JP2019083307A5 - 真空調整装置 - Google Patents

Claims (15)

1. プロセス雰囲気エリア（Ｐ）、特に真空領域内で可動である能動素子（１５、３４）のための真空調整装置（１０、３０）であって、
   前記能動素子（１５、３４）を結合するために設計された継手（１１、２０、４０）と、
   前記能動素子（１５、３４）が結合された状態において、その目的の効果に関して実質的に無効な状態にある通常位置から、前記能動素子（１５、３４）がその目的の効果を提供する能動位置に、前記継手（１１、２０、４０）が行ったり来たりするように調整可能であるように、設計され、前記継手（１１、２０、４０）と協働する、駆動ユニット（１２、３７）と、
   外部雰囲気領域（Ａ）から前記プロセス雰囲気領域（Ｐ）を分離するための分離装置であって、前記駆動ユニット（１２、３７）が前記外部雰囲気領域（Ａ）に少なくとも部分的に割り当てられ、前記継手（１１、２０、４０）が特に前記プロセス雰囲気領域（Ｐ）に割り当てられる、分離装置と、を備え、
   前記継手（１１、２０、４０）が、コレット（２４、４４）と、前記コレット（２４、４４）と協働する係止素子（２１、４１）とを有し、
   前記継手（１１、２０、４０）が、前記能動素子（１５、３４）を受容するための受軸（Ｚ）を画定し、
   前記係止素子（２１、４１）が前記コレット（２４、４４）に対して、特に開位置まで及び閉位置まで変位可能であるように調整可能である相対位置変動のために、前記コレット（２４、４４）及び前記係止素子（２１、４１）が、軸方向に又は前記受軸（Ｚ）に対して平行に配置され、
   前記継手（１１、２０、４０）が、前記開位置において前記コレット（２４、４４）の前記係止素子（２１、４１）との前記相互作用による開変更状態を提供し、前記閉位置において前記係止素子（２１、４１）による閉作用状態を提供する、真空調整装置。
2. 前記開位置と前記閉位置との間での前記係止素子（２１、４１）の変化が、前記駆動ユニットによる前記継手（１１、２０、４０）の軸方向の調整によって、ひいては前記コレット（２４、４４）又は前記係止素子（２１、４１）に対する軸方向移動制限が存在することによって、実現可能であるように、前記真空調整装置（１０、３０）が形成及び構成される、
   請求項１に記載の真空調整装置（１０、３０）。
3. 少なくとも１つの停止部素子（１３、１４、３４、４６）が設けられ、
   前記少なくとも１つの停止部素子（１３、１４、３４、４６）が、前記係止素子（２１、４１）又は前記コレット（２４、４４）と協働するために配置及び形成される、
   請求項１又は２に記載の真空調整装置（１０、３０）。
4. 前記停止部素子（１３、１４、３４、４６）が、
   前記真空調整装置（１０、３０）のハウジング（３１）上に、前記真空調整装置（１０、３０）と協働する処理チャンバ（１６）上に、若しくは前記能動素子（１５、３４）上に配置されるか、又は、
   前記ハウジング（３１）、前記処理チャンバ若しくは前記能動素子（１５、３４）によって形成される、
   請求項３に記載の真空調整装置（１０、３０）。
5. 前記係止素子（２１、４１）が、前記駆動ユニット（１２、３７）によってもたらされる前記継手（１１、２０、４０）の移動による前記少なくとも１つの停止部素子（１３、１４、３４、４６）との協働によって前記開位置及び／又は閉位置に変位可能であるように、前記駆動ユニット（１２、３７）が形成される、
   請求項３又は４に記載の真空調整装置（１０、３０）。
6. 前記駆動ユニット（１２、３７）が、特定の全移動領域にわたる、前記受軸（Ｚ）に沿った、又はそれと並行な前記継手（１１、２０、４０）の線形軸方向移動のために設計され、
   前記少なくとも１つの停止部素子（１３、１４、３４、４６）が、前記継手（１１、２０、４０）の移動の一部として、前記係止素子（２１、４１）を調節するために前記全移動領域内に配置される、
   請求項３〜５のいずれか１項に記載の真空調整装置（１０、３０）。
7. 前記全移動領域が、第１及び第２の端位置によって、前記継手（１１、２０、４０）に対して、特に前記コレット（２４、４４）に対して制限され、
   前記開変更状態が、前記第１の端位置に存在し、
   前記閉作用状態が、前記第２の端位置に存在し、
   特に、
   前記開変更状態が、前記継手（１１、２０、４０）及び前記コレット（２４、４４）の前記第１の端位置への調整によって提供されることができ、
   前記閉作用状態が、前記継手（１１、２０、４０）及び前記コレット（２４、４４）の前記第２の端位置への調整によって提供されることができる、
   請求項６に記載の真空調整装置（１０、３０）。
8. 前記全移動領域にわたって、第１及び第２の作動ゾーンが画定され、
