JP2019096805A - サーミスタ及びその製造方法並びにサーミスタセンサ - Google Patents
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Abstract
【課題】 絶縁性フィルム上に成膜してもクラックが生じ難く、高B定数が得られるサーミスタ及びその製造方法並びにサーミスタセンサを提供すること。【解決手段】 サーミスタが、一般式:AlxNy(但し、0.45≦y/(x+y)≦0.48、x+y=1)で示される非晶質の金属窒化物からなる。また、サーミスタセンサが、基材2と、基材上に上記サーミスタで形成された薄膜サーミスタ部1と、薄膜サーミスタ部の上及び下の少なくとも一方に形成された一対のパターン電極とを備えている。【選択図】図1
Description
本発明は、絶縁性フィルム上に成膜してもクラックが生じ難く、高B定数が得られるサーミスタ及びその製造方法並びにサーミスタセンサに関する。
温度センサ等に使用されるサーミスタ材料は、高精度、高感度のために、高いB定数が求められている。また、薄膜サーミスタ材料においては、結晶配向度に優れた、高い結晶性をもつ薄膜サーミスタ材料として、近年、非焼成で熱処理が不要であり、高B定数が得られる金属窒化物材料が開発されている。
例えば、本願発明者らは、Al−N系のサーミスタ用金属窒化物材料の研究開発を鋭意進め、非焼成で絶縁性基材に直接成膜できるサーミスタ用金属窒化物材料として、一般式:TixAlyNz(0.70≦y/(x+y)≦0.95、0.4≦z≦0.5、x+y+z=1)で示される金属窒化物からなり、その結晶構造が、六方晶系のウルツ鉱型の単相であるサーミスタ用金属窒化物材料を開発している(特許文献1)。その他にも、非焼成で形成でき、Ti,V,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Si及びAlの少なくとも1種の窒化物材料であり、上記結晶構造を有するものであって高B定数が得られる材料を開発している(特許文献2〜7)。
上記従来の技術には、以下の課題が残されている。
すなわち、上記の高い結晶性をもつ金属窒化物材料からなるサーミスタ膜をポリイミド等の絶縁性フィルム上に成膜した場合、圧縮応力が大きくなる条件で成膜した場合、クラックが発生しやすいという問題があった。
すなわち、上記の高い結晶性をもつ金属窒化物材料からなるサーミスタ膜をポリイミド等の絶縁性フィルム上に成膜した場合、圧縮応力が大きくなる条件で成膜した場合、クラックが発生しやすいという問題があった。
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、絶縁性フィルム上に成膜してもクラックが生じ難く、高B定数が得られるサーミスタ及びその製造方法並びにサーミスタセンサを提供することを目的とする。
本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、第1の発明に係るサーミスタは、一般式:AlxNy(但し、0.45≦y/(x+y)≦0.48、x+y=1)で示される非晶質の金属窒化物からなることを特徴とする。
このサーミスタでは、一般式:AlxNy(但し、0.45≦y/(x+y)≦0.48、x+y=1)で示される非晶質の金属窒化物からなるので、クラックが発生し難く、高B定数を有したサーミスタ特性を有している。
なお、上記「y/(x+y)」(すなわち、N/(Al+N))が0.45未満であると、Alが窒化不足となってしまうため、比抵抗が小さくなり過ぎて金属的振る舞いが生じ、サーミスタ特性が得られない。
また、上記「y/(x+y)」が0.48を超えると、高い結晶性をもつウルツ鉱型結晶構造になり、絶縁性が高くなり過ぎてしまうため、サーミスタとしての使用が困難である。
なお、上記「y/(x+y)」(すなわち、N/(Al+N))が0.45未満であると、Alが窒化不足となってしまうため、比抵抗が小さくなり過ぎて金属的振る舞いが生じ、サーミスタ特性が得られない。
また、上記「y/(x+y)」が0.48を超えると、高い結晶性をもつウルツ鉱型結晶構造になり、絶縁性が高くなり過ぎてしまうため、サーミスタとしての使用が困難である。
第2の発明に係るサーミスタセンサは、基材と、前記基材上に第1の発明のサーミスタで形成された薄膜サーミスタ部と、前記薄膜サーミスタ部の上及び下の少なくとも一方に形成された一対のパターン電極とを備えていることを特徴とする。
