JP2019121614A - スピン軌道トルク型磁化回転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ - Google Patents
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Abstract
Description
すなわち、本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を提供する。
第1配線40はx方向に延在し、第2配線50はy方向に延在している。第1配線40と第2配線50とは、z方向の異なる高さに位置し、直接接続されていない。第1配線40と第2配線50との間に電流を流すことで、スピン軌道トルク配線20に電流が流れる。第1配線40及び第2配線50には、導電性の高い材料を用いることができる。例えば、銅、アルミニウム等を用いることができる。
スピン軌道トルク配線20は、x方向及びy方向のいずれとも平面視交差する第3の方向に延在する。第3の方向は、x方向およびy方向に対して斜め方向である。すなわち、第1の方向、第2の方向及び第3の方向は、xy平面に投影した際に、同一面内の異なる方向として描かれる。
第1強磁性層1は、スピン軌道トルク配線20の一面に積層されている。第1強磁性層1は、スピン軌道トルク配線20と直接接続されていてもよいし、下地層などの他の層を介し接続されていてもよい。
ビア配線30は、第1ビア配線31と第2ビア配線32との2つの配線からなる。第1ビア配線31は、第1配線40とスピン軌道トルク配線20の第1端部とを繋ぐ。第2ビア配線32は、第2配線50とスピン軌道トルク配線20の第2端部とを繋ぐ。第1ビア配線31と第2ビア配線32とは、平面視で第1強磁性層1を挟む位置にある。図1に示すビア配線30はスピン軌道トルク配線20から−z方向に延在しているが、第1配線40及び第2配線50の位置によってはスピン軌道トルク配線20から+z方向に延在してもよい。
例えば、実際の素子において配線や第1強磁性層の間は、層間絶縁膜で保護されている。層間絶縁膜には、半導体デバイス等で用いられているものと同様の材料を用いることができる。例えば、酸化シリコン(SiOx)、窒化シリコン(SiNx)、炭化シリコン(SiC)、窒化クロム(CrN)、炭窒化シリコン(SiCN)、酸窒化シリコン(SiON)、酸化アルミニウム(Al2O3)、酸化ジルコニウム(ZrOx)等が用いられる。
次いで、スピン軌道トルク型磁化回転素子100の原理について説明する。また本実施形態にかかるスピン軌道トルク型磁化回転素子100が外部磁場を印加することなく、容易に磁化反転が可能な理由について説明する。
<スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子>
図10は、第2実施形態に係るスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子の要部を拡大した斜視図である。スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子は、上述のスピン軌道トルク型磁化回転素子と第2強磁性層2と非磁性層3とを備える。第2強磁性層2は、第1強磁性層1のスピン軌道トルク配線20と反対側に位置する。非磁性層3は、第1強磁性層1と第2強磁性層2に挟まれる。第1強磁性層1、非磁性層3及び第2強磁性層2とで、磁気抵抗効果素子10をなす。スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子の平面図は、第1強磁性層1が磁気抵抗効果素子を10に置き換えること以外は同様である。上述のスピン軌道トルク型磁化回転素子100と同一の構成については同一の符号を付し、説明を省く。
例えば、非磁性層3が絶縁体からなる場合(トンネルバリア層である場合)、その材料としては、Al2O3、SiO2、MgO、Ga2O3及び、MgAl2O4等を用いることができる。またこれらの他にも、Al、Si、Mgの一部が、Zn、Be等に置換された材料等も用いることができる。さらに、MgAl2O4のMgがZnに置換された材料や、AlがGaやInに置換された材料等も用いることができる。これらの中でも、MgOやMgAl2O4は他の層との格子整合性が高い。
また、この層の厚みは、層を構成する物質のスピン拡散長以下であることが好ましい。層の厚みがスピン拡散長以下であれば、スピン軌道トルク配線20から伝播するスピンを第1強磁性層1に十分伝えることができる。
<磁気メモリ>
図11は、複数のスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子を備える磁気メモリ200の平面図である。図11に示す磁気メモリ200は、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子が3×3のマトリックス配置をしている。図11は、磁気メモリの一例であり、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子の数及び配置は任意である。
2 第2強磁性層
3 非磁性層
10 磁気抵抗効果素子
20、20’ スピン軌道トルク配線
30 ビア配線
31、31’ 第1ビア配線
32、32’ 第2ビア配線
40 第1配線
50 第2配線
100、101、102、103 スピン軌道トルク型磁化回転素子
200 磁気メモリ
I、I’ 書き込み電流
M1、M1’ 磁化
S1、S1’ 第1スピン
Claims (9)
- 第1の方向に延在する第1配線と、
前記第1の方向又は前記第1の方向と直交する第2の方向に延在する第2配線と、
前記第1配線及び前記第2配線と電気的に接続され、前記第1の方向及び前記第2の方向のいずれとも平面視交差する第3の方向に延在するスピン軌道トルク配線と、
