａを通っていることで、流入分岐面５７のうち通過方向αにおいて流出口３４に最も近い部分を通っている。流出直交線ＣＬ５は、分岐下流口５１の流出側端部５１ｂを通っていることで、流出分岐面５８のうち通過方向αにおいて流出口３４に最も近い部分を通っている。流入入口線ＣＬ６は、計測入口３５の流入側端部３５ａを通っていることで、流入分岐面５７のうち通過方向αにおいて流入口３３に最も近い部分を通っている。流出入口線ＣＬ７は、計測入口３５の流出側端部３５ｂを通っていることで、流出分岐面５８のうち通過方向αにおいて流入口３３に最も近い部分を通っている。

通過方向αにおいて、流入直交線ＣＬ４と流入入口線ＣＬ６との離間距離を第１直交距離Ｄａと称し、流入直交線ＣＬ４と流出直交線ＣＬ５との離間距離を第２直交距離Ｄｂと称すると、Ｄａ≧Ｄｂという関係が成り立っている。すなわち、第１直交距離Ｄａが第２直交距離Ｄｂと同じ又はそれよりも大きくなっている。ここで、第１直交距離Ｄａは、通過方向αでの流入分岐面５７の長さ寸法を示しており、第２直交距離Ｄｂは、通過方向αにおいて分岐路３２ａの幅寸法を示している。Ｄａ≧Ｄｂの関係が成り立つということは、通過方向αでの分岐路３２ａの幅寸法に対して、分岐一致線ＣＬ２が延びる方向において流入分岐面５７が十分に長くなっていることになる。

この場合、通過流路３１を流れる逆流は、計測入口３５の周辺において分岐路３２ａの下流側に向かうほどは一気に急旋回できずに流入分岐面５７に向かいやすい。このように流入分岐面５７に向けて流れる逆流は、計測入口３５の周辺において流入分岐面５７により通過流路３１側に押し返されるような状態になりやすい。したがって、流出口３４から流入した逆流が分岐路３２ａに流れ込むことが流入分岐面５７により抑制される。

また、通過方向αにおいて、流入直交線ＣＬ４と流出入口線ＣＬ７との離間距離を第１入口距離Ｄｃと称し、流出直交線ＣＬ５と流出入口線ＣＬ７との離間距離を第２入口距離Ｄｄと称すると、Ｄｃ≦Ｄｄという関係が成り立っている。すなわち、第１入口距離Ｄｃが第２入口距離Ｄｄと同じ又はそれよりも小さくなっている。ここで、直交方向βにおいて、分岐下流口５１のエアフロ先端面１０ｃ側には流出天井面５５ｂが設けられている。このため、Ｄｃ≦Ｄｄの関係が成り立つということは、分岐下流口５１のうち流出側端部５１ｂ側の１／２以上の部分が、流出天井面５５ｂや流出分岐面５８により通過流路３１側から覆われていることになる。この場合、流出口３４から通過流路３１に流入した逆流が分岐路３２ａに流れ込むには、計測入口３５側から流出天井面５５ｂを回り込む必要が生じるため、逆流が通過流路３１から分岐路３２ａに流れ込みにくくなっている。

さらに、通過方向αにおいて、流出入口線ＣＬ７は流入直交線ＣＬ４と流出直交線ＣＬ５との間に配置されている。このため、通過方向αにおいて、流出天井面５５ｂが流入分岐面５７よりも流出口３４側に配置されており、分岐下流口５１のうち流入側端部５１ａ側の１／２より小さい部分が流出天井面５５ｂにより通過流路３１側から覆われていない。この場合、流出口３４から流入した逆流が通過流路３１から分岐路３２ａに流れ込みにくくなっている一方で、流入口３３から通過流路３１に流入した順流が流入分岐面５７に沿って流れることで分岐路３２ａに流れ込みやすくなっている。

加えて、通過方向αにおいて、流出直交線ＣＬ５と流入入口線ＣＬ６との離間距離を分岐入出距離Ｄｅと称し、流入口３３と流出口３４との離間距離を通過距離Ｄｆと称すると、Ｄｅ＜Ｄｆという関係が成り立っている。すなわち、分岐入出距離Ｄｅが通過距離Ｄｆより小さくなっている。分岐入出距離Ｄｅは、第１直交距離Ｄａと第２直交距離Ｄｂとの和を示している。このため、Ｄａ≧Ｄｂの関係に加えて、Ｄａ＋Ｄｂ＜Ｄｆという関係が成り立つことになる。なお、通過距離Ｄｆは、流入口３３の中心Ｃａと流出口３４の中心Ｃｂとの離間距離であり、通過方向αでの通過流路３１の長さ寸法を示している。

分岐一致線ＣＬ２が延びる方向に直交する方向において、流入分岐面５７と流出分岐面５８との離間距離を分岐面距離Ｄｇと称すると、この分岐面距離Ｄｇは第２直交距離Ｄｂと同じになっている。分岐面距離Ｄｇは、分岐一致線ＣＬ２が延びる方向に直交する方向での分岐路３２ａの幅寸法を示している。このため、分岐路３２ａの幅寸法と案内路３２ｂの幅寸法とが同じになっていることになる。

なお、線ＣＬ４〜ＣＬ７を用いない場合には、距離Ｄａ〜Ｄｅを通過方向αについて以下のように示すことができる。第１直交距離Ｄａは、計測入口３５の流入側端部３５ａと分岐下流口５１の流入側端部５１ａとの離間距離である。第２直交距離Ｄｂは、分岐下流口５１の流入側端部５１ａと流出側端部５１ｂとの離間距離である。第１入口距離Ｄｃは、分岐下流口５１の流入側端部５１ａと計測入口３５の流出側端部３５ｂとの離間距離である。第２入口距離Ｄｄは、計測入口３５の流出側端部３５ｂと分岐下流口５１の流出側端部５１ｂとの離間距離である。分岐入出距離Ｄｅは、計測入口３５の流入側端部３５ａと分岐下流口５１の流出側端部５１ｂとの離間距離である。

