JP2019095152A - クリーンブース - Google Patents

Abstract

【課題】建造物内に設置した作業ブースの内部への外部空気の流入を防ぐことができるクリーンブースを提供する。【解決手段】クリーンブース１０Ａでは、外部空気給気口から作業ブース１２に給気される清浄空気（外部空気）によって外部空気給気口から第１出入口１３に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流が作業ブース１２の内部に発生するように、ファンフィルターユニットの給気風量が調節され、第１出入口１３から第２出入口１４に向かって緩衝スペース１５を通流する空気が第１出入口１３から作業ブース１２の内部に逆流することなく、作業ブース１２の内部の空気が第１出入口１３から緩衝スペース１５に流出する。【選択図】図１

Description

本発明は、建造物の内部の所定の箇所に施設されるクリーンブースに関する。

少なくともフレーム材で骨組みされる枠体と、枠体の周囲全体を被覆する被覆材とを備え、被覆材が気密性のある軟質シートから作られた天井部被覆材と周囲側面部被覆材とから形成され、天井部被覆材が枠体の天井部全体を被覆する天蓋部と天蓋部の周囲から下方に垂下して周囲側面部の上部側を被覆する垂下部から形成され、天井部被覆材と周囲側面部被覆材とがメカニカルファスナによって接続自在に連結されるクリーンブースが開示されている（特許文献１参照）。

また、安全キャビネット本体および排気還流ユニットから形成され、排気を利用する循環利用型の安全キャビネットが開示されている（特許文献２参照）。安全キャビネット本体は、キャビネット送風機の吐出プレナムの下部に位置する給気用ＨＥＰＡフィルタを利用してその内部の作業空間へ清浄給気を供給し、作業空間の空気を再びキャビネット送風機によって吸引・循環させ、作業空間から循環した空気の一部を吐出プレナムの上部に位置する排気用ＨＥＰＡフィルタを介して外部に排出することで、作業空間を負圧に維持し、前面のシャッター開口部から外部導入給気を取り入れてバリア空気とする。排気還流ユニットは、安全キャビネット本体の直上に配置され、安全キャビネット本体から排気用ＨＥＰＡフィルタを介して排出された空気を取り込む排気取込口を下面後部に備え、排気取込口から取り込まれた空気を安全キャビネット本体の前面のシャッターに沿って下方に吹き出す排気吹出口を下面前部に備えている。この安全キャビネットは、安全キャビネット本体の前面のシャッターに沿って下降する空気がシャッターの下端の開口部から負圧に維持された作業空間内に吸引されることによって、作業空間の空気が開口部から漏出するのを防止するバリア空気の全部または一部として循環利用される。

特開２００４−３６０２６９号公報 特開２０１５−１６６６４６号公報

前記特許文献１に開示のクリーンブースは、作業者がその内部への入室時やその内部からの退室時にメカニカルファスナを操作して天井部被覆材と周囲側面部被覆材との連結を手作業で解除するとともに、天井部被覆材と周囲側面部被覆材とを連結しなければならず、入退室が煩雑になって入退室に手間を要するのみならず、入退室時に天井部被覆材や周囲側面部被覆材に体が接触することにより、塵埃や雑菌等の不純物がそれら被覆材や作業者の更衣に付着するリスクがある。

前記特許文献２に開示の安全キャビネットの排気還流ユニットには、排気還流ユニットを安全キャビネット本体の天井板上に配置して支持する４本の支持脚と、左側前後の支持脚間および右側前後の支持脚間に両支持脚に沿った間仕切りとが設置されている（特許文献１の図５参照）。排気還流ユニットでは、その排気吹出口から吹き出される空気がクリーンルーム内に漏れ出すのを両間仕切りによって防いでいる。この安全キャビネットでは、安全キャビネット本体の作業空間に安全キャビネット本体の前面から吸引・導入されるバリア空気の量が排気用ＨＥＰＡフィルタを通過する風量であり、その風量が排気吹出口から安全キャビネット本体の前面を下降する気流となって、着座作業エリアに給気される。

排気還流ユニット（安全キャビネット本体）を施設したクリーンルーム内に空調装置（エアー・コンディショナー）が設置され、クリーンルームの壁に出入用のドア（扉）が設置される。作業者はハンズフリーで安全キャビネットにアクセスすることができる反面、その空調装置が稼働し、または、ドアが開閉されることで、クリーンルーム内の気流が乱れ（外乱）、気流の乱れが排気還流ユニットの開口域（出入口）に作用した場合、クリーンルーム内の空気が排気還流ユニットの開口域から排気還流ユニットの内部に流入（逆流）する。クリーンルーム内の空気が排気還流ユニットの内部に流入すると、クリーンルーム内の空気が排気還流ユニットの内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こし、排気還流ユニットの内部（安全キャビネット本体）の清浄状態を保持することができない場合がある。

本発明の目的は、作業ブースの内部に手間を要せず手を触れずに容易に入ることができるとともに、作業ブースの内部から手間を要せず手を触れずに容易に出ることができ、作業ブースの内部への入退出時における作業者への塵埃や雑菌の付着を防ぐことができるクリーンブースを提供することにある。本発明の他の目的は、建造物内の空気の作業ブースの内部への流入を防ぐことができるクリーンブースを提供することにある。本発明の他の目的は、所定の要因によって建造物内に気流の乱れ（外乱）が発生し、建造物内に発生した気流の乱れが作用したとしても、建造物内の空気が作業ブース内の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース内の清浄状態を保持することができるクリーンブースを提供することにある。

前記課題を解決するための本発明の前提は、建造物の所定の箇所に施設されるクリーンブースである。

前記前提における本発明の特徴としては、クリーンブースが、各種の実験設備を収容可能であって所定の作業スペースを有する所定容積の作業ブースと、作業ブースに出入するために施設されて作業ブース内の空気が流出する第１出入口と、作業ブースに外部空気を給気する外部空気給気口を備え、外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流を発生させる給気手段と、第１出入口につながって作業ブースから流出した空気が流入する所定容積の緩衝スペースと、緩衝スペースに出入するために施設されて緩衝スペース内の空気が流出する第２出入口とを有し、クリーンブースでは、外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブース内に発生するように、給気手段の給気風量が調節され、第１出入口から第２出入口に向かって緩衝スペースを通流する空気が第１出入口から作業ブース内に逆流することなく、作業ブース内の空気が第１出入口から緩衝スペースに流出することにある。

本発明の一例としては、緩衝スペースが第１出入口と第２出入口との間において第１出入口から空気の流出方向へ延びている。

本発明の他の一例としては、緩衝スペースが第１出入口と第２出入口との間において第１出入口から空気の流出方向へ延びているとともに、空気の流出方向と交差する方向へ延びている。

本発明の他の一例としては、第２出入口が第１出入口に対向し、緩衝スペースを挟んで第１出入口に対して一列に並んだ状態で施設されている。

本発明の他の一例としては、第２出入口が第１出入口に対向せず、緩衝スペースを挟んで第１出入口に対して所定の角度傾斜した位置に施設されている。

本発明の他の一例としては、第２出入口が第１出入口に対向せず、緩衝スペースの介在下に第１出入口に対して略直交した位置に施設されている。

本発明の他の一例として、クリーンブースでは、クリーンブースの外側における建造物内の気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用した場合、第２出入口に作用する外乱による影響が緩衝スペースによって緩和され、作業ブース内の空気が第１出入口から緩衝スペースに流出する。

本発明の他の一例としては、建造物が、クリーンブースの外側に設置されて空調設備によって生成された空調空気を建造物内に給気する空調空気給気口を備え、クリーンブースでは、空調空気給気口から給気された空調空気による気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用した場合、第２出入口に作用する外乱による影響が緩衝スペースによって緩和され、作業ブース内の空気が第１出入口から前記緩衝スペースに流出する。

本発明の他の一例としては、クリーンブースが、建造物内に着脱可能に施設される天井パネルと、建造物の床と天井パネルとの間に着脱可能に施設されて作業ブースを囲繞する第１壁パネルと、建造物の床と天井パネルとの間に着脱可能に施設され、第１壁パネルに連結されて緩衝スペースを囲繞する第２壁パネルとを含み、第１出入口が第１壁パネルの間に開口し、第２出入口が第２壁パネルの間に開口している。

本発明の他の一例としては、給気手段が天井パネルに設置されたファンフィルターユニットであり、クリーンブースでは、外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブース内に発生するように、ファンフィルターユニットの給気風量が調節される。

本発明の他の一例としては、実験設備が安全キャビネット、クリーンベンチ、グローブボックス、アイソレータ、ドラフトチャンバのうちの少なくとも１つであり、クリーンブースでは、外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブース内に発生するように、稼働した安全キャビネット、クリーンベンチ、グローブボックス、アイソレータ、ドラフトチャンバの排気風量に対応させてファンフィルターユニットの給気風量が調節される。

本発明の他の一例としては、クリーンブースが、イオン化空気を生成しつつ生成したイオン化空気を作業ブースと緩衝スペースとのうちの少なくとも一方に給気する除電用空気発生装置を含み、除電用空気発生装置によって給気されるイオン化空気のイオン化空気給気口が、安全キャビネット、クリーンベンチ、グローブボックス、アイソレータ、ドラフトチャンバで作業する作業者の直上に位置する天井パネルと、第１出入口から第２出入口に向かって緩衝スペースを一方向へ通流する空気の気流を逆流させることがない緩衝スペースの天井パネルとのうちの少なくとも一方に設置されている。

本発明の他の一例として、クリーンブースでは、外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブース内に発生するように、実験設備の排気風量と除電用空気発生装置から給気されたイオン化空気の給気風量とに対応させてファンフィルターユニットの給気風量が調節される。

