JP2019060628A - 検査装置および検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
x2+y2=R22
x=0
が満足されるように上流撮像機構3Bを第2水平方向Yに平行移動させればよい。また、ワークWの種類を変更することなく、異なる撮像条件で撮像して検査する場合には、移動部35Bの駆動部352と移動部38Bの駆動部382を作動すればよい。例えば図11の(b)欄に示すように、ワークWの撮像半角度径が元の撮像角度φ1(同図の(a)欄参照)から撮像角度φ2となった場合、
x2+y2=R12
tanφ2=−Δx/Δy
が満足されるように上流撮像機構3Bを水平方向X、Yに平行移動させればよい。さらに、上記変更がともに発生した場合についても、移動部35Bの駆動部352と移動部38Bの駆動部382を作動すればよい。例えば図11の(c)欄に示すように、
x2+y2=R22
tanφ2=−Δx/Δy
が満足されるように上流撮像機構3Bを水平方向X、Yに平行移動させればよい。なお、これらの点については、下流撮像機構3Cについても同様である。
3B…上流撮像機構
3C…下流撮像機構
5…制御ユニット(検査部)
21A,21B…保持テーブル
31a〜31c…検査カメラ(先端撮像部)
31d、31e…検査カメラ(上流撮像部)
31f、31g…検査カメラ(下流撮像部)
35B、35C、38B、38C…移動部
51…演算処理部(検査部)
100…検査装置
AX3…(モータ241の)回転軸
AX4…対称軸
Dw…(ワークの)回転方向
FB…(上流)焦点位置
FC…(下流)焦点位置
PC…ピッチ円(上流側軌跡、下流側軌跡)
W…ワーク
Wb1…歯末(凸部)
Wb2、Wb4…歯元(凹部)
Wb3…上流歯面(上流壁面)
Wb5…下流歯面(下流壁面)
Claims (10)
- 対称軸まわりに回転対称な形状で凸部と凹部とが周期的に繰り返して設けられた外周部を有するワークを検査する検査装置であって、
前記ワークを保持しながら前記対称軸を回転軸と一致させた状態で前記回転軸まわりに前記ワークを回転させる保持テーブルと、
回転している前記ワークの前記凸部の先端を撮像する先端撮像機構と、
前記ワークの回転方向において前記凸部の上流側に隣接する前記凹部の底部から前記凸部の先端に繋がる上流壁面を撮像する上流撮像機構と、
前記回転方向において前記凸部の下流側に隣接する前記凹部の底部から前記凸部の先端に繋がる下流壁面を撮像する下流撮像機構と、
前記先端撮像機構、前記上流撮像機構および前記下流撮像機構により撮像された画像に基づいて前記ワークを検査する検査部とを備え、
前記上流撮像機構および前記下流撮像機構のうちの少なくとも一方は、前記対称軸と直交する直交面内において平行移動させて位置決めする移動部を有し、前記ワークの径方向外側で前記移動部により位置決めされた位置より撮像する
ことを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置であって、
前記上流撮像機構は、前記移動部を有し、前記ワークの回転により前記上流壁面が描く上流側軌跡の接線方向外側より前記上流壁面を撮像する検査装置。 - 請求項1または2に記載の検査装置であって、
前記上流撮像機構は、前記ワークの回転により前記上流壁面が描く上流側軌跡上に上流焦点位置を位置させて前記上流壁面を撮像する上流撮像部を有する検査装置。 - 請求項3に記載の検査装置であって、
前記上流撮像機構は前記上流撮像部を複数個有し、
前記複数の上流撮像部は前記回転軸の軸方向において互いに異なる位置に配置され、前記上流焦点位置に対して互いに異なる角度で撮像する検査装置。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載の検査装置であって、
前記下流撮像機構は、前記移動部を有し、前記ワークの回転により前記下流壁面が描く下流側軌跡の接線方向外側より前記下流壁面を撮像する検査装置。 - 請求項5に記載の検査装置であって、
前記下流撮像機構は、前記下流側軌跡上に下流焦点位置を位置させて前記下流壁面を撮像する下流撮像部を有する検査装置。 - 請求項6に記載の検査装置であって、
前記下流撮像機構は前記下流撮像部を複数個有し、
前記複数の下流撮像部は前記回転軸の軸方向において互いに異なる位置に配置され、前記下流焦点位置に対して互いに異なる角度で撮像する検査装置。 - 請求項1ないし7のいずれか一項に記載の検査装置であって、
前記先端撮像機構は前記ワークの径方向外側より前記凸部の先端を撮像する先端撮像部を複数個有し、
前記複数の先端撮像部は前記回転軸の軸方向において互いに異なる位置に配置され、前記凸部の先端を互いに異なる角度で撮像する検査装置。 - 請求項8に記載の検査装置であって、
前記上流撮像機構および前記下流撮像機構は前記ワークを挟んで前記先端撮像機構の反対側に配置される検査装置。 - 対称軸まわりに回転対称な形状で凸部と凹部とが周期的に繰り返して設けられた外周部を有するワークを検査する検査方法であって、
前記ワークを保持しながら前記対称軸を回転軸と一致させた状態で前記回転軸まわりに前記ワークを回転させる回転工程と、
前記ワークの回転方向において前記凸部の上流側に隣接する前記凹部の底部から前記凸部の先端に繋がる上流壁面を撮像する上流撮像機構と、前記回転方向において前記凸部の下流側に隣接する前記凹部の底部から前記凸部の先端に繋がる下流壁面を撮像する下流撮像機構とのうち少なくとも一方を前記ワークの径方向外側で前記対称軸と直交する直交面内において平行移動させて位置決めする位置決め工程と、
前記位置決め工程後に、前記回転軸まわりに回転している前記ワークの前記凸部の先端を先端撮像機構により撮像して先端画像を取得し、前記ワークの回転方向において前記凸部の上流側に隣接する前記凹部の底部から前記凸部の先端に繋がる上流壁面を前記上流撮像機構により撮像して上流壁面画像を取得し、前記回転方向において前記凸部の下流側に隣接する前記凹部の底部から前記凸部の先端に繋がる下流壁面を前記下流撮像機構により撮像して下流壁面画像を取得する画像取得工程と、
前記先端画像、前記上流壁面画像および前記下流壁面画像に基づいて前記ワークを検査する検査工程と
を備えることを特徴とする検査方法。
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