直交方向βにおいて、計測入口３５の流入側端部３５ａと分岐下流口５１の流入側端部５１ａとの離間距離を流入分岐距離Ｈａと称し、計測入口３５の流出側端部３５ｂと分岐下流口５１の流出側端部５１ｂとの離間距離を流出分岐距離Ｈｂと称する。流入分岐距離Ｈａは、直交方向βでの流入分岐面５７の長さ寸法を示し、流出分岐距離Ｈｂは、直交方向βでの流出分岐面５８の長さ寸法を示している。流入分岐面５７と流出分岐面５８とが互いに平行になっていることに起因して、流入分岐距離Ｈａが流出分岐距離Ｈｂより大きくなっている。なお、流入分岐距離Ｈａが流入傾斜距離に相当し、流出分岐距離Ｈｂが流出傾斜距離に相当する。

θ＞ｔａｎ^−１｛Ｈａ／（Ｄｆ−Ｄｂ）｝…（式１）
分岐角度θの最小値は通過距離Ｄｆに基づいて設定される。本実施形態では、流入分岐面５７が分岐一致線ＣＬ２に平行に延びていることに起因して、第２直交距離Ｄｂ、通過距離Ｄｆ及び流入分岐距離Ｈａに基づいて分岐角度θの最小値が設定される。例えば、上記（式１）を用いることで、分岐入出距離Ｄｅが通過距離Ｄｆより小さくなるように分岐角度θが設定される。

θ＞ｔａｎ−１｛Ｈａ／（Ｄｆ−Ｄｂ）｝…（式２）
また、本実施形態では、流出分岐面５８が分岐一致線ＣＬ２に平行に延びていることに起因して、通過距離Ｄｆ、入口距離Ｄｈ及び流出分岐距離Ｈｂに基づいて分岐角度θの最小値が設定される。入口距離Ｄｈは、通過方向αにおいて計測入口３５の流入側端部３５ａと流出側端部３５ｂとの離間距離であり、通過方向αでの計測入口３５の長さ寸法を示している。例えば、上記（式２）を用いることで、分岐入出距離Ｄｅが通過距離Ｄｆより小さくなるように分岐角度θが設定される。

分岐入出距離Ｄｅ及び流出分岐距離Ｈｂについては、Ｈｂ≦Ｄｅという関係が成り立っている。すなわち、流出分岐距離Ｈｂが分岐入出距離Ｄｅと同じ又はそれより小さくなっている。Ｈｂ≦Ｄｅの関係が成り立つということは、第２入口距離Ｄｄに対して流出分岐距離Ｈｂが過剰に大きくなっていない構成に該当することになる。このため、θ≦６０度の関係、及びＨｂ≦Ｄｅの関係の少なくとも一方に該当する構成は、流出天井面５５ｂに対する流出分岐面５８の傾斜角度が過剰に大きくなっていないことになる。

直交方向βにおいて、計測入口３５の流入側端部３５ａと通過通り線ＣＬ１との離間距離を流入入口距離Ｈｃと称し、計測入口３５の流出側端部３５ｂと通過通り線ＣＬ１との離間距離を流出入口距離Ｈｄと称する。本実施形態では、計測入口３５の流入側端部３５ａと流出側端部３５ｂとが通過通り線ＣＬ１に平行に並んでいることに起因して、流入入口距離Ｈｃと流出入口距離Ｈｄは同じになっている。計測入口３５は、直交方向βにおいて通過床面５６を向いており、流入口３３及び流出口３４を向いていない状態になっている。この場合、人が通過方向αに沿って流入口３３や流出口３４から通過流路３１の内部を覗き込んでも、計測入口３５を見ることができないことになる。

バイパス流路３０においては、計測入口３５が流入口３３側を向いていないため、流入口３３から流入した順流の動圧が計測入口３５に付与されにくくなっている。このため、計測流路３２での空気の流速が大きくなりやすい。また、この構成では、砂塵やダスト、水滴、油滴等の異物が順流と共に流入口３３から通過流路３１に進入しても、この異物が通過流路３１から分岐路３２ａに進入しにくくなっている。この場合、計測流路３２において流量検出部２２に到達した異物が流量検出部２２を破損させることや流量検出部２２に付着することが生じにくくなっているため、流量検出部２２の検出精度が異物により低下するということが抑制される。

また、バイパス流路３０においては、計測入口３５が流出口３４側を向いていないため、流出口３４から流入した逆流の動圧が計測入口３５に付与されにくくなっている。このため、流出口３４から流入した逆流が分岐路３２ａに流入することが抑制される。

図４に示すように、通過流路３１においては、流出口３４の開放面積が流入口３３の開放面積より小さくなっている。高さ方向Ｙについて流出口３４の高さ寸法と流入口３３の高さ寸法は同じになっている一方で、幅方向Ｘについて流出口３４の幅寸法は流入口３３の幅寸法より小さくなっている。この場合、通過方向αにおいて流入口３３を流出口３４側に向けて投影すると、この投影領域の一部が流出口３４に重なる。一方、通過方向αにおいて流出口３４を流入口３３側に向けて投影すると、この投影領域の全体が流入口３３に重なる。