本発明に係るクリーンブースによれば、それに第１出入口や第２出入口が作られ、それら出入口が扉やカーテンによって遮蔽されることはないから、第２出入口を通って緩衝スペースに手を触れずに容易に入ることや緩衝スペースから手を触れずに容易に出ることができるとともに、第１出入口を通って作業ブースに手を触れずに容易に入ることや作業ブースから手を触れずに容易に出ることができ、緩衝スペースや作業ブースへ手間を要せず手を触れずに容易に入退出することができる。クリーンブースは、それに対する入退出時にクリーンブースに作業者が接触することはなく、緩衝スペースや作業ブースの内部への入退出時において緩衝スペースや作業ブースへの塵埃や雑菌の付着を防ぐことができ、クリーンブースの清潔状態を保持することができるとともに、緩衝スペースや作業ブースの内部への入退出時において作業者への塵埃や雑菌の付着を防ぐことができる。クリーンブースは、各種の実験設備を収容可能であって所定の作業スペースを有する所定容積の作業ブースと、作業ブースに出入するために施設されて作業ブース内の空気が流出する第１出入口と、作業ブースに外部空気を給気する外部空気給気口を備え、外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流を発生させる給気手段と、第１出入口につながって作業ブースから流出した空気が流入する所定容積の緩衝スペースと、緩衝スペースに出入するために施設されて緩衝スペース内の空気が流出する第２出入口とを有し、外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブース内に発生するように、給気手段の給気風量が調節され、第１出入口から第２出入口に向かって緩衝スペースを通流する空気が第１出入口から作業ブース内に逆流することなく、作業ブース内の空気が第１出入口から緩衝スペースに流出するから、作業ブース内の空気が第１出入口から緩衝スペースに流出するとともに緩衝スペースを通流して第２出入口から流出する空気の流れ（気流）を作ることができ、第１出入口から作業ブース内への空気の逆流を防ぐことができるとともに、建造物内の空気の作業ブース内への逆流を防ぐことができる。クリーンブースは、それを施設した建造物内の気流が所定の要因によって乱れ、建造物内の気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用したとしても、その外乱による影響が緩衝スペースの空気層によって緩和・消滅し、作業ブース内の空気の第１出入口から流出する流れが維持されるから、外乱を原因とした建造物内の空気の作業ブース内への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物内の空気が作業ブース内の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース内の清浄状態を保持することができる。

緩衝スペースが第１出入口と第２出入口との間において第１出入口から空気の流出方向へ延びているクリーンブースは、緩衝スペースが第１出入口と第２出入口との間で第１出入口から空気の流出方向へ延びることで、緩衝スペースが空気の流出方向へ所定の容積を有し、第２出入口に向かって緩衝スペースを流通する空気層が第２出入口から緩衝スペースに向かって逆流する空気の抵抗となり、作業ブース内の空気が第１出入口から緩衝スペースに流出するとともに緩衝スペースを通流して第２出入口から流出する空気の流れ（気流）を作ることができ、第１出入口から作業ブース内への空気の逆流を防ぐことができるとともに、建造物内の空気の作業ブース内への逆流を防ぐことができる。クリーンブースは、それを施設した建造物内の気流が所定の要因によって乱れ、建造物内の気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用したとしても、第１出入口と第２出入口との間で第１出入口から空気の流出方向へ延びる緩衝スペースの空気層によってその外乱による影響が緩和・消滅し、作業ブース内の空気の第１出入口から流出する流れが維持されるから、外乱を原因とした建造物内の空気の作業ブース内への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物内の空気が作業ブース内の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース内の清浄状態を保持することができる。

緩衝スペースが第１出入口と第２出入口との間において第１出入口から空気の流出方向へ延びているとともに、空気の流出方向と交差する方向へ延びているクリーンブースは、緩衝スペースが第１出入口と第２出入口との間で第１出入口から空気の流出方向へ延びるとともに空気の流出方向と交差する方向へ延びることで、緩衝スペースが空気の流出方向および流出方向と交差する方向へ所定の容積を有し、第２出入口に向かって緩衝スペースを流通する空気層が第２出入口から緩衝スペースに向かって逆流する空気の抵抗となり、作業ブース内の空気が第１出入口から緩衝スペースに流出するとともに緩衝スペースを通流して第２出入口から流出する空気の流れ（気流）を作ることができ、第１出入口から作業ブース内への空気の逆流を防ぐことができるとともに、建造物内の空気の作業ブース内への逆流を防ぐことができる。クリーンブースは、それを施設した建造物内の気流が所定の要因によって乱れ、建造物内の気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用したとしても、第１出入口と第２出入口との間で第１出入口から空気の流出方向へ延びるとともに空気の流出方向と交差する方向へ延びる緩衝スペースの空気層によってその外乱による影響が緩和・消滅し、作業ブース内の空気の第１出入口から流出する流れが維持されるから、外乱を原因とした建造物内の空気の作業ブース内への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物内の空気が作業ブース内の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース内の清浄状態を保持することができる。

第２出入口が第１出入口に対向し、緩衝スペースを挟んで第１出入口に対して一列に並んだ状態で施設されているクリーンブースは、第１出入口と第１出入口に対向する第２出入口との間に位置する緩衝スペースの空気層が第２出入口から緩衝スペースに向かって逆流する空気の抵抗となり、第１出入口から緩衝スペースに流出するとともに緩衝スペースを通流して第２出入口から流出する空気の流れ（気流）を作ることができ、第１出入口から作業ブース内への空気の逆流を防ぐことができるとともに、建造物内の空気の作業ブース内への逆流を防ぐことができる。クリーンブースは、それを施設した建造物内の気流が所定の要因によって乱れ、建造物内の気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用したとしても、第１出入口と第１出入口に対向する第２出入口との間に位置する緩衝スペースの空気層によってその外乱による影響が緩和・消滅し、作業ブース内の空気の第１出入口から流出する流れが維持されるから、外乱を原因とした建造物内の空気の作業ブース内への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物内の空気が作業ブース内の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース内の清浄状態を保持することができる。

第２出入口が第１出入口に対向せず、緩衝スペースを挟んで第１出入口に対して所定の角度傾斜した位置に施設されているクリーンブースは、第１出入口と第１出入口に対して所定角度傾斜する第２出入口との間に位置する緩衝スペースの空気層が第２出入口から緩衝スペースに向かって逆流する空気の抵抗となり、第１出入口から緩衝スペースに流出するとともに緩衝スペースを通流して第２出入口から流出する空気の流れ（気流）を作ることができ、第１出入口から作業ブース内への空気の逆流を防ぐことができるとともに、建造物内の空気の作業ブース内への逆流を防ぐことができる。クリーンブースは、それを施設した建造物内の気流が所定の要因によって乱れ、建造物内の気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用したとしても、第１出入口と第１出入口に対して所定角度傾斜する第２出入口との間に位置する緩衝スペースの空気層によってその外乱による影響が緩和・消滅し、作業ブース内の空気の第１出入口から流出する流れが維持されるとともに、さらに、第２出入口が第１出入口に対して所定角度傾斜して位置することで、第２出入口から逆流する空気が第１出入口に直接向かうことができないから、外乱を原因とした建造物内の空気の作業ブース内への逆流（流入）を確実に防ぐことができ、建造物内の空気が作業ブース内の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース内の清浄状態を保持することができる。クリーンブースは、第２出入口を第１出入口に対して所定角度傾斜して位置させることで、緩衝スペースに載置する各種の機材の配置に応じて第１および第２出入口の位置を自由に決定することができ、緩衝スペースの利便性を向上させることができる。

第２出入口が第１出入口に対向せず、緩衝スペースの介在下に第１出入口に対して略直交した位置に施設されているクリーンブースは、第１出入口と第１出入口に対して略直交する第２出入口との間に位置する緩衝スペースの空気層が第２出入口から緩衝スペースに向かって逆流する空気の抵抗となり、第１出入口から緩衝スペースに流出するとともに緩衝スペースを通流して第２出入口から流出する空気の流れ（気流）を作ることができ、第１出入口から作業ブース内への空気の逆流を防ぐことができるとともに、建造物内の空気の作業ブース内への逆流を防ぐことができる。クリーンブースは、それを施設した建造物内の気流が所定の要因によって乱れ、建造物内の気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用したとしても、第１出入口と第１出入口に対して略直交する第２出入口との間に位置する緩衝スペースの空気層によってその外乱による影響が緩和・消滅し、作業ブース内の空気の第１出入口から流出する流れが維持されるとともに、さらに、第２出入口が第１出入口に対して略直交することで、第２出入口から逆流する空気が第１出入口に直接向かうことができないから、外乱を原因とした建造物内の空気の作業ブース内への逆流（流入）を確実に防ぐことができ、建造物内の空気が作業ブース内の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース内の清浄状態を保持することができる。クリーンブースは、第２出入口を第１出入口に対して略直交させることで、緩衝スペースに載置する各種の機材の配置に応じて第１および第２出入口の位置を自由に決定することができ、緩衝スペースの利便性を向上させることができる。

クリーンブースの外側における建造物内の気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用した場合、第２出入口に作用する外乱による影響が緩衝スペースによって緩和され、作業ブース内の空気が第１出入口から緩衝スペースに流出するクリーンブースは、それを施設した建造物内の気流が所定の要因によって乱れ、建造物内の気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用したとしても、第２出入口に作用する外乱による影響が緩衝スペースの空気層によって緩和・消滅し、作業ブース内の空気の第１出入口から流出する流れが維持されるから、外乱を原因とした建造物内の空気の作業ブース内への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物内の空気が作業ブース内の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース内の清浄状態を保持することができる。

建造物がクリーンブースの外側に設置されて空調設備によって生成された空調空気を建造物内に給気する空調空気給気口を備え、空調空気給気口から給気された空調空気による気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用した場合、第２出入口に作用する外乱による影響が緩衝スペースによって緩和され、作業ブース内の空気が第１出入口から緩衝スペースに流出するクリーンブースは、それを施設した建造物内の気流が空調空気給気口から給気された空調空気によって乱れ、空調空気による気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用したとしても、第２出入口に作用する外乱による影響が緩衝スペースの空気層によって緩和・消滅し、作業ブース内の空気の第１出入口から流出する流れが維持されるから、外乱を原因とした建造物内の空気の作業ブース内への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物内の空気が作業ブース内の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース内の清浄状態を保持することができる。

建造物内に着脱可能に施設される天井パネルと、建造物の床と天井パネルとの間に着脱可能に施設されて作業ブースを囲繞する第１壁パネルと、建造物の床と天井パネルとの間に着脱可能に施設され、第１壁パネルに連結されて緩衝スペースを囲繞する第２壁パネルとを含み、第１出入口が第１壁パネルの間に開口し、第２出入口が第２壁パネルの間に開口しているクリーンブースは、天井パネルや第１壁パネル、第２壁パネルを建造物内に着脱可能に施設することで、各種の実験設備を収容可能な所定容積の作業ブースと緩衝スペースとを有するクリーンブースを作ることができ、作業ブース内の空気の第１出入口からの流出を維持することが可能であって、作業ブース内の清浄状態を保持することが可能なクリーンブースを手間や時間を要せずに建造物内に容易に施設することができる。クリーンブースは、それが不要になった場合、天井パネルや第１壁パネル、第２壁パネルを建造物から取り外すことでクリーンブースを容易に解体することできるから、手間や時間を要せずに建造物内からクリーンブースを速やかに撤去することができる。