すなわち、このサーミスタセンサでは、第1の発明のサーミスタで薄膜サーミスタ部が形成されているので、薄膜サーミスタ部にクラック発生が生じ難く、さらに高いB定数が得られるので、良好なサーミスタ特性を有したサーミスタセンサが得られる。
すなわち、このサーミスタセンサでは、第1の発明のサーミスタで薄膜サーミスタ部が形成されているので、薄膜サーミスタ部にクラック発生が生じ難く、さらに高いB定数が得られるので、良好なサーミスタ特性を有したサーミスタセンサが得られる。
第3の発明に係るサーミスタセンサは、第2の発明のサーミスタセンサにおいて、前記基材が、絶縁性フィルムであることを特徴とする。
すなわち、このサーミスタセンサでは、ポリイミド等の絶縁性フィルム上に形成された薄膜サーミスタ部に大きな圧縮応力が加わっても、クラックの発生が抑制され、良好なサーミスタ特性が得られる。
すなわち、このサーミスタセンサでは、ポリイミド等の絶縁性フィルム上に形成された薄膜サーミスタ部に大きな圧縮応力が加わっても、クラックの発生が抑制され、良好なサーミスタ特性が得られる。
第4の発明に係るサーミスタの製造方法は、第1の発明のサーミスタを製造する方法であって、Alスパッタリングターゲットを用いて窒素含有雰囲気中で反応性スパッタを行って成膜する成膜工程を有していることを特徴とする。
すなわち、このサーミスタの製造方法では、Alスパッタリングターゲットを用いて窒素含有雰囲気中で反応性スパッタを行って成膜する成膜工程を有しているので、スパッタ中の窒素含有量の調整によって、AlxNy膜の窒化量を調整することができ、安定して非晶質AlxNyのサーミスタを作製することができる。
すなわち、このサーミスタの製造方法では、Alスパッタリングターゲットを用いて窒素含有雰囲気中で反応性スパッタを行って成膜する成膜工程を有しているので、スパッタ中の窒素含有量の調整によって、AlxNy膜の窒化量を調整することができ、安定して非晶質AlxNyのサーミスタを作製することができる。
本発明によれば、以下の効果を奏する。
すなわち、本発明に係るサーミスタによれば、一般式:AlxNy(但し、0.45≦y/(x+y)≦0.48、x+y=1)で示される非晶質の金属窒化物からなるので、クラックが発生し難く、高B定数を有したサーミスタ特性を有している。
また、本発明に係るサーミスタの製造方法によれば、Alスパッタリングターゲットを用いて窒素含有雰囲気中で反応性スパッタを行って成膜する成膜工程を有しているので、スパッタ中の窒素含有量の調整によって、AlxNy膜の窒化量を調整することができ、安定して非晶質AlxNyのサーミスタを作製することができる。
さらに、本発明に係るサーミスタセンサによれば、上記本発明のサーミスタで薄膜サーミスタ部が形成されているので、クラック発生が生じ難く、さらに高B定数が得られることから、良好なサーミスタ特性を有したサーミスタセンサが得られる。
すなわち、本発明に係るサーミスタによれば、一般式:AlxNy(但し、0.45≦y/(x+y)≦0.48、x+y=1)で示される非晶質の金属窒化物からなるので、クラックが発生し難く、高B定数を有したサーミスタ特性を有している。
また、本発明に係るサーミスタの製造方法によれば、Alスパッタリングターゲットを用いて窒素含有雰囲気中で反応性スパッタを行って成膜する成膜工程を有しているので、スパッタ中の窒素含有量の調整によって、AlxNy膜の窒化量を調整することができ、安定して非晶質AlxNyのサーミスタを作製することができる。
さらに、本発明に係るサーミスタセンサによれば、上記本発明のサーミスタで薄膜サーミスタ部が形成されているので、クラック発生が生じ難く、さらに高B定数が得られることから、良好なサーミスタ特性を有したサーミスタセンサが得られる。
以下、本発明に係るサーミスタ及びその製造方法並びにサーミスタセンサにおける一実施形態を、図1及び図2を参照しながら説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部を認識可能又は認識容易な大きさとするために必要に応じて縮尺を適宜変更している。
本実施形態のサーミスタは、一般式:AlxNy(但し、0.45≦y/(x+y)≦0.48、x+y=1)で示される非晶質の金属窒化物からなるサーミスタ材料である。