本実施形態では、奥行き方向Ｚと通過方向αとが一致していることに起因して、吸気通路１２での空気の流れ方向において、流入口３３の投影領域の一部が流出口３４に重なることになる。この場合、空気と共に流入口３３から通過流路３１に進入した異物は、吸気通路１２の流れ方向にそのまま真っ直ぐ進むことで流出口３４から外部に排出されやすくなっており、その結果、計測流路３２に進入しにくくなっている。また、流出口３４の開放面積が流入口３３の開放面積より小さい構成では、通過流路３１を流れる順流が流出口３４から流出しにくくなる一方で、順流が計測入口３５から分岐路３２ａに流れ込みやすくなる。このため、計測流路３２での空気の流速が大きくなりやすくなり、その結果、流量検出部２２による検出精度が高くなる。

通過流路３１の内周面は、通過流路３１を絞る通過絞り面５９を有している。通過絞り面５９は、通過方向αにおいて通過流路３１の流路面積を流出口３４に向けて徐々に小さくしており、通過天井面５５及び通過床面５６を挟んで幅方向Ｘに一対設けられている。通過絞り面５９は、流出口３４から流入口３３に向けて延びており、流出天井面５５ｂと通過床面５６とにかけ渡された状態になっている。

吸気通路１２において発生した脈動の状態を脈動特性と称すると、流量検出部２２の検出結果を用いてエアフロメータ１０が計測した脈動特性には、吸気通路１２において実際に発生した脈動の脈動特性に対して誤差が含まれていることがある。エアフロメータ１０が計測した脈動特性に誤差が含まれる場合としては、流出口３４から流入した逆流が通過流路３１から計測流路３２に進入した場合が挙げられる。

ここで、エアフロメータ１０が計測した流量を流量計測値ＧＡと称し、この流量計測値ＧＡの平均値を計測平均値ＧＡａｖｅと称し、吸気通路１２を流れる吸入空気の実際の流量を実流量ＧＢと称し、この実流量ＧＢの平均値を実平均値ＧＢａｖｅと称する。図８に示すように、流量計測値ＧＡに誤差が含まれていることで流量計測値ＧＡが実流量ＧＢより小さい値になった場合、計測平均値ＧＡａｖｅも実平均値ＧＢａｖｅより小さくなる。

計測平均値ＧＡａｖｅと実平均値ＧＢａｖｅとの差を実平均値ＧＢａｖｅで除した値で脈動特性を数値化することができる。この場合、脈動特性を算出する数式を（ＧＡａｖｅ−ＧＢａｖｅ）／ＧＢａｖｅと示すことができる。脈動特性の数値は、脈動の振幅が増加することに伴って増加しやすい。例えば、実流量ＧＢの最大値ＧＢｍａｘと実平均値ＧＢａｖｅとの差を実平均値ＧＢａｖｅで除した値を振幅比と称すると、図９に示すように、振幅比の増加に伴って脈動特性の数値が増加する。特に、振幅比が１より大きい領域においては、振幅比の増加に伴う脈動特性の増加率が大きくなっている。ここで、振幅比が大きいほど流出口３４からの逆流の量が大きいことになる。なお、振幅比を算出する数式を（ＧＢｍａｘ−ＧＢａｖｅ）／ＧＢａｖｅと示すことができる。

本実施形態では分岐角度θが例えば４０度に設定されているが、脈動特性の数値は分岐角度θに応じて変化しやすくなっている。例えば、図１０に示すように、分岐角度θが３０度、４５度、６０度、９０度の構成について、流出口３４から通過流路３１に逆流を流入させると、分岐角度θが３０度、４５度、６０度の構成では、逆流が計測流路３２に流れ込みにくくなっている。一方、分岐角度θが９０度の構成では、逆流が計測流路３２に流れ込みやすくなっている。この場合、エアフロメータ１０による脈動特性の検出精度が低下しやすい。

エアフロメータ１０においては、分岐角度θに応じて計測流路３２への逆流の流れ込みやすさが異なり、この結果、脈動特性の数値が異なると考えられる。例えば、図１１に示すように、分岐角度θが６０度以下の構成では、脈動特性の数値が比較的小さい値になっている。これは、分岐角度θが６０度以下だと逆流が計測流路３２に流れ込みにくくなる、という事象に起因していると考えられる。一方、分岐角度θが６０度より大きい構成では、脈動特性の数値が比較的大きい値になっている。これは、分岐角度θが６０度より大きいと逆流が計測流路３２に流れ込みやすくなる、という事象に起因していると考えられる。しかも、この構成では、分岐角度θが大きくなるほど脈動特性の数値が増加している。これは、分岐角度θが６０度より大きい範囲では分岐角度θが大きくなるほど逆流が計測流路３２に流れ込みやすくなる、という事象に起因していると考えられる。

ここまで説明した本実施形態によれば、分岐角度θが６０度以下の構成では、流出口３４から流入した逆流が通過流路３１から分岐路３２ａに流れ込むには鋭角的に急旋回する必要があるため、逆流が分岐路３２ａに流れ込みにくいという事象が生じやすくなる。このため、逆流が流量検出部２２に到達することを抑制できる。この場合、実際には流出口３４から流入した逆流が流量検出部２２に到達したにもかかわらず、流入口３３から流入した順流が流量検出部２２に到達したとしてエアフロメータ１０が流量の計測を行ってしまう、ということが生じにくくなる。したがって、エアフロメータ１０による吸入空気の流量の計測精度を高めることができる。