給気手段が天井パネルに設置されたファンフィルターユニットであり、外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブース内に発生するように、ファンフィルターユニットの給気風量が調節されるクリーンブースは、外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブース内に発生するようにファンフィルターユニットの給気風量を調節することで、外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブース内に発生し、第２出入口に作用した外乱による影響が緩衝スペースの空気層によって緩和・消滅するから、作業ブース内の空気の第１出入口から流出する流れが維持され、建造物内の空気の作業ブース内への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物内の空気が作業ブース内の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース内の清浄状態を保持することができる。

実験設備が安全キャビネット、クリーンベンチ、グローブボックス、アイソレータ、ドラフトチャンバのうちの少なくとも１つであり、外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブース内に発生するように、稼働した安全キャビネット、クリーンベンチ、グローブボックス、アイソレータ、ドラフトチャンバの排気風量に対応させてファンフィルターユニットの給気風量が調節されるクリーンブースは、安全キャビネット、クリーンベンチ、グローブボックス、アイソレータ、ドラフトチャンバを通流した空気を外部に排気した場合、外部に排気した空気の風量を補充する必要があるが、外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブース内に発生するように、稼働した安全キャビネット、クリーンベンチ、グローブボックス、アイソレータ、ドラフトチャンバの排気風量に対応させてファンフィルターユニットの給気風量を調節することで、外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブース内に発生し、第２出入口に作用した外乱による影響が緩衝スペースの空気層によって緩和・消滅するから、作業ブース内の空気が第１出入口から流出する流れが維持され、建造物内の空気の作業ブース内への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物内の空気が作業ブース内の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース内の清浄状態を保持することができる。

イオン化空気を生成しつつ生成したイオン化空気を作業ブースと緩衝スペースとのうちの少なくとも一方に給気する除電用空気発生装置を含み、除電用空気発生装置によって給気されるイオン化空気のイオン化空気給気口が安全キャビネット、クリーンベンチ、グローブボックス、アイソレータ、ドラフトチャンバで作業する作業者の直上に位置する天井パネルと、第１出入口から第２出入口に向かって緩衝スペースを一方向へ通流する空気の気流を逆流させることがない緩衝スペースの天井パネルとのうちの少なくとも一方に設置されているクリーンブースは、除電用空気発生装置によって生成されたイオン化空気が作業ブースや緩衝スペースの天井パネルから作業者に向かって給気されるから、作業者の着衣に帯電した電荷をイオン化空気によって除電（中和）することができ、作業者における静電気の発生を防ぐことができるとともに、作業者の着衣への静電気による塵埃の付着を防ぐことができる。クリーンブースは、イオン化空気を給気することによって作業中に発生した静電気による着衣や機材の帯電を防ぐことができるとともに、イオン化空気によって作業者の着衣や機材が帯電することがないから、着衣や機材に塵埃が付着したとしてもその塵埃を容易に除去することができる。クリーンブースは、イオン化空気給気口が第１出入口から第２出入口に向かって緩衝スペースを一方向へ通流する空気の気流を逆流させることがない緩衝スペースの天井パネルに設置されることで、緩衝スペースに発生した一方向へ流れる気流が除電用空気発生装置から給気されたイオン化空気によって乱れることや逆流することはなく、緩衝スペースの気流の乱れによって生じる第１出入口から作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができ、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができる。

外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブース内に発生するように、実験設備の排気風量と除電用空気発生装置から給気されたイオン化空気の給気風量とに対応させてファンフィルターユニットの給気風量が調節されるクリーンブースは、外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブース内に発生するように、稼働した実験設備の排気風量と稼働した除電用空気発生装置のイオン化空気の給気風量とに対応させてファンフィルターユニットの給気風量を調節することで、外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブース内に発生するとともに、第２出入口に作用した外乱による影響が緩衝スペースの空気層によって緩和・消滅するから、作業ブース内の空気の第１出入口から流出する流れが維持され、建造物内の空気の作業ブース内への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物内の空気が作業ブース内の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース内の清浄状態を保持することができる。

一例として示すクリーンブースの前方斜視図。 クリーンブースの上面図。 一例として示す安全キャビネットの側面図。 クリーンブースにおける空気の流れの一例を示す上面図。 クリーンブースにおける空気の流れの一例を示す側面図。 クリーンブースにおける空気の流れの他の一例を示す上面図。 他の一例として示すクリーンブースの上面図。 図７のクリーンブースにおける空気の流れの一例を示す上面図。 他の一例として示すクリーンブースの上面図。 図９のクリーンブースにおける空気の流れの一例を示す上面図。 他の一例として示すクリーンブースの上面図。 除電用空気発生システムの概略構成図。 図１１のクリーンブースにおける空気の流れの一例を示す上面図。 図１１のクリーンブースにおける空気の流れの一例を示す側面図。

一例として示すクリーンブース１０Ａの前方斜視図である図１等の添付の図面を参照し、本発明に係るクリーンブースの詳細を説明すると、以下のとおりである。なお、図２は、クリーンブース１０Ａの上面図であり、図３は、一例として示す安全キャビネット３１の側面図である。図４は、クリーンブース１０Ａにおける空気の流れの一例を示す上面図であり、図５は、クリーンブース１０Ａにおける空気の流れの一例を示す側面図ある。図２，図４，図５では、ファンフィルターユニット１６（給気手段）や安全キャビネット３１、空調設備の空調空気給気口１８（エアーコンディショナーの空調空気給気口）を模式的に示す。図２，図４，図５では、前後方向を矢印Ａ、横方向を矢印Ｂで示し、上下方向を矢印Ｃで示す。

クリーンブース１０Ａ（クリーンブース１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄを含む）は、研究棟や実験棟、医療棟、製造工場等の建造物１１の内部（作業室）の所定の箇所に施設され、各種の実験や研究、開発、培養等に利用される。クリーンブース１０Ａ（クリーンブース１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄを含む）は、その内部（作業ブース１２、緩衝スペース１５）が微陽圧に保持されている。クリーンブース１０Ａは、作業ブース１２、第１出入口１３、第２出入口１４、緩衝スペース１５（緩衝空間）、ファンフィルターユニット１６（給気手段）を有する。

建造物１１には、その内部（室内）に空調空気を給気する空調設備（図示せず）が施設されている。建造物１１の内部におけるクリーンブース１０Ａの外側（共用部分）の天井１７（天井面）には、空調設備（エアーコンディショナー）によって生成された空調空気を建造物１１の内部に給気する空調空気給気口１８（吹き出し口）が設置されている。空調空気給気口１８からは、建造物１１の内部に向かって所定風量の空調空気が給気され、建造物１１の内部が設定温度および設定湿度に保持される（クリーンブース１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄも同様）。

クリーンブース１０Ａは、建造物１１の内部（室内）に設置された複数枚の天井パネル１９と、建造物１１の床２０と天井パネル１９との間に設置された複数枚の第１壁パネル２１と、第１壁パネル２１に隣接して建造物１１の床２０と天井パネル１９との間に設置された複数枚の第２壁パネル２２とから作られている。天井パネル１９には、平面形状が四角形のアルミパネルまたは鋼材パネルが利用されている。天井パネル１９は、複数枚の側面パネル１９ａと複数枚の天面パネル１９ｂとから形成されている。

天井パネル１９では、それら側面パネル１９ａを横方向と前後方向とへ連結することで天井囲いが作られ、それら天面パネル１９ｂを横方向と前後方向とへ連結することで天井が作られている。天井パネル１９では、側面パネル１９ａの上端縁が建造物１１の天井１７に気密に連結され、天面パネル１９ｂから作られた天井の外周縁が側面パネル１９ａの下端縁に気密に連結されている。建造物１１の天井１７と天面パネル１９ｂ（仮天井）との間には、側面パネル１９ａに囲繞された天井空間２３が形成されている。

側面パネル１９ａには、作業ブース１２へ給気するための空気取り入れ用ガラリ２４が取り付けられているとともに、作業ブース１２から排気するための空気排気用ガラリ２５が取り付けられている。天面パネル１９ｂには、天井用照明器具（ＬＥＤや蛍光灯）が設置されている。天井パネル１９（側面パネル１９ａおよび天面パネル１９ｂ）は、建造物１１の内部（室内）において着脱可能であり、複数枚のそれらを所定のマニュアル（手順）にしたがって建造物１１の内部に容易かつ迅速に取り付けることができ、建造物１１の内部から容易かつ迅速に取り外すことができるとともに、複数枚のパネル１９ａ，１９ｂに容易に分解することができる。

第１壁パネル２１および第２壁パネル２２は、アルミフレームまたは鋼材フレームと、アルミフレームや鋼材フレームに嵌め込まれた透明なプラスチック板（アクリルボードやポリカーボネートボード、塩ビボード等）または透明なガラス板とから作られ、その平面形状が四角形に成形されている。それら第１壁パネル２１は、横方向へ連結されてクリーンブース１０Ａの第１正面壁２６と背面壁２７とを形成し、前後方向へ連結されてクリーンブース１０Ａの第１側面壁２８を形成している。

それら第１壁パネル２１は、その上端縁が天井（天面パネル１９ｂ）の外周縁に気密に連結され、その下端縁が建造物１１の床２０（床面）に気密に連結されている。第１壁パネル２１は、建造物１１の内部（室内）において着脱可能であり、複数枚のそれらを所定のマニュアル（手順）にしたがって建造物１１の内部に容易かつ迅速に取り付けることができ、建造物１１の内部から容易かつ迅速に取り外すことができるとともに、複数枚のパネル２１に容易に分解することができる。

それら第２壁パネル２２は、横方向へ連結されてクリーンブース１０Ａの第２正面壁２９を形成し、前後方向へ連結されてクリーンブース１０Ａの第２側面壁３０を形成している。それら第２壁パネル２２は、その上端縁が天井（天面パネル１９ｂ）の外周縁に気密に連結され、その側縁が第１壁パネル２１の側縁に気密に連結されているとともに、その下端縁が建造物１１の床２０（床面）に気密に連結されている。第２壁パネル２２は、建造物１１の内部において着脱可能であり、複数枚のそれらを所定のマニュアル（手順）にしたがって建造物１１の内部に容易かつ迅速に取り付けることができ、建造物１１の内部かつ迅速から容易に取り外すことができるとともに、複数枚のパネル２２に容易に分解することができる。

