JP2019084550A - レーザーピーニング装置およびレーザーピーニング方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】プラズマ封じ込め物質が施工対象物表面を覆っている状態でその施工対象物表面にレーザーを照射してその施工対象物表面の改質を行うレーザーピーニング装置において、圧縮応力や応力深さを増加させる。【解決手段】実施形態によれば、レーザーピーニング装置10は、施工対象物表面11aにプラズマpを生成させるプラズマ生成用パルスレーザーL1を施工対象物表面11aに照射するプラズマ生成用レーザー装置14と、プラズマ生成用パルスレーザーL1の照射によって生成されたプラズマpを加熱するプラズマ加熱用パルスレーザーL2を施工対象物表面11aに照射するプラズマ加熱用レーザー装置15とを有する。【選択図】図1
Description
実施形態は、レーザーピーニング装置およびそれを用いたレーザーピーニング方法に関する。
従来のレーザーピーニング装置による物質内応力改善は、シングルショットのレーザーパルスを施工対象物質表面に照射し、その諸パラメータ、たとえばパルス時間幅、エネルギー、ビーム径、カバレッジ等を適正に制御することで、物質の残留応力の深さ方向分布の改善を行うというものである。
また、このような装置の改良として、施工対象物質の前面と背面の2方向からレーザーパルスを照射する体系を構成し、その2つのレーザーパルスを同時に照射する制御を行うことで、2つのレーザーパルスによって発生するそれぞれの衝撃波が、相対する表面上で同時に衝突を受けるようにして、さらに応力の改善効果を向上させる技術が知られている。
上述した従来の技術では、2つのレーザーパルスによって発生するそれぞれの衝撃波が、施工対象物質の相対する表面上で同時に衝突を受けるようにする。そのために、施工対象物質の前面照射部でのレーザービーム中心位置が、背面照射部でのレーザービーム中心位置と真正面で相対するように、試行錯誤無しに1回で整合させるような複雑な光軸調整が必要となるという課題があった。
また、施工対象物質の形状によっては、円筒形や円錐形などの場合のように、レーザー照射光学系がアクセス困難で、前面と背面の両方から同時にレーザーパルスを導光することが困難となる場合があるという課題があった。
そこで、本発明の実施形態は、このような事情を考慮してなされたもので、圧縮応力や応力深さを増加させるレーザーピーニング装置およびレーザーピーニング方法を提供することを目的とする。
実施形態に係るレーザーピーニング装置は、プラズマ封じ込め物質が施工対象物表面を覆っている状態でその施工対象物表面にレーザーを照射してその施工対象物表面の改質を行うレーザーピーニング装置であって、前記施工対象物表面にプラズマを生成させるプラズマ生成用パルスレーザーを前記施工対象物表面に照射するプラズマ生成用レーザー装置と、前記プラズマ生成用パルスレーザーの照射によって生成されたプラズマを加熱するプラズマ加熱用パルスレーザーを前記施工対象物表面に照射するプラズマ加熱用レーザー装置と、を有することを特徴とする。
また、実施形態に係るレーザーピーニング方法は、プラズマ封じ込め物質が施工対象物表面を覆っている状態でその施工対象物表面にプラズマ生成用パルスレーザーを照射して前記施工対象物表面にプラズマを生成させるプラズマ生成用レーザー照射ステップと、前記プラズマ生成用レーザー照射ステップで生成された前記プラズマが消滅する前にプラズマ加熱用パルスレーザーを前記施工対象物表面に照射することによって、前記プラズマを加熱するプラズマ加熱用レーザー照射ステップと、を有することを特徴とする。
本発明の実施形態によれば、レーザーピーニングにおいて、圧縮応力や応力深さを増加させることができる。
以下、本発明に係るレーザーピーニング装置およびレーザーピーニング方法の実施形態について、図面を参照して説明する。
[第1の実施形態]
図1は、本発明の第1の実施形態に係るレーザーピーニング装置の構成を示すブロック図である。図1に示すように、レーザーピーニング装置10は、施工対象物11の表面(施工対象物表面)11aに、純水などのプラズマ封じ込め物質12を存在させた状態で、プラズマ生成用パルスレーザーL1とプラズマ加熱用パルスレーザーL2を照射してレーザーピーニングを行うものである。施工対象物11は、たとえば、大型構造物の一部分であって、ステンレス鋼材質である。このレーザーピーニング装置10により、施工対象物11の内部の残留応力の深さ方向分布の改善を行い、引張から圧縮への大きな応力変化を奥深くまで発生させることができる。
