JP2019121783A - スピン軌道トルク型磁化回転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子及びスピン軌道トルク型磁化回転素子の製造方法 - Google Patents
スピン軌道トルク型磁化回転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子及びスピン軌道トルク型磁化回転素子の製造方法 Download PDFInfo
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Description
図1は、本発明の一態様に係るスピン軌道トルク型磁化回転素子1を模式的に示した斜視図である。図2は、図1に係るスピン軌道トルク型磁化回転素子1を模式的に示した平面図である。本発明の一態様に係るスピン軌道トルク型磁化回転素子1は、スピン軌道トルク配線層2と、スピン軌道トルク配線層2に積層されて配設された第1強磁性層4と、第1強磁性層4をはさんで、スピン軌道トルク配線層2に積層されて配設された電極6と、を備える。以下、スピン軌道トルク配線層2の長軸が延在する方向をX方向、スピン軌道トルク配線層2が延在する面内においてX方向と直交する方向をY方向、X方向及びY方向のいずれにも直交する方向をZ方向とする。図1において、第1強磁性層4の積層方向はZ方向である。第1強磁性層4は、その長軸がY方向に延在する形状異方性を有する。また、第1強磁性層4は、X方向及びY方向に対して傾斜している磁化容易軸に沿った磁化8を有する。
スピン軌道トルク配線層2は、X方向に延在する。スピン軌道トルク配線層2は、第1強磁性層4のZ方向の一面に接続されている。スピン軌道トルク配線層2は、第1強磁性層4に直接接続されていてもよいし、他の層を介して接続されていてもよい。
第1強磁性層4は、スピン軌道トルク配線層2に、X方向に直交するZ方向に積層されて配設される。第1強磁性層4は、その長軸がX方向と直交するY方向に延在する形状異方性を有する。また、第1強磁性層4は、スピン軌道トルク配線層2が延在する平面において、X方向及びY方向に対して傾斜する方向に磁化容易軸を有する磁化8を有する。第1強磁性層4は、例えば、HoCo合金、SmFe合金、FePt合金、CoPt合金、CoCrPt合金を含むことが好ましい。第1強磁性層4の材料としては、c軸長がa軸長より短い正方晶の磁性材料であることが好ましい。c軸長がa軸長より短いと、第1強磁性層4の磁化容易軸が面内方向に配向しやすい。例えば、SmFe合金(SmFe12)等が好ましい。また、c軸長がa軸長より長いと、第1強磁性層4の磁化容易軸が面直方向に配向しやすいが、磁場中で成膜した場合や磁場中アニールをすることによって、c軸を面内の磁場方向に向けることができる。例えば、HoCo合金(HoCo2)等が好ましい。これらの合金は、結晶磁気異方性が強く、ダンピング定数が大きいため、磁化回転が生じにくい。従って、これらの材料を用いて形成された第1強磁性層4は、強いデータ保持力を有する。
次に、図1及び2を参照しながら、スピン軌道トルク型磁化回転素子1の原理について説明する。
図3は、本発明の一実施形態に係るスピン軌道トルク型磁化回転素子の製造方法を模式的に示した平面図である。まず、支持体となる基板上に、スピン軌道トルク配線層2を作製する。スピン軌道トルク配線層2は、スパッタ等の公知の成膜手段を用いて作製できる。
図4は、本発明の第1実施形態に係るスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子101を模式的に示した断面図であり、図5は図4に係るスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子101を模式的に示した平面図である。図6は、図4に係るスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子101であって、磁化が反転した状態を模式的に示した平面図である。
スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子101は、第2強磁性層112の磁化が一方向に固定され、第1強磁性層104の磁化の向きが相対的に変化することで機能する。保磁力差型(疑似スピンバルブ型;Pseudo spin valve型)のMRAMに適用する場合には、第2強磁性層112の保磁力は第1強磁性層104の保磁力よりも大きいものとする。交換バイアス型(スピンバルブ型;spin valve型)のMRAMに適用する場合には、反強磁性層との交換結合によって第2強磁性層112の磁化方向を固定する。
非磁性層110には、公知の材料を用いることができる。例えば、非磁性層110が絶縁体からなる場合(トンネルバリア層である場合)、その材料としては、Al2O3、SiO2、MgO、及びMgAl2O4などを用いることができる。また、これらのほかにも、Al、Si、Mgの一部が、Zn、Beなどに置換された材料なども用いることができる。これらの中でも、MgOやMgAl2O4はコヒーレントトンネルが実現できる材料であるため、スピンを効率よく注入できる。また、非磁性層110が金属からなる場合、その材料としてはCu、Au、Agなどを用いることができる。さらに、非磁性層70が半導体からなる場合、その材料としては、Si、Ge、CuInSe2、CuGaSe2、Cu(In,Ga)Se2等を用いることができる。
次いで、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子101の原理について説明する。
図7は、本発明の第2実施形態に係るスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子201を模式的に示した断面図である。スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子201において、第1強磁性層204は拡散防止層216を有してもよい。拡散防止層216は、第1強磁性層204の非磁性層210側の面に設けられていてもよいし、第1強磁性層204の厚み方向のいずれかの部分に設けられていてもよい。後者の場合、第1強磁性層は、下層、拡散防止層、上層の3層構造となる。そのほかの構成は、第1実施形態に係るスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子101と同様であるため、詳細な説明を省略する。