また、分岐角度θが６０度以下になっている構成では、順流が通過流路３１から分岐路３２ａに流れ込む場合に、その順流の流れの向きが分岐路３２ａに向けて徐々に変わればよい。この構成では、上述したように逆流が分岐路３２ａに流れ込みにくくなっている一方で、順流は分岐路３２ａに流れ込みやすくなっている。この場合、計測流路３２に流れ込む順流の流速が不足するということが抑制されるため、流入口３３から流入した順流について、流量検出部２２による流量の検出精度を高めることができる。

本実施形態によれば、第１直交距離Ｄａが第２直交距離Ｄｂ以上である構成では、通過方向αでの分岐路３２ａの幅寸法に対して、分岐一致線ＣＬ２が延びる方向において流入分岐面５７が十分に長くなっている。この構成では、流入口３３から流入してきた逆流が、鋭角的に急旋回できずに流入分岐面５７に向けて流れ、計測入口３５の周辺において流入分岐面５７により通過流路３１側に押し返されて分岐路３２ａに流れ込みにくくなる、という事象が生じやすくなる。このため、逆流が流量検出部２２に到達することを抑制できる。

また、第１直交距離Ｄａが第２直交距離Ｄｂ以上になっている構成では、順流が通過流路３１から分岐路３２ａに流れ込む場合に、この順流が流入分岐面５７に向けて流れるのではなく、流入分岐面５７に沿って流れればよい。この構成では、上述したように逆流が分岐路３２ａに流れ込むことを流入分岐面５７により抑制できる一方で、順流が分岐路３２ａに流れ込むことを流入分岐面５７により促進できる。

しかも、エアフロメータ１０が、分岐角度θが６０度以下である構成、及び第１直交距離Ｄａが第２直交距離Ｄｂ以上である構成の両方を有していることで、分岐路３２ａへの逆流の流れ込みが分岐角度θ及び流入分岐面５７の両方により規制される。この場合、エアフロメータ１０による流量の計測精度をより一層高めることができる。また、この場合、順流が分岐路３２ａに流れ込むことが分岐角度θ及び流入分岐面５７の両方により促進されるため、流量検出部２２による流量の検出精度をより一層高めることができる。

本実施形態によれば、第１入口距離Ｄｃが第２入口距離Ｄｄ以下になっている。このため、流出口３４から流入した逆流が分岐路３２ａに流れ込むには、その逆流が、通過流路３１において流入口３３側に向けて流れることで流出天井面５５ｂや流出分岐面５８を一度通過した後に再び流出口３４側に戻るように大きく回り込む必要がある。この場合、逆流が分岐路３２ａに流れ込む位置や角度が流出天井面５５ｂや流出分岐面５８により制限されることになるため、分岐角度θや流入分岐面５７に加えて流出天井面５５ｂや流出分岐面５８によっても、分岐路３２ａへの逆流の流れ込みを抑制できる。

本実施形態によれば、流入直交線ＣＬ４と流出直交線ＣＬ５との間にＣＬ７が設けられている。この場合、通過方向αにおいて流出天井面５５ｂが案内路３２ｂよりも流入口３３側には延びていないため、直交方向βにおいて案内路３２ｂが分岐路３２ａを介して通過流路３１に向けて開放された状態になっている。このため、流入口３３から流入した順流が分岐路３２ａに流れ込む場合に、分岐路３２ａにて順流が受ける圧損が低減されやすくなり、その結果、順流が分岐路３２ａに流れ込みやすくなる。

本実施形態によれば、流出分岐距離Ｈｂが分岐入出距離Ｄｅ以下であるため、流出口３４から流入した逆流が、流出天井面５５ｂや流出分岐面５８を計測入口３５側から大きく回り込む際に、鋭角的に急旋回させることができる。この場合、流出天井面５５ｂに対する流出分岐面５８の角度を、逆流を計測入口３５側から鋭角的に急旋回させる上で適正な角度にすることができる。また、特に、流出分岐距離Ｈｂが分岐入出距離Ｄｅ以下である構成が、第１直交距離Ｄａが第２直交距離Ｄｂ以上である構成に適用されると、計測入口３５側から大きく回り込む逆流が流入分岐面５７に向かいやすくなる。この場合、計測入口３５の周辺において逆流を通過流路３１側に押し返すような流入分岐面５７の機能が発揮されやすくなるため、分岐路３２ａへの逆流の流れ込みをより確実に抑制できる。

本実施形態によれば、分岐角度θが６０度以下である構成や、第１直交距離Ｄａが第２直交距離Ｄｂ以上である構成が、分岐入出距離Ｄｅが通過距離Ｄｆより小さくなるように実現されている。このため、分岐路３２ａへの逆流の流れ込みが分岐角度θ及び流入分岐面５７の両方により規制される構成を実現するためにハウジング２１が大型化してしまうということを回避できる。この場合、ハウジング２１の小型化を図ることで、吸気通路１２を流れる吸入空気の気流がハウジング２１の周囲において乱れにくくなるため、流量検出部２２の検出精度を高めることができる。

本実施形態によれば、分岐路３２ａが分岐一致線ＣＬ２に沿って真っ直ぐに延びている。このため、分岐路３２ａへの逆流の流れ込みが分岐角度θ及び流入分岐面５７の両方により規制される構成を実現したハウジング２１について、製造時に分岐路３２ａの形状や寸法を検査する際にその検査の簡易化や容易化を実現できる。この結果、分岐路３２ａについての検査精度を高めることができる。また、通過流路３１が通過通り線ＣＬ１に沿って真っ直ぐに延びている。このため、分岐路３２ａと同様に、製造時に通過流路３１についての検査精度を高めることができる。

