JP2019079923A - 研磨方法および研磨装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の好ましい態様は、前記基板の研磨中に、前記基板検知センサは前記基板のエッジ部を横切り、前記膜厚センサは前記エッジ部および該エッジ部の内側の領域を横切ることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記偏心角度に基づいて、前記所定の測定点の位置を補正する工程は、前記基板の直径と前記リテーナリングの内径との差を2で割った数値と、前記偏心角度から、座標補正値を算出し、前記座標補正値に基づいて、前記所定の測定点の位置を補正する工程であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基板検知センサは膜厚センサであることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基板検知センサは、光学式膜厚センサであることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基板検知センサは、渦電流センサであることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記データ処理部は、前記基板の直径と前記リテーナリングの内径との差を2で割った数値と、前記偏心角度から、座標補正値を算出し、前記座標補正値に基づいて、前記所定の測定点の位置を補正するように構成されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基板検知センサは膜厚センサであることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基板検知センサは、光学式膜厚センサであることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基板検知センサは、渦電流センサであることを特徴とする。
図1は、研磨装置の一実施形態を示す模式図である。図1に示すように、研磨装置は、研磨パッド2を支持する研磨テーブル3と、基板の一例であるウェーハWを研磨パッド2に押し付ける研磨ヘッド1と、研磨テーブル3を回転させるテーブルモータ6と、研磨パッド2上に研磨液(スラリー)を供給するための研磨液供給ノズル5とを備えている。研磨パッド2の表面は、ウェーハWを研磨する研磨面2aを構成する。研磨テーブル3はテーブルモータ6に連結されており、研磨テーブル3および研磨パッド2を一体に回転させるように構成されている。研磨ヘッド1は、研磨ヘッドシャフト11の端部に固定されており、研磨ヘッドシャフト11は、ヘッドアーム15に回転可能に支持されている。
ウェーハWの直径
リテーナリング32の内径
研磨テーブル3の中心Oと研磨ヘッド1の中心H2との距離
研磨テーブル3の中心Oとウェーハ検知センサ8との距離
研磨テーブル3の回転速度
ウェーハ検知センサ8の検知周期
研磨ヘッド1の中心H2に対するウェーハWの中心H1の偏心角度
ウェーハWの直径:300mm
リテーナリング32の内径:305mm
研磨テーブル3の中心Oと研磨ヘッド1の中心H2との距離:200mm
研磨テーブル3の中心Oとウェーハ検知センサ8との距離:70mm
研磨テーブル3の回転速度:100min−1
ウェーハ検知センサ8の検知周期:0.5ms(ミリ秒)
偏心角度θ:0°〜180°
2 研磨パッド
2a 研磨面
3 研磨テーブル
5 研磨液供給ノズル
6 テーブルモータ
7 膜厚センサ
8 ウェーハ検知センサ(基板検知センサ)
9 コンピュータ
9A データ処理部
9B 動作制御部
9C センサ制御部
11 研磨ヘッドシャフト
15 ヘッドアーム
19 テーブル回転位置検出器
20 センサターゲット
21 近接センサ
23 モータドライバ
25 膜厚センサ
31 ヘッド本体
32 リテーナリング
34 メンブレン(弾性膜)
36 メンブレン(ローリングダイヤフラム)
40 ロータリージョイント
C1,C2,C3,C4,C5 圧力室
F1,F2,F3,F4,F5 気体移送ライン
R1,R2,R3,R4,R5 圧力レギュレータ
Claims (13)
- 基板検知センサおよび膜厚センサが内部に配置された研磨テーブルを回転させ、
リテーナリングを備えた研磨ヘッドにより基板を前記研磨テーブル上の研磨パッドに押し付けて該基板を研磨し、
前記基板の研磨中に、前記基板検知センサおよび前記膜厚センサが前記基板の表面を横切りながら、前記基板検知センサが基板検知信号を予め設定された周期で生成し、かつ前記膜厚センサが所定の測定点で膜厚信号を生成し、
前記基板検知信号の数から、前記研磨ヘッドの中心に対する前記基板の中心の偏心角度を算出し、
前記偏心角度に基づいて、前記所定の測定点の位置を補正し、
前記所定の測定点の補正された位置と、前記膜厚信号とに基づいて、前記研磨ヘッドが前記基板を押し付ける研磨圧力を制御することを特徴とする研磨方法。 - 前記研磨テーブルの中心から前記基板検知センサまでの距離は、前記研磨テーブルの中心から前記膜厚センサまでの距離よりも短いことを特徴とする請求項1に記載の研磨方法。
- 前記基板の研磨中に、前記基板検知センサは前記基板のエッジ部を横切り、前記膜厚センサは前記エッジ部および該エッジ部の内側の領域を横切ることを特徴とする請求項2に記載の研磨方法。
- 前記偏心角度に基づいて、前記所定の測定点の位置を補正する工程は、
前記基板の直径と前記リテーナリングの内径との差を2で割った数値と、前記偏心角度から、座標補正値を算出し、
前記座標補正値に基づいて、前記所定の測定点の位置を補正する工程であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の研磨方法。 - 前記基板検知センサは膜厚センサであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の研磨方法。
- 前記基板検知センサは、光学式膜厚センサであることを特徴とする請求項5に記載の研磨方法。
- 前記基板検知センサは、渦電流センサであることを特徴とする請求項5に記載の研磨方法。
- 研磨パッドを支持するための研磨テーブルと、
基板を前記研磨パッドに押し付けて前記基板を研磨する研磨ヘッドと、
前記研磨テーブルに設置され、膜厚信号を所定の測定点で生成する膜厚センサと、
前記研磨テーブルに設置され、基板検知信号を予め設定された周期で生成する基板検知センサと、
前記基板検知信号の数から、前記研磨ヘッドの中心に対する前記基板の中心の偏心角度を算出し、前記偏心角度に基づいて、前記所定の測定点の位置を補正し、前記所定の測定点の補正された位置と、前記膜厚信号とに基づいて、前記研磨ヘッドが前記基板を押し付ける研磨圧力の目標値を決定するデータ処理部と、
前記研磨圧力の目標値に基づいて、前記研磨ヘッドが前記基板を押し付ける研磨圧力を制御する動作制御部を備えたことを特徴とする研磨装置。 - 前記研磨テーブルの中心から前記基板検知センサまでの距離は、前記研磨テーブルの中心から前記膜厚センサまでの距離よりも短いことを特徴とする請求項8に記載の研磨装置。
- 前記データ処理部は、
前記基板の直径と前記リテーナリングの内径との差を2で割った数値と、前記偏心角度から、座標補正値を算出し、
前記座標補正値に基づいて、前記所定の測定点の位置を補正するように構成されていることを特徴とする請求項8または9に記載の研磨装置。 - 前記基板検知センサは膜厚センサであることを特徴とする請求項8乃至10のいずれか一項に記載の研磨装置。
- 前記基板検知センサは、光学式膜厚センサであることを特徴とする請求項11に記載の研磨装置。
- 前記基板検知センサは、渦電流センサであることを特徴とする請求項11に記載の研磨装置。
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