JP2019079952A - 圧電アクチュエータ - Google Patents
圧電アクチュエータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019079952A JP2019079952A JP2017206263A JP2017206263A JP2019079952A JP 2019079952 A JP2019079952 A JP 2019079952A JP 2017206263 A JP2017206263 A JP 2017206263A JP 2017206263 A JP2017206263 A JP 2017206263A JP 2019079952 A JP2019079952 A JP 2019079952A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- laminated
- internal electrode
- electrode layer
- laminated piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
Description
圧電素子1の下端における図形の重心から最も遠い部位に設けられていないことで、この部位への応力集中がなくなり、この部位にクラックが生じるのを抑制することができる。したがって、圧電アクチュエータ10の耐久性が向上する。
たはみ出し部31を有していてもよい。言い換えると、はみ出し部31は、積層方向から見て、積層体13の複数の側面のすべての下端においてはみ出しているのがよい。これにより、バランスよく応力が分散し、さらに耐久性が向上する。特に、図8に示すように、接合材3は平面透視としてもよい。
作製する。
1・・・積層型圧電素子
11・・・圧電体層
12・・・内部電極層
121・・・第1の内部電極層
122・・・第2の内部電極層
13・・・積層体
14・・・予定破断層
15・・・外部電極
2・・・金属ケース
21・・・基体
22・・・筒体
221・・・筒状部
222・・・鍔部
23・・・蓋体
3・・・接合材
31・・・はみ出し部
Claims (7)
- 積層型圧電素子と、該積層型圧電素子の上端および下端が内壁に当接するように前記積層型圧電素子を収容した金属ケースとを備え、前記積層型圧電素子の下端が前記金属ケースに接合材で接合されており、該接合材は、積層方向から見て少なくとも前記積層型圧電素子の下端における図形の重心から最も遠い部位に設けられていないことを特徴とする圧電アクチュエータ。
- 前記積層型圧電素子は、圧電体層、第1の内部電極層および第2の内部電極層が積層された積層体と、該積層体の側面に設けられ、前記第1の内部電極層または前記第2の内部電極層と電気的に接続された外部電極とを備えており、前記接合材は、積層方向から透視したときに前記第1の内部電極層および前記第2の内部電極層が重なる活性領域の外縁よりも内側にあることを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記接合材は、積層方向から見て前記積層体の下端から外側にはみ出したはみ出し部を有していることを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記積層体は複数の側面を有する多角柱状であり、前記接合材は、積層方向から見て前記積層体の下端から前記複数の側面のすべてにおいて外側にはみ出したはみ出し部を有していることを特徴とする請求項3に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記はみ出し部は、前記積層型圧電素子の下端よりも高く盛り上がっており、前記積層体の側面に固着されていることを特徴とする請求項3または請求項4に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記はみ出し部は、前記積層体の側面から最も外側まではみ出している部位までの距離が、前記積層型圧電素子の下端から最も高く盛り上がっている部位までの距離よりも長いことを特徴とする請求項5に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記積層型圧電素子の下端の稜部がC面またはR面になっていることを特徴とする請求項3乃至請求項6のうちのいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017206263A JP6927848B2 (ja) | 2017-10-25 | 2017-10-25 | 圧電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017206263A JP6927848B2 (ja) | 2017-10-25 | 2017-10-25 | 圧電アクチュエータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019079952A true JP2019079952A (ja) | 2019-05-23 |
JP6927848B2 JP6927848B2 (ja) | 2021-09-01 |
Family
ID=66628088
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017206263A Active JP6927848B2 (ja) | 2017-10-25 | 2017-10-25 | 圧電アクチュエータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6927848B2 (ja) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0518030U (ja) * | 1991-08-15 | 1993-03-05 | 山武ハネウエル株式会社 | 半導体ベアーチツプ等の部品搭載面の構造 |
JPH11274590A (ja) * | 1998-03-25 | 1999-10-08 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電ユニット及びその製造方法 |
US20080196815A1 (en) * | 2007-02-20 | 2008-08-21 | Mitsumi Electric Co. Ltd. | Bonding method for laminated piezoelectric element |
JP2014060214A (ja) * | 2012-09-14 | 2014-04-03 | Tdk Corp | 圧電素子ユニット |
JP2015179808A (ja) * | 2014-02-27 | 2015-10-08 | Tdk株式会社 | 圧電素子ユニットおよび駆動装置 |
JP2015225892A (ja) * | 2014-05-26 | 2015-12-14 | 京セラ株式会社 | 撮像素子実装用基板及び撮像装置 |
JP2017098383A (ja) * | 2015-11-20 | 2017-06-01 | 日本特殊陶業株式会社 | 圧電アクチュエータ |
-
2017
- 2017-10-25 JP JP2017206263A patent/JP6927848B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0518030U (ja) * | 1991-08-15 | 1993-03-05 | 山武ハネウエル株式会社 | 半導体ベアーチツプ等の部品搭載面の構造 |
JPH11274590A (ja) * | 1998-03-25 | 1999-10-08 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電ユニット及びその製造方法 |
US20080196815A1 (en) * | 2007-02-20 | 2008-08-21 | Mitsumi Electric Co. Ltd. | Bonding method for laminated piezoelectric element |
EP1962352A1 (en) * | 2007-02-20 | 2008-08-27 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Method of bonding a laminated piezoelectric element to an object |
JP2008206285A (ja) * | 2007-02-20 | 2008-09-04 | Mitsumi Electric Co Ltd | 積層圧電素子の接着方法 |
JP2014060214A (ja) * | 2012-09-14 | 2014-04-03 | Tdk Corp | 圧電素子ユニット |
JP2015179808A (ja) * | 2014-02-27 | 2015-10-08 | Tdk株式会社 | 圧電素子ユニットおよび駆動装置 |
JP2015225892A (ja) * | 2014-05-26 | 2015-12-14 | 京セラ株式会社 | 撮像素子実装用基板及び撮像装置 |
JP2017098383A (ja) * | 2015-11-20 | 2017-06-01 | 日本特殊陶業株式会社 | 圧電アクチュエータ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6927848B2 (ja) | 2021-09-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20160026499A (ko) | 압전 소자 및 이를 포함하는 압전 진동 모듈 | |
JP6711908B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP5795127B2 (ja) | 圧電アクチュエータおよびこれを備えたマスフローコントローラ | |
WO2012026564A1 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP6809822B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JPH11186626A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
JP5429141B2 (ja) | 圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP5813235B2 (ja) | 積層型圧電素子およびこれを備えた圧電アクチュエータ、噴射装置ならびに燃料噴射システム | |
JP2013157439A (ja) | 圧電素子および圧電アクチュエータ | |
JP6927848B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP2019102474A (ja) | 積層型圧電素子およびアクチュエータ | |
JP6809818B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP4468510B2 (ja) | 圧電素子及び積層型圧電アクチュエータ | |
JP5717869B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP5832338B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP7129478B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP2019040948A (ja) | 積層型圧電素子 | |
JP6898167B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
JP6818466B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP5205689B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
JP6809845B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
WO2024080279A1 (ja) | 圧電素子 | |
JP2024058316A (ja) | 圧電素子 | |
JP7172401B2 (ja) | 圧電アクチュエータおよび圧電駆動装置 | |
JP5937692B2 (ja) | 圧電アクチュエータおよびこれを備えたマスフローコントローラ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200610 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210325 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210406 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210602 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210706 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210805 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6927848 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |