JP2019086286A - 半導体集積回路及びその経年劣化判定方法 - Google Patents

半導体集積回路及びその経年劣化判定方法 Download PDF

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Abstract

【課題】安定的に且つ正確にLOGIC制御回路の経年劣化を判定することが可能な半導体集積回路及びその経年劣化判定方法を提供する。【解決手段】半導体集積回路10は、LOGICセル11と、LOGICセル11と同じ構成のダミー回路であり、LOGICセル11に印加される電圧よりも高い電圧が印加されるLOGICセル14と、LOGICセル11から出力される出力信号とLOGICセル14から出力される出力信号とに基づいてLOGICセル11の経年劣化を判定する判定回路15とを備える。【選択図】図3

Description

本実施の形態は、半導体集積回路及びその経年劣化判定方法に関する。
近年、半導体集積回路の高集積化及びデータ処理の高速化が進められているが、LOGIC(ロジック)制御回路の経年劣化による制御不良の問題がある。
例えば、特許文献1には、連系インバータの運転制御に用いる検出信号の入力電流・電圧及び出力電流・電圧を演算して、連系インバータの入出力電力比を求め、その入出力電力比の増加により連系インバータの回路劣化を予測する経年劣化予測方法が開示されている。また、特許文献2には、ユーザの使用頻度及び使用環境に依存して経時劣化する回路要素の故障発生時期を予測する半導体装置が開示されている。
特開平08−181343号公報 特開平7−128384号公報
近年、自動車に搭載されるあらゆる部品のための安全機能(例えば、フェールセーフ、異常検出、安全停止などの機能)の規格が見直されつつある。特に、車載用の機器の多くは、電気的/電子的に制御されており、高性能化・高機能化だけでなく、安全性の確保も重要なニーズとなっている。そのため、今まで以上に安定的に且つ正確にLOGIC制御回路の経年劣化を判定することが望まれている。
本実施の形態は、安定的に且つ正確にLOGIC制御回路の経年劣化を判定することが可能な半導体集積回路及びその経年劣化判定方法を提供する。
本実施の形態の一態様によれば、第1のロジック制御回路と、前記第1のロジック制御回路と同じ構成のダミー回路であり、前記第1のロジック制御回路に印加される電圧よりも高い電圧が印加される第2のロジック制御回路と、前記第1のロジック制御回路から出力される出力信号と前記第2のロジック制御回路から出力される出力信号とに基づいて前記第1のロジック制御回路の経年劣化を判定する判定回路とを備える半導体集積回路が提供される。
本実施の形態の他の態様によれば、第1のロジック制御回路において処理を実行するステップと、前記第1のロジック制御回路と同じ構成のダミー回路であり、前記第1のロジック制御回路に印加される電圧よりも高い電圧が印加される第2のロジック制御回路において処理を実行するステップと、前記第1のロジック制御回路から出力される出力信号と前記第2のロジック制御回路から出力される出力信号とに基づいて前記第1のロジック制御回路の経年劣化を判定する判定ステップとを含む半導体集積回路の経年劣化判定方法が提供される。
本実施の形態によれば、安定的に且つ正確にLOGIC制御回路の経年劣化を判定することが可能な半導体集積回路及びその経年劣化判定方法を提供することができる。
比較例に係る半導体集積回路の構成例を示す概略ブロック構成図である。 比較例に係る半導体集積回路の故障率曲線を示すグラフである。 実施の形態に係る半導体集積回路の構成例を示す概略ブロック構成図である。 図3に示される判定回路の動作を示すフローチャートである。 図3に示される判定回路の動作の具体例を示すフローチャートである。 図3に示される判定回路の概略ブロック構成図である。 図3に示される判定回路により処理される信号の波形図である。 図3に示される判定回路により処理される信号の波形図である。 通常動作電圧の説明図である。 実施例に係る半導体集積回路の構成例を示す概略ブロック構成図である。 図10に示されるデジタルICの構成例を示す概略ブロック構成図である。 図11に示される駆動回路Du,Dv,Dwの回路ブロック構成図であり、(a)駆動回路Du、(b)駆動回路Dv、(c)駆動回路Dw。 図10に示されるデジタルICの構成例を示す概略ブロック構成図である。 図13に示される第2のロジック制御回路に含まれるLOGICセルの説明図である。 図10に示されるデジタルICの構成例を示す概略ブロック構成図である。 実施例に係る半導体集積回路の構成例を示す概略ブロック構成図である。 実施の形態に係る半導体集積回路を適用したモータを自動車に応用した場合の説明図である。