なお、非晶質の判断は、X線回折実験により実施した。なお、ポリイミドのような樹脂基板は、X線の吸収が大きく、非晶質の判断が難しいため、熱酸化(SiO2)膜付きSi基板にAlxNy膜を成膜し、結晶性を判断した。具体的には、視斜角入射X線回折(Grazing Incidence X-ray Diffraction)を実施し、管球をCuとし、入射角を1度とした。また、入射角を0度とし、2θ=20〜100度の範囲で対称測定(一般的なθ−2θ測定)を実施した。この際に、a軸配向(100)やc軸配向(002)等の結晶性のピークが無いことによって非晶質であることを判断している。
なお、非晶質の判断は、X線回折実験により実施した。なお、ポリイミドのような樹脂基板は、X線の吸収が大きく、非晶質の判断が難しいため、熱酸化(SiO2)膜付きSi基板にAlxNy膜を成膜し、結晶性を判断した。具体的には、視斜角入射X線回折(Grazing Incidence X-ray Diffraction)を実施し、管球をCuとし、入射角を1度とした。また、入射角を0度とし、2θ=20〜100度の範囲で対称測定(一般的なθ−2θ測定)を実施した。この際に、a軸配向(100)やc軸配向(002)等の結晶性のピークが無いことによって非晶質であることを判断している。
また、本実施形態のサーミスタには、サーミスタ特性を大きく変えない範囲内において、酸素が含まれていてもよい。本実施形態のサーミスタを後述するスパッタリングにより成膜した際には、膜中に不可避不純物として含まれる酸素(組成比O/(Al+N+O))は、いずれも2%未満である。
また、本実施形態のサーミスタの表面が酸化した場合でも、酸化層の厚みが電気的に影響の少ない膜厚(例えば、数nm以下)であれば表面に酸化層が存在してもよい。
また、本実施形態のサーミスタの表面が酸化した場合でも、酸化層の厚みが電気的に影響の少ない膜厚(例えば、数nm以下)であれば表面に酸化層が存在してもよい。
また、本実施形態のサーミスタセンサ10は、図1及び図2に示すように、基材2と、基材2上に上記サーミスタで形成された薄膜サーミスタ部1と、薄膜サーミスタ部1の上及び下の少なくとも一方に形成された一対のパターン電極5とを備えている。
上記基材2は、ポリイミド等の絶縁性フィルムが採用される。
なお、上記絶縁性フィルムとしては、他にPET:ポリエチレンテレフタレート,PEN:ポリエチレンナフタレート等でも作製できるが、柔軟性と耐熱性とが要求される。例えば定着ローラの温度測定用としては、最高使用温度が200℃程度と高いため、耐熱性に優れたポリイミドフィルムが望ましい。
上記一対のパターン電極5は、例えばCr膜とAu膜との積層金属膜でパターン形成され、薄膜サーミスタ部1上で互いに対向状態とされていると共に、複数の櫛部5aを有した櫛形パターンとされている。
なお、上記絶縁性フィルムとしては、他にPET:ポリエチレンテレフタレート,PEN:ポリエチレンナフタレート等でも作製できるが、柔軟性と耐熱性とが要求される。例えば定着ローラの温度測定用としては、最高使用温度が200℃程度と高いため、耐熱性に優れたポリイミドフィルムが望ましい。
上記一対のパターン電極5は、例えばCr膜とAu膜との積層金属膜でパターン形成され、薄膜サーミスタ部1上で互いに対向状態とされていると共に、複数の櫛部5aを有した櫛形パターンとされている。
上記サーミスタの製造方法及びこれを用いたサーミスタセンサの製造方法について、以下に説明する。
本実施形態のサーミスタを製造する方法は、Alスパッタリングターゲットを用いて窒素含有雰囲気中で反応性スパッタを行って成膜する成膜工程を有している。
非晶質Al−N膜をスパッタリングにより形成する場合は、例えば、Alスパッタリングターゲットを用い、スパッタ条件は、到達真空度4×10−5Pa、スパッタガス圧0.2Pa、ターゲット投入電力(出力)200Wで、Arガス+窒素ガスの混合ガス雰囲気下において窒素ガス分率を例えば18〜20%とする。
非晶質Al−N膜をスパッタリングにより形成する場合は、例えば、Alスパッタリングターゲットを用い、スパッタ条件は、到達真空度4×10−5Pa、スパッタガス圧0.2Pa、ターゲット投入電力(出力)200Wで、Arガス+窒素ガスの混合ガス雰囲気下において窒素ガス分率を例えば18〜20%とする。
また、本実施形態のサーミスタセンサ10を製造する場合、まず基材2上に上記サーミスタの製法の成膜工程によって薄膜サーミスタ部1を成膜する。