図1は、本発明の第1の実施形態に係るレーザーピーニング装置の構成を示すブロック図である。図1に示すように、レーザーピーニング装置10は、施工対象物11の表面(施工対象物表面)11aに、純水などのプラズマ封じ込め物質12を存在させた状態で、プラズマ生成用パルスレーザーL1とプラズマ加熱用パルスレーザーL2を照射してレーザーピーニングを行うものである。施工対象物11は、たとえば、大型構造物の一部分であって、ステンレス鋼材質である。このレーザーピーニング装置10により、施工対象物11の内部の残留応力の深さ方向分布の改善を行い、引張から圧縮への大きな応力変化を奥深くまで発生させることができる。
レーザーピーニング装置10は、封じ込め物質供給装置13と、プラズマ生成用レーザー装置14と、プラズマ加熱用レーザー装置15と、タイミング調整部16と、モニタリング装置17と、プラズマ評価部18と、フィードバック部19とを有する。
封じ込め物質供給装置13は、施工対象物表面11aに純水などのプラズマ封じ込め物質12を供給するためのものであって、たとえば、プラズマ封じ込め物質12を貯蔵するタンクや、プラズマ封じ込め物質12を送るためのポンプやホースなど(図示せず)などを含む。ただし、施工対象物表面11a全体が純水に浸漬されている場合などには特別の封じ込め物質供給装置13はなくともよい。
プラズマ生成用レーザー装置14は、プラズマ生成用パルスレーザーL1を施工対象物表面11aに照射する装置である。また、プラズマ加熱用レーザー装置15は、プラズマ加熱用パルスレーザーL2を施工対象物表面11aに照射する装置である。プラズマ生成用レーザー装置14およびプラズマ加熱用レーザー装置15には、それぞれ、プラズマ生成用パルスレーザーL1およびプラズマ加熱用パルスレーザーL2を施工対象物表面11aに集光して照射するためのレンズやミラー(図示せず)が取り付けられている。
プラズマ生成用パルスレーザーL1およびプラズマ加熱用パルスレーザーL2は、施工対象物表面11aにおいて高エネルギー密度状態でオーバーラップするように、ミラー等で光軸調整を行い、レンズ等により集光される。
ここで、プラズマ生成用パルスレーザーL1は、たとえばNd:YAGパルスレーザーで、波長は2倍波(波長532nm)で、パルス時間幅は数nsのものであればよい。また、プラズマ加熱用パルスレーザーL2は、たとえばNd:YAGパルスレーザーで、波長は3倍波(波長355nm)で、パルス時間幅は数10nsのものを選ぶとよい。2台のレーザーの繰り返し周波数は同一として、たとえば100Hzとし、外部トリガーで発振のタイミングが相対的に規定される動作モードで使用する。
プラズマ生成用パルスレーザーL1は、施工対象物表面11aに対してほぼ垂直となるように照射し、プラズマ加熱用パルスレーザーL2は、施工面に対して斜め方向から照射する体系とする。
タイミング調整部16は、プラズマ生成用パルスレーザーL1とプラズマ加熱用パルスレーザーL2との照射時間間隔を調節するものである。タイミング調整部16は、プラズマ生成用レーザー装置14とプラズマ加熱用レーザー装置15との照射時間間隔(立ち上がり時間の遅れ)を調節するために、ケーブル20cおよびケーブル20dを介して、それぞれ、TTLタイプのトリガー信号をプラズマ生成用レーザー装置14およびプラズマ加熱用レーザー装置15に送る。照射時間間隔を調節するために必要な時間分解能としては、プラズマ生成用パルスレーザーL1とプラズマ加熱用パルスレーザーL2のうち、パルス時間幅の短い方の約1/10程度があればよく、本実施形態においては、プラズマ生成用レーザー装置14のパルス幅を基準にすると0.1ns程度分解能があればよい。