本実施形態によれば、計測入口３５が通過通り線ＣＬ１に沿って延びているため、計測入口３５が流入口３３及び流出口３４のいずれにも向いていない。このため、順流と共に流入口３３から流入した異物が通過流路３１から計測入口３５に進入すること、及び流出口３４から流入した順流が通過流路３１から計測入口３５に進入すること、の両方を抑制できる。

本実施形態によれば、流出口３４の開放面積が流入口３３の開放面積より小さいため、吸気通路１２にて発生した逆流が流出口３４に流れ込みにくくなっている。したがって、分岐路３２ａへの逆流の流れ込みをより確実に抑制することができる。

（第２実施形態）
上記第１実施形態では、計測入口３５が通過通り線ＣＬ１に平行になっていたが、第２実施形態では、計測入口３５が通過通り線ＣＬ１に対して傾斜している。本実施形態では、上記第１実施形態との相違点を中心に説明する。

図１２、図１３に示すように、流入天井面５５ａ及び流出天井面５５ｂがいずれも通過床面５６に平行に延びている一方で、高さ方向Ｙにおいて、流出天井面５５ｂが流入天井面５５ａよりもエアフロ基端面１０ｄに近い位置に設けられている。この場合、流出口３４の中心Ｃｂが流入口３３の中心Ｃａよりもエアフロ基端面１０ｄに近い位置に配置されており、これに伴って、通過通り線ＣＬ１が通過床面５６、流入天井面５５ａ及び流出天井面５５ｂのそれぞれに対して傾斜している。通過通り線ＣＬ１が延びる方向である通過方向αは、奥行き方向Ｚに一致しておらず、この奥行き方向Ｚに対して傾斜している。これに伴って、直交方向βは、高さ方向Ｙに一致しておらず、この高さ方向Ｙに対して傾斜している。

計測入口３５は、通過通り線ＣＬ１、通過床面５６、流入天井面５５ａ及び流出天井面５５ｂのそれぞれに対して傾斜している。通過方向α及び奥行き方向Ｚのいずれについても、計測入口３５は流出口３４側を向いており、人が流出口３４から通過流路３１の内部を覗き込むと、計測入口３５を見ることができる。換言すれば、計測入口３５は流入口３３を向いておらず、人が流入口３３から通過流路３１の内部を覗き込んでも、計測入口３５を見ることはできない。この場合、上記第１実施形態とは異なり、直交方向βにおいて、流出入口距離Ｈｄが流入入口距離Ｈｃより大きくなっている。すなわち、Ｈｄ＞Ｈｃの関係が成り立っている。このため、順流と共に流入口３３から流入した異物が通過流路３１から計測流路３２に進入することをより確実に抑制できる。これは、通過流路３１において順流と共に進む異物が計測入口３５側に進行方向を少々変えたとしても、計測入口３５に進入せずに流出天井面５５ｂに当たって流出口３４側に跳ね返ることで、流出口３４から外部に排出されるためである。

本実施形態では、上記第１実施形態とは異なり、分岐路３２ａの幅寸法である分岐面距離Ｄｇが、案内路３２ｂの幅寸法である第２直交距離Ｄｂより小さくなっている。この場合、分岐路３２ａの流路面積が案内路３２ｂの流路面積より小さくなっている。また、この場合、計測入口３５が通過通り線ＣＬ１に対して傾斜していることで、計測入口３５が通過通り線ＣＬ１に平行である構成に比べて計測入口３５の開放面積が増加したとしても、分岐路３２ａが細くなった分だけ計測入口３５の開放面積が減少している。このため、流出口３４から流入した逆流が通過流路３１から計測入口３５に流れ込みにくくなっている。

（第３実施形態）
上記第１実施形態では、通過床面５６が奥行き方向Ｚにおいて流入口３３と流出口３４との間で真っ直ぐに延びていたが、第３実施形態では、通過床面５６が真っ直ぐには延びていない。換言すれば、本実施形態では、通過流路３１が真っ直ぐには延びていない。本実施形態では、上記第１実施形態との相違点を中心に説明する。

図１４、図１５に示すように、通過床面５６は、流入口３３から下流側に向けて延びた流入床面５６ａと、流出口３４から上流側に向けて延びた流出床面５６ｂとを有している。流出床面５６ｂが高さ方向Ｙに直交しているのに対して、流入床面５６ａは高さ方向Ｙに対して傾斜している。また、流入天井面５５ａ及び流出天井面５５ｂは、高さ方向Ｙに対して傾斜しており、いずれも流入床面５６ａに平行に延びている。

本実施形態では、通過通り線ＣＬ１が流入天井面５５ａ、流出天井面５５ｂ、流入床面５６ａ及び流出床面５６ｂのそれぞれに対して傾斜している。この場合、上記第２実施形態と同様に、通過通り線ＣＬ１が延びる方向である通過方向αは、奥行き方向Ｚに一致しておらず、この奥行き方向Ｚに対して傾斜している。このため、直交方向βも高さ方向Ｙに対して傾斜している。

上記第１実施形態と同様に、計測入口３５は奥行き方向Ｚに延びている。この場合でも、本実施形態では通過方向αが奥行き方向Ｚに対して傾斜していることで、上記第２実施形態と同様に、計測入口３５が通過通り線ＣＬ１に対して相対的に傾斜している。このため、上記第２実施形態と同様に、流出入口距離Ｈｄが流入入口距離Ｈｃより大きくなっており、順流と共に流入口３３から通過流路３１に流入した異物が、分岐路３２ａに進入しにくくなっている。

