JP2019081669A - ガラス母材の製造装置および製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ガラス母材の製造時に反応容器内または排気管内の圧力測定を圧力計で行った場合に、圧力計の腐食や圧力計が接続されている配管の詰まりを抑制することができるガラス母材の製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】反応容器２内のガスを排出するための排気管３に、排気管３内の圧力を測定するための圧力計３１を備えたガラス母材１０の製造装置１であって、圧力計３１は、排気管３と配管３２で接続されており、配管３２は、圧力計３１と排気管３との間に非腐食性ガス供給部３４が接続されており、非腐食性ガス供給部３４は、圧力計３１側から排気管３側に向かって、配管３２の内部に非腐食性ガスを流すように構成されている。【選択図】図１

Description

本発明は、ガラス母材の製造装置および製造方法に関する。

特許文献１には、従来技術の説明において、反応容器内の圧力と容器外の圧力との差圧を精密微差圧計で検出する構成が記載されている。
特許文献２には、排気管内の圧力を圧力計で測定する構成が記載されている。

特開平９−４０４３９号公報 国際公開第２００２／１０２７２９号パンフレット

ガラス母材の製造時に反応容器内または排気管内の圧力測定を圧力計で行った場合に、反応容器内で発生する腐食性ガスによって圧力計が腐食するおそれがある。また、反応容器内または排気管内には、例えばガラス母材に堆積しなかったガラス微粒子が浮遊している場合がある。このため、このガラス微粒子が圧力計が設けられている配管内に堆積して配管が詰まり、反応容器内または排気管内の圧力が正確に測定できなくなるおそれがある。

本発明は、ガラス母材の製造時に反応容器内または排気管内の圧力測定を圧力計で行った場合に、圧力計の腐食や圧力計が接続されている配管の詰まりを抑制することができるガラス母材の製造装置および製造方法を提供することを目的とする。

本発明の一態様に係るガラス母材の製造装置は、反応容器内のガスを排出するための排気管に、前記排気管内の圧力を測定するための圧力計を備えたガラス母材の製造装置であって、
前記圧力計は、
前記排気管と配管で接続されており、
前記配管は、前記圧力計と前記排気管との間に非腐食性ガス供給部が接続されており、
前記非腐食性ガス供給部は、
前記圧力計側から前記排気管側に向かって、前記配管の内部に非腐食性ガスを流すように構成されている。

本発明の他の一態様に係るガラス母材の製造装置は、反応容器内の圧力を測定するための圧力計を備えたガラス母材の製造装置であって、
前記圧力計は、
前記反応容器と配管で接続されており、
前記配管は、前記圧力計と前記反応容器との間に非腐食性ガス供給部が接続されており、
前記非腐食性ガス供給部は、
前記圧力計側から前記反応容器側に向かって、前記配管の内部に非腐食性ガスを流すように構成されている。

本発明の一態様に係るガラス母材の製造方法は、反応容器内のガスを排出するための排気管に設けられた圧力計により、前記排気管内の圧力を測定するガラス母材の製造方法であって、
前記圧力計は、前記排気管と配管で接続されており、
前記圧力計側から前記排気管側に向かって、前記配管の内部に非腐食性ガスが流れている状態で圧力測定を行う。

本発明の他の一態様に係るガラス母材の製造方法は、反応容器に設けられた圧力計により、前記反応容器内の圧力を測定するガラス母材の製造方法であって、
前記圧力計は、前記反応容器と配管で接続されており、
前記圧力計側から前記反応容器側に向かって、前記配管の内部に非腐食性ガスが流れている状態で圧力測定を行う。

上記発明のガラス母材の製造装置および製造方法によれば、ガラス母材の製造時に反応容器内または排気管内の圧力測定を圧力計で行った場合に、圧力計の腐食や圧力計が接続されている配管の詰まりを抑制することができる。

