JP2019045274A - 流体混合装置及び試験装置 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、窒素ガスボンベ2a及び酸素ガスボンベ2bから供給された窒素ガス及び酸素ガスは、窒素マスフロコントローラ2c及び酸素マスフロコントローラ2dを通過後に合流してキャリアガスとなり、気体加熱部3へと供給される。キャリアガスは、気体加熱部3を通過することにより、例えば100℃〜200℃程度に加熱され、流体混合装置4へと供給される。
さらに、シリンジポンプ4aの細管4a3は、細管4a3の軸方向に対して開口端が平行となるように形成され、さらに、上述の山型と谷型とが繰り返された形状または波形であるものとしてもよい。
2 気体供給部
2a 窒素ガスボンベ
2b 酸素ガスボンベ
2c 窒素マスフロコントローラ
2d 酸素マスフロコントローラ
2e ガスクロマトグラフ装置キャリアガス用マスフロコントローラ
3 気体加熱部
4 流体混合装置
4a シリンジポンプ
4a1 筒体
4a2 プランジャ
4a3 細管
4a4 アクチュエータ
4b 接続部材
4b1 第1管部
4b2 第2管部
4c セプタム
4d 気体混合部
4e 放熱板
5 ガスクロマトグラフ部
5a 六方バルブ
5b 検量管
5c ガスクロマトグラフ装置
5c1 恒温槽
5c2 カラム
5c3 検出器
Claims (7)
- 気体状態の第1流体の流路中に供給口が配置され、前記供給口に対して液体状態の第2流体を圧送するシリンジポンプを備えることを特徴とする流体混合装置。
- 前記シリンジポンプは、
前記供給口を有する針状の細管と、
前記細管が接続される筒体と、
前記筒体に貯留された前記第2流体を前記細管に移動可能とするプランジャと、
前記プランジャを移動させるアクチュエータと
を備えることを特徴とする請求項1記載の流体混合装置。 - 前記細管の開口端は、前記流路の中心に配置されることを特徴とする請求項2記載の流体混合装置。
- 前記細管は、開口端が、第1流体の流れ方向下流側に向かうに連れて、前記細管の根元側から離間するように第1流体の流れ方向に対して傾斜していることを特徴とする請求項2または3に記載の流体混合装置。
- 前記細管に接触して設けられると共に、前記流路と前記筒体との間に設けられる放熱板を備えることを特徴とする請求項2〜4のいずれか一項に記載の流体混合装置。
- 前記供給口を含む領域を加熱するヒータを備えることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の流体混合装置。
- 第1流体と第2流体とが混合された検査流体を供給する請求項1〜6のいずれか一項に記載された流体混合装置と、前記流体混合装置から供給されて試験対象を通過した検査流体の成分を計測するガスクロマトグラフ装置とを備えることを特徴とする試験装置。
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2017
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