JP2019083628A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007330036A (ja) * 2006-06-07 2007-12-20 Seiko Epson Corp 振動体、圧電アクチュエータ、電子機器、および振動体の製造方法
JP2007336685A (ja) * 2006-06-14 2007-12-27 Seiko Epson Corp 振動体、圧電アクチュエータ、電子機器、および振動体の製造方法
JP6268999B2 (ja) * 2013-12-06 2018-01-31 セイコーエプソン株式会社 圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、指アシスト装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置
CN105375812A (zh) * 2014-08-13 2016-03-02 精工爱普生株式会社 压电驱动装置及其驱动方法、机器人及其驱动方法
JP2017017916A (ja) * 2015-07-03 2017-01-19 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置、ロボット及び圧電駆動装置の駆動方法
JP2017169416A (ja) * 2016-03-18 2017-09-21 セイコーエプソン株式会社 超音波モーター、ロボット、ハンド、及びポンプ

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