次に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、厚みと平面寸法との関係、各層の厚みの比率等は現実のものとは異なることに留意すべきである。したがって、具体的な厚みや寸法は以下の説明を参酌して判断すべきものである。又、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。
又、以下に示す実施の形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施の形態は、構成部品の材質、形状、構造、配置等を下記のものに特定するものでない。この発明の実施の形態は、特許請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。
[比較例]
図1は、比較例に係る半導体集積回路10の構成例を示す概略ブロック構成図である。図1に示すように、比較例に係る半導体集積回路10は、LOGICセル11と、駆動回路12と、出力段Tr13とを備える。LOGICセル11が通常動作電圧で動作して駆動回路12を制御し、駆動回路12が出力段Tr13を介して外部の回路を駆動するようになっている。
図2は、比較例に係る半導体集積回路10の故障率曲線を示すグラフである。故障率曲線は、時間経過に伴う故障率の変化を示す曲線であり、その形からバスタブ曲線と呼ばれている。具体的には、図2に示すように、時間の経過により、(i)初期故障モード、(ii)偶発故障モード、(iii)摩耗故障モードの3つに分けられる。(iii)摩耗故障モードでは、LOGICセル11の経年劣化により、故障率が時間の経過とともに増加する。すなわち、LOGIC制御ブロックを搭載しているICをLOGICセル11の通常動作電圧で長期間使用していくと、LOGICセル11の経年劣化が進行し、タイミング制御の不良に繋がる可能性がある。LOGICセル11の経年劣化は使用頻度によるので、動作開始後、劣化度合いを把握(予測)することは困難である。
[実施の形態]
以下、比較例と異なる点を中心に実施の形態を説明する。
(概要)
実施の形態に係る半導体集積回路10は、図3に示すように、LOGICセル11と、LOGICセル11と同じ構成のダミー回路であり、LOGICセル11に印加される電圧よりも高い電圧が印加されるLOGICセル14と、LOGICセル11から出力される出力信号とLOGICセル14から出力される出力信号とに基づいてLOGICセル11の経年劣化を判定する判定回路15とを備える。
例えば、判定回路15は、LOGICセル11から出力信号が出力されるタイミングとLOGICセル14から出力信号が出力されるタイミングとのズレに基づいて経年劣化を判定してもよい。
また、判定回路15は、LOGICセル11から出力される出力信号の値とLOGICセル14から出力される出力信号の値とに基づいて経年劣化を判定してもよい。
また、判定回路15は、経年劣化を検出すると、その旨を示すダイアグ信号を出力してもよい。
また、判定回路15は、経年劣化を検出すると、LOGICセル11の後段の出力段をオフしてもよい。
また、判定回路15は、LOGICセル11及びLOGICセル14による最終的な演算結果に基づいて経年劣化を判定してもよい。
また、判定回路15は、LOGICセル11及びLOGICセル14による途中経過の演算結果に基づいて経年劣化を判定してもよい。
また、LOGICセル11は、駆動回路を制御する回路であってもよい。
また、LOGICセル11とLOGICセル14とが同じ発振回路からのクロック信号をトリガとして動作してもよい。
また、LOGICセル11の動作最大電圧がLOGICセル14に印加されてもよい。
(半導体集積回路)
図3は、実施の形態に係る半導体集積回路10の構成例を示す概略ブロック構成図である。図3に示すように、実施の形態に係る半導体集積回路10は、例えば、三相モータの駆動制御を行うモータドライバIC等であって、LOGICセル11と、駆動回路12と、出力段Tr13と、LOGICセル14と、判定回路15とを備える。
LOGICセル11は、通常使用のLOGICセルであり、例えば、駆動回路12を制御する。LOGICセル11には通常動作電圧が印加される。
駆動回路12は、対象に電力を供給して動かしたり、遮断して止めたりする回路である。例えば、各相(U相、V相、W相)のモータコイルを駆動するドライバである。
出力段Tr13は、外部に接続する回路(例えばトランジスタ)であり、出力レベルを合わせる役目を持つ。
LOGICセル14は、ダミーのLOGICセルである。LOGICセル14には動作最大電圧が印加される。動作最大電圧が印加されることを除けば、LOGICセル11と同じ条件である。すなわち、LOGICセル11と同じICに搭載され、LOGICセル11と同じ回路構成であり、LOGICセル11と同じトリガで動作し、LOGICセル11と同じ期待値を出力するようになっている。
