JP2019045167A5

JP2019045167A5 -

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Publication number: JP2019045167A5
Application number: JP2017165161A
Authority: JP
Filing date: 2017-08-30
Publication date: 2020-08-13
Anticipated expiration: 2037-08-30

Claims

平板状であり、当該平板状の平板面を貫通する方向に複数の開口を有し、回転軸を中心に揺動可能な可動体と、
前記可動体の前記平板面と間隙を隔てて支持するために、前記平板面の一部と支柱で連結されてなる支持基板と、
前記支持基板を前記平板面に対して垂直方向に見たときにおいて、前記支持基板の前記可動体と間隙を隔てて重なっている領域に、前記可動体側に突出して設けられる突起と、
を含み、
前記支持基板を前記平板面に対して垂直方向に見たときにおいて、前記突起の最大外形寸法をＤとした時、前記開口は、前記突起の外周から外側に向かってＤ／２の範囲を除く領域に設けられていることを特徴とする物理量センサー。
前記突起は、複数設けられていることを特徴とする請求項１に記載の物理量センサー。
前記突起は、前記回転軸の軸方向における前記可動体を２等分する中心線に対して対称に設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の物理量センサー。
前記突起は、前記回転軸の軸方向と交差する方向において、前記回転軸と前記可動体の端部との間隔の１／２以内に設けられていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の物理量センサー。
回転軸を中心に揺動可能な可動体と、
前記可動体を貫通する方向に設けられた複数の開口と、
前記可動体の一部と支柱で連結されてなる支持基板と、
前記支持基板の前記可動体と間隙を隔てて重なっている領域に、前記可動体側に突出して設けられる突起と、
を含み、
前記突起の最大外形寸法をＤとした時、前記突起の外周から外側に向かってＤ／２の範囲を除く領域に前記複数の開口が設けられていることを特徴とする物理量センサー。
平板状であり、当該平板状の平板面を貫通する方向に複数の開口を有し、回転軸を中心に揺動可能な可動体と、前記可動体の前記平板面と間隙を隔てて支持するために、前記平板面の一部と支柱で連結されてなる支持基板と、前記支持基板を前記平板面に対して垂直方向に見たときにおいて、前記支持基板の前記可動体と間隙を隔てて重なっている領域に、前記可動体側に突出して設けられる突起と、を含み、前記支持基板を前記平板面に対し
て垂直方向に見たときにおいて、前記突起の最大外形寸法をＤとした時、前記開口は、前記突起の外周から外側に向かってＤ／２の範囲を除く領域に設けられている物理量センサーの製造方法であって、
前記支持基板及び前記突起を形成する支持基板形成工程、
前記支持基板とシリコン基板とを接合する基板接合工程、
前記シリコン基板から前記開口を有する前記可動体を形成する可動体形成工程、
を含むことを特徴とする物理量センサーの製造方法。
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
角速度センサーと、
を備えることを特徴とする複合センサー。
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
角速度センサーと、
前記物理量センサーおよび前記角速度センサーを制御する制御部と、
を備えることを特徴とする慣性計測ユニット。
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーが収容されているケースと、
前記ケースに収容され、前記物理量センサーからの出力データを処理する処理部と、
前記ケースに収容されている表示部と、
前記ケースの開口部を塞いでいる透光性カバーと、
を備えることを特徴とする携帯型電子機器。
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、
を備えていることを特徴とする電子機器。
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、
を備えていることを特徴とする移動体。