本実施形態では、高さ方向Ｙにおいて流出口３４が流入口３３よりもエアフロ先端面１０ｃ側に設けられている。具体的には、高さ方向Ｙにおいて、流出口３４における通過天井面５５側の端部３４ａが、流入口３３における通過床面５６側の端部３３ｂよりもエアフロ先端面１０ｃ側に設けられている。この場合、通過方向αにおいて流入口３３を流出口３４側に向けて投影しても、この投影領域は流出口３４に重ならない。同様に、通過方向αにおいて流出口３４を流入口３３側に向けて投影しても、この投影領域は流入口３３に重ならない。

このように、流入口３３と流出口３４と高さ方向Ｙにずれた位置にあるため、吸気通路１２での順流の流れる向きと、通過流路３１での順流が流れる向きが異なることになる。この場合、流入口３３から流入した順流が流出口３４から流出する際の圧損が大きくなりやすいため、順流が計測入口３５から分岐路３２ａに流れ込みやすくなる。

（第４実施形態）
上記第１実施形態では、奥行き方向Ｚにおいて案内路３２ｂよりも流入口３３側に計測出口３６が設けられていたが、第２実施形態では、計測出口３６が奥行き方向Ｚにおいて案内路３２ｂよりも流出口３４側に設けられている。本実施形態では、上記第１実施形態との相違点を中心に説明する。

図１６、図１７に示すように、奥行き方向Ｚにおいて、排出路３２ｄが分岐路３２ａ及び案内路３２ｂのいずれよりも流出口３４側に設けられている。検出路３２ｃは、奥行き方向Ｚにおいて案内路３２ｂから流出口３４側に向けて延びている。この場合でも、排出路３２ｄは計測出口３６から計測流路３２での上流側に向けて延びている。この構成では、上記第１実施形態とは異なり、計測流路３２において計測入口３５から計測出口３６に向けて流れる空気が、検出路３２ｃでは通過方向αにおいて流入口３３から流出口３４に向けて流れる。

（他の実施形態）
以上、本開示による複数の実施形態について説明したが、本開示は、上記実施形態に限定して解釈されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲内において種々の実施形態及び組み合わせに適用することができる。

変形例１として、流出入口線ＣＬ７は、流入直交線ＣＬ４と流出直交線ＣＬ５との間ではなく、流入直交線ＣＬ４と流入入口線ＣＬ６との間に配置されていてもよい。すなわち、通過方向αにおいて、計測入口３５の流出側端部３５ｂが分岐下流口５１の流入側端部５１ａよりも流入口３３側に配置されていてもよい。この場合、流出入口線ＣＬ７が流入直交線ＣＬ４から流出口３４側ではなく流入口３３側に離間することになるが、これら流出入口線ＣＬ７と流入直交線ＣＬ４との離間距離である第１入口距離Ｄｃが第２入口距離Ｄｄより小さいことには変わりがない。このため、Ｄｃ≦Ｄｄという関係が成り立つ。

この構成では、分岐下流口５１の全体が流出天井面５５ｂや流出分岐面５８により通過流路３１側から覆われることになる。この場合、流入口３３から通過流路３１に流入した逆流が分岐路３２ａに流れ込むには、計測入口３５側から流出天井面５５ｂを回り込んだ後に更に流出分岐面５８側に戻る必要が生じるため、逆流が分岐路３２ａに流れ込むことをより確実に抑制できる。

変形例２として、分岐路３２ａにおいて流入分岐面５７と流出分岐面５８とが互いに平行に延びていなくてもよい。この場合でも、分岐一致線ＣＬ２が真っ直ぐに延びていれば、通過通り線ＣＬ１に対する分岐一致線ＣＬ２の傾斜角度である分岐角度θを設定することができる。また、流入分岐面５７及び流出分岐面５８が、互いに平行でなくても通過方向αにおいて計測入口３５から流出口３４側に向けてそれぞれ延びていることで、分岐路３２ａが通過方向αにおいて計測入口３５から流出口３４側に向けて延びていることになる。

変形例３として、分岐路３２ａは計測入口３５から真っ直ぐに延びずに曲がっていてもよい。すなわち、分岐路３２ａの中心線が真っ直ぐに延びずに曲がっていてもよい。分岐路３２ａの中心線が曲がっている構成については、計測入口３５において分岐路３２ａの中心線の接線を想定し、この接線を少なくとも通過流路３１側に延長させた仮想の直線を分岐一致線ＣＬ２とする。これにより、分岐路３２ａが曲がっている構成についても、通過通り線ＣＬ１に対する分岐一致線ＣＬ２の傾斜角度である分岐角度θを設定することができる。この場合でも、分岐一致線ＣＬ２は、計測入口３５において分岐路３２ａの中心線に一致することになる。

また、分岐路３２ａが曲がっている構成では、流入分岐面５７について、通過方向αにおいて流出口３４に最も近い部分が分岐下流口５１の流入側端部５１ａであるとは限らない。例えば、流入分岐面５７について、計測入口３５の流入側端部３５ａと分岐下流口５１の流入側端部５１ａとの間にある中間部分が、通過方向αにおいて流出口３４に最も近い部分になる場合もある。この場合でも、通過流路３１に対して通過通り線ＣＬ１を想定することができれば、分岐路３２ａに対して通過方向α及び直交方向βを想定することができる。このため、流入分岐面５７について通過方向αにおいて流出口３４に最も近い部分を設定でき、ひいては、その部分を通る流入直交線ＣＬ４を想定できる。

流出分岐面５８についても、通過方向αにおいて流出口３４に最も近い部分が分岐下流口５１の流出側端部５１ｂであるとは限らない。例えば、流出分岐面５８について、計測入口３５の流出側端部３５ｂと分岐下流口５１の流出側端部５１ｂとの間にある中間部分が、通過方向αにおいて流出口３４に最も近い部分になる場合もある。この場合でも、通過通り線ＣＬ１を想定することができれば、通過方向αにおいて流出口３４に最も近い部分及び流出直交線ＣＬ５を想定できる。