クリーンブース１０Ａには、天井パネル１９と第１壁パネル２１（第１正面壁２６、第１側面壁２８、背面壁２７）とに囲繞された所定容積および所定の床面積の作業ブース１２が画成され、天井パネル１９と第１および第２壁パネル２１，２２（第１正面壁２６、第２正面壁２９、第２側面壁３０）とに囲繞された所定容積および所定の床面積の緩衝スペース１５が画成されている。

作業ブース１２は、所定容積の作業スペースを有し、各種の実験設備を収容可能である。図示の作業ブース１２の内部には、安全キャビネット３１が収容されている。作業ブース１２には、安全キャビネット３１の他に、クリーンベンチ、グローブボックス、アイソレータ、ドラフトチャンバを収容することができ、細胞培養装置や遠心分離器、冷凍機等の各種の実験装置、机や棚、コンピュータ（サーバ）等を収容することができる。作業ブース１２の容積や床面積に特に制限はなく、作業ブース１２で行われる作業内容や収容する実験設備の大きさ、実験設備の数等によってその容積や床面積が決定される。

第１出入口１３は、作業ブース１２に出入するために施設され、第１壁パネル２１によって形成された第１正面壁２６の間（第１正面壁２６の中央）に開口している。第１出入口１３は、その平面形状が縦方向へ長い四角形を呈し、作業者が通行可能な開口面積を有する。第１出入口１３からは、作業ブース１２の内部の空気が流出する。

第２出入口１４は、緩衝スペース１５に出入するために施設され、第２壁パネル２２によって形成された第２正面壁２９の間（第２正面壁２９の中央）に開口している。第２出入口１４は、その平面形状が縦方向へ長い四角形を呈し、作業者が通行可能な開口面積を有する。第２出入口１４からは、緩衝スペース１５内の空気が流出する。第１出入口１３と第２出入口１４とは、同形同大であり、第２出入口１４が第１出入口１３に対向し、緩衝スペース１５を挟んで第１出入口１３と第２出入口１４とが前後方向へ一列に並んだ状態で施設されている。

緩衝スペース１５は、第１出入口１３と第２出入口１４との間に位置し、第１出入口１３と第２出入口１４とにつながっている。緩衝スペース１５は、第１出入口１３から第２出入口１４に向かって前後方向（空気の流出方向）へ延びているとともに、第１出入口１３と第２出入口１４との間において横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びている。緩衝スペース１５には、作業ブース１２から流出した空気が流入し、第１出入口１３から第２出入口１４に向かってスペース１５を通流する空気によって空気層が形成される。

緩衝スペース１５には、机や棚、コンピュータ（サーバ）等を設置することができる他、作業者の更衣を行う場所として使用することができる。緩衝スペース１５の容積や床面積に特に制限はなく、作業ブース１２の容積や床面積によってその容積や床面積が決定される。なお、図示はしていないが、緩衝スペース１５が横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延在することなく、第１出入口１３から第２出入口１４に向かって前後方向（空気の流出方向）のみへ延びていてもよい。

ファンフィルターユニット１６（給気手段）は、前後方向へ並ぶ２台のそれが天井空間２３に設置されている。ファンフィルターユニット１６には、ＨＥＰＡフィルタ３２（図５参照）が設置されている。ファンフィルターユニット１６は、作業ブース１２に外部空気（清浄空気）を給気する外部空気給気口３３（外気空気吹き出し口）を有する。それらファンフィルターユニット１６の外部空気の外部空気給気口３３は、作業ブース１２の略中央部における天井パネル１９（天面パネル１９ｂ）に設置され、前後方向へ並んでいる。ファンフィルターユニット１６は、その空気取り入れ口３４が天井空間２３に位置している。

ファンフィルターユニット１６は、天井空間２３から建造物１１の内部の外部空気を取り入れ、外部空気をＨＥＰＡフィルタ３２によって濾過した後、外部空気給気口３３（仮天井）から作業ブース１２の内部の床面に向かって所定風量の外気空気（清浄空気）を給気する。ファンフィルターユニット１６は、作業ブース１２の内部気圧を微陽圧に保持しつつ、外部空気給気口３３から第１出入口１３に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流（外部空気給気口３３から第１出入口１３に向かうとともに第１出入口１３から第２出入口１４に向かって一方向へ流れる気流）を発生させる。

ファンフィルターユニット１６では、作業ブース１２の容積や安全キャビネット３１から排気される空気の排気風量に対応しつつ、作業ブース１２の内部気圧を微陽圧に保持し得るとともに、給気する外部空気（清浄空気）によって外部空気給気口３３から第１出入口１３に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流が作業ブース１２の内部に発生するように、その給気風量（たとえば、０．３〜０．４ｍ／ｓ）や給気方向が調節されている。具体的には、ファンフィルターユニット１６の給気風量＝安全キャビネット３１から排気される空気の排気風量＋クリーンブース１０Ａ（第２出入口１４）から排気される空気の排気風量である。

クリーンブース１０Ａ（クリーンブース１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄを含む）におけるファンフィルターユニット１６の給気風量の調節は、クリーンブース１０Ａ（クリーンブース１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄを含む）の施設時の設計風量により微陽圧が保持される条件のもと、クリーンブース１０Ａの運転開始時に作業者が作業ブース１２の外側のリモコンスイッチで調節する場合、または、または、クリーンブース１０Ａ（クリーンブース１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄを含む）の施設後にコンピュータ（制御装置）および室圧センサ等を利用して自動調節（フィードバック制御等）によって調節される場合がある。

安全キャビネット３１は、図３に示すように、作業用チャンバ３５と作業用チャンバ３５を載せた架台３６とを備えている。安全キャビネット３１には、空気流入開口３７および空気流路３８が形成され、送風機３９（給気および排気用ファン）と第１および第２ＨＥＰＡフィルタ４０，４１とが設置されている。作業用チャンバ３５は、頂面板、底面板、前面板、背面板、側面板から形成された六面体の箱である。前面板は、透明なプラスチック板（アクリルボードやポリカーボネートボード、塩ビボード等）または透明なガラス板が使用されている。前面板には、開閉可能な前面シャッターが取り付けられている。前面板の下方には前面開口４２が作られ、前面シャッターによって前面開口４２が開閉される。

空気流入開口３７は、作業用チャンバ３５の下方であって前面開口４２の近傍に開口している。空気流路３８は、空気流入開口３７につながり、空気流入開口３７から流入した空気が通流する。チャンバ３５の直上に延びる空気流路３８には、排気用ダクト４３（図５参照）が連結されている。排気用ダクト４３は、安全キャビネット３１から天井空間２３に進入し、天井パネル１９（側面パネル１９ａ）に取り付けられた空気排気用ガラリ２５に連結されている。

送風機３９は、作業用チャンバ３５の直上に延びる空気流路３８に設置され、空気流路３８に流入した空気を作業用チャンバ３５の上方から下方に向かって流動させるとともに、空気を空気流路３５から排気用ダクト４３に流入させる。第１ＨＥＰＡフィルタ４０は、作業用チャンバ３５（頂面板）の直上に設置されている。第２ＨＥＰＡフィルタ４１は、作業用チャンバ３８の直上に延びる空気流路３８の上方に設置されている。

安全キャビネット３１は、図３に矢印Ｌ１で示すように、送風機３９が起動すると、作業ブース１２の内部の空気を取り込み、その空気の一部を第１ＨＥＰＡフィルタ４０で濾過しつつ、清浄な空気を作業用チャンバ３５に給気し、作業用チャンバ３５に清浄なエアー空間を作る。さらに、残余の空気を第２ＨＥＰＡフィルタ４１で濾過しつつ、残余の空気を外部（建造物１１の室内）に排気する。

安全キャビネット３１を利用して各種の作業を行う場合、作業者が第２出入口１４および第１出入口１３を通って作業ブース１２に入室し、ファンフィルターユニット１６および安全キャビネット３１（送風機３９）を起動させる。なお、ファンフィルターユニット１６や安全キャビネット３１（送風機３９）のＯＮ／ＯＦＦスイッチは、クリーンブース１０Ａの内部に設置されている。また、建造物１１の空調設備が稼働し、所定風量の空調空気が空調空気給気口１８から建造物１１の内部に給気されている。

クリーンブース１０Ａ（クリーンブース１０Ｂ，１０Ｃを含む）を利用して各種の実験や研究、開発、培養等を行う実験者や研究者、開発者等の作業者は、ファンフィルターユニット１６や安全キャビネット３１のＯＮ／ＯＦＦスイッチをＯＮにしてファンフィルターユニット１６や安全キャビネット３１（送風機３９）を起動させるとともに、無塵衣を着用した状態で作業ブース１２に入る。

ファンフィルターユニット１６を起動させると、図４，５に矢印Ｌ２で示すように、建造物１１の内部の空気（外部空気）が空気取り入れ用ガラリ２４から天井空間２３に流入し、天井空間２３に位置する空気取り入れ口３４からファンフィルターユニット１６に流入する。外部空気は、ファンフィルターユニット１６のＨＥＰＡフィルタ３２を通流して清浄空気となり、外部空気給気口３３から作業ブース１２の内部の床面に向かって給気される。

ファンフィルターユニット１６から給気される清浄空気の風量が作業ブース１２の内部気圧を微陽圧に保持するそれに調節されているから、ファンフィルターユニット１６や安全キャビネット３１（送風機３９）の起動によって作業ブース１２の内部が微陽圧になるとともに、ファンフィルターユニット１６の外部空気給気口３３から第１出入口１３に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流（外部空気給気口３３から第１出入口１３に向かうとともに第１出入口１３から第２出入口１４に向かって一方向へ流れる気流）が発生する。

作業ブース１２の内部に給気された清浄空気の一部は、安全キャビネット３１の空気流入開口３７から空気流路３８に流入し、空気流路３８を通って第１ＨＥＰＡフィルタ４０を通流した後、作業用チャンバ３５に流入するとともに、第２ＨＥＰＡフィルタ４１を通流した後、排気用ダクト４３を通って空気排気用ガラリ２５から建造物１１の内部（室内）に排気される。したがって、ファンフィルターユニット１６から給気された空気は、その一部がクリーンブース１０Ａ（作業ブース１２）の外側（建造物１１の室内）に排気される。

作業ブース１２の内部に給気された清浄空気のうちの安全キャビネット３１の前面開口４２に流入した空気を除く残余の空気は、図４，５に矢印Ｌ３で示すように、第１出入口１３を通って緩衝スペース１５に流入し、緩衝スペース１５を通流した後、緩衝スペース１５から第２出入口１４を通って建造物１１の内部（室内）に流入する。建造物１１の内部に流出した空気（建造物１１の内部（作業室）の外部空気）は、ファンフィルターユニット１６によって再び作業ブース１２の内部に給気される。