判定回路15は、LOGICセル11の経年劣化を判定する回路である。例えば、両方のLOGICセル11,14の出力のタイミングのズレを検出すると、出力制御信号により出力段Tr13をOFFにしたり、ダイアグ信号を後段のマイコン等に送信したりするようになっている。
このように、実施の形態に係る半導体集積回路10は、LOGIC制御ブロック内において通常動作電圧駆動のLOGICセル11とは別に、最大動作電圧駆動のLOGICセル14を備え、次段の判定回路15によりタイミングを計る。通常、最大動作電圧駆動のLOGICセル14は、通常動作電圧駆動のLOGICセル11より経年劣化が早く反応速度などの遅延が発生するため、通常動作電圧駆動のLOGICセル11とのタイミング異常が発生する。このタイミング異常を次段の判定回路15により検出し、ダイアグ信号に変換して出力する。出力段Tr13を持つ場合は、出力段Tr13をOFFにしてもよい。これにより、通常動作電圧駆動のLOGICセル11の経年劣化による誤動作を未然に防止することが可能となる。
(判定処理)
図4は、図3に示される判定回路15の動作を示すフローチャートである。
まず、判定回路15は、判定タイミングが到来すると、LOGICセル11の経年劣化を判定する(S1→S2)。ここで、経年劣化が生じていないと判定した場合は、判定処理を通常終了し、次の判定タイミングが到来するまで待つ(S2→S3→S1)。一方、経年劣化が生じていると判定した場合は、駆動回路12へ出力OFF信号を出力し、判定処理を終了する(S2→S4)。出力OFF信号とは、出力段Tr13をOFFにするための出力制御信号である。このとき、ダイアグ信号を後段のマイコン等に送信するようにしてもよい(S4)。
以下、判定回路15による判定処理の内容を具体的に説明する。もちろん、以下に説明する判定処理の内容は単なる一例であり、これに限定されるものではない。
図5は、図3に示される判定回路15の動作の具体例を示すフローチャートである。
まず、判定回路15は、通常動作電圧駆動のLOGICセル11から出力される出力信号data1のハイエッジが到来した後、通常動作電圧駆動のLOGICセル11に入力されるクロック信号clk1のハイエッジが到来すると、そのクロック信号clk1に同期して、最大動作電圧駆動のLOGICセル14から出力される出力信号data1を取り込み、取り込んだ出力信号data1の値を判定する(S21→S22→S23→S24)。ここで、取り込んだ出力信号data1の値がハイである場合は、判定処理を通常終了し、通常動作電圧駆動のLOGICセル11から出力される出力信号data1のハイエッジが到来するまで待つ(S24→S25→S21)。一方、取り込んだ出力信号data1の値がローである場合は、駆動回路12へ出力OFF信号を出力し、判定処理を終了する(S24→S26)。このとき、ダイアグ信号を後段のマイコン等に送信するようにしてもよい(S26)。
図6は、図3に示される判定回路15の概略ブロック構成図である。図6に示すように、LOGICセル11,14は、フリップフロップ15Aと、ラッチ回路15Bとを備えてもよい。フリップフロップ15Aは、出力信号data1をクロック信号clk1に同期して読み込み、一時的に保持し、出力信号out1を出力する回路である。ラッチ回路15Bは、出力信号out1を保持する回路である。
図7は、図3に示される判定回路15により処理される信号の波形図である。ここでは、正常時(経年劣化していない場合)の波形を例示している。図7に示すように、正常時は、出力信号data1のハイエッジが到来した後、クロック信号clk1のハイエッジが到来すると、出力信号out1がハイになり、次のクロック信号clk1のハイエッジが到来すると、出力信号out1がローになる。すなわち、出力信号out1の値がハイである場合は、経年劣化が発生していないと判定することが可能である。
図8は、図3に示される判定回路15により処理される信号の波形図である。ここでは、経年劣化によるタイミング遅延が発生している場合の波形を例示している。図8に示すように、経年劣化が発生している場合は、出力信号out1がローのままである。すなわち、出力信号out1の値がローである場合は、経年劣化が発生していると判定することが可能である。
以上のように、実施の形態に係る半導体集積回路10は、LOGIC制御ブロックのダブルセル機構を備え、一方のダミーのLOGICセル14の動作電圧として動作最大電圧を印可し、経年劣化を加速させる。これにより、両方のLOGICセル11,14の出力のタイミングのズレを検出することで、通常使用のLOGICセル11の素子劣化を未然に検出することができる。その結果、出力制御信号により出力段Tr13をOFFにしたり、ダイアグ信号を後段のマイコン等に送信したりすることができるため、経年劣化が近いことを提示し、致命的な破壊を防ぐことが可能となる。
