JP2019044894A - 磁気軸受制御装置および真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】磁気軸受制御装置は、少なくとも1軸の磁気軸受に対して、電流回転周波数成分の、基準回転信号に対する位相φ2および振幅値を算出する電流回転成分演算部60、変位回転周波数成分の、基準回転信号に対する位相φ1および振幅値を算出する変位回転成分演算部62、変位回転周波数成分により生じる力が電流回転周波数成分により生じる力で相殺される場合の、電流回転周波数成分の振幅と変位回転周波数成分の振幅との比I_Dを算出する電流直流成分演算部61を備え、位相φ2が位相φ1に位相値180度を加算した値と等しくなり、かつ、電流回転周波数成分の振幅値が変位回転周波数成分と比I_Dとの積に等しくなるようにフィードバック制御する。
【選択図】図6
Description
さらに好ましい態様では、前記加算した値と前記電流回転成分位相値との偏差を入力とする積分相当量を含む第1制御器と、前記変位回転周波数成分と前記比との積と前記電流回転周波数成分の振幅値との偏差を入力とする積分相当量を含む第2制御器と、前記第1制御器の出力値および前記第2制御器の出力値に基づいて電流回転成分正弦波信号を生成する第4演算部と、を備え、前記電流回転成分正弦波信号によりフィードバック制御する。
さらに好ましい態様では、前記少なくとも1軸の磁気軸受は、前記回転軸のラジアル方向の支持を行う2軸のラジアル磁気軸受であって、前記第2演算部は、前記2軸の各軸方向の前記変位信号に含まれる変位回転周波数成分の、基準回転信号に対する変位回転成分位相値および変位回転成分振幅値を算出する。
さらに好ましい態様では、前記加算した値と前記電流回転成分位相値との偏差を入力とする積分相当量を含む第1制御器と、前記変位回転周波数成分と前記比との積と前記電流回転周波数成分の振幅値との偏差を入力とする積分相当量を含む第2制御器と、前記第1制御器の出力値および前記第1制御器の出力値に基づいて、前記2軸のラジアル磁気軸受の一方に関するフィードバック制御信号として電流回転成分正弦波信号を生成し、前記2軸のラジアル磁気軸受の他方に関するフィードバック制御信号として電流回転成分余弦波信号を生成する第4演算部と、を備える。
さらに好ましい態様では、前記第3演算部は前記励磁電流の直流成分を抽出する抽出部を備え、抽出された前記直流成分に基づいて前記比を算出する。
さらに好ましい態様では、前記回転軸の浮上位置変位を検出する変位センサからのセンサ信号に基づいて、磁気軸受位置における変位に相当する変位信号を生成する変換部を備え、前記第2演算部は、前記変換部で生成された変位信号に基づいて変位回転成分位相値および変位回転成分振幅値を算出する。
本発明の好ましい態様による真空ポンプは、モータにより回転駆動されるポンプロータと、前記ポンプロータの回転軸を磁気浮上支持する磁気軸受装置と、前記磁気軸受装置を制御する上記態様の磁気軸受制御装置と、を備える。
Fp=k(Ip/Dp)2 …(1)
Fm=k(Im/Dm)2 …(2)
ΔFp=(2k・Ip/Dp2)Δi+(2k・Ip2/Dp3)Δdr …(3)
ΔFm=(−2k・Im/Dm2)Δi+(−2k・Im2/Dm3)Δdr …(4)
ΔFp−ΔFm={(2k・Ip/Dp2)+(2k・Im/Dm2)}Δi
+{(2k・Ip2/Dp3)+(2k・Im2/Dm3)}Δdr …(5)
Δi=−{(Ip2/Dp3+Im2/Dm3)/(Ip/Dp2+Im/Dm2)}Δdr …(6)
I_D=(1/D)・{(Ip2+Im2)/(Ip+Im)} …(7)
Δdr(Ω)=|dr(Ω)|cos(θ+φ1) …(8)
Δi(Ω)=|i(Ω)|cos(θ+φ2) …(9)
|i(Ω)|=I_D・|dr(Ω)| …(10)
θ+φ2=θ+φ1+π …(11)
図5を参照して変位変換部442の処理について説明する。図5は、ロータ軸5が傾いている場合におけるx軸方向の変位を示したものであり、ロータ軸5の目標浮上位置Jをz軸に一致させて図示した。z軸方向に関して、上側の変位センサ位置をzs1、下側の変位センサ位置をzs2とし、上側の電磁石位置をzm1、下側の電磁石位置をzm2とする。ロータ軸5は剛体とみなし、ロータ軸5の中心軸J1の各位置zs1,zs2,zm1,zm2におけるx座標をxs1,xs2,xm1,xm2とする。
xm1(t)=(l1−L1)/(L1+L2)×{xs1(t)−xs2(t)}+xs1(t)…(12)
xm2(t)=(−l2−L1)/(L1+L2)×{xs1(t)−xs2(t)}+xs1(t)…(13)
ym1(t)=(l1−L1)/(L1+L2)×{ys1(t)−ys2(t)}+ys1(t)…(14)
ym2(t)=(−l2−L1)/(L1+L2)×{ys1(t)−ys2(t)}+ys1(t)…(15)
図6は、振動低減制御部443における制御の詳細を示すブロック図である。振動低減制御部443には、電流信号に含まれる回転成分を演算する電流回転成分演算部60と、電流信号に含まれる直流成分を演算する電流直流成分演算部61と、センサ回路33からのセンサ信号306に含まれる回転成分を演算する変位回転成分演算部62とを備えている。
ip(t)=i0(cosθcosφ2−sinθsinφ2) …(16)