本実施形態に係るガラス母材の製造装置の一例を示す図である。 本実施形態に係るガラス母材の製造装置の他の一例を示す図である。 配管にガスを供給したときの圧力測定値と供給しないときの圧力測定値との関係を示すグラフである。 本実施形態に係るガラス母材の製造方法によって、ガラス母材を製造した際の排気管内の圧力の変動の一例を示すグラフである。 従来のガラス母材の製造方法によって、ガラス母材を製造した際の排気管内の圧力の変動の一例を示すグラフである。

（本発明の実施形態の説明）
最初に本発明の実施態様を列記して説明する。
本発明の一態様に係るガラス母材の製造装置は、
（１）反応容器内のガスを排出するための排気管に、前記排気管内の圧力を測定するための圧力計を備えたガラス母材の製造装置であって、
前記圧力計は、
前記排気管と配管で接続されており、
前記配管は、前記圧力計と前記排気管との間に非腐食性ガス供給部が接続されており、
前記非腐食性ガス供給部は、
前記圧力計側から前記排気管側に向かって、前記配管の内部に非腐食性ガスを流すように構成されている。

また、本発明の他の一態様に係るガラス母材の製造装置は、
（２）反応容器内の圧力を測定するための圧力計を備えたガラス母材の製造装置であって、
前記圧力計は、
前記反応容器と配管で接続されており、
前記配管は、前記圧力計と前記反応容器との間に非腐食性ガス供給部が接続されており、
前記非腐食性ガス供給部は、
前記圧力計側から前記反応容器側に向かって、前記配管の内部に非腐食性ガスを流すように構成されている。

上記（１）或いは（２）の構成によれば、非腐食性ガス供給部が、ガラス母材の製造時に、圧力計が接続されている配管の内部に非腐食性ガスを流すことにより、圧力計の腐食や圧力計が設けられている配管の詰まりを抑制することができる。

（３）前記非腐食性ガス供給部は、前記配管に設けられた開口部であり、
前記開口部は、前記非腐食性ガスとして外気を導入可能であってもよい。
上記構成によれば、簡易な構成で非腐食性ガス供給部を構成することができる。

（４）前記非腐食性ガス供給部は、前記非腐食性ガスの流量を一定に制御可能であってもよい。
上記構成によれば、圧力計が接続されている配管を流れる非腐食性ガスの流量が一定であるので、圧力計の測定値の変化量を小さくすることができる。

（５）前記配管内に前記非腐食性ガスが流れている状態で測定された圧力の測定値と、前記配管内に非腐食性ガスが流れていない状態で測定された圧力の測定値との関係に基づいて、
前記配管内に前記非腐食性ガスが流れている状態で前記圧力計を用いて測定された測定値から、前記反応容器内の圧力を推定する換算装置を有してもよい。
上記構成によれば、圧力計が接続されている配管内に非腐食性ガスが流れている状態で測定を行った測定値から、換算装置によって、反応容器内の実際の圧力を推定することができる。

本発明の一態様に係るガラス母材の製造方法は、
（６）反応容器内のガスを排出するための排気管に設けられた圧力計により、前記排気管内の圧力を測定するガラス母材の製造方法であって、
前記圧力計は、前記排気管と配管で接続されており、
前記圧力計側から前記排気管側に向かって、前記配管の内部に非腐食性ガスが流れている状態で圧力測定を行う。

また、本発明の他の一態様に係るガラス母材の製造方法は、
（７）反応容器に設けられた圧力計により、前記反応容器内の圧力を測定するガラス母材の製造方法であって、
前記圧力計は、前記反応容器と配管で接続されており、
前記圧力計側から前記反応容器側に向かって、前記配管の内部に非腐食性ガスが流れている状態で圧力測定を行う。

上記（６）或いは（７）の製造方法によれば、ガラス母材の製造時に、圧力計が接続されている配管の内部に非腐食性ガスを流すことにより、圧力計の腐食や圧力計が接続されている配管の詰まりを抑制することができる。