変形例４として、エアフロメータ１０は、分岐角度θが６０度以下である構成、及び第１直交距離Ｄａが第２直交距離Ｄｂ以上である構成の一方だけを有していてもよい。例えば、第１直交距離Ｄａが第２直交距離Ｄｂ以上であるエアフロメータ１０においては、Ｄｃ≦Ｄｄという関係、及びＨｂ≦Ｄｅという関係の少なくとも一方が成立していることで、分岐路３２ａへの逆流の流れ込みを抑制できる。すなわち、分岐角度θが６０度以下である構成、及び第１直交距離Ｄａが第２直交距離Ｄｂ以上である構成の両方を有しているエアフロメータ１０と同様の効果を奏することができる。

変形例５として、計測流路３２においては、流量検出部２２が分岐路３２ａや案内路３２ｂ、排出路３２ｄに設けられていてもよい。

変形例６として、吸入空気等の流体が流れる計測流路３２には、流量検出部２２等の物理量検出部として、流体の温度を検出する温度センサや、流体の湿度を検出する湿度センサ、圧力を検出する圧力センサなどが設けられていてもよい。
変形例７として、通過流路３１や計測流路３２の断面形状は、ほぼ矩形状ではなく、ほぼ円状や楕円状などになっていてもよい。これらの構成の場合、計測入口３５においては、流入側端部３５ａや流出側端部３５ｂが通過方向αでの頂点になっていることが想定される。この場合は、これら流入側端部３５ａから延びる流入分岐面５７や流出側端部３５ｂから延びる流出分岐面５８がほぼ線状になるが、これら線状の部分も流入分岐面５７や流出分岐面５８と称することができる。すなわち、これら線状の部分が流入傾斜面や流出傾斜面に相当する。

１０…物理量計測装置としてのエアフロメータ、２２…物理量検出部としての流量検出部、３１…通過流路、３２…分岐流路としての計測流路、３２ａ…傾斜分岐路としての分岐路、３３…流入口、３４…流出口、３５…分岐入口としての計測入口、３５ａ…流入側端部、３５ｂ…流出側端部、５１ａ…部分としての流入側端部、５１ｂ…部分としての流出側端部、５７…流入傾斜面としての流入分岐面、５８…流出傾斜面としての流出分岐面、Ｃａ，Ｃｂ…中心、ＣＬ１…通過通り線、ＣＬ２…分岐一致線、ＣＬ４…流入直交線、ＣＬ５…流出直交線、ＣＬ６…流入入口線、ＣＬ７…流出入口線、Ｄａ…第１直交距離、Ｄｂ…第２直交距離、Ｄｃ…第１入口距離、Ｄｄ…第２入口距離、Ｄｅ…分岐入出距離、Ｄｆ…通過距離、Ｈｂ…流出傾斜距離としての流出分岐距離、Ｈｃ…流入入口距離、Ｈｄ…流出入口距離、α…通過方向、β…直交する方向、θ…分岐角度としての傾斜角度。

Claims (16)