次に、スパッタ法にて、例えばCr膜を20nm形成し、さらにAu膜を200nm形成する。さらに、その上にレジスト液をバーコーターで塗布した後、110℃で1分30秒のプリベークを行い、露光装置で感光後、現像液で不要部分を除去し、150℃で5分のポストベークにてパターニングを行う。その後、不要な電極部分を市販のAuエッチャント及びCrエッチャントによりウェットエッチングを行い、図2に示すように、レジスト剥離にて所望の櫛部5aを有したパターン電極5を形成する。このようにして本実施形態のサーミスタセンサ10が作製される。
次に、スパッタ法にて、例えばCr膜を20nm形成し、さらにAu膜を200nm形成する。さらに、その上にレジスト液をバーコーターで塗布した後、110℃で1分30秒のプリベークを行い、露光装置で感光後、現像液で不要部分を除去し、150℃で5分のポストベークにてパターニングを行う。その後、不要な電極部分を市販のAuエッチャント及びCrエッチャントによりウェットエッチングを行い、図2に示すように、レジスト剥離にて所望の櫛部5aを有したパターン電極5を形成する。このようにして本実施形態のサーミスタセンサ10が作製される。
このように本実施形態のサーミスタでは、一般式:AlxNy(但し、0.45≦y/(x+y)≦0.48、x+y=1)で示される非晶質の金属窒化物からなるので、クラックが発生し難く、高B定数を有したサーミスタ特性を有している。
また、本実施形態のサーミスタセンサ10では、上記サーミスタで薄膜サーミスタ部1が形成されているので、薄膜サーミスタ部1にクラック発生が生じ難く、高いB定数も得られるので、良好なサーミスタ特性を有したサーミスタセンサが得られる。特に、ポリイミド等の絶縁性フィルム上に形成された薄膜サーミスタ部1に大きな圧縮応力が加わっても、クラックの発生が抑制され、良好なサーミスタ特性が得られる。
さらに、本実施形態のサーミスタの製造方法では、Alスパッタリングターゲットを用いて窒素含有雰囲気中で反応性スパッタを行って成膜する成膜工程を有しているので、スパッタ中の窒素含有量の調整によって、AlxNy膜の窒化量を調整することができ、安定して非晶質AlxNyのサーミスタを作製することができる。
次に、本発明に係るサーミスタ及びその製造方法並びにサーミスタセンサについて、上記実施形態に基づいて作製した実施例により評価した結果を、図3から図6を参照して具体的に説明する。
<膜評価用素子の作製>
本発明の実施例及び比較例として、熱酸化膜(SiO2)付きSi基板の基材22を用いて、図2に示すサーミスタセンサを膜評価用素子として次のように作製した。
まず、反応性スパッタ法にて、Alターゲットを用いて、熱酸化膜(SiO2)付きSi基板の基材22上に非晶質Al−Nの薄膜サーミスタ部1を形成した。このような薄膜サーミスタ部1を成膜した実施例を、組成比を変えて複数作製した。そのときの非晶質Al−Nのスパッタ条件は、表1に示す。
なお、比較例として、反応性スパッタ法にて、Alターゲットを用いて、熱酸化膜(SiO2)付きSi基板の基材22上に本発明の組成範囲外のAl金属結晶(比較例1),非晶質Al−N(比較例1,2)及びウルツ鉱型結晶構造をもつ結晶性Al−N(比較例4)を、薄膜サーミスタ部1に該当する部分へ形成した。そのときのスパッタ条件も、表1に示す。
本発明の実施例及び比較例として、熱酸化膜(SiO2)付きSi基板の基材22を用いて、図2に示すサーミスタセンサを膜評価用素子として次のように作製した。
まず、反応性スパッタ法にて、Alターゲットを用いて、熱酸化膜(SiO2)付きSi基板の基材22上に非晶質Al−Nの薄膜サーミスタ部1を形成した。このような薄膜サーミスタ部1を成膜した実施例を、組成比を変えて複数作製した。そのときの非晶質Al−Nのスパッタ条件は、表1に示す。
なお、比較例として、反応性スパッタ法にて、Alターゲットを用いて、熱酸化膜(SiO2)付きSi基板の基材22上に本発明の組成範囲外のAl金属結晶(比較例1),非晶質Al−N(比較例1,2)及びウルツ鉱型結晶構造をもつ結晶性Al−N(比較例4)を、薄膜サーミスタ部1に該当する部分へ形成した。そのときのスパッタ条件も、表1に示す。
次に、上記薄膜サーミスタ部1の上に、上述した条件でパターン電極5を形成した。そして、これをチップ状にダイシングして、本発明の実施例の膜評価用素子とした。実施例における非晶質Al−Nの薄膜サーミスタ部1の膜厚は、200nmであり、比較例における非晶質Al−N膜又は結晶性Al−N膜の膜厚は、200nmである。