（８）前記非腐食性ガスは外気であり、
前記配管に開口部を設け、前記開口部から前記外気を吸い込むことにより、前記配管の内部に前記外気が流れている状態で圧力測定を行ってもよい。
上記方法によれば、簡易な構成で圧力計が配置された配管の内部に非腐食性ガスである外気を流すことができる。

（９）前記配管の内部に一定の流量の非腐食性ガスが流れた状態で圧力測定を行ってもよい。
上記方法によれば、圧力計が接続されている配管を流れる非腐食性ガスの流量が一定であるので、圧力計の測定値の変化量を小さくすることができる。

（１０）前記配管内に前記非腐食性ガスが流れている状態で測定された測定値と、前記配管内に前記非腐食性ガスが流れていない状態で測定された測定値との関係に基づいて、
前記配管内に前記非腐食性ガスが流れている状態で前記圧力計を用いて測定を行い、当該測定によって得られた測定値から、前記反応容器内の圧力を推定してもよい。
上記方法によれば、圧力計が接続されている配管内に非腐食性ガスが流れている状態で圧力計を用いて測定を行った測定値から、反応容器内の実際の圧力を推定することができる。

（本発明の実施形態の詳細）
本発明の実施形態に係るガラス母材の製造装置および製造方法の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。
なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

図１は、ガラス母材の製造装置の一例として光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置を示す概略構成図である。図１に示すように、光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置１は、反応容器２と、反応容器２内のガスを排気する排気管３と、反応容器２から排気された排ガスを処理する排気ガス処理部４とを備えている。

反応容器２は、上方から、出発棒２１が昇降可能に収容され、内側の空間内で出発棒２１に対してガラス微粒子を堆積させる容器である。反応容器２は、ガラス母材１０を形成する際の高温の環境条件においても塩化水素ガス等による腐食が起こりにくい材料、例えば、二酸化ケイ素、炭化ケイ素、ニッケル、ニッケル合金等で形成されている。

反応容器２には、ガラス微粒子を生成するバーナ２２が設けられている。バーナ２２は、ガスを吹き出す複数のポートを有しており、そのポートから四塩化ケイ素等のガラス原料ガスと、酸素および水素を吹き出し、酸水素火炎中においてガラス原料を加水分解反応させて、ガラス微粒子を生成する。バーナ２２は、生成したガラス微粒子を出発棒２１に堆積させるように、出発棒２１に向けて配置されている。

また、反応容器２には、排気ガスを排出する排気口２３が設けられている。排気口２３には排気管３が接続されており、出発棒２１に堆積されなかった余剰のガラス微粒子を含む内部の排気ガスが排気口２３から排気管３へと送り出される。

排気管３には、その管路の途中に、内側の空間（排気管３内）の圧力を測定することが可能な圧力計３１が設けられている。排気管３内の圧力は、反応容器２内の圧力と相関関係がある。したがって、排気管３内の圧力変化を測定することにより、ガラス母材１０の製造時における反応容器２内の圧力変化を検知することができる。排気管３は、例えば、ニッケル、ニッケル合金等で形成されている。また、排気管３の直径は例えば５０ｍｍ〜３００ｍｍである。

圧力計３１は、排気管３に連通して設けられた配管３２に接続されている。したがって、配管３２に連通されている排気管３内の圧力を測定できる構成となっている。また、配管３２の直径は例えば３ｍｍ〜７ｍｍである。

配管３２には、その管路の途中から分岐するように配管３２に連通して設けられたガス導入配管３３が設けられている。ガス導入配管３３は、配管３２における、圧力計３１が設けられている位置と排気管３が設けられている位置との間から分岐するように設けられている。

ガス導入配管３３には、その端部に非腐食性ガスを導入するための非腐食性ガス供給部３４が設けられている。非腐食性ガス供給部３４から導入される非腐食性ガスは、ガス導入配管３３から配管３２の内部へと流されるようになっている。非腐食性ガスは、配管３２における圧力計が接続されている側から配管３２における排気管３が連通されている側に向けて（矢印Ａの方向に）流される。