モニタリング部17は、レーザー照射によって施工対象物表面11aに生成されるプラズマpの状態を把握するものである。モニタリング部17としては、たとえばプラズマ発光分析装置を用いることができる。モニタリング部17を用いて、プラズマpの生成・成長(膨張)・減衰(消滅)の過程と相関のある発光量を時間分解してモニタリングする。発光分析に必要な時間分解能としては、プラズマ生成用パルスレーザーL1およびプラズマ加熱用パルスレーザーL2のうち、パルス時間幅の短い方の約1/10程度があればよく、本実施形態においては、プラズマ生成用レーザー装置14のパルス幅を基準にすると0.1ns程度分解能があればよい。
プラズマ評価部18は、モニタリング部(プラズマ発光分析装置)17の出力を、ケーブル20aを介して受信し、プラズマpの状態を分析する。プラズマ評価部18は、たとえば電子計算機である。プラズマ評価部18の出力は、たとえば、電子計算機に内蔵されたフィードバック部(インターフェースボード)19から、ケーブル20bを介してタイミング調整部16へ送られる。タイミング調整部16は、前記照射時間間隔をゼロないしは任意の正の値で設定調整する制御信号を、ケーブル20cおよびケーブル20dを介して、それぞれ、プラズマ生成用レーザー装置14およびプラズマ加熱用レーザー装置15に送る。
本実施形態では、レーザーパルスの立ち上がり開始時間を揃えて、同時照射を行う。そのため、ケーブル20c,20dの長さは同一に揃え、2つのトリガー信号を同時出力するため、タイミング調整部16の遅延時間はゼロに設定する。
なお、本実施形態ではタイミング調整部16の遅延時間をゼロに設定するので、この場合は、タイミング調整部16が存在しなくてもよい。
つぎに、第1の実施形態に係るレーザーピーニング装置10の動作について説明する。図2は、第1の実施形態に係るレーザーピーニング装置によるレーザーピーニング中の照射部付近の状況を模式的に示す立断面図である。図3は、第1の実施形態に係るレーザーピーニング装置におけるプラズマ生成用パルスレーザーとプラズマ加熱用パルスレーザーの時間変化を示すグラフである。
プラズマ生成用パルスレーザーL1のパルス時間幅T1はプラズマ加熱用パルスレーザーL2のパルス時間幅T2よりも短い。パルス時間幅T1はたとえば10ns程度であり、パルス時間幅T2はたとえば50〜100ns程度である。また、プラズマ生成用パルスレーザーL1とプラズマ加熱用パルスレーザーL2のパルス周期Tpは同じで、たとえば数ms程度である。パルスエネルギーのピーク値は、図3ではプラズマ生成用パルスレーザーL1の方がプラズマ加熱用パルスレーザーL2よりも高いが、これらは同程度でもよく、またプラズマ加熱用パルスレーザーLの方が高くてもよい。
施工対象物表面11aに、金属プラズマを生成するためのプラズマ生成用パルスレーザーL1と、生成したプラズマを加熱するためのプラズマ加熱用パルスレーザーL2とを照射する。プラズマ生成用パルスレーザーL1とプラズマ加熱用パルスレーザーL2の両方を照射することを「ダブルパルス照射」と呼ぶ。この実施形態では、図3に示すように、プラズマ生成用パルスレーザーL1とプラズマ加熱用パルスレーザーL2の照射開始は同時とする。レーザーパルスの立ち上がり開始時間を揃えて、同時照射を行うため、プロセスの前半時間領域ではプラズマ生成用パルスレーザーL1のパルスによるプラズマ生成が先行し、後半領域ではプラズマ加熱用パルスレーザーL2のパルスによるプラズマの加熱が追従して進行する。
本実施形態によるダブルパルス照射のレーザーピーニングにおいては、図2に示すように、プラズマ生成用パルスレーザーL1のパルスエネルギーでプラズマpの生成を行うとともに、プラズマ加熱用パルスレーザーL2のパルスエネルギーでさらにプラズマpの加熱が十分行われる。そのため、プラズマpの成長は十分大きくなり、プラズマpの圧力や温度は高く、またこの時発生する子法sも、従来のシングルパルス照射に比べて、より強くなる。
なお、従来のシングルパルス照射のレーザーピーニングでは、プラズマ成長は、プラズマ生成用パルスレーザーL1のみのパルスエネルギーだけで、短時間にプラズマ生成から加熱までを行うため、プラズマの成長は十分大きくならずプラズマの圧力や温度は低く、またこの時発生する衝撃波sもあまり強くならない。このため、従来のシングルパルス照射のレーザーピーニングでは、引張から圧縮への応力変化量には限界があり、深さ方向分布においても奥深く応力改善が得られないという限界があった。