なお、上記の説明では、通常使用のLOGICセル11に通常動作電圧を印加し、ダミーのLOGICセル14に最大動作電圧を印加することとしているが、これに限定されるものではない。すなわち、図9に示すように、通常使用のLOGICセル11に印加される電圧は、動作電圧として許容される最小動作電圧Min〜最大動作電圧Maxの範囲内であればよい。また、ダミーのLOGICセル14に印加される電圧は、最小動作電圧Min〜最大動作電圧Maxの範囲内であって、且つ通常使用のLOGICセル11に印加される電圧よりも相対的に高ければよい。以下、通常使用のLOGICセル11に印加される電圧よりもダミーのLOGICセル14に印加される電圧の方がΔだけ高いものとして説明する。
[実施例]
以下、模式的な図面を用いて幾つかの半導体集積回路の実施例を示す。これら半導体集積回路のレイアウト等は適宜変更したり組み合わせたりすることが可能である。
図10は、実施例に係る半導体集積回路20の構成例を示す概略ブロック構成図である。図10に示すように、実施例に係る半導体集積回路20は、アナログIC21と、デジタルIC22と、OSC23とを備える。デジタルIC22には、多数のLOGICセルCが含まれる。これらのLOGICセルCは、通常使用のLOGICセルCとダミーのLOGICセルCのダブルセル機構であり、同じ発振回路(OSC)23からのクロック信号をトリガとして動作する。通常使用のLOGICセルCには電圧Vccが印加され、ダミーのLOGICセルCには電圧Vcc+Δが印加されている。
図11は、図10に示されるデジタルIC22の構成例を示す概略ブロック構成図である。図11に示すように、デジタルIC22は、A/Dコンバータ22Cと、第1のロジック制御回路22Aと、第2のロジック制御回路22Bと、駆動回路Du,Dv,Dwとを備える。ここでは図示を省略しているが、第1のロジック制御回路22Aと第2のロジック制御回路22Bの次段には判定回路が設けられる。
A/Dコンバータ22Cは、アナログ信号をデジタル信号に変換する変換回路である。第1のロジック制御回路22Aは、通常使用のLOGICセルが配置されるロジック制御ブロックであり、電圧Vccが印加されている。第2のロジック制御回路22Bは、ダミーのLOGICセルが配置されるロジック制御ブロックであり、電圧Vcc+Δが印加されている。駆動回路Du,Dv,Dwは、各相(U相、V相、W相)のモータコイルを駆動するドライバである。駆動回路Du,Dv,Dwには、第1のロジック制御回路22Aからの制御信号が入力されるようになっている。
図12は、図11に示される駆動回路Du,Dv,Dwの回路ブロック構成図であり、(a)は駆動回路Du、(b)は駆動回路Dv、(c)は駆動回路Dwを示す。図12に示すように、駆動回路Du,Dv,Dwは、トランジスタを含むプッシュプル形式で構成され、各相(U相、V相、W相)のモータコイルそれぞれの一端に駆動電圧を印加するようになっている。
図13は、図10に示されるデジタルIC22の構成例を示す概略ブロック構成図である。図13に示すように、第1のロジック制御回路22Aと第2のロジック制御回路22Bの次段には判定回路22Dが設けられる。第1のロジック制御回路22Aには電圧Vccが印加され、第2のロジック制御回路22Bには電圧Vcc+Δが印加されている。第1のロジック制御回路22Aと第2のロジック制御回路22Bは、I2C(Inter-Integrated Circuit)バス等のシリアルインタフェースを介して外部と通信可能であってもよい。
図14は、図13に示される第2のロジック制御回路22Bに含まれるLOGICセルの説明図である。図14に示すように、第2のロジック制御回路22Bが備える多数のLOGICセルC1,・・・,Cm,Cn,・・・CDM,Cの中には、経年劣化によりダメージを受けたLOGICセルCDM,Cが含まれる場合もある。ダメージを受けたLOGICセルCDM,Cが含まれる場合、反応速度などの遅延が発生することは既に説明した通りである。このようなタイミング異常を検出する際の検出対象となる信号は特に限定されるものではない。例えば、駆動回路Du,Dv,Dwを制御するための制御信号や、ホールセンサの位置検出信号等、様々な信号を検出対象とすることができる。また、第1のロジック制御回路22A及び第2のロジック制御回路22Bから最終的に出力される信号を検出対象とすることも可能であるし、あるいは、第1のロジック制御回路22A及び第2のロジック制御回路22Bにおける途中経過の信号を検出対象とすることも可能である。