クリーンブース１０Ａでは、空調設備の空調空気給気口１８から所定風量の空調空気が建造物１１の内部（室内）に給気されることで、建造物１１の内部に気流の乱れ（外乱）が生じ、その外乱が第２正面壁２９の中央に開口する第２出入口１４に作用する場合がある。空調空気の給気によって生じた気流の乱れ（外乱）が第２出入口１４に作用すると、図４，５に矢印Ｌ４で示すように、建造物１１の内部（室内）の外部空気の一部が第２出入口１４から緩衝スペース１５に流入（逆流）する場合がある。

しかし、クリーンブース１０Ａでは、空調空気の給気によって生じた気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）が第２出入口１４に作用したとしても、第１出入口１３と第２出入口１４との間で第１出入口１３から前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びる緩衝スペース１５の空気層（ファンフィルターユニット１６から給気された気流）が逆流する空気の抵抗となり、緩衝スペース１５の空気層によってその外乱による影響が緩和・消滅し、図４，５に矢印Ｌ２で示すように、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持される。

クリーンブース１０Ａは、それを施設した建造物１１の内部（作業室）の気流が空調設備の空調空気給気口１８から給気された空調空気によって乱れ、空調空気の給気を要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）が第２出入口１４に作用したとしても、緩衝スペース１５が第１出入口１３と第２出入口１４との間で第１出入口１３から前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びることで、緩衝スペース１５が前後方向および横方向へ所定の容積を有し、作業ブース１２から第１出入口１３を通って緩衝スペース１５に流出するとともに緩衝スペース１５を通流して第２出入口１４から流出する空気の流れ（気流）が作られ、第１出入口１３から第２出入口１４に向かって緩衝スペース１５を流通する空気層（作業ブース１２から流出する空気）が第２出入口１４から緩衝スペース１５に向かって逆流する空気の抵抗となり、第２出入口１４から緩衝スペース１５に向かって逆流する空気が緩衝スペース１４を流通する空気層によって押し戻される。したがって、クリーンブース１０Ａは、空調空気の給気によって建造物１１の内部に外乱が生じたとしても、第１出入口１３から作業ブース１２の内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、建造物１１の内部の空気の作業ブース１２の内部への流入を防ぐことができる。

クリーンブース１０Ａは、空調空気の給気を要因とする気流の乱れ（外乱）が第２正面壁２９の中央に開口する第２出入口１４に作用したとしても、第２出入口１４に作用する外乱による影響が第１出入口１３から前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びる緩衝スペース１５の空気層によって緩和・消滅し、作業ブース１２の内部の空気が第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持されるから、外乱を原因とした建造物１１の内部（室内）の空気の作業ブース１２の内部への流入（逆流）を防ぐことができ、建造物１１の内部の空気が作業ブース１２の内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース１２の内部の清浄状態を保持することができる。

クリーンブース１０Ａは、それに第１出入口１３や第２出入口１４が作られ、それら出入口１３，１４が扉やカーテンによって遮蔽されることはないから、第２出入口１４を通って緩衝スペース１５に手を触れずに容易に入ることや緩衝スペース１５から手を触れずに容易に出ることができるとともに、第１出入口１３を通って作業ブース１２に手を触れずに容易に入ることや作業ブース１２から手を触れずに容易に出ることができ、緩衝スペース１５や作業ブース１２へ手間を要せず手を触れずに容易に入退出することができる（クリーンブース１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄも同様）。クリーンブース１０Ａは、それに対する入退出時にクリーンブース１０Ａに作業者が接触することはなく、緩衝スペース１５や作業ブース１２の内部への入退出時において緩衝スペース１５や作業ブース１２への塵埃や雑菌の付着を防ぐことができ、クリーンブース１０Ａの清潔状態を保持することができるとともに、緩衝スペース１５や作業ブース１２の内部への入退出時において作業者への塵埃や雑菌の付着を防ぐことができる（クリーンブース１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄも同様）。

図６は、クリーンブース１０Ａにおける空気の流れの他の一例を示す上面図である。図６では、前後方向を矢印Ａで示し、横方向を矢印Ｂで示す。図６に示すクリーンブース１０Ａが図４のそれと異なるところは、空調設備の空調空気給気口１８から給気された空調空気によって生じる気流の乱れ（外乱）に加え、建造物１１のドア４４（扉）の開閉による気流の乱れ（外乱）が発生している点にある。

クリーンブース１０Ａでは、空調設備の空調空気給気口１８から所定風量の空調空気が建造物１１の内部（室内）に給気されるとともに、建造物１１のドア４４（扉）が開閉されることで、図６に矢印Ｌ５で示すように、建造物１１の内部に気流の乱れ（外乱）が生じ、気流の乱れが第２正面壁２９の中央に開口する第２出入口１４に作用する場合がある。なお、ドア４４の開閉のみによっても建造物１１の内部に気流の乱れ（外乱）が生じ、気流の乱れが第２出入口１４に作用する場合がある。空調空気によって生じた気流の乱れやドア４４の開閉によって生じた気流の乱れが第２出入口１４に作用すると、建造物１１の内部（室内）の外部空気の一部が第２出入口１４から緩衝スペース１５に流入（逆流）する場合がある。

しかし、クリーンブース１０Ａでは、空調空気の給気やドア４４の開閉によって生じた気流の乱れ（外乱）が第２出入口１４に作用したとしても、第１出入口１３と第２出入口１４との間で第１出入口１３から前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びる緩衝スペース１５の空気層（ファンフィルターユニット１６から給気された気流）が逆流する空気の抵抗となり、緩衝スペース１５の空気層によってその外乱による影響が緩和・消滅し、図６に矢印Ｌ３で示すように、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持される。

クリーンブース１０Ａは、それを施設した建造物１１の内部（室内）の気流が空調設備の空調空気給気口１８から給気された空調空気およびドア４４の開閉によって乱れ、空調空気の給気やドア４４の開閉によって生じた気流の乱れ（外乱）が第２出入口１４に作用したとしても、緩衝スペース１５が第１出入口１３と第２出入口１４との間で第１出入口１３から前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びることで、緩衝スペース１５が前後方向および横方向へ所定の容積を有し、作業ブース１２から第１出入口１３を通って緩衝スペース１３に流出するとともに緩衝スペース１５を通流して第２出入口１４から流出する空気の流れ（気流）が作られ、第１出入口１３から第２出入口１４に向かって緩衝スペース１５を流通する空気層（作業ブース１２から流出する空気）が第２出入口１４から緩衝スペース１５に向かって逆流する空気の抵抗となり、第２出入口１４から緩衝スペース１５に向かって逆流する空気が緩衝スペース１５を流通する空気層によって押し戻される。したがって、クリーンブース１０Ａは、空調空気の給気やドア４４の開閉によって建造物１１の内部に外乱が生じたとしても、第１出入口１３から作業ブース１２の内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、建造物１１の内部の空気の作業ブース１２の内部への流入を防ぐことができる。

クリーンブース１０Ａは、空調空気の給気およびドア４４の開閉を要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）が第２正面壁２９の中央に開口する第２出入口１４に作用したとしても、第２出入口１４に作用する外乱による影響が第１出入口１３から前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びる緩衝スペース１５の空気層によって緩和・消滅し、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持されるから、外乱を原因とした建造物１１の内部（室内）の空気の作業ブース１２の内部への流入（逆流）を防ぐことができ、建造物１１の内部の空気が作業ブース１２の内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース１２の内部の清浄状態を保持することができる。

図７は、他の一例として示すクリーンブース１０Ｂの上面図であり、図８は、図７のクリーンブース１０Ｂにおける空気の流れの一例を示す上面図である。図７では、前後方向を矢印Ａで示し、横方向を矢印Ｂで示す。

図７に示すクリーンブース１０Ｂが図１のそれと異なるところは、第２出入口１４が第１出入口１３に対して前後方向へ一直線に対向せず、緩衝スペース１５を挟んで（緩衝スペース１５の介在下に）第２出入口１４が第１出入口１３に対して所定の角度傾斜した位置に施設されている点にある。このクリーンブース１０Ｂのその他の構成は図１のクリーンブース１０Ａのそれらと同一であるから、図１のクリーンブース１０Ａの説明を援用するとともに、図１と同一の符号を付すことで、このクリーンブース１０Ｂのその他の構成の詳細な説明は省略する。

クリーンブース１０Ｂは、作業ブース１２、第１出入口１３、第２出入口１４、緩衝スペース１５（緩衝空間）、ファンフィルターユニット１６（給気手段）を有する。作業ブース１２やファンフィルターユニット１６（給気手段）、建造物１１に施設された空調設備は、図１のクリーンブース１０Ａのそれらと同一である。作業ブース１２には、安全キャビネット３１（図３参照）が収容されている。

第１出入口１３は、第１壁パネル２１によって形成された第１正面壁２６の間（第１正面壁２６の中央）に開口し、作業ブース１２の内部の空気が流出する。第２出入口１４は、第２壁パネル２２によって形成された第２正面壁２９の左端（中央に対して左側）に開口し、緩衝スペース１５内の空気が流出する。第１出入口１３と第２出入口１４とは、同形同大であってその平面形状が縦方向へ長い四角形を呈する。第２出入口１４は、第１出入口１３に対して一列に対向せず、緩衝スペース１５を挟んで（緩衝スペース１５の介在下に）第１出入口１３に対して斜め右前方に開口し、第１出入口１３に対して所定の角度傾斜した位置に施設されている。

なお、第１出入口１３が第１正面壁２６の中央ではなく、第１正面壁２６の右端（中央に対して右側）または左端（中央に対して左側）に開口し、第２出入口１４が第１出入口１３に対して斜め前方へ所定角度傾斜して位置するように、第２正面壁２９の中央や第２正面壁２９の右端（中央に対して右側）、第２正面壁２９の左端（中央に対して左側）に開口していてもよい。

緩衝スペース１５は、第１出入口１３と第２出入口１４との間に位置し、第１出入口１３から斜め前方に位置する第２出入口１４につながっている。緩衝スペース１５は、第１出入口１３から第２出入口１４に向かって前後方向（空気の流出方向）へ延びているとともに、第１出入口１３と第２出入口１４との間において横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びている。緩衝スペース１５には、作業ブース１２から流出した空気が流入し、第１出入口１３から第２出入口１４に向かってスペース１５を通流する空気によって空気層が形成される。

