JP2019083276A - 半導体素子パッケージの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図2AおよびBは、本実施の形態に係る半導体素子パッケージ100の構成を示す斜視図である。図2Aは、半導体素子パッケージ100の斜視図であり、図2Bは、図2Aの2B−2B線で切断したときの部分斜視図である。図3は、図2Aの2B−2B線の断面図である。図2Bでは、金属配線160の図示を省略している。
次に、本実施の形態に係る半導体素子パッケージ100の製造方法について説明する。半導体素子パッケージ100は、インサート成形により製造することができる。インサート成形は、トランスファー成形または射出成形などでありうる。
支持部材110と、支持部材110上に配置された半導体素子120と、半導体素子120上の空間を取り囲むように支持部材110上または半導体素子120上(本実施の形態では半導体素子120上)に配置された筒状のスペーサ130と、スペーサ130の半導体素子120とは反対側の開口部を塞ぐように配置された透明板140と、半導体素子120と電気的に接続されたインナーリード部160aおよびそれと電気的に接続されたアウターリード部160bを有する金属配線160(不図示)とを有する複数の積層体200を準備する(図4A参照)。本実施の形態では、複数の積層体200は、支持部材110を共有している。
得られた複数の積層体200を、第1金型210と第2金型220とを有する金型230の、キャビティ240(図4B参照)が形成される領域内に配置する(図4A参照)。
第1金型210と第2金型220とにより形成されたキャビティ240内に、樹脂材料170を充填し、固化させる(図5A参照)。
第1金型210と第2金型220とを型開きし(図5B参照)、封止体260を金型230から取り出す。そして、得られた封止体260を個片化して(図6A参照)、半導体素子パッケージ100を得る(図6B参照)。
なお、本実施の形態に係る半導体素子パッケージの製造方法では、複数の積層体200が、支持部材110を共有する例を示したが、これに限定されず、各積層体200が、個別に支持部材110を有してもよい。
110 支持部材
120 半導体素子
130 スペーサ
140 透明板
150 封止部材
160 金属配線
160a インナーリード部
160b アウターリード部
170 樹脂材料
200 積層体
210 第1金型
211 第1金型本体
212 弾性部材
213 凹部
220 第2金型
230 金型
240 キャビティ
250 離型フィルム
260 封止体
Claims (5)
- 支持部材と、前記支持部材上に配置された半導体素子と、前記半導体素子上の空間を取り囲むように前記支持部材上または前記半導体素子上に配置された筒状のスペーサと、前記スペーサの前記半導体素子とは反対側の開口部を塞ぐように配置された透明板とを有する積層体を準備する工程と、
前記積層体の積層方向の一方に配置され、かつキャビティ側に弾性部材が配置された第1金型と、前記積層体の積層方向の他方に配置された第2金型とを有する金型を準備し、前記積層体によって前記弾性部材が変形するように、前記第1金型と前記第2金型とを型締めする工程と、
前記第1金型と前記第2金型とにより形成されたキャビティ内に樹脂材料を充填し、固化させて、前記積層体の前記半導体素子、前記スペーサおよび前記透明板を取り囲むように封止する工程と、を含む、
半導体素子パッケージの製造方法。 - 前記弾性部材は、ポリエーテルエーテルケトンで構成されている、
請求項1に記載の半導体素子パッケージの製造方法。 - 前記積層体において、前記透明板は、前記弾性部材と対向している、
請求項1または2に記載の半導体素子パッケージの製造方法。 - 前記第1金型の前記キャビティ側の面上に離型フィルムを配置する工程をさらに含み、
前記積層体によって、前記離型フィルムおよび前記弾性部材が変形するように、前記第1金型と前記第2金型とを型締めする、
請求項1〜3のいずれか一項に記載に記載の半導体素子パッケージの製造方法。 - 前記第1金型と前記第2金型との間に、前記積層体は、複数配置されている、
請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体素子パッケージの製造方法。
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