図15は、図10に示されるデジタルIC22の構成例を示す概略ブロック構成図である。図15に示すように、デジタルIC22とは別の電源を第1のロジック制御回路22Aと第2のロジック制御回路22Bに供給してもよい。具体的には、デジタルIC22には電圧Vcc(例えば5V)を印加し、第1のロジック制御回路22Aには電圧Vdd(例えば2V)を印加し、第2のロジック制御回路22Bには電圧Vdd+Δ(例えば2.5V)を印加してもよい。この場合、デジタルIC22に印加する電圧Vccを5Vから3Vに変更しても、電圧Vddは変わらない。そのため、第1のロジック制御回路22Aには継続して2Vを印加することができ、また、第2のロジック制御回路22Bには継続して2.5Vを印加することができる。
図16は、実施例に係る半導体集積回路30の構成例を示す概略ブロック構成図である。図16に示すように、実施例に係る半導体集積回路30は、アナログIC31と、自動配置配線32とを備えてもよい。アナログIC31には、多数のLOGICセルCが含まれる。自動配置配線32は、多数のLOGICセルCについて自動配線処理を実行する。これらのLOGICセルCも、通常使用のLOGICセルCとダミーのLOGICセルCのダブルセル機構としてもよい。
[応用例]
以下、応用例を挙げて更に詳しく説明する。
図17は、実施の形態に係る半導体集積回路10を適用したモータを自動車に応用した場合の説明図である。すなわち、実施の形態に係る半導体集積回路10は、LOGIC制御ブロックを搭載したドライバ全般に適用することができ、このようなドライバは、自動車に搭載されるモータドライバなどに応用することができる。具体的には、図17に示すように、エンジンを始動するスタータモータ、燃料をエンジンに送る燃料ポンプモータ、エアコン用送風ブロワモータ、ワイパ駆動用モータ、パワー・ウィンドー・モータ、ラジエータ冷却ファンモータ、パワー・ステアリング・モータ、パワー・シート・モータなどに応用することが可能である。
もちろん、実施の形態に係る半導体集積回路10の応用例は、このようなモータドライバに限定されるものではない。例えば、ホール素子などの位置検出センサを搭載したドライバに応用することも可能である。
以上のように、実施の形態に係る半導体集積回路10は、LOGIC制御ブロックのダブルセル機構を備え、一方のダミーのLOGICセル14の動作電圧として動作最大電圧を印可し、経年劣化を加速させる。これにより、両方のLOGICセル11,14の出力のタイミングのズレを検出することで、通常使用のLOGICセル11の素子劣化を未然に検出することができる。その結果、出力制御信号により出力段Tr13をOFFにしたり、ダイアグ信号を後段のマイコン等に送信したりすることができるため、経年劣化が近いことを提示し、致命的な破壊を防ぐことが可能となる。
以上説明したように、本実施の形態によれば、安定的に且つ正確にLOGIC制御回路の経年劣化を判定することが可能な半導体集積回路及びその経年劣化判定方法を提供することができる。
[その他の実施の形態]
上記のように、実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述および図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。
このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
本実施の形態に係る半導体集積回路は、LOGIC制御ブロックを搭載したドライバ全般に適用することができ、このようなドライバは、自動車に搭載されるモータドライバや、ホール素子などの位置検出センサを搭載したドライバなどに応用することができる。
10,20,30…半導体集積回路
11…通常使用のLOGICセル(第1のロジック制御回路)
12,Du,Dv,Dw…駆動回路
13…出力段Tr
14…ダミーのLOGICセル(第2のロジック制御回路)
15…判定回路

Claims (20)

  1. 第1のロジック制御回路と、
    前記第1のロジック制御回路と同じ構成のダミー回路であり、前記第1のロジック制御回路に印加される電圧よりも高い電圧が印加される第2のロジック制御回路と、
    前記第1のロジック制御回路から出力される出力信号と前記第2のロジック制御回路から出力される出力信号とに基づいて前記第1のロジック制御回路の経年劣化を判定する判定回路と
    を備えることを特徴とする半導体集積回路。
  2. 前記判定回路は、前記第1のロジック制御回路から出力信号が出力されるタイミングと前記第2のロジック制御回路から出力信号が出力されるタイミングとのズレに基づいて前記経年劣化を判定することを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
  3. 前記判定回路は、前記第1のロジック制御回路から出力される出力信号の値と前記第2のロジック制御回路から出力される出力信号の値とに基づいて前記経年劣化を判定することを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
  4. 前記判定回路は、前記経年劣化を検出すると、その旨を示すダイアグ信号を出力することを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
  5. 前記判定回路は、前記経年劣化を検出すると、前記第1のロジック制御回路の後段の出力段をオフすることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
  6. 前記判定回路は、前記第1のロジック制御回路及び前記第2のロジック制御回路による最終的な演算結果に基づいて前記経年劣化を判定することを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
  7. 前記判定回路は、前記第1のロジック制御回路及び前記第2のロジック制御回路による途中経過の演算結果に基づいて前記経年劣化を判定することを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
  8. 前記第1のロジック制御回路は、駆動回路を制御する回路であることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
  9. 前記第1のロジック制御回路と前記第2のロジック制御回路とが同じ発振回路からのクロック信号をトリガとして動作することを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
  10. 前記第1のロジック制御回路の動作最大電圧が前記第2のロジック制御回路に印加されることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
  11. 第1のロジック制御回路において処理を実行するステップと、
    前記第1のロジック制御回路と同じ構成のダミー回路であり、前記第1のロジック制御回路に印加される電圧よりも高い電圧が印加される第2のロジック制御回路において処理を実行するステップと、
    前記第1のロジック制御回路から出力される出力信号と前記第2のロジック制御回路から出力される出力信号とに基づいて前記第1のロジック制御回路の経年劣化を判定する判定ステップと
    を含むことを特徴とする半導体集積回路の経年劣化判定方法。
  12. 前記判定ステップにおいて、前記第1のロジック制御回路から出力信号が出力されるタイミングと前記第2のロジック制御回路から出力信号が出力されるタイミングとのズレに基づいて前記経年劣化を判定することを特徴とする請求項11に記載の半導体集積回路の経年劣化判定方法。
  13. 前記判定ステップにおいて、前記第1のロジック制御回路から出力される出力信号の値と前記第2のロジック制御回路から出力される出力信号の値とに基づいて前記経年劣化を判定することを特徴とする請求項11に記載の半導体集積回路の経年劣化判定方法。
  14. 前記判定ステップにおいて、前記経年劣化を検出すると、その旨を示すダイアグ信号を出力することを特徴とする請求項11に記載の半導体集積回路の経年劣化判定方法。
  15. 前記判定ステップにおいて、前記経年劣化を検出すると、前記第1のロジック制御回路の後段の出力段をオフすることを特徴とする請求項11に記載の半導体集積回路の経年劣化判定方法。
  16. 前記判定ステップにおいて、前記第1のロジック制御回路及び前記第2のロジック制御回路による最終的な演算結果に基づいて前記経年劣化を判定することを特徴とする請求項11に記載の半導体集積回路の経年劣化判定方法。
  17. 前記判定ステップにおいて、前記第1のロジック制御回路及び前記第2のロジック制御回路による途中経過の演算結果に基づいて前記経年劣化を判定することを特徴とする請求項11に記載の半導体集積回路の経年劣化判定方法。
  18. 前記第1のロジック制御回路は、駆動回路を制御する回路であることを特徴とする請求項11に記載の半導体集積回路の経年劣化判定方法。
  19. 前記第1のロジック制御回路と前記第2のロジック制御回路とが同じ発振回路からのクロック信号をトリガとして動作することを特徴とする請求項11に記載の半導体集積回路の経年劣化判定方法。
  20. 前記第1のロジック制御回路の動作最大電圧が前記第2のロジック制御回路に印加されることを特徴とする請求項11に記載の半導体集積回路の経年劣化判定方法。
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