前記スピン軌道トルク配線の一面に積層され、前記第1の方向又は前記第2の方向に磁化容易軸を有する第1強磁性層と、を備える、スピン軌道トルク型磁化回転素子。 - 前記第1強磁性層の平面視形状が角部に鋭角を有する平行四辺形である、請求項1に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子。
- 前記第1配線と前記スピン軌道トルク配線の第1端部とを繋ぐ第1ビア配線と、
前記第2配線と前記スピン軌道トルク配線の第2端部とを繋ぐ第2ビア配線と、を備え、
前記第1ビア配線及び前記第2ビア配線の幅が、前記スピン軌道トルク配線の幅より広い、請求項1又は2に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子。 - 前記第1強磁性層がHoCo2又はSmFe12である、請求項1〜3のいずれか一項に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子と、
前記第1強磁性層の前記スピン軌道トルク配線と反対側に位置する第2強磁性層と、
前記第1強磁性層と前記第2強磁性層との間に挟まれた非磁性層と、を備える、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子。 - 前記第1強磁性層は、元素拡散を防ぐ拡散防止層をさらに備える、請求項5に記載のスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子。
- 前記拡散防止層が、非磁性の重金属元素を含む、請求項6に記載のスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子。
- 前記拡散防止層の厚みは、前記拡散防止層を構成する元素の直径の2倍以上である、請求項6又は7に記載のスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子。
- 請求項5〜8のいずれか一項に記載のスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子を複数備える、磁気メモリ。
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---|---|---|---|---|
JP6686990B2 (ja) * | 2017-09-04 | 2020-04-22 | Tdk株式会社 | スピン軌道トルク型磁化反転素子及び磁気メモリ |
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JP7346967B2 (ja) * | 2019-07-19 | 2023-09-20 | Tdk株式会社 | 磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ |
CN112563409A (zh) * | 2019-09-10 | 2021-03-26 | 浙江驰拓科技有限公司 | 基于自旋轨道矩的磁性存储器及其制备方法 |
CN111682105B (zh) * | 2020-06-23 | 2023-04-07 | 浙江驰拓科技有限公司 | 一种磁存储器件及其写入方法、逻辑器件 |
US11793001B2 (en) | 2021-08-13 | 2023-10-17 | International Business Machines Corporation | Spin-orbit-torque magnetoresistive random-access memory |
US11915734B2 (en) | 2021-08-13 | 2024-02-27 | International Business Machines Corporation | Spin-orbit-torque magnetoresistive random-access memory with integrated diode |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3930241A (en) * | 1974-10-29 | 1975-12-30 | Ibm | Tailored anisotropy magnetic bubble domain material |
US6089081A (en) * | 1998-01-27 | 2000-07-18 | Siemens Canada Limited | Automotive evaporative leak detection system and method |
JP2005142508A (ja) * | 2003-11-10 | 2005-06-02 | Sony Corp | 磁気記憶素子及び磁気メモリ |
US20150213868A1 (en) * | 2014-01-28 | 2015-07-30 | Qualcomm Incorporated | Three-phase gshe-mtj non-volatile flip-flop |
WO2016021468A1 (ja) * | 2014-08-08 | 2016-02-11 | 国立大学法人東北大学 | 磁気抵抗効果素子、及び磁気メモリ装置 |
JP2016042527A (ja) * | 2014-08-18 | 2016-03-31 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 希土類異方性磁石材料およびその製造方法、希土類磁石前駆体材料およびその製造方法 |
JP2017059679A (ja) * | 2015-09-16 | 2017-03-23 | 株式会社東芝 | 磁気メモリ |