1. 流体の物理量を計測する物理量計測装置（１０）であって、
   前記流体が流入する流入口（３３）及び前記流体が流出する流出口（３４）を有し、物理量を計測する対象である流体を前記流入口及び前記流出口を通じて通過させる通過流路（３１）と、
   前記通過流路を流れる前記流体が流入する分岐入口（３５）を有し、前記通過流路から分岐した分岐流路（３２）と、
   前記分岐流路において前記流体の物理量を検出する物理量検出部（２２）と、
   を備え、
   前記分岐流路は、
   前記流入口の中心（Ｃａ）及び前記流出口の中心（Ｃｂ）の両方を通る仮想の直線である通過通り線（ＣＬ１）を想定した場合に、前記通過通り線が延びる通過方向（α）において前記分岐入口から前記流出口側に向けて延びていることで前記通過流路に対して傾斜している傾斜分岐路（３２ａ）を有しており、
   前記分岐入口において前記傾斜分岐路の中心線に一致する仮想の直線を分岐一致線（ＣＬ２）と称すると、前記通過通り線に対する前記分岐一致線の傾斜角度（θ）が６０度以下である、物理量計測装置。
2. 前記傾斜分岐路の内周面は、
   前記分岐入口のうち前記通過方向において前記流入口側の端部である流入側端部（３５ａ）から前記分岐一致線に沿って延びた流入傾斜面（５７）と、
   前記分岐入口のうち前記通過方向において前記流出口側の端部である流出側端部（３５ｂ）から前記分岐一致線に沿って延びた流出傾斜面（５８）と、
   を有しており、
   前記流入傾斜面のうち前記通過方向において前記流出口に最も近い部分（５１ａ）を通り、前記通過方向に直交する仮想の直線である流入直交線（ＣＬ４）と、
   前記流出傾斜面のうち前記通過方向において前記流出口に最も近い部分（５１ｂ）を通り、前記通過方向に直交する仮想の直線である流出直交線（ＣＬ５）と、
   前記分岐入口の前記流出側端部を通り、前記通過方向に直交する仮想の直線である流出入口線（ＣＬ７）と、
   を想定した場合に、
   前記流出入口線と前記流入直交線との離間距離である第１入口距離（Ｄｃ）が、前記通過方向において前記流出入口線と前記流出直交線との離間距離である第２入口距離（Ｄｄ）以下である、請求項１に記載の物理量計測装置。
3. 前記流出入口線は、前記通過方向において前記流入直交線と前記流出直交線との間にある、請求項２に記載の物理量計測装置。
4. 前記分岐入口の前記流入側端部を通り且つ前記通過方向に直交する仮想の直線である流入入口線（ＣＬ６）を想定した場合に、
   前記通過方向に直交する方向（β）において、前記流出傾斜面のうち前記通過方向において前記流出口に最も近い部分（５１ｂ）と前記分岐入口の前記流出側端部との離間距離である流出傾斜距離（Ｈｂ）が、前記通過方向において前記流出直交線と前記流入入口線との離間距離である分岐入出距離（Ｄｅ）以下である、請求項２又は３に記載の物理量計測装置。
5. 前記傾斜角度は、
   前記分岐入出距離が前記通過方向において前記流入口の中心と前記流出口の中心との離間距離である通過距離（Ｄｆ）より小さくなる角度に設定されている、請求項４に記載の物理量計測装置。
6. 前記通過方向に直交する方向（β）において、前記分岐入口の前記流出側端部と前記通過通り線との離間距離である流出入口距離（Ｈｄ）が、前記分岐入口の前記流入側端部と前記通過通り線との離間距離である流入入口距離（Ｈｃ）より大きい、請求項２〜５のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
7. 前記傾斜分岐路が前記分岐一致線に沿って真っ直ぐに延びていることで、前記流入傾斜面と前記流出傾斜面とが互いに平行に延びている、請求項２〜６のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
8. 流体の物理量を計測する物理量計測装置（１０）であって、
   前記流体が流入する流入口（３３）及び前記流体が流出する流出口（３４）を有し、物理量を計測する対象である流体を前記流入口及び前記流出口を通じて通過させる通過流路（３１）と、
   前記通過流路を流れる前記流体が流入する分岐入口（３５）を有し、前記通過流路から分岐した分岐流路（３２）と、
   前記分岐流路において前記流体の物理量を検出する物理量検出部（２２）と、
   を備え、
   前記分岐流路は、
   前記流入口の中心（Ｃａ）及び前記流出口の中心（Ｃｂ）の両方を通る仮想の直線である通過通り線（ＣＬ１）を想定した場合に、前記通過通り線が延びる通過方向（α）において前記分岐入口から前記流出口側に向けて延びていることで前記通過流路に対して傾斜している傾斜分岐路（３２ａ）を有しており、
   前記傾斜分岐路の内周面は、
   前記分岐入口において前記傾斜分岐路の中心線に一致する仮想の直線を分岐一致線（ＣＬ２）と称すると、前記分岐入口のうち前記通過方向において前記流入口側の端部である流入側端部（３５ａ）から前記分岐一致線に沿って延びた流入傾斜面（５７）と、
   前記分岐入口のうち前記通過方向において前記流出口側の端部である流出側端部（３５ｂ）から前記分岐一致線に沿って延びた流出傾斜面（５８）と、
   を有しており、
   前記流入傾斜面のうち前記通過方向において前記流出口に最も近い部分（５１ａ）を通り、前記通過方向に直交する仮想の直線である流入直交線（ＣＬ４）と、
   前記流出傾斜面のうち前記通過方向において前記流出口に最も近い部分（５１ｂ）を通り、前記通過方向に直交する仮想の直線である流出直交線（ＣＬ５）と、
   前記分岐入口の前記流入側端部を通り、前記通過方向に直交する仮想の直線である流入入口線（ＣＬ６）と、
   を想定した場合に、
   前記通過方向において前記流入入口線と前記流入直交線との離間距離である第１直交距離（Ｄａ）が、前記通過方向において前記流入直交線と前記流出直交線との離間距離である第２直交距離（Ｄｂ）以上である、物理量計測装置。
9. 前記分岐入口の前記流出側端部を通り且つ前記通過方向に直交する仮想の直線である流出入口線（ＣＬ７）を想定した場合に、
   前記流出入口線と前記流入直交線との離間距離である第１入口距離（Ｄｃ）が、前記通過方向において前記流出入口線と前記流出直交線との離間距離である第２入口距離（Ｄｄ）以下である、請求項８に記載の物理量計測装置。
10. 前記流出入口線は、前記通過方向において前記流入直交線と前記流出直交線との間にある、請求項９に記載の物理量計測装置。
11. 前記通過方向に直交する方向（β）において、前記流出傾斜面のうち前記通過方向において前記流出口に最も近い部分（５１ｂ）と、前記分岐入口の前記流出側端部との離間距離である流出傾斜距離（Ｈｂ）が、前記通過方向において前記流出直交線と前記流入入口線との離間距離である分岐入出距離（Ｄｅ）以下である、請求項８〜１０のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
12. 前記第１直交距離と前記第２直交距離との合計が、前記通過方向において前記流入口の中心と前記流出口の中心との離間距離である通過距離（Ｄｆ）より小さくなっている、請求項８〜１１のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
13. 前記通過方向に直交する方向（β）において、前記分岐入口の前記流出側端部と前記通過通り線との離間距離である流出入口距離（Ｈｄ）が、前記分岐入口の前記流入側端部と前記通過通り線との離間距離である流入入口距離（Ｈｃ）より大きい、請求項８〜１２のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
14. 前記傾斜分岐路が前記分岐一致線に沿って真っ直ぐに延びていることで、前記流入傾斜面と前記流出傾斜面とが互いに平行に延びている、請求項８〜１３のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
15. 前記通過流路が前記通過通り線に沿って真っ直ぐに延びていることで、前記分岐入口が前記通過通り線に沿って延びている、請求項１〜１４のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
16. 前記流出口の開放面積が前記流入口の開放面積より小さい、請求項１〜１５のいずれか１つに記載の物理量計測装置。

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