   前記第１の端位置が前記第１の作動ゾーンを制限し、前記係止素子（２１、４１）が、前記第１の作動ゾーンにおいて、前記コレット（２４、４４）が実質的に半径方向に力をうけることなしに存在するように調整可能であり、
   前記第２の端位置が、前記第２の作動ゾーンを制限し、前記係止素子（２１、４１）が、前記第２の作動ゾーンにおいて、前記コレット（２４、４４）が半径方向の力の作用を受けるように調整可能である、
   請求項６又は７に記載の真空調整装置（１０、３０）。
9. 前記継手（１１、２０、４０）の前記通常位置及び前記能動位置が、前記全移動領域に関して、前記第１及び／又は前記第２の作動ゾーン内部の少なくとも一部に設けられる、請求項８に記載の真空調整装置（１０、３０）。
10. 前記コレット（２４、４４）が、前記受軸（Ｚ）を画定する、特に円筒形又は円錐形の内側コレット容器を有し、
    前記コレット（２４、４４）が、前記受軸（Ｚ）に沿って変動する外径を有する、半径方向にスロットが付けられたスリーブとして設計され、
    前記係止素子（２１、４１）の内径が、前記コレット（２４、４４）の最大外径よりも小さく、
    前記コレット（２４、４４）の前記外径が前記係止素子（２１、４１）の前記内径と連携し、前記係止素子（２１、４１）を前記受軸（Ｚ）に沿って調整することによって、前記コレット（２４、４４）の内部に向かって半径方向に向けられる力が前記コレット（２４、４４）において生成されるように、コレット（２４、４４）及び係止素子（２１、４１）が配置される、
    請求項１〜９のいずれか１項に記載の真空調整装置（１０、３０）。
11. 前記分離装置が、前記駆動ユニット（１２、３７）のハウジング又はベローによって形成され、
    及び／又は、
    前記駆動ユニット（１２、３７）が、空気駆動型シリンダとして設計される、
    請求項１〜１０のいずれか１項に記載の真空調整装置（１０、３０）。
12. 前記能動素子（１５、３４）が、支持ピン（１５）として、又はバルブ閉鎖部（３４）として形成される、
    請求項１〜１１のいずれか１項に記載の真空調整装置（１０、３０）。
13. 前記真空調整装置（１０、３０）が、前記駆動ユニット（１２、３７）を制御するための制御ユニットを備え、
    その実行において、前記継手（１１、２０、４０）の前記軸方向位置が、前記開変更状態又は前記閉作用状態を提供するように可変であるように構成された保守機能性を、前記制御ユニットが有する、
    請求項１〜１２のいずれか１項に記載の真空調整装置（１０、３０）。
14. 前記真空調整装置（１０、３０）が、真空処理チャンバによって提供されたプロセス雰囲気領域（Ｐ）内で処理される基板、特にウェーハの前記移動及び位置付けのためのピン引き上げ装置（１０）、特にピンリフタとして形成され、特に複数の継手のうちの第１の継手として前記継手（１１）を備え、
    前記駆動ユニット（１２）が、前記第１の継手（１１）の線形移動性を少なくとも提供し、
    前記能動位置が、前記ピン引き上げ装置に前記基板を装備するための装備位置によって形成され、
    前記継手（１１）が、前記基板に接触してそれを支持するように設計された支持ピン（１５）を受容し、前記能動素子を形成するように設計される、
    請求項１〜１３のいずれか１項に記載の真空調整装置（１０、３０）。
15. 前記真空調整装置（１０、３０）が、
    体積流量又は質量流量を調節するための、及び／又は流路のガス密な遮断のための真空バルブ（３０）、特に真空摺動バルブ、振り子バルブ又はモノバルブとして形成され、
    開口軸（Ｈ）を画定するバルブ開口（３２）と、前記バルブ開口（３２）を包囲する第１のシール面（３３）とを有するバルブシートと、
    前記第１のシール面（３３）に対応する第２のシール面（３６）で、前記体積流量又は質量流量を調節するための、及び／又は前記流路を遮断するための前記能動素子（１５、３４）、特にバルブプレートを形成するバルブ閉鎖部（３４）と、を有し、
    前記バルブ閉鎖部（３４）が、前記継手（４０）によって前記駆動ユニット（３７）に結合され、
    それによって、前記バルブ閉鎖部（３４）が、
    通常位置としての開位置であって、前記真空バルブ（３０）の前記バルブ閉鎖部及びバルブシートが、接触なしに互いに対して存在する開位置から、
    能動位置としての閉位置であって、前記第１のシール面（３３）と前記第２のシール面（３６）との間のシール接触が、介在するシールを介して提供され、前記バルブ開口（３２）が、ガス密の方法でシールされる閉位置との間で、再度戻るように調整可能であり、
    前記継手（４０）が、前記バルブ閉鎖部（３４）を受容するように設計される、
    請求項１〜１３のいずれか１項に記載の真空調整装置（１０、３０）。