本例の非腐食性ガス供給部３４は、ガス導入配管３３の端部が開放された開口部３４Ａとして形成されている。開口部３４Ａは、配管３２の内部に流す非腐食性ガスとして外気（空気）が導入されるように構成されている。

ガス導入配管３３の途中には外気の導入量を調整するための外気調整弁３５が設けられている。外気調整弁３５には、弁の開閉を調整することが可能な導入量制御部３７が接続されている。

また、ガス導入配管３３には、外気調整弁３５の下流側（配管３２に近い側）に、ガス導入配管３３に導入される外気の流量を測定するための流量計３６が設けられている。導入量制御部３７は、流量計３６によって測定される流量値に伴い外気調整弁３５の開閉を調整し、配管３２に流れる外気の流量が一定になるように制御する。

なお、非腐食性ガス供給部３４は、開口部３４Ａに変えて、例えば非腐食性ガス（例えば、窒素ガス）を供給するガス供給管等を導入配管３３に接続して、非腐食性ガスを供給するガス供給装置であってもよい。このようなガス供給装置によって、導入配管３３に非腐食性ガス（例えば、窒素ガス）を一定の流量で導入するようにしてもよい。

また、圧力計３１は、排気管３から排気される排気量を制御するための排気量制御部３８と接続されている。圧力計３１で測定された圧力値は、この排気量制御部３８に送られる。

排気管３には、その管路の途中に排気量調整弁３９が設けられている。本例の排気量調整弁３９は、排気管３において、圧力計３１が設けられている位置よりも下流側（排気ガス処理部４に近い側）に配置されている。排気量調整弁３９には、排気量制御部３８が接続されており、排気量調整弁３９の開閉動作は、排気量制御部３８によって調整されている。圧力計３１によって反応容器２内の圧力が測定され、その圧力値の変動に伴い排気量調整弁３９の開閉が排気量制御部３８によって制御されて、反応容器２内の圧力が一定に保たれている。

排気量制御部３８は、圧力計３１により測定された配管３２内の圧力値に基づいて反応容器２内の圧力を推定する換算装置３８ａを有している。換算装置３８ａには、配管３２内に外気が流されている状態で測定された配管３２内の圧力値と、配管３２内に外気が流されていない状態で測定された配管３２内の圧力値とが互いに対応付けられた換算テーブルが記憶されている。換算装置３８ａは、配管３２内に外気が流れている状態で配管３２内の圧力値を測定し、換算テーブルを参照して反応容器２内の圧力を推定する。

排気ガス処理部４は、排気管３を介して排気された排気ガスから、ガラス微粒子や有害な酸性ガス等を除く処理を行う。排気ガス処理部４は、例えば、排気ガスを冷却および調湿する冷却塔、排気ガス中のガラス微粒子を捕集する集塵装置、排気ガスを吸引する排風機、および排気ガス中の塩素、塩化水素等の酸性ガスを吸着するガス吸着装置等（図示省略）を有している。

例えば、排風機のモータによって羽根車を回転させることにより、排気管３内の排気ガスが排気ガス処理部４内に吸引される。この吸引により、排気ガス処理部４に接続されている排気管３内および配管３２内の圧力が負圧となるため、開口部３４Ａから導入される外気は、配管３２内に（矢印Ａに向けて）負圧吸引される。

なお、本例では、圧力計３１が接続される配管３２を排気管３に連通して設ける場合について説明したが、例えば、図２に示すように、反応容器２に連通して設けるようにしてもよい。図２は、ガラス母材の製造装置の他の一例として光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置１Ａを示す概略構成図である。図２に示す例の場合も、配管に非腐食性ガスを導入する構成は、上記排気管３に配管３２を連通させる場合と同様の構成とすればよい。

