JP2019041038A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】基板の種類が硬質である場合、軟質である場合のいずれの場合であっても、正確に基板を搬送するとともに基板にフィルムを貼付する装置を提供することを課題とする。
【解決手段】基板搬送装置１は、基板Ｐの受け取り位置Ａと基板Ｐにフィルムを貼付する貼り付け位置Ｂとの間で移動可能である。基板搬送装置１は、複数の支持柱１３１と、複数の支持柱１３１のそれぞれの上部に設けられ、上方に向かって凸状の複数の曲面部（球体１３３）を備え、複数の曲面部上に基板Ｐを載置する支持部１３２とを備える。
【選択図】図７

Description

本発明は、基板に対してフィルムを貼付する技術に関する。

有機ＥＬパネルや液晶表示パネルの基板には、様々なフィルムが貼付される。有機ＥＬパネルや液晶表示パネルなどの基板に貼付されるフィルムは、保護フィルムや偏光フィルムなどである。有機ＥＬパネルや液晶表示パネルなどの基板に貼付されるこれらのフィルムを、以下の説明では基材フィルムと呼ぶことにする。

基材フィルムには、通常セパレーターとよばれるフィルムが貼付されている。基材フィルムのセパレーターとの接合面は接着面となっている。つまり、セパレーターを基材フィルムから剥離することにより、基材フィルムの接着面が露出することになる。基材フィルムの接着面を有機ＥＬパネルや液晶表示パネルの基板に接着させることにより、基板への貼付工程が行われる。

また、基材フィルムのセパレーターとは反対側の面には別途、保護フィルムが貼付されている場合がある。保護フィルムは基材フィルムとともに基板に貼付される。このように、基材フィルムは、一方側にセパレーターが貼付され、他方側に保護フィルムが貼付されている。この基材フィルム、セパレーターおよび保護フィルムの３層の構造を持った光学フィルムが、ロール状の原反としてフィルム貼付装置の所定位置にセットされる。

ロール状の原反から繰り出された光学フィルムは、基板の貼付位置まで搬送される。そして、光学フィルムからセパレーターが剥離されるとともに、基材フィルムが基板に貼付されるのである。

下記特許文献１においては、順次搬送される液晶パネルに対して連続的に光学フィルムを貼付する装置について開示している。特許文献１においては、特許文献１の図５等に示されるように、回転する複数のローラーによって液晶パネルを搬送するようにしている。

特許第４３７７９６１号公報

特許文献１においては、回転する複数のローラーによって液晶パネルを搬送している。液晶パネルの基板が、硬質のガラス基板である場合は、回転する複数のローラーによって基板を搬送することが可能である。しかし、基板が軟質のフレキシブル基板である場合には、このような複数のローラーの回転によっては基板が正確に搬送されない場合がある。

本発明は、基板の種類が硬質である場合、軟質である場合のいずれの場合であっても、正確に基板を搬送するとともに、基板にフィルムを貼付する装置を提供することを課題とする。

（構成１）
本実施の形態の基板を搬送する基板搬送装置は、基板の受け取り位置と前記基板にフィルムを貼付する貼り付け位置との間で前記基板搬送装置を移動させる移動手段と、複数の支持柱と、前記複数の支持柱のそれぞれの上部に設けられ、上方に向かって凸状の複数の曲面部を備え、前記複数の曲面部上に前記基板を載置する支持部とを備える。上方に向って凸状の複数の曲面部によって基板を支持するので、基板が硬質のガラス基板である場合であっても、フレキシブルな基板である場合であっても基板を搬送することができる。

（構成２）
また、本実施の形態の基板搬送装置において、前記曲面部は球面を含む。曲面部が球面であるので、基板に傷をつけることなく支持することができる。また、基板の受け取り工程および送り出し工程においても基板をスムーズに搬送することができる。

（構成３）
また、本実施の形態の基板搬送装置において、前記曲面部は球体を含み、前記球体は、前記支持部において回転自在に支持されている。曲面部が回転自在な球体であるので、基板に傷をつけることなく支持することができる。また、基板の受け取り工程および送り出し工程においても基板をスムーズに搬送することができる。

（構成４）
また、本実施の形態の基板搬送装置において、前記受け取り位置で前記基板を受け取るとき、前記複数の支持柱と前記複数の曲面部を上昇させる昇降手段を備える。基板の受け取りをスムーズに行うことができる。

（構成５）
また、本実施の形態の基板搬送装置において、前記貼り付け位置において、前記支持部に載置された前記基板を支持する支えローラーを備え、前記基板に前記フィルムを張り付ける工程において前記支えローラーを駆動する。基板搬送装置が支えローラーを備えるので、基板に精度よくフィルムを貼付することができる。

（構成６）
また、本実施の形態の基板搬送装置において、前記貼り付け位置で前記基板に前記フィルムを貼付するとき、前記支えローラーを上昇させる昇降手段を備える。基板に対して下方から支えローラーを接触させることができるので、基板を正確に支持することができる。

本実施の形態の基板搬送装置によれば、基板の種類が硬質である場合、軟質である場合のいずれの場合であっても、正確に基板を搬送することができ、多様な形態の基板にフィルムを貼付することができる。

本実施の形態に係るフィルム貼付装置１００の全体側面図である。 本実施の形態に係るフィルム貼付装置１００の全体平面図である。 本実施の形態に係る光学フィルムを保持するフィルム供給装置３の正面図である。 本実施の形態に係る基板搬送装置１の基板受け取り位置における側面図である。 本実施の形態に係る基板搬送装置１の平面図である。 本実施の形態に係る基板搬送装置１のフィルム貼付位置における側面図である。 本実施の形態に係る基板支持装置の側面図である。 本実施の形態に係る基板支持装置の側面拡大図である。 本実施の形態に係る基板支持装置の平面拡大図である。 本実施の形態に係るフィルム貼付装置のフィルム貼付部の拡大側面図である。 本実施の形態に係る光学フィルムＦの構造を示す図である。

添付の図面を参照しながら本実施の形態に係るフィルム貼付装置１００について以下説明する。図１は、本実施の形態に係るフィルム貼付装置１００の全体側面図である。図２は、本実施の形態に係るフィルム貼付装置１００の全体平面図である。なお、図２においては、フィルム貼付装置１００の一部の構造のみを示している。

｛１．フィルム貼付装置全体構成｝
図に示すように、フィルム貼付装置１００の設置される空間にｘｙｚ軸を定義する。ｘ軸、ｙ軸は平面方向に延びている。ｘ軸とｙ軸とは垂直に交わる。ｚ軸は垂直方向に延びている。

フィルム貼付装置１００は、基台１０１の上にレール１０２を備える。フィルム貼付装置１００は、基台１０１の上に装置本体２を備える。図１および図２に示すように、レール１０２上には、基板搬送装置１が載置されている。基板搬送装置１は、レール１０２上をｘ軸方向に往復運動可能である。基板搬送装置１の動作は、装置本体２内に設けられた制御部２０によって制御される。基板搬送装置１はレール１０２に設けられたモーター１０２１によってｘ軸方向に往復運動可能である。モーター１０２１は、制御部２０によって制御される。

なお、図１および図２において、２点鎖線で示している基板搬送装置１は、基板搬送装置１が、基板Ｐの受け取り位置Ａにいる状態を示している。図１および図２において、実線で示している基板搬送装置１は、基板搬送装置１が、フィルムの貼り付け位置Ｂに移動している状態を示している。

基板搬送装置１は、台車１１１の上部に、位置補正ユニット１１を載置している。位置補正ユニット１１の上部には、ケース１２を載置している。ケース１２は、上方が開口しており、その内部に、基板支持装置１３を収納している。基板搬送装置１の詳細な説明は後述する。

装置本体２の上方には、フィルム供給装置３が配置されている。フィルム供給装置３は、図１および図２に示すように、光学フィルムＦを巻回して形成された原反である光学フィルムロール３０を備える。光学フィルムロール３０は、繰り出し軸３１２に巻回されている。繰り出し軸３１２は、支持部３１によって支持されている。支持部３１はモーター３１１（図３を参照）を有しており、モーター３１１を駆動させることによって、繰り出し軸３１２を駆動し、光学フィルムロール３０に巻回された光学フィルムＦを下流側へと送り出すことができる。

図３は、フィル供給装置３の正面図である。図に示すように、光学フィルムロール３０の一側には、支持部３１が設けられている。支持部３１は、装置本体２から上方（ｚ軸方向）に向って延びている。繰り出し軸３１２は、支持部３１によってｙ軸方向に略水平に支持されている。支持部３１は、モーター３１１を備えている。モーター３１１と繰り出し軸３１２とは、ベルト３１３により接続されている。モーター３１１は、装置本体２の制御部２０によって制御される。制御部２０の制御によって駆動したモーター３１１の回転力が、ベルト３１３を介して繰り出し軸３１２に伝達される。これにより、繰り出し軸３１２を回転させ、光学フィルムロール３０から光学フィルムＦを送り出すことができる。

本実施の形態において、光学フィルムＦは、３層構造のフィルムである。図１１に示すように、基材フィルムＦ１の一方の面には保護フィルムＦ２が貼付されている。基材フィルムＦ１の他方の面には、セパレーターＦ３が貼付されている。基材フィルムＦ１のセパレーターＦ３との接触面は、接着材が塗布された接着面となっている。光学フィルムＦからセパレーターＦ３を剥離した後、保護フィルムＦ２とともに基材フィルムＦ１が、液晶表示パネルや有機ＥＬパネルの基板Ｐに貼り付けられる。

再び図１を参照する。フィルム供給装置３の下流側には、テンション調整部３５が設けられている。テンション調整部３５は、固定従動ローラー３２，３２，３２を備えている。固定従動ローラー３２，３２，３２は軸の位置が固定されている。固定従動ローラー３２，３２，３２は、搬送される光学フィルムＦによって回転可能である。

テンション調整部３５は、また、移動従動ローラー３３，３３を備えている。移動従動ローラー３３，３３は、連結プレート３３１によって連結されている。移動従動ローラー３３，３３は軸の位置が上下方向（ｚ軸方向）に移動可能とされている。移動従動ローラー３３，３３は、搬送される光学フィルムＦによって回転可能である。図１において、実線で示している移動従動ローラー３３，３３の位置は、移動従動ローラー３３，３３の最下点である。図１において、破線で示している移動従動ローラー３３，３３の位置は、移動従動ローラー３３,３３の最上点である。２つの移動従動ローラー３３，３３は、連結プレート３３１によって連結されることで一体に構成されている。つまり、２つの移動従動ローラー３３，３３は、一体となって最下点位置と最上点位置との間を移動可能である。２つの移動従動ローラー３３，３３は、その重量によって、光学フィルムＦにテンションを与えることができる。２つの移動従動ローラー３３，３３は、最下点位置と最上点位置の間で常に一定のテンションを光学フィルムＦに与えることができる。このように、本実施の形態のフィルム貼付装置１００において、テンション調整部３５は、上下方向に移動可能な従動ローラー３３，３３の重量によってフィルム貼付部６における光学フィルムＦにテンションを付与する。２つの従動ローラー３３，３３の重量によってテンションを付与するので、光学フィルムＦに一定のテンションを付与しながらフィルム貼付部６に送り込むことができる。

テンション調整部３５の下流側には、ハーフカット装置４が設けられている。ハーフカット装置４は、２つの従動ローラー４２，４２を備えている。２つの従動ローラー４２，４２の間には、カッター装置４１が設けられている。

カッター装置４１は、３層構造の光学フィルムＦのうち、基材フィルムＦ１と保護フィルムＦ２だけを切断する。つまり、カッター装置４１は、セパレーターＦ３を切断することなく、基材フィルムＦ１と保護フィルムＦ２に切り込みを入れる。カッター装置４１は、液晶表示パネルあるいは有機ＥＬパネルなどの基板Ｐの長さに合わせて基材フィルムＦ１および保護フィルムＦ２を一定の間隔で切断する。

ハーフカット装置４の下流側には、フィルム貼付部６が配置されている。フィルム貼付部６は、複数の従動ローラー６２，６２・・・、バックアップローラー６２１および貼付ローラー６２５を備えている。また、基板搬送装置１が備えるバックアップローラー１２２と支えローラー１２３もフィルム貼付部６の構成要素として機能する。フィルム貼付部６の詳細な構成は後述する。