拡散防止層216の材料として、非磁性重金属を用いることができる。例えばX方向及びY方向のいずれに対しても傾斜した磁化を有する第1強磁性層204を実現する場合のように、アニールを行うと、第1強磁性層204の内部から第2強磁性層212への元素拡散が生じ、磁気特性が劣化しうる。しかし、第1強磁性層204に拡散防止層216が配設されると、第1強磁性層及び第2強磁性層の形成後に高温でアニールを行った場合であっても、第1強磁性層204の内部から第2強磁性層212への元素拡散が生じることを抑制することができ、磁気特性が劣化しない。
図8は、本発明の第3実施形態に係るスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子301を模式的に示した断面図であり、図9は、図8に係るスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子301を模式的に示した平面図である。スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子301は、第1強磁性層304と非磁性層310との間に配設された第3強磁性層318を備える。そのほかの構成は、第2実施形態に係るスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子301と同様であるため、詳細な説明を省略する。なお、図8では、第1強磁性層304が拡散防止層316を有する構成を示しているが、拡散防止層316を省略してもよい。
図10は、第4実施形態にかかる磁気記録アレイ400の平面図である。図10に示す磁気記録アレイ400は、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子101が3×3のマトリックス配置をしている。図10は、磁気記録アレイの一例であり、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子101の種類、数及び配置は任意である。また制御部は、全てのスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子101に渡って存在してもよいし、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子101毎に設けてもよい。
しかしながら、第1強磁性層14の磁化18の向きはX方向及びY方向のいずれに対しても傾斜しており、X方向成分及びY方向成分を有する。従って、磁化18がスピンの向きと直交しないY方向成分を有するため、当該構成でも外部磁場を印加せずに磁化回転を実現することができる。磁化18の磁化容易方向は、形状異方性を有さない場合でも、成膜時又はアニール時に磁場を印加することで自由に設定できる。この構成に伴う効果は、スピン軌道トルク型磁化回転素子に限られず、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子でも同様である。
Claims (10)
- X方向に延在するスピン軌道トルク配線層と、
前記スピン軌道トルク配線層に、積層された第1強磁性層と、
を備え、
前記第1強磁性層は形状異方性を有し、前記スピン軌道トルク配線層が延在する平面において前記X方向と直交するY方向に長軸を有し、
前記スピン軌道トルク配線層が延在する平面において、前記第1強磁性層の磁化容易軸は、前記X方向及び、前記X方向と直交するY方向に対して傾斜している、
スピン軌道トルク型磁化回転素子。 - 前記第1強磁性層が、HoCo合金、SmFe合金、FePt合金、CoPt合金又はCoCrPt合金である、請求項1に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子。
- 請求項1または2に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子と、
前記第1強磁性層の前記スピン軌道トルク配線層と反対側に配設され、磁化の向きが固定された第2強磁性層と、
前記第1強磁性層と前記第2強磁性層との間に配設された非磁性層と、
を備える、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子。 - 前記第1強磁性層と前記非磁性層との間に配設された第3強磁性層をさらに備える、請求項3に記載のスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子。
- 前記第1強磁性層が、前記第1強磁性層の前記非磁性層側の面に拡散防止層を備える、請求項3または4に記載のスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子。
- 前記拡散防止層が非磁性重金属を含む、請求項5に記載のスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子。
- 前記拡散防止層が、前記拡散防止層を構成する元素のイオン半径の2倍以下の厚さを有する、請求項5または6に記載のスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子。
- 請求項1または2に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子を製造する方法であって、 少なくとも前記第1強磁性層を、前記X方向を含む方向に磁場を印加した状態で成膜する、スピン軌道トルク型磁化回転素子の製造方法。
- 少なくとも前記第1強磁性層の成膜後、前記X方向を含む方向に磁場を印加した状態でアニールを行う段階を含む、請求項8に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子の製造方法。
- 請求項1または2に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子を製造する方法であって、 少なくとも前記第1強磁性層の成膜後、前記X方向を含む方向に磁場を印加した状態でアニールを行う、スピン軌道トルク型磁化回転素子の製造方法。
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