<組成分析>
反応性スパッタ法にて得られた各Al−N膜について、X線光電子分光法(XPS)にて元素分析を行った。このXPSでは、Arスパッタにより、最表面から深さ20nmのスパッタ面において、定量分析を実施した。その結果を表1に示す。
なお、上記X線光電子分光法(XPS)は、X線源をMgKα(350W)とし、パスエネルギー:58.5eV、測定間隔:0.125eV、試料面に対する光電子取り出し角:45deg、分析エリアを約800μmφの条件下で定量分析を実施した。
この結果、本発明の実施例1〜5の非晶質Al−N膜は、本発明の組成範囲内であることを確認した。
反応性スパッタ法にて得られた各Al−N膜について、X線光電子分光法(XPS)にて元素分析を行った。このXPSでは、Arスパッタにより、最表面から深さ20nmのスパッタ面において、定量分析を実施した。その結果を表1に示す。
なお、上記X線光電子分光法(XPS)は、X線源をMgKα(350W)とし、パスエネルギー:58.5eV、測定間隔:0.125eV、試料面に対する光電子取り出し角:45deg、分析エリアを約800μmφの条件下で定量分析を実施した。
この結果、本発明の実施例1〜5の非晶質Al−N膜は、本発明の組成範囲内であることを確認した。
<比抵抗測定>
反応性スパッタ法にて得られた各Al−N膜について、4端子法(van der pauw法)にて25℃での比抵抗を測定した。その結果を表1に示す。
この結果、本発明の実施例は、いずれも高い比抵抗であるが、Al金属結晶の比較例1と、組成比N(Al+N)が小さい比較例2,3とは、いずれも低い比抵抗であった。また、比較例4は、組成比N(Al+N)が大き過ぎ、高い結晶性をもつウルツ鉱型結晶構造であるために絶縁性が高くなり過ぎ、非常に高い比抵抗となった。
反応性スパッタ法にて得られた各Al−N膜について、4端子法(van der pauw法)にて25℃での比抵抗を測定した。その結果を表1に示す。
この結果、本発明の実施例は、いずれも高い比抵抗であるが、Al金属結晶の比較例1と、組成比N(Al+N)が小さい比較例2,3とは、いずれも低い比抵抗であった。また、比較例4は、組成比N(Al+N)が大き過ぎ、高い結晶性をもつウルツ鉱型結晶構造であるために絶縁性が高くなり過ぎ、非常に高い比抵抗となった。
<B定数測定>
各膜評価用素子の25℃及び50℃の抵抗値を恒温槽内で測定し、25℃と50℃との抵抗値よりB定数を算出した。その結果を表1に示す。
この結果、本発明の実施例は、いずれも25℃と50℃との抵抗値より負の温度特性をもつサーミスタであることを確認している。これらの比較例及び実施例の結果について、25℃の比抵抗値に対するB定数を示すグラフを図3に示すと共に、組成比N/(Al+N)に対するB定数を示すグラフを図4に示す。
各膜評価用素子の25℃及び50℃の抵抗値を恒温槽内で測定し、25℃と50℃との抵抗値よりB定数を算出した。その結果を表1に示す。
この結果、本発明の実施例は、いずれも25℃と50℃との抵抗値より負の温度特性をもつサーミスタであることを確認している。これらの比較例及び実施例の結果について、25℃の比抵抗値に対するB定数を示すグラフを図3に示すと共に、組成比N/(Al+N)に対するB定数を示すグラフを図4に示す。
なお、本発明におけるB定数算出方法は、上述したように25℃と50℃とのそれぞれの抵抗値から以下の式によって求めている。
B定数(K)=ln(R25/R50)/(1/T25−1/T50)
R25(Ω):25℃における抵抗値
R50(Ω):50℃における抵抗値
T25(K):298.15K 25℃を絶対温度表示
T50(K):323.15K 50℃を絶対温度表示
B定数(K)=ln(R25/R50)/(1/T25−1/T50)
R25(Ω):25℃における抵抗値
R50(Ω):50℃における抵抗値
T25(K):298.15K 25℃を絶対温度表示
T50(K):323.15K 50℃を絶対温度表示
これらの結果からわかるように、本発明の実施例では、いずれも高い比抵抗値及びB定数が得られている。これらに対し、本発明の組成範囲外である非晶質Al−Nの比較例2,3は、窒化量が小さく、いずれも低い比抵抗値及びB定数であった。なお、比較例1は、Al金属結晶であるため、サーミスタ特性が得られていない。また、比較例4は、窒化量が大きく、絶縁性が高くなり過ぎて、比抵抗値が大きくなりすぎて、B定数の測定ができていない。