フィルム貼付部６においては、光学フィルムＦからセパレーターＦ３が剥離される。フィルム貼付部６において、セパレーターＦ３が剥離されることによって、基材フィルムＦ１と保護フィルムＦ２とは、基板Ｐに貼り付けられる。前述したように、基板Ｐの長さに合わせて基材フィルムＦ１と保護フィルムＦ２は切断されている。これにより、基板搬送装置１によって搬送されてきた１枚の基板Ｐに対して、１枚の基材フィルムＦ１が保護フィルムＦ２とともに貼付される。

フィルム貼付部６の下流側には、テンション調整部５５が設けられている。テンション調整部５５の下流側にはセパレーター巻取装置５が配置されている。セパレーター巻取装置５は、セパレーター巻取ロール５０を備えている。

テンション調整部５５は、固定従動ローラー５２，５２，５２を備えている。固定従動ローラー５２，５２，５２は軸の位置が固定されている。固定従動ローラー５２，５２，５２は、搬送されるセパレーターＦ３によって回転可能である。

テンション調整部５５は、また、移動従動ローラー５３，５３を備えている。移動従動ローラー５３，５３は、連結プレート５３１によって連結されている。移動従動ローラー５３，５３は軸の位置が上下方向（ｚ軸方向）に移動可能とされている。移動従動ローラー５３，５３・・・は、搬送されるセパレーターＦ３によって回転可能である。図１において、実線で示している移動従動ローラー５３，５３の位置は、移動従動ローラー５３，５３の最下点である。図１において、破線で示している移動従動ローラー５３，５３の位置は、移動従動ローラー５３,５３の最上点である。２つの移動従動ローラー５３，５３は、連結プレート５３１によって連結されることで一体に構成されている。つまり、２つの移動従動ローラー５３，５３は、一体となって最下点位置と最上点位置との間を移動可能である。２つの移動従動ローラー５３，５３は、その重量によって、セパレーターＦ３にテンションを与えることができる。２つの移動従動ローラー５３，５３は、最下点位置と最上点位置の間で常に一定のテンションをセパレーターＦ３に与えることができる。２つの移動従動ローラー５３，５３は、セパレーターＦ３にテンションを与えることにより、フィルム貼付部６における光学フィルムＦにテンションを付与することができる。

このように、本実施の形態のフィルム貼付装置１００において、テンション調整部５５は、上下方向に移動可能な従動ローラー５３，５３の重量によってフィルム貼付部６における光学フィルムＦにテンションを付与する。２つの従動ローラー５３，５３の重量によってテンションを付与するので、光学フィルムＦを一定のテンションでフィルム貼付部６に送り込むことができる。特に本実施の形態においては、フィルム貼付部６の上流側のテンション調整部３５とフィルム貼付部６の下流側のテンション調整部５５によって光学フィルムＦにテンションを付与するので、光学フィルムＦを安定したテンションでフィルム貼付部６に送り込むことができる。

セパレーター巻取ロール５０は、セパレーターＦ３が巻回されることで形成されている。セパレーター巻取ロール５０は、セパレーター巻取軸５０１の回りに巻回されている。セパレーター巻取軸５０１は、駆動軸である。セパレーター巻取軸５０１は、制御部２０の制御によって駆動し、セパレーター巻取軸５０１の周囲にセパレーターＦ３を巻回する。

｛２．基板搬送装置１の構成｝
次に、図４〜図９を参照しながら基板搬送装置１の構成について詳しく説明する。図４は、基板搬送装置１の側面図である。図４は、基板搬送装置１が基板Ｐの受け取り位置Ａに移動している状態の図である。基板搬送装置１は、図に示すように、台車１１１を下部に備えている。台車１１１の上部には、位置補正ユニット１１が載置されている。位置補正ユニット１１の上部にはケース１２が載置されている。ケース１２の内部には、基板支持装置１３が収容されている。

位置補正ユニット１１は、位置補正ユニット１１が備えるテーブルを台車１１１上に対してｘ軸方向に移動可能である。位置補正ユニット１１は、位置補正ユニット１１が備えるテーブルを台車１１１上に対してｙ軸方向に移動可能である。また、位置補正ユニット１１は、位置補正ユニット１１が備えるテーブルを台車１１１に対して水平面内で回転可能である。位置補正ユニット１１は、制御部２０によって制御される。制御部２０によって位置補正ユニット１１を制御することにより、位置補正ユニット１１は、位置補正ユニット１１が備えるテーブルを台車１１１上に対してｘ軸方向あるいはｙ軸方向に移動可能であるとともにテーブルを台車１１１に対して回転させることができる。位置補正ユニット１１が備えるテーブルにはケース１２が載置されている。これにより、ケース１２および基板支持装置１３も、ｘ軸方向あるいはｙ軸方向に移動可能であるとともに、水平面内で回転可能である。