クリーンブース１０Ｂでは、空調設備の空調空気給気口１８から所定風量の空調空気が建造物１１の内部（作業室）に給気されることで、建造物１１の内部に気流の乱れが生じ、気流の乱れ（外乱）が第２正面壁２９の左端（第１出入口１３に対して斜め前方へ所定角度傾斜した位置）に開口する第２出入口１４に作用する場合がある。空調空気の給気によって生じた気流の乱れ（外乱）が第２出入口１４に作用すると、建造物１１の内部の外部空気の一部が第２出入口１４から緩衝スペース１５に流入（逆流）する場合がある。

しかし、クリーンブース１０Ｂでは、空調空気の給気を要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）が第２出入口１４に作用したとしても、第１出入口１３と第１出入口１３に対して斜め前方へ所定角度傾斜した第２出入口１４との間において第１出入口１３から前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びる緩衝スペース１５の空気層（ファンフィルターユニット１６から給気された気流）が逆流する空気の抵抗となり、緩衝スペース１５の空気層によってその外乱が緩和・消滅し、図８に矢印Ｌ３で示すように、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持される。

なお、クリーンブース１０Ｂでは、空調空気の給気およびドア４４の開閉を要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）またはドア４４の開閉のみを要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）が第１出入口１３に対して斜め前方へ所定角度傾斜した第２出入口１４に作用したとしても、緩衝スペース１５の空気層が逆流する空気の抵抗となり、緩衝スペース１５の空気層によってその外乱による影響が緩和・消滅し、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持される（図６参照）。

クリーンブース１０Ｂは、それを施設した建造物１１の内部（室内）の気流が空調設備の空調空気給気口１８から給気された空調空気（および／またはドア４４の開閉）によって乱れ、空調空気の給気（および／またはドア４４の開閉）によって生じた気流の乱れ（外乱）が第２出入口１４に作用したとしても、第１出入口１３と第１出入口１３に対して斜め前方へ所定角度傾斜した第２出入口１４との間において緩衝スペース１５が第１出入口１３から前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びることで、緩衝スペース１５が前後方向（空気の流出方向）および横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ所定の容積を有し、作業ブース１５から第１出入口１３を通って緩衝スペース１５に流出するとともに緩衝スペース１５を通流して第２出入口１４から流出する空気の流れ（気流）が作られ、第１出入口１３から第２出入口１４に向かって緩衝スペース１５を流通する空気層（作業ブース１２から流出する空気）が第２出入口１４から緩衝スペース１５に向かって逆流する空気の抵抗となり、第２出入口１４から緩衝スペース１５に向かって逆流する空気が緩衝スペース１５を流通する空気層によって押し戻される。したがって、クリーンブース１０Ｂは、空調空気の給気（および／またはドア４４の開閉）によって建造物１１の内部に外乱が生じたとしても、第１出入口１３から作業ブース１２の内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、建造物１１の内部の空気の作業ブース１２の内部への流入を防ぐことができる。

クリーンブース１０Ｂは、空調空気の給気（および／またはドア４４の開閉）を要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）が第２正面壁２９の左端に開口する第２出入口１４に作用したとしても、第２出入口１４に作用する外乱による影響が第１出入口１３から前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びる緩衝スペース１５の空気層によって緩和・消滅し、作業ブース１２の内部の空気が第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持されるとともに、さらに、第２出入口１４が第１出入口１３に対して所定角度傾斜して位置することで、第２出入口１４から逆流する空気が第１出入口１３に直接向かうことができないから、外乱を原因とした建造物１１の内部（室内）の空気の作業ブース１２の内部への流入（逆流）を防ぐことができ、建造物１１の内部の空気が作業ブース１２の内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース１２の内部の清浄状態を保持することができる。クリーンブース１０Ｂは、第２出入口１４を第１出入口１３に対して所定角度傾斜して位置させることで、緩衝スペース１５に載置する各種の機材の配置に応じて第１および第２出入口１３，１４の位置を自由に決定することができ、緩衝スペース１５の利便性を向上させることができる。

図９は、他の一例として示すクリーンブース１０Ｃの上面図であり、図１０は、図９のクリーンブース１０Ｃにおける空気の流れの一例を示す上面図である。図９では、前後方向を矢印Ａで示し、横方向を矢印Ｂで示す。

図９に示すクリーンブース１０Ｃが図１のそれと異なるところは、第２出入口１４が第１出入口１３に対して一直線に対向せず、緩衝スペース１５を挟んで（緩衝スペース１５の介在下に）第２出入口１４が第１出入口１３に対して略直交した位置に施設されている点にある。このクリーンブース１０Ｃのその他の構成は図１のクリーンブース１０Ａのそれらと同一であるから、図１の説明を援用するとともに、図１と同一の符号を付すことで、このクリーンブース１０Ｃのその他の構成の詳細な説明は省略する。

クリーンブース１０Ｃは、作業ブース１２、第１出入口１３、第２出入口１４、緩衝スペース１５（緩衝空間）、ファンフィルターユニット１６（給気手段）を有する。作業ブース１２やファンフィルターユニット１６（給気手段）、建造物１１に施設された空調設備は、図１のクリーンブース１０Ａのそれらと同一である。作業ブース１２には、安全キャビネット３１（図３参照）が収容されている。

第１出入口１３は、第１壁パネル２１によって形成された第１正面壁２６の間（第１正面壁２６の中央）に開口し、作業ブース１２の内部の空気が流出する。第２出入口１４は、第２壁パネル２２によって形成された第２側面壁３０（第１正面壁２６の右側に位置する第２側面壁３０）に開口し、緩衝スペース１５の内部の空気が流出する。第１出入口１３と第２出入口１４とは、同形同大であってその平面形状が縦方向へ長い四角形を呈する。第２出入口１４は、第１出入口１３に対して前後方向へ一直線に対向せず、緩衝スペース１５を挟んで（緩衝スペース１５の介在下に）第１出入口１３に対して略直交した位置（略９０°曲がった位置）に開口し、第１出入口１３（第１正面壁２６）に直交する第２側面壁３０に施設されている。なお、第１出入口１３が第１正面壁２６の中央ではなく、第１正面壁２６の右端（中央に対して右側）または左端（中央に対して左側）に開口し、第２出入口１４が第１出入口１３に対して略直交して位置するように、第１正面壁２６の右側または左側に位置する第２側面壁３０に開口していてもよい。

緩衝スペース１６は、第１出入口１３と第２出入口１４との間に位置し、第１出入口１３から略直交して位置する第２出入口１４につながっている。緩衝スペース１５は、第１出入口１３から第２出入口１４に向かって前後方向（空気の流出方向）へ延びているとともに、第１出入口１３と第２出入口１４との間において横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びている。緩衝スペース１５には、作業ブース１２から流出した空気が流入し、第１出入口１３から第２出入口１４に向かってスペース１５を通流する空気によって空気層が形成される。

クリーンブース１０Ｃでは、空調設備の空調空気給気口１８から所定風量の空調空気が建造物１１の内部（室内）に給気されることで、建造物１１の内部に気流の乱れが生じ、気流の乱れ（外乱）が第２側面壁３０（第１出入口１３に対して略直交した位置）に開口する第２出入口１４に作用する場合がある。空調空気によって生じた気流の乱れ（外乱）が第２出入口１４に作用すると、建造物１１の内部（作業室）の外部空気の一部が第２出入口１４から緩衝スペース１５に流入（逆流）する場合がある。

しかし、クリーンブース１０Ｃでは、空調空気の給気を要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）が第２出入口１４に作用したとしても、第１出入口１３と第１出入口１３に対して略直交して位置する第２出入口１４との間において第１出入口１３から前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びる緩衝スペース１５の空気層（ファンフィルターユニット１６から給気された気流）が逆流する空気の抵抗となり、緩衝スペース１５の空気層によってその外乱が緩和・消滅し、図１０に矢印Ｌ３で示すように、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持される。

なお、クリーンブース１０Ｃでは、空調空気の給気およびドア４４の開閉を要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）またはドア４４の開閉のみを要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）が第１出入口１３に対して略直交して位置する第２出入口１４に作用したとしても、緩衝スペース１５の空気層が逆流する空気の抵抗となり、緩衝スペース１５の空気層によってその外乱による影響が緩和・消滅し、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持される（図６参照）。

クリーンブース１０Ｃは、それを施設した建造物１１の内部（室内）の気流が空調設備の空調空気給気口１８から給気された空調空気（および／またはドア４４の開閉）によって乱れ、空調空気の給気（および／またはドア４４の開閉）によって生じた気流の乱れによる外乱が第２出入口１４に作用したとしても、第１出入口１３と第１出入口１３に対して略直交して位置する第２出入口１４との間において緩衝スペース１５が第１出入口１３から前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びることで、緩衝スペース１５が前後方向（空気の流出方向）および横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ所定の容積を有し、作業ブース１５から第１出入口１３を通って緩衝スペース１５に流出するとともに緩衝スペース１５を通流して第２出入口１４から流出する空気の流れ（気流）が作られ、第１出入口１３から第２出入口１４に向かって緩衝スペース１５を流通する空気層（作業ブース１２から流出する空気）が第２出入口１４から緩衝スペース１５に向かって逆流する空気の抵抗となり、第２出入口１４から緩衝スペース１５に向かって逆流する空気が緩衝スペース１５を流通する空気層によって押し戻される。したがって、クリーンブース１０Ｃは、空調空気の給気（および／またはドア４４の開閉）によって建造物１１の内部に外乱が生じたとしても、第１出入口１３から作業ブース１２の内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、建造物１１の内部の空気の作業ブース１２の内部への流入を防ぐことができる。

クリーンブース１０Ｃは、空調空気の給気（および／またはドア４４の開閉）を要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）が第２側面壁３０に開口する第２出入口１４に作用したとしても、第２出入口１４に作用する外乱による影響第１出入口１３から前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びる緩衝スペース１５の空気層によって緩和・消滅し、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持されるとともに、さらに、第２出入口１４が第１出入口１３に対して略直交して位置することで、第２出入口１４から逆流する空気が第１出入口１３に直接向かうことができないから、外乱を原因とした建造物１１の内部（室内）の空気の作業ブース１２の内部への流入（逆流）を防ぐことができ、建造物１１の内部の空気が作業ブース１２の内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース１２の内部の清浄状態を保持することができる。クリーンブース１０Ｃは、第２出入口１４を第１出入口１３に対して略直交して位置させることで、緩衝スペース１５に載置する各種の機材の配置に応じて第１および第２出入口１３，１４の位置を自由に決定することができ、緩衝スペース１５の利便性を向上させることができる。