図３は、配管３２内に外気が流されている状態で測定された配管３２内の圧力値Ｐ１（縦軸）と、配管３２内に外気が流されていない状態で測定された配管３２内の圧力値Ｐ２（横軸）との関係を示すグラフである。なお、Ｐ１とＰ２はいずれも負圧となるが、図３も含めて以降は絶対値で示している。図３に示すように、外気が流されている状態で測定された圧力値Ｐ１は、配管３２内を流れる際の圧力損失のため、外気が流されていない状態で測定された圧力値Ｐ２よりも小さい値となる。この圧力値Ｐ１と圧力値Ｐ２との対応関係は、排気量制御部３８の換算装置３８ａに換算テーブルとして記憶されている。このため、配管３２内に外気が流されている状態の配管３２内の圧力値Ｐ１を圧力計３１で測定することにより、圧力値Ｐ１と圧力値Ｐ２との対応関係（例えば、上記の換算テーブル）によって、反応容器２内の実際の圧力を推定することができる。

次に、上記構成の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置１によって光ファイバ用多孔質ガラス母材を製造する方法について説明する。
先ず、反応容器２内のバーナ２２の近くまで吊り下げた出発棒２１を軸回りに回転させる。回転している出発棒２１に向かって、バーナ２２から酸水素火炎を発生させる。酸水素火炎中では、加水分解反応によりガラス微粒子が生成される。生成されたガラス微粒子は、出発棒２１に付着して徐々に出発棒２１の周囲に堆積していく。出発棒２１を、軸回りに回転させながら、ガラス微粒子の堆積の状態に応じて徐々に引き上げていくことで、ガラス微粒子が堆積したガラスの多孔質堆積体が出発棒２１の軸方向に成長していき、所望のガラス母材１０を製造することができる。

ガラス母材１０の製造時には、塩素、塩化水素、堆積しなかったガラス微粒子等を含む排気ガスが反応容器２内に発生する。発生した排気ガスは、反応容器２の排気口２３から排気管３へ向けて排出される。

また、ガラス母材１０の製造時には、反応容器２内の圧力を一定に保つために、反応容器２内の圧力が監視される。反応容器２内の圧力の監視は、排気管３に連通して設けられた配管３２内の圧力を圧力計３１で測定することによって行う。配管３２内の圧力を測定する際には、配管３２において、圧力計３１が接続されている側から排気管３が接続されている側に向けて、配管３２の内部に非腐食性のガスである外気が流される。

外気は、配管３２から分岐するように設けられたガス導入配管３３の開口部３４Ａから導入される。開口部３４Ａから導入される外気は、排気ガス処理部４の吸引によって、矢印Ａ（図１参照）で示されるように、配管３２の圧力計３１が接続されている側から配管３２の排気管３が接続されている側に向け流れる。配管３２を流れる外気の流量は、導入量制御部３７による外気調整弁３５の開閉調整によって、一定流量となるように制御される。配管３２に一定流量の外気が流されている状態において、配管３２内の圧力を圧力計３１によって測定する。

排気管３には、排気ガスの排気量を調整するための排気量調整弁３９が設けられており、排気量制御部３８によって排気量調整弁３９の開閉を制御することで、排気ガスの排気量が調整される。

排気量制御部３８に設けられた換算装置３８ａには、予め、配管３２内に外気が流されている状態で測定された配管３２内の圧力値と、配管３２内に外気が流されていない状態で測定された配管３２内の圧力値とを互いに対応付けた換算テーブルが記憶されている。