US9608039B1 (en) * | 2015-11-16 | 2017-03-28 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Magnetic junctions programmable using spin-orbit interaction torque in the absence of an external magnetic field |
JP2017139446A (ja) * | 2015-12-16 | 2017-08-10 | エイチジーエスティーネザーランドビーブイ | 改善された切り換え効率のためのスピン軌道トルクビット設計 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003324225A (ja) * | 2002-04-26 | 2003-11-14 | Nec Corp | 積層フェリ型磁性薄膜並びにそれを使用した磁気抵抗効果素子及び強磁性トンネル素子 |
JP4952725B2 (ja) * | 2009-01-14 | 2012-06-13 | ソニー株式会社 | 不揮発性磁気メモリ装置 |
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US9076537B2 (en) | 2012-08-26 | 2015-07-07 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method and system for providing a magnetic tunneling junction using spin-orbit interaction based switching and memories utilizing the magnetic tunneling junction |
JP6182993B2 (ja) * | 2013-06-17 | 2017-08-23 | ソニー株式会社 | 記憶素子、記憶装置、記憶素子の製造方法、磁気ヘッド |
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-
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-
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Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5151795A (en) * | 1974-10-29 | 1976-05-07 | Ibm | Amorufuasu baburu domeinhakumaku |
US3930241A (en) * | 1974-10-29 | 1975-12-30 | Ibm | Tailored anisotropy magnetic bubble domain material |
US6089081A (en) * | 1998-01-27 | 2000-07-18 | Siemens Canada Limited | Automotive evaporative leak detection system and method |
JP2005142508A (ja) * | 2003-11-10 | 2005-06-02 | Sony Corp | 磁気記憶素子及び磁気メモリ |
JP2017510016A (ja) * | 2014-01-28 | 2017-04-06 | クアルコム,インコーポレイテッド | 3フェーズgshe−mtj不揮発性フリップフロップ |
US20150213868A1 (en) * | 2014-01-28 | 2015-07-30 | Qualcomm Incorporated | Three-phase gshe-mtj non-volatile flip-flop |
WO2015116416A1 (en) * | 2014-01-28 | 2015-08-06 | Qualcomm Incorporated | Three-phase gshe-mtj non-volatile flip-flop |
WO2016021468A1 (ja) * | 2014-08-08 | 2016-02-11 | 国立大学法人東北大学 | 磁気抵抗効果素子、及び磁気メモリ装置 |
US20170222135A1 (en) * | 2014-08-08 | 2017-08-03 | Tohoku University | Magnetoresistance effect element and magnetic memory device |
JP2016042527A (ja) * | 2014-08-18 | 2016-03-31 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 希土類異方性磁石材料およびその製造方法、希土類磁石前駆体材料およびその製造方法 |
JP2017059679A (ja) * | 2015-09-16 | 2017-03-23 | 株式会社東芝 | 磁気メモリ |
US9608039B1 (en) * | 2015-11-16 | 2017-03-28 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Magnetic junctions programmable using spin-orbit interaction torque in the absence of an external magnetic field |
JP2017139446A (ja) * | 2015-12-16 | 2017-08-10 | エイチジーエスティーネザーランドビーブイ | 改善された切り換え効率のためのスピン軌道トルクビット設計 |
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