図１１は、他の一例として示すクリーンブース１０Ｄの上面図であり、図１２は、除電用空気発生システム４５の概略構成図である。図１３は、図１１のクリーンブース１０Ｄにおける空気の流れの一例を示す上面図であり、図１４は、図１１のクリーンブース１０Ｄにおける空気の流れの一例を示す側面図である。図１１，図１３，図１４では、前後方向を矢印Ａ、横方向を矢印Ｂで示し、上下方向を矢印Ｃで示す。

図１１に示すクリーンブース１０Ｄが図１のそれと異なるところは、イオン化空気を生成しつつ生成したイオン化空気を作業ブース１２に給気する除電用空気発生装置４８を含む点、除電用空気発生装置４８によって作業ブース１２に給気されるイオン化空気のイオン化空気給気口４９が安全キャビネット３１で作業する作業者の直上に位置する天井パネル１９（天面パネル１９ｂ）に設置されている点にある。このクリーンブース１０Ｄのその他の構成は図１のクリーンブース１０Ａのそれらと同一であるから、図１の説明を援用するとともに、図１と同一の符号を付すことで、このクリーンブース１０Ｄのその他の構成の詳細な説明は省略する。

クリーンブース１０Ｄは、作業ブース１２、第１出入口１３、第２出入口１４、緩衝スペース１５（緩衝空間）、ファンフィルターユニット１６（給気手段）、除電用空気発生システム４５を有する。作業ブース１２や第１出入口１３、第２出入口１４、緩衝スペース１５、ファンフィルターユニット１６（給気手段）、建造物１１に施設された空調設備は、図１のクリーンブース１０Ａのそれらと同一である。作業ブース１２には、安全キャビネット３１（図３参照）が収容されている。

除電用空気発生システム４５は、図１２に示すように、送風機４７（送風ファン）、ＨＥＰＡフィルタ４６、除電用空気発生装置４８、イオン化空気給気口４９、イオン化空気給気ダクト５０から形成されている。送風機４７は、イオン化空気給気ダクト５０に設置され、ＨＥＰＡフィルタ４６によって濾過された清浄空気を除電用空気発生装置４８に送る。ＨＥＰＡフィルタ４６は、送風機４７の後流側に延びるイオン化空気給気ダクト５０に設置され、外部空気を濾過して清浄空気を作る。

除電用空気発生装置４８は、ＨＥＰＡフィルタ４６の後流側に延びるイオン化空気給気ダクト５０に設置されている。除電用空気発生装置４８は、高電圧によって空気を電離し、清浄空気から正イオン・負イオンを有するイオン化空気を生成する。除電用空気発生装置４８から生成されたイオン化空気によって帯電物の電荷が中和（除電）される。除電用空気発生装置４８には、イオンエンジン型やＤＣ型、ＡＣ型、フェイズドアレイ型、高周波型、パルスＤＣ型、パルスＡＣ型、プラズマ型、プラズマＤＣパルス型のいずれかを使用することができる。

イオン化空気給気口４９は、イオン化空気給気ダクト５０に連結され、安全キャビネット３１で作業する作業者の直上に位置する作業ブース１２の天井パネル１９（天面パネル１９ｂ）に設置されている。イオン化空気給気ダクト５０は、天井空間２３に設置され、天井パネル１９（側面パネル１９ａ）に取り付けられた空気取り入れ用ガラリ５１に連結されている。なお、作業ブース１２にクリーンベンチやグローブボックス、アイソレータ、ドラフトチャンバのいずれかが収容される場合、イオン化空気給気口４９がそれら実験設備で作業する作業者の直上に位置する天井パネル１９（天面パネル１９ｂ）に設置される。

クリーンブース１０Ｄでは、イオン化空気給気口４９が作業ブース１２の天井パネル１９に設置されているが、イオン化空気給気口４９が安全キャビネット３１で作業する作業者の直上に位置する作業ブース１２の天井パネル１９（天面パネル１９ｂ）と、緩衝スペース１５の天井パネル１９（天面パネル１９ｂ）とのうちの少なくとも一方に設置されていればよい。イオン化空気給気口４９が緩衝スペース１５の天井パネル１９に設置される場合は、第１出入口１３から第２出入口１４に向かって緩衝スペース１５を一方向（前後方向）へ通流する空気の気流を逆流させることがない緩衝スペース１５の天井パネル１９の所定の箇所に設置される。

除電用空気発生システム４５が起動すると、送風機４７によって建造物１１の内部（室内）の外部空気が空気取り入れ用ガラリ５１からイオン化空気給気ダクト５０に流入し、外部空気がＨＥＰＡフィルタ４６を通流して除電用空気発生装置４８に流入し、除電用空気発生装置４８によってイオン化空気が生成された後、所定風量のイオン化空気がイオン化空気給気口４９から作業ブース１２の内部の床面に向かってを給気される。なお、除電用空気発生システム４５のＯＮ／ＯＦＦスイッチは、クリーンブース１０Ｄの内部に設置されている。

クリーンブース１０Ｄでは、作業ブース１２の容積や安全キャビネット３１から排気される空気の排気風量、除電用空気発生装置４８から給気されたイオン化空気の給気風量に対応しつつ、作業ブース１２の内部気圧を微陽圧に保持し得るとともに、給気する外部空気によって外部空気給気口３３から第１出入口１３に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流が作業ブース１２の内部に発生するように、ファンフィルターユニット１６の給気風量や給気方向が調節されている。具体的には、ファンフィルターユニット１６の給気風量＝（安全キャビネット３１から排気される空気の排気風量＋クリーンブース１０Ｄ（第２出入口１４）から排気される空気の排気風量）−除電用空気発生装置４８から給気されるイオン化空気の給気風量である。

クリーンブース１０Ｄを利用して各種の実験や研究、開発、培養等を行う作業者は、ファンフィルターユニット１６や安全キャビネット３１（送風機３９）、除電用空気発生システム４５のＯＮ／ＯＦＦスイッチをＯＮにしてファンフィルターユニット１６や安全キャビネット３１、除電用空気発生システム４５を起動させるとともに、無塵衣を着用した状態で作業ブース１２に入る。

ファンフィルターユニット１６や安全キャビネット３１（送風機３９）、除電用空気発生システム４５を起動させると、建造物１１の内部の空気（外部空気）が空気取り入れ用ガラリ２４，５１から天井空間２３およびイオン化空気給気ダクト５０に流入し、天井空間２３からファンフィルターユニット１６に流入するとともに、イオン化空気給気ダクト５０からＨＥＰＡフィルタ４６を通流して除電用空気発生装置４８に流入する。外部空気がファンフィルターユニット１６のＨＥＰＡフィルタ３２を通流して外部空気給気口３３から作業ブース１２の内部の床面に向かって給気され、イオン化空気がイオン化空気給気口４９から作業ブース１２の内部の床面に向かって給気される。

ファンフィルターユニット１６から給気される外部空気（清浄空気）の風量が作業ブース１２の内部気圧を微陽圧に保持するそれに調節されているから、ファンフィルターユニット１６や安全キャビネット３１（送風機３９）、除電用空気発生システム４５の起動によって作業ブース１２の内部が微陽圧になるとともに、ファンフィルターユニット１６の外部空気給気口３３から第１出入口１３に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流が発生する。

作業ブース１２の内部に給気されたイオン化空気は、図１４，１５に矢印Ｌ６で示すように、安全キャビネット３１で作業する作業者の上方から作業者に向かって給気される。作業者が装着した無塵衣が帯電している場合、イオン化空気によって無塵衣（帯電物）の電荷が中和（除電）される。作業ブース１２の内部に給気された外部空気（清浄空気）およびイオン化空気の一部は、安全キャビネット３１の空気流入開口３７から空気流路３８に流入し、空気流路３８を通って第１ＨＥＰＡフィルタ４０を通流した後、作業用チャンバ３５に流入するとともに、第２ＨＥＰＡフィルタ４１を通流した後、排気用ダクト４３を通って空気排気用ガラリ２５から建造物１１の内部（室内）に排気される（図３参照）。したがって、ファンフィルターユニット１６から給気された外部空気や除電用空気発生装置４８から給気されたイオン化空気は、その一部がクリーンブース１０Ｄ（作業ブース１２）の外側（建造物１１の室内）に排気される。

作業ブース１２の内部に給気された清浄空気やイオン化空気のうちの安全キャビネット３１に流入した空気を除く残余の空気（清浄空気およびイオン化空気）は、図１３，１４に矢印Ｌ３で示すように、第１出入口１３を通って緩衝スペース１４に流入し、緩衝スペース１５を通流した後、緩衝スペース１５から第２出入口１４を通ってクリーンブース１０Ｄの外側（建造物１１の内部（室内））に流出する。建造物１１の内部に流出した空気（建造物１１の内部の外部空気）は、ファンフィルターユニット１６や除電用空気発生システム４５によって再び作業ブース１２の内部に給気される。

クリーンブース１０Ｄでは、空調設備の空調空気給気口１８から所定風量の空調空気が建造物１１の内部（室内）に給気されることで、建造物１１の内部に気流の乱れ（外乱）が生じ、気流の乱れが第２正面壁２６の中央に開口する第２出入口１４に作用する場合がある。空調空気によって生じた気流の乱れ（外乱）が第２出入口１４に作用すると、建造物１１の内部（室内）の外部空気の一部が第２出入口１４から緩衝スペース１５に流入（逆流）する場合がある。

しかし、クリーンブース１０Ｄでは、空調空気の給気によって生じた気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）が第２出入口１４に作用したとしても、第１出入口１３と第２出入口１４との間で第１出入口１３から前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びる緩衝スペース１５の空気層（ファンフィルターユニット１６および除電用空気発生システム４５から給気された気流）が逆流する空気の抵抗となり、緩衝スペース１５の空気層によってその外乱による影響が緩和・消滅し、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持される。

なお、クリーンブース１０Ｄでは、空調空気の給気およびドア４４の開閉を要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）またはドア４４の開閉のみを要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）が第２正面壁２６の中央に開口する第２出入口１４に作用したとしても、緩衝スペース１５の空気層が逆流する空気の抵抗となり、緩衝スペース１５の空気層によってその外乱による影響が緩和・消滅し、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持される（図６参照）。