基板支持装置１３の上部には、液晶表示パネルあるいは有機ＥＬパネルの基板Ｐが載置される。基板支持装置１３を位置補正ユニット１１の制御によってｘ軸方向に移動させることにより、基板支持装置１３に載置された基板Ｐの位置をｘ軸方向に調整可能である。基板支持装置１３を位置補正ユニット１１の制御によってｙ軸方向に移動させることにより、基板支持装置１３に載置された基板Ｐの位置をｙ軸方向に調整可能である。また、基板支持装置１３を位置補正ユニット１１の制御によって水平面内で回転させることにより、基板支持装置１３に載置された基板Ｐの位置を水平面内で回転させて調整可能である。

台車１１１には、また、ローラー支持部１２５が設けられている。ローラー支持部１２５の上端には、バックアップローラー１２２および支えローラー１２３が設けられている。支えローラー１２３は、ローラー支持部１２５内に設けられたモーター１２５１によって回転駆動可能である。支えローラー１２３を駆動するモーター１２５１は、制御部２０によって制御される。支えローラー１２３の下端は、バックアップローラー１２２の上端と接している。これにより、支えローラー１２３の回転にともなってバックアップローラー１２２も回転する。

また、バックアップローラー１２２および支えローラー１２３は、一体となって上下方向（ｚ軸方向）に移動可能である。ローラー支持部１２５内には、昇降用のモーター１２５２が設けられている。モーター１２５２を駆動することにより、バックアップローラー１２２および支えローラー１２３を上下方向（ｚ軸方向）に移動させることができる。モーター１２５２は、制御部２０によって制御される。

基板搬送装置１が図１に示す基板Ｐの受け取り位置Ａに移動しているとき、バックアップローラー１２２および支えローラー１２３は、下方の待機位置Ｃに移動している。図４は、バックアップローラー１２２および支えローラー１２３が待機位置Ｃに移動している状態を示している。

基板支持装置１３は、複数の支持柱１３１，１３１・・・と、各支持柱１３１の上部に設けられた支持部１３２とを備える。支持部１３２は、球体１３３を収納している。球体１３３は、支持部１３２に対して回転可能であるとともに、支持部１３２の上部において露出している。球体１３３，１３３・・・の上面に基板Ｐを載置することで、基板搬送装置１は基板Ｐを支持可能としている。

図５は、基板搬送装置１の平面図である。図に示すように、本実施の形態においては、縦８×横４、合計３２個の支持部１３２が設けられている。つまり、３２個の支持柱１３１，１３１・・・の上部に、３２個の支持部１３２，１３２・・・が設けられ、３２個の支持部１３２，１３２・・・において、３２個の球体１３３，１３３・・・が支持されている。ただし、支持部１３２の個数は一例であり、載置する基板Ｐのサイズ、材質などの条件に合わせて適宜変更可能である。

再び図４を参照する。基板支持装置１３は、ケース１２内に収容されたサーボ１２５０によって、ケース１２に対して上下方向（ｚ軸方向）に移動可能となっている。サーボ１２５０は、制御部２０によって制御される。図４は、基板支持装置１３が上昇し、基板Ｐの受け取り位置Ｅに移動している状態を示している。つまり、基板搬送装置１が、受け取り位置Ａにいる状態において、基板支持装置１３は、受け取り位置Ｅ（図４の矢視Ｅ）に移動制御される。

図６は、基板搬送装置１の側面図である。図６は、基板搬送装置１が光学フィルムＦの貼り付け位置Ｂに移動している状態の図である。図１に示すように、基板搬送装置１が貼り付け位置Ｂに移動している状態では、基板搬送装置１は、フィルム貼付部６の近傍に移動している。

図６に示すように、基板搬送装置１が貼り付け位置Ｂに移動しているとき、バックアップローラー１２２および支えローラー１２３は上昇し、貼り付け位置Ｄに移動している。支えローラー１２３は、貼付ローラー６２５の近傍位置まで上昇し、支えローラー１２３と貼付ローラー