この実施形態で、プラズマ生成用パルスレーザーL1の波長は2倍波(532nm)で、プラズマ加熱用パルスレーザーL2の波長は3倍波(355nm)にすることで、プラズマの加熱プロセスで吸収される1光子当たりの量子エネルギーは短波長の方が大きくなって加熱効率が上がる作用も得られる。また、プラズマを封じ込める物質、すなわち本実施形態においては純水の、光吸収係数が2倍波よりも3倍波の波長の方がより小さいため、プラズマ加熱用パルスレーザーL2のパルスエネルギーの純水による吸収ロスを抑えられる作用も得られる。
また、プラズマ加熱用パルスレーザーL2をプラズマ生成用パルスレーザーL1に対して斜めに照射することにより、プラズマ生成用パルスレーザーL1に起因して生成する気泡bによる外乱効果を抑制する作用も得られる。この場合、プラズマ生成用パルスレーザーL1の照射方向と施工対象表面11aに対する垂直方向(法線方向)とのなす第1の角度と、プラズマ加熱用パルスレーザーL2の照射方向と施工対象表面11aに対する垂直方向(法線方向)とのなす第2の角度について、第2の角度が第1の角度より大きくなるので、プラズマ加熱用パルスレーザーの前記施工対象物表面への照射方向が、前記プラズマ生成用パルスレーザーの前記施工対象物表面への照射方向よりも、前記施工対象物表面に垂直な方向から離れ、プラズマ加熱用パルスレーザーL2の光路がプラズマ生成用パルスレーザーL1の光路より長くなる。
上記説明では、プラズマ生成用パルスレーザーL1は施工対象物表面11aに対して垂直方向からの照射とし、プラズマ加熱用パルスレーザーL2を斜め方向から照射するものとした。しかし、プラズマ生成用パルスレーザーL1とプラズマ加熱用パルスレーザーL2の両方を施工対象物表面11aに対して垂直方向からの照射としてもよい。その場合は、プラズマ生成用パルスレーザーL1に起因して生成する気泡bによるプラズマ加熱用パルスレーザーL2への外乱作用があるが、それ以外はプラズマ加熱用パルスレーザーL2を斜め方向から照射する場合と同様の作用が得られる。
上記説明では、モニタリング部17として、プラズマ発光分析装置の例を説明した。しかし、モニタリング部17としては、たとえば、衝撃波検出分析装置、またはプローブ光の散乱減衰率・吸光度分析装置等の光学方式/音響方式分析装置などを用いこともできる。
[第2の実施形態]
図4は、本発明の第2の実施形態に係るレーザーピーニング装置におけるプラズマ生成用パルスレーザーとプラズマ加熱用パルスレーザーの時間変化を示すグラフである。
図4は、本発明の第2の実施形態に係るレーザーピーニング装置におけるプラズマ生成用パルスレーザーとプラズマ加熱用パルスレーザーの時間変化を示すグラフである。
この第2の実施形態の構成は、図1に示す第1の実施形態の構成と同様である。この第2の実施形態では、図4に示すように、プラズマ加熱用パルスレーザーL2の立ち上がり時間は、プラズマ生成用パルスレーザーL1の立ち上がり時間よりも遅れ時間Tdだけ遅れている。ただし、遅れ時間Tdはプラズマ生成用パルスレーザーL1のパルス時間幅T1よりも短い。
封じ込め物質供給装置13による純水の供給圧力状況によっては、プラズマを成長・加熱するプラズマ加熱用パルスレーザーL2の照射タイミングをプラズマ生成用パルスレーザーL1に対して適当な遅れ時間Tdだけ遅らせることが、最適な加熱条件を設定できる場合がある。そこで、この第2の実施形態では、プラズマ状態を把握するモニタリング装置(プラズマ発光分析装置)17からの発光量を時間分解してモニタリングし、たとえばその発光量が最大となるように調節し、プラズマの生成・成長(膨張)が最大となるようにプロセス管理する。これにより、プラズマの加熱を最大限に行い、プラズマの圧力や温度を最大に高く、またこの時発生する衝撃波sも最大にすることができる。
この第2の本実施形態によれば、第1の実施形態と同様に、前面と背面の両方向から照射しなくても、プラズマの生成・成長(膨張)が最大となるようにプロセス管理することができる。これにより、プラズマの加熱を最大限に行え、またこの時発生する衝撃波sも最大にする作用が得られ、圧縮応力量や応力深さをさらに増加させる効果が得られる。
[他の実施形態]
以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