<X線回折による非晶質性の評価>
次に、本発明の実施例は非晶質の膜であり、結晶化膜でないことを、視斜角入射X線回折(Grazing Incidence X-ray Diffraction)を用いて確認した。
なお、視斜角入射X線回折の条件は、管球をCuとし、入射角を1度とした。
この結果、本発明の各実施例は、結晶性を示すピークは検出されておらず、非晶質であることがわかった。
次に、本発明の実施例は非晶質の膜であり、結晶化膜でないことを、視斜角入射X線回折(Grazing Incidence X-ray Diffraction)を用いて確認した。
なお、視斜角入射X線回折の条件は、管球をCuとし、入射角を1度とした。
この結果、本発明の各実施例は、結晶性を示すピークは検出されておらず、非晶質であることがわかった。
ウルツ鉱型結晶の比較例4と、非晶質の実施例3とのXRDプロファイルの一例を、図5及び図6に示す。これらの結果からわかるように、比較例4は、六方晶系のウルツ鉱型結晶構造を示す結晶化膜であることを示す複数のピークが検出されているのに対し、本発明の実施例4は、結晶化膜を示すピークが検出されていない。
なお、グラフ中(*)は装置由来および熱酸化膜付きSi基板由来のピークであり、サンプル本体のピーク、もしくは、不純物相のピークではないことを確認している。また、入射角を0度として、対称測定(一般的なθ−2θ測定)を実施し、そのピークが消失していることを確認し、装置由来および熱酸化膜付きSi基板由来のピークであることを確認した。
なお、グラフ中(*)は装置由来および熱酸化膜付きSi基板由来のピークであり、サンプル本体のピーク、もしくは、不純物相のピークではないことを確認している。また、入射角を0度として、対称測定(一般的なθ−2θ測定)を実施し、そのピークが消失していることを確認し、装置由来および熱酸化膜付きSi基板由来のピークであることを確認した。
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態及び実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記実施形態では、薄膜サーミスタ部の上に一対の対向電極を形成しているが、薄膜サーミスタ部の下、すなわち絶縁性フィルムの一方の面上に一対の対向電極を形成し、その上に薄膜サーミスタ部を形成しても構わない。
例えば、上記実施形態では、薄膜サーミスタ部の上に一対の対向電極を形成しているが、薄膜サーミスタ部の下、すなわち絶縁性フィルムの一方の面上に一対の対向電極を形成し、その上に薄膜サーミスタ部を形成しても構わない。
1…薄膜サーミスタ部、2,22…基材、5…パターン電極、10…サーミスタセンサ
Claims (4)
- 一般式:AlxNy(但し、0.45≦y/(x+y)≦0.48、x+y=1)で示される非晶質の金属窒化物からなることを特徴とするサーミスタ。
- 基材と、
前記基材上に請求項1に記載のサーミスタで形成された薄膜サーミスタ部と、
前記薄膜サーミスタ部の上及び下の少なくとも一方に形成された一対のパターン電極とを備えていることを特徴とするサーミスタセンサ。 - 請求項2に記載のサーミスタセンサにおいて、
前記基材が、絶縁性フィルムであることを特徴とするサーミスタセンサ。 - 請求項1に記載のサーミスタを製造する方法であって、
Alスパッタリングターゲットを用いて窒素含有雰囲気中で反応性スパッタを行って成膜する成膜工程を有していることを特徴とするサーミスタの製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2021261006A1 (ja) | 2020-06-26 | 2021-12-30 | 株式会社村田製作所 | サーミスタ |
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2017
- 2017-11-27 JP JP2017226594A patent/JP2019096805A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2021261006A1 (ja) | 2020-06-26 | 2021-12-30 | 株式会社村田製作所 | サーミスタ |
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