配管３２内に一定流量の外気が流れている状態で配管３２内の圧力値Ｐ１が圧力計３１によって測定され、測定された圧力値Ｐ１は換算装置３８ａに送信される。換算装置３８ａは、送信されてきた配管３２内の圧力値Ｐ１を、配管３２内に外気が流されていない状態で測定される配管３２内圧力値Ｐ２に換算テーブルを参照して換算する。換算された圧力値Ｐ２に基づき、排気量制御部３８によって排気量調整弁３９の開閉が制御され、圧力値Ｐ２が一定に保たれる。反応容器２内の圧力は圧力値Ｐ２と相関関係があるので、圧力値Ｐ２が一定に保たれることで、反応容器２内の圧力も一定に保たれる。
以上の方法で製造された光ファイバ用多孔質ガラス母材は、加熱炉内で焼結して光ファイバ用ガラス母材とし、端部より順次加熱溶融して線引きし、光ファイバとする。
なお、光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置と製造方法を例として説明したが、他に本発明は合成石英ガラスを製造するためのガラス母材の製造装置と製造方法にも適用することができる。

（実験例）
本実験例では、本実施形態に係る光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置１および上記製造方法によってガラス母材を連続して製造した。その製造時において測定された排気管３内の圧力の変動を図４のグラフに示す。図４には、連続して製造されるガラス母材三本分の変動が示されている。また、比較のために、従来の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置によってガラス母材を連続して製造し、測定された排気管内の圧力の変動の従来例を図５のグラフに示す。図５には、連続して製造されるガラス母材三本分の変動が示されている。
図５の従来例に比べて、本実施形態では、図４に示すように、排気管３内の圧力の変動、すなわち、反応容器２内の圧力の変動が少ないことがわかる。

なお、上記製造方法では、排気管３に連通して設けた配管３２内の圧力を測定することで反応容器２内の圧力を監視しているが、例えば、配管を同様の構成で反応容器２に連通して設け、その配管内の圧力を測定することで反応容器２内の圧力を監視するようにしてもよい。

以上のような光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置１および製造方法によれば、ガラス母材の製造時に、配管３２において、圧力計３１が接続されている側から排気管３が接続されている側に向けて非腐食性ガスである外気が流されている。このため、この外気の流れにより、反応容器２内で発生した塩素、塩化水素、堆積しなかったガラス微粒子等を含む排気ガスが配管３２内の圧力計３１に向かって流れ込むのを抑制することができる。これにより、排気ガスによる圧力計３１の腐食を抑制することができるとともに、ガラス微粒子による配管３２の詰まりを抑制することができる。したがって、反応容器２内の圧力を一定に保つことができ、ガラス微粒子の堆積状態を安定させることができる。

また、配管３２内に非腐食性ガスを導入する非腐食性ガス供給部３４をガス導入配管３３に形成される開口部３４Ａによって構成することができる。このため、非腐食性ガス供給部３４を簡易な構成とすることができるとともに、非腐食性ガスとして外気を導入することができるので、製造コストを抑えることができる。

また、配管３２を流れる外気の流量が一定となるように制御されているので、配管３２に接続されている圧力計３１によって測定される圧力値の変動を抑制することができる。これにより、圧力計３１の測定値に基づいて調整される反応容器２内の圧力を一定に保つことができ、ガラス微粒子の堆積状態を安定させることができる。

また、配管３２内に外気が流されている状態で測定された配管３２内の圧力値と、配管３２内に外気が流されていない状態で測定された配管３２内の圧力値とが対応付けられた換算テーブルが設けられ、この換算テーブルに基づいて配管３２内に外気が流されていない状態で測定される配管内３２内の圧力値に換算され、反応容器２内の圧力が推定される。このため、反応容器２内の圧力を正確に検知することができるので、反応容器２内の圧力を一定に保つことができ、ガラス微粒子の堆積状態を安定させることができる。

また、反応容器２内の圧力値を正確かつ安定的に測定することができるので、例えば、推定される反応容器２内の圧力が予め定められた閾値を超える場合、適切に反応容器２の稼働を停止させることができる。

なお、上記実施形態では、ガラス母材の製造装置の一例として、出発棒にガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラス母材を製造する装置を挙げて説明したが、ガラス母材の製造装置は、例えば、多孔質ガラス母材に対して脱水や焼結を行う装置等であってもよい。