ip(t)cosθ=(i0/2){cosφ2・(1+cos2θ)−sinφ2 sin2θ} …(17)
ip(t)sinθ=(i0/2){cosφ2 sin2θ−sinφ2・(1−cos2θ)} …(18)
|i(Ω)|=2√(ai2+bi2) …(19)
φ2=arctan(−bi/ai) …(20)
I_D=(1/D)・{(Ip2+Im2)/(Ip+Im)} …(7)
|dr(Ω)|=2√(ad2+bd2) …(21)
φ1=arctan(−bd/ad) …(22)
(変形例1)
図8は、変形例1を説明するブロック図である。図8に示す変形例1は、磁気軸受のラジアル軸の2つのペア、すなわちロータ上部のX−Y軸とロータ下部のX−Y軸において、重力の影響が各々のX−Y軸に対して均等になる(すなわち、直流電流成分の大きい側および小さい側、かつ、x軸、y軸ともに同じになる)ようにポンプ本体が設置される場合に適用できる。すなわち、xy面の変位回転成分が均等に振れ回る場合に適用できる。もちろん、2つのペアの内の1ペアだけに適用しても良い。
図6,8における説明では、図4の振動低減制御部443に入力される変位信号は、振幅低減および位相遅延が無い場合を例に説明した。しかしながら、特許文献1に記載されているようにセンサ回路33のフィルタのゲイン変化および位相遅延が無視できない場合には、それらの値(補正ゲインGβおよび補正位相φβ)を予め記憶しておき、振幅目標値をI_D・|dr(Ω)|→Gβ・I_D・|dr(Ω)|のように補正し、位相目標値をφ1+π→φ1+π+φβのように補正すれば良い。その結果、変形例2を図6に適用した場合には、制御出力演算部66から出力される電流相当制御信号は、[Gβ・I_D・|dr(Ω)|+γ]cos(θ+φ1+π+φβ+ξ)となる。
Claims (7)
- 回転軸を磁気浮上支持する制御形磁気軸受装置の少なくとも1軸の磁気軸受に対して、
前記磁気軸受の励磁電流に含まれる電流回転周波数成分の、基準回転信号に対する電流回転成分位相値および電流回転成分振幅値を算出する第1演算部と、
前記回転軸の変位信号に含まれる変位回転周波数成分の、基準回転信号に対する変位回転成分位相値および変位回転成分振幅値を算出する第2演算部と、
前記変位回転周波数成分により生じる力が前記電流回転周波数成分により生じる力で相殺される場合の、前記電流回転周波数成分の振幅値と前記変位回転周波数成分の振幅値との比を算出する第3演算部と、を備え、
前記電流回転成分位相値が前記変位回転成分位相値に位相値180度を加算した値と等しくなり、かつ、前記電流回転周波数成分の振幅値が前記変位回転周波数成分と前記比との積に等しくなるようにフィードバック制御する、磁気軸受制御装置。 - 請求項1に記載の磁気軸受制御装置において、
前記加算した値と前記電流回転成分位相値との偏差を入力とする積分相当量を含む第1制御器と、
前記変位回転周波数成分と前記比との積と前記電流回転周波数成分の振幅値との偏差を入力とする積分相当量を含む第2制御器と、
前記第1制御器の出力値および前記第2制御器の出力値に基づいて電流回転成分正弦波信号を生成する第4演算部と、を備え、
前記電流回転成分正弦波信号によりフィードバック制御する、磁気軸受制御装置。 - 請求項1に記載の磁気軸受制御装置において、
前記少なくとも1軸の磁気軸受は、前記回転軸のラジアル方向の支持を行う2軸のラジアル磁気軸受であって、
前記第2演算部は、前記2軸の各軸方向の前記変位信号に含まれる変位回転周波数成分の、基準回転信号に対する変位回転成分位相値および変位回転成分振幅値を算出する、磁気軸受制御装置。 - 請求項3に記載の磁気軸受制御装置において、
前記加算した値と前記電流回転成分位相値との偏差を入力とする積分相当量を含む第1制御器と、
前記変位回転周波数成分と前記比との積と前記電流回転周波数成分の振幅値との偏差を入力とする積分相当量を含む第2制御器と、
前記第1制御器の出力値および前記第2制御器の出力値に基づいて、前記2軸のラジアル磁気軸受の一方に関するフィードバック制御信号として電流回転成分正弦波信号を生成し、前記2軸のラジアル磁気軸受の他方に関するフィードバック制御信号として電流回転成分余弦波信号を生成する第4演算部と、を備える磁気軸受制御装置。 - 請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載の磁気軸受制御装置において、
前記第3演算部は前記励磁電流の直流成分を抽出する抽出部を備え、抽出された前記直流成分に基づいて前記比を算出する、磁気軸受制御装置。 - 請求項1から請求項5までのいずれか一項に記載の磁気軸受制御装置において、
前記回転軸の浮上位置変位を検出する変位センサからのセンサ信号に基づいて、磁気軸受位置における変位に相当する変位信号を生成する変換部を備え、
前記第2演算部は、前記変換部で生成された変位信号に基づいて変位回転成分位相値および変位回転成分振幅値を算出する、磁気軸受制御装置。 - モータにより回転駆動されるポンプロータと、
前記ポンプロータの回転軸を磁気浮上支持する磁気軸受装置と、
前記磁気軸受装置を制御する請求項1から請求項6までのいずれか一項に記載の磁気軸受制御装置と、を備える真空ポンプ。
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