10…レーザーピーニング装置、 11…施工対象物、 11a…表面(施工対象物表面)、 12…プラズマ封じ込め物質、 13…封じ込め物質供給装置、 14…プラズマ生成用レーザー装置、 15…プラズマ加熱用レーザー装置、 16…タイミング調整部、 17…モニタリング装置、 18…プラズマ評価部、 19…フィードバック部、 20a,20b,20c,20d…ケーブル、 L1…プラズマ生成用パルスレーザー、 L2…プラズマ加熱用パルスレーザー、 b…気泡、 p…プラズマ、 s…衝撃波
Claims (9)
- プラズマ封じ込め物質が施工対象物表面を覆っている状態でその施工対象物表面にレーザーを照射してその施工対象物表面の改質を行うレーザーピーニング装置であって、
前記施工対象物表面にプラズマを生成させるプラズマ生成用パルスレーザーを前記施工対象物表面に照射するプラズマ生成用レーザー装置と、
前記プラズマ生成用パルスレーザーの照射によって生成されたプラズマを加熱するプラズマ加熱用パルスレーザーを前記施工対象物表面に照射するプラズマ加熱用レーザー装置と、
を有することを特徴とするレーザーピーニング装置。 - 前記プラズマ生成用レーザー装置および前記プラズマ加熱用レーザー装置の照射のタイミングを調整するタイミング調整部をさらに有することを特徴とする請求項1に記載のレーザーピーニング装置。
- 前記タイミング調整部は、前記プラズマ生成用レーザー装置による前記プラズマ生成用パルスレーザーの照射の開始の後で当該プラズマ生成用パルスレーザーの照射が終了する前に、前記プラズマ加熱用レーザー装置による前記プラズマ加熱用パルスレーザーの照射が開始されるように構成されていることを特徴とする請求項2に記載のレーザーピーニング装置。
- 前記プラズマの状態を監視するモニタリング装置をさらに有し、
前記タイミング調整部は、前記モニタリング装置の出力に基づいて前記プラズマ生成用レーザー装置および前記プラズマ加熱用レーザー装置の照射のタイミングを調整するように構成されていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載のレーザーピーニング装置。 - 前記プラズマ生成用パルスレーザーの波長が前記プラズマ加熱用パルスレーザーの波長以下となるように構成されていることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載のレーザーピーニング装置。
- 前記プラズマ加熱用パルスレーザーの前記施工対象物表面への照射方向が、前記プラズマ生成用パルスレーザーの前記施工対象物表面への照射方向よりも、前記施工対象物表面に垂直な方向から離れるように構成されていること、を特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載のレーザーピーニング装置。
- 前記プラズマ加熱用パルスレーザーのパルス時間幅が前記プラズマ生成用パルスレーザーのパルス時間幅よりも長いこと、を特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載のレーザーピーニング装置。
- 前記プラズマ封じ込め物質を前記施工対象物表面に供給する封じ込め物質供給装置をさらに有すること、を特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか一項に記載のレーザーピーニング装置。
- プラズマ封じ込め物質が施工対象物表面を覆っている状態でその施工対象物表面にプラズマ生成用パルスレーザーを照射して前記施工対象物表面にプラズマを生成させるプラズマ生成用レーザー照射ステップと、
前記プラズマ生成用レーザー照射ステップで生成された前記プラズマが消滅する前にプラズマ加熱用パルスレーザーを前記施工対象物表面に照射することによって、前記プラズマを加熱するプラズマ加熱用レーザー照射ステップと、
を有することを特徴とするレーザーピーニング方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2020217942A1 (ja) | 2019-04-25 | 2020-10-29 | 東ソー株式会社 | 焼結体、粉末及びその製造方法 |
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