以上、本発明を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明らかである。また、上記説明した構成部材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定されず、本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等に変更することができる。

１、１Ａ：光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置
２：反応容器
３：排気管
４：排気ガス処理部
１０：ガラス母材
２３：排気口
３１：圧力計
３２：配管
３３：ガス導入配管
３４：非腐食性ガス供給部
３４Ａ：開口部（非腐食性ガス供給部）
３５：外気調整弁
３６：流量計
３７：導入量制御部
３８：排気量制御部
３８ａ：換算装置
３９：排気量調整弁

Claims (10)

1. 反応容器内のガスを排出するための排気管に、前記排気管内の圧力を測定するための圧力計を備えたガラス母材の製造装置であって、
   前記圧力計は、
   前記排気管と配管で接続されており、
   前記配管は、前記圧力計と前記排気管との間に非腐食性ガス供給部が接続されており、
   前記非腐食性ガス供給部は、
   前記圧力計側から前記排気管側に向かって、前記配管の内部に非腐食性ガスを流すように構成されている、
   ガラス母材の製造装置。
2. 反応容器内の圧力を測定するための圧力計を備えたガラス母材の製造装置であって、
   前記圧力計は、
   前記反応容器と配管で接続されており、
   前記配管は、前記圧力計と前記反応容器との間に非腐食性ガス供給部が接続されており、
   前記非腐食性ガス供給部は、
   前記圧力計側から前記反応容器側に向かって、前記配管の内部に非腐食性ガスを流すように構成されている、
   ガラス母材の製造装置。
3. 前記非腐食性ガス供給部は、前記配管に設けられた開口部であり、
   前記開口部は、前記非腐食性ガスとして外気を導入可能である、
   請求項１または請求項２に記載のガラス母材の製造装置。
4. 前記非腐食性ガス供給部は、前記非腐食性ガスの流量を一定に制御可能である、
   請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のガラス母材の製造装置。
5. 前記配管内に前記非腐食性ガスが流れている状態で測定された圧力の測定値と、前記配管内に非腐食性ガスが流れていない状態で測定された圧力の測定値との関係に基づいて、
   前記配管内に前記非腐食性ガスが流れている状態で前記圧力計を用いて測定された測定値から、前記反応容器内の圧力を推定する換算装置を有する、
   請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のガラス母材の製造装置。
6. 反応容器内のガスを排出するための排気管に設けられた圧力計により、前記排気管内の圧力を測定するガラス母材の製造方法であって、
   前記圧力計は、前記排気管と配管で接続されており、
   前記圧力計側から前記排気管側に向かって、前記配管の内部に非腐食性ガスが流れている状態で圧力測定を行う、
   ガラス母材の製造方法。
7. 反応容器に設けられた圧力計により、前記反応容器内の圧力を測定するガラス母材の製造方法であって、
   前記圧力計は、前記反応容器と配管で接続されており、
   前記圧力計側から前記反応容器側に向かって、前記配管の内部に非腐食性ガスが流れている状態で圧力測定を行う、
   ガラス母材の製造方法。
8. 前記非腐食性ガスは外気であり、
   前記配管に開口部を設け、前記開口部から前記外気を吸い込むことにより、前記配管の内部に前記外気が流れている状態で圧力測定を行う、
   請求項６または請求項７に記載のガラス母材の製造方法。
9. 前記配管の内部に一定の流量の非腐食性ガスが流れた状態で圧力測定を行う、
   請求項６から請求項８のいずれか一項に記載のガラス母材の製造方法。
10. 前記配管内に前記非腐食性ガスが流れている状態で測定された測定値と、前記配管内に前記非腐食性ガスが流れていない状態で測定された測定値との関係に基づいて、
    前記配管内に前記非腐食性ガスが流れている状態で前記圧力計を用いて測定を行い、当該測定によって得られた測定値から、前記反応容器内の圧力を推定する、
    請求項６から請求項９のいずれか一項に記載のガラス母材の製造方法。

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