JP2019083628A5 - - Google Patents
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2017209781A JP6954007B2 (ja) | 2017-10-30 | 2017-10-30 | 圧電駆動装置、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター |
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| JP2017209781A JP6954007B2 (ja) | 2017-10-30 | 2017-10-30 | 圧電駆動装置、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター |
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ID=66671232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017209781A Active JP6954007B2 (ja) | 2017-10-30 | 2017-10-30 | 圧電駆動装置、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP6954007B2 (https=) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7517020B2 (ja) | 2020-09-23 | 2024-07-17 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置及びロボット |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007330036A (ja) * | 2006-06-07 | 2007-12-20 | Seiko Epson Corp | 振動体、圧電アクチュエータ、電子機器、および振動体の製造方法 |
| JP2007336685A (ja) * | 2006-06-14 | 2007-12-27 | Seiko Epson Corp | 振動体、圧電アクチュエータ、電子機器、および振動体の製造方法 |
| JP6268999B2 (ja) * | 2013-12-06 | 2018-01-31 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、指アシスト装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置 |
| CN105375812A (zh) * | 2014-08-13 | 2016-03-02 | 精工爱普生株式会社 | 压电驱动装置及其驱动方法、机器人及其驱动方法 |
| JP2017017916A (ja) * | 2015-07-03 | 2017-01-19 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、ロボット及び圧電駆動装置の駆動方法 |
| JP2017169416A (ja) * | 2016-03-18 | 2017-09-21 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波モーター、ロボット、ハンド、及びポンプ |
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2017
- 2017-10-30 JP JP2017209781A patent/JP6954007B2/ja active Active
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