クリーンブース１０Ｄは、それを施設した建造物１１の内部（作業室））の気流が空調設備の空調空気給気口１８から給気された空調空気（および／またはドア４４の開閉）によって乱れ、空調空気の給気（および／またはドア４４の開閉）を要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）が第２出入口１４に作用したとしても、緩衝スペース１５が第１出入口１３と第２出入口１４との間で第１出入口１３から前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びることで、緩衝スペース１５が前後方向（空気の流出方向）および横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ所定の容積を有し、作業ブース１２から第１出入口１３を通って緩衝スペース１５に流出するとともに緩衝スペース１５を通流して第２出入口１４から流出する空気の流れ（気流）が作られ、第１出入口１３から第２出入口１４に向かって緩衝スペース１５を流通する空気層（作業ブース１２から流出する空気）が第２出入口１４から緩衝スペース１５に向かって逆流する空気の抵抗となり、第２出入口１４から緩衝スペース１５に向かって逆流する空気が緩衝スペース１５を流通する空気層によって押し戻される。したがって、クリーンブース１０Ｄは、空調空気の給気（および／またはドア４４の開閉）によって建造物１１の内部に外乱が生じたとしても、第１出入口１３から作業ブース１２の内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、建造物１１の内部の空気の作業ブース１２の内部への流入を防ぐことができる。

クリーンブース１０Ｄは、空調空気の給気（および／またはドア４４の開閉）を要因とする気流の乱れ（外乱）が第２正面壁２６の中央に開口する第２出入口１４に作用したとしても、第２出入口１４に作用する外乱による影響が第１出入口１３から前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びる緩衝スペース１５の空気層によって緩和・消滅し、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持されるから、外乱を原因とした建造物１１の内部（室内）の空気の作業ブース１２の内部への流入（逆流）を防ぐことができ、建造物１１の内部の空気が作業ブース１２の内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース１２の内部の清浄状態を保持することができる。

クリーンブース１０Ｄは、除電用空気発生装置４８（除電用空気発生システム４５）によって生成されたイオン化空気が作業ブース１２の天井パネル１９から作業者に向かって給気されるから、作業者の着衣（無塵衣）に帯電した電荷をイオン化空気によって除電（中和）することができ、作業者における静電気の発生を防ぐことができるとともに、作業者の着衣への静電気による塵埃の付着を防ぐことができる。クリーンブース１０Ｄは、イオン化空気を給気することによって作業中に発生した静電気による着衣や機材の帯電を防ぐことができるとともに、イオン化空気によって作業者の着衣や機材が帯電することがないから、着衣や機材に塵埃が付着したとしてもその塵埃を容易に除去することができる。

クリーンブース１０Ｄは、イオン化空気給気口４９が第１出入口１３から第２出入口１４に向かって緩衝スペース１５を一方向（前後方向）へ通流する空気の気流を逆流させることがない緩衝スペース１５の天井パネル１９に設置される場合、緩衝スペース１５に発生した一方向へ流れる気流が除電用空気発生装置４８から給気されたイオン化空気によって乱れることや逆流することはなく、緩衝スペース１５の気流の乱れによって生じる第１出入口１３から作業ブース１２の内部への空気の逆流を防ぐことができ、作業ブース１２の内部の清浄状態を保持することができる。

なお、建造物１１の内部に外乱が発生する他の要因としては、第２出入口１４の近傍における人や物の往来、建造物１１の内部における局所給気装置や局所排気装置の稼働、建造物１１の内部とクリーンブース１０Ａ〜１０Ｄの内部との急激な温度差の発生がある。クリーンブース１０Ａ〜１０Ｄでは、それらの外乱が発生したとしても、緩衝スペース１５の存在によってそれら外乱を原因とした建造物１１の内部（室内）の空気の作業ブース１２の内部への流入（逆流）を防ぐことができ、建造物１１の内部の空気が作業ブース１２の内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース１２の内部の清浄状態を保持することができる。

１０Ａ クリーンブース
１０Ｂ クリーンブース
１０Ｃ クリーンブース
１０Ｄ クリーンブース
１１ 建造物
１２ 作業ブース
１３ 第１出入口
１４ 第２出入口
１５ 緩衝スペース
１６ ファンフィルターユニット（給気手段）
１７ 天井
１８ 空調空気給気口
１９ 天井パネル
１９ａ 側面パネル
１９ｂ 天面パネル
２０ 床
２１ 第１壁パネル
２２ 第２壁パネル
２３ 天井空間
２４ 空気取り入れ用ガラリ
２５ 空気排気用ガラリ
２６ 第１正面壁
２７ 背面壁
２８ 第１側面壁
２９ 第２正面壁
３０ 第２側面壁
３１ 安全キャビネット
３２ ＨＥＰＡフィルタ
３３ 外部空気給気口
３９ 送風機
４０ 第１ＨＥＰＡフィルタ
４１ 第２ＨＥＰＡフィルタ
４２ 前面開口
４３ 排気用ダクト
４４ ドア
４５ 除電用空気発生システム
４６ ＨＥＰＡフィルタ
４７ 送風機
４８ 除電用空気発生装置
４９ イオン化空気給気口
５０ イオン化空気給気ダクト
５１ 空気取り入れ用ガラリ

Claims (13)

1. 建造物の所定の箇所に施設されるクリーンブースにおいて、
   前記クリーンブースが、各種の実験設備を収容可能であって所定の作業スペースを有する所定容積の作業ブースと、前記作業ブースに出入するために施設されて該作業ブース内の空気が流出する第１出入口と、前記作業ブースに外部空気を給気する外部空気給気口を備え、前記外部空気給気口から前記第１出入口に向かって一方向へ流れる気流を発生させる給気手段と、前記第１出入口につながって前記作業ブースから流出した空気が流入する所定容積の緩衝スペースと、前記緩衝スペースに出入するために施設されて該緩衝スペース内の空気が流出する第２出入口とを有し、
   前記クリーンブースでは、前記外部空気給気口から前記作業ブースに給気される外部空気によって該外部空気給気口から前記第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が該作業ブース内に発生するように、前記給気手段の給気風量が調節され、前記第１出入口から前記第２出入口に向かって前記緩衝スペースを通流する空気が該第１出入口から前記作業ブース内に逆流することなく、前記作業ブース内の空気が前記第１出入口から前記緩衝スペースに流出することを特徴とするクリーンブース。
2. 前記緩衝スペースが、前記第１出入口と前記第２出入口との間において該第１出入口から空気の流出方向へ延びている請求項１に記載のクリーンブース。
3. 前記緩衝スペースが、前記第１出入口と前記第２出入口との間において該第１出入口から空気の流出方向へ延びているとともに、前記空気の流出方向と交差する方向へ延びている請求項１に記載のクリーンブース。
4. 前記第２出入口が、前記第１出入口に対向し、前記緩衝スペースを挟んで該第１出入口に対して一列に並んだ状態で施設されている請求項１ないし請求項３いずれかに記載のクリーンブース。
5. 前記第２出入口が、前記第１出入口に対向せず、前記緩衝スペースを挟んで該第１出入口に対して所定の角度傾斜した位置に施設されている請求項１ないし請求項３いずれかに記載のクリーンブース。
6. 前記第２出入口が、前記第１出入口に対向せず、前記緩衝スペースの介在下に該第１出入口に対して略直交した位置に施設されている請求項１ないし請求項３いずれかに記載のクリーンブース。
7. 前記クリーンブースでは、該クリーンブースの外側における前記建造物内の気流の乱れ（外乱）が前記第２出入口に作用した場合、前記第２出入口に作用する外乱による影響が前記緩衝スペースによって緩和され、前記作業ブース内の空気が前記第１出入口から前記緩衝スペースに流出する請求項１ないし請求項６いずれかに記載のクリーンブース。
8. 前記建造物が、前記クリーンブースの外側に設置されて空調設備によって生成された空調空気を該建造物内に給気する空調空気給気口を備え、前記クリーンブースでは、前記空調空気給気口から給気された空調空気による気流の乱れ（外乱）が前記第２出入口に作用した場合、前記第２出入口に作用する外乱による影響が前記緩衝スペースによって緩和され、前記作業ブース内の空気が前記第１出入口から前記緩衝スペースに流出する請求項７に記載のクリーンブース。
9. 前記クリーンブースが、前記建造物内に着脱可能に施設される天井パネルと、前記建造物の床と前記天井パネルとの間に着脱可能に施設されて前記作業ブースを囲繞する第１壁パネルと、前記建造物の床と前記天井パネルとの間に着脱可能に施設され、前記第１壁パネルに連結されて前記緩衝スペースを囲繞する第２壁パネルとを含み、前記第１出入口が、前記第１壁パネルの間に開口し、前記第２出入口が、前記第２壁パネルの間に開口している請求項１ないし請求項８いずれかに記載のクリーンブース。
10. 前記給気手段が、前記天井パネルに設置されたファンフィルターユニットであり、前記クリーンブースでは、前記外部空気給気口から前記作業ブースに給気される外部空気によって該外部空気給気口から前記第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が該作業ブース内に発生するように、前記ファンフィルターユニットの給気風量が調節される請求項９に記載のクリーンブース。
11. 前記実験設備が、安全キャビネット、クリーンベンチ、グローブボックス、アイソレータ、ドラフトチャンバのうちの少なくとも１つであり、前記クリーンブースでは、前記外部空気給気口から前記作業ブースに給気される外部空気によって該外部空気給気口から前記第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が該作業ブース内に発生するように、稼働した前記安全キャビネット、前記クリーンベンチ、前記グローブボックス、前記アイソレータ、前記ドラフトチャンバの排気風量に対応させて前記ファンフィルターユニットの給気風量が調節される請求項９または請求項１０に記載のクリーンブース。
12. 前記クリーンブースが、イオン化空気を生成しつつ生成したイオン化空気を前記作業ブースと前記緩衝スペースとのうちの少なくとも一方に給気する除電用空気発生装置を含み、前記除電用空気発生装置によって給気されるイオン化空気のイオン化空気給気口が、前記安全キャビネット、前記クリーンベンチ、前記グローブボックス、前記アイソレータ、前記ドラフトチャンバで作業する作業者の直上に位置する前記天井パネルと、前記第１出入口から前記第２出入口に向かって前記緩衝スペースを一方向へ通流する空気の気流を逆流させることがない該緩衝スペースの天井パネルとのうちの少なくとも一方に設置されている請求項１１に記載のクリーンブース。
13. 前記クリーンブースでは、前記外部空気給気口から前記作業ブースに給気される外部空気によって該外部空気給気口から前記第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が該作業ブース内に発生するように、前記実験設備の排気風量と前記除電用空気発生装置から給気されたイオン化空気の給気風量とに対応させて前記ファンフィルターユニットの給気風量が調節される請求項１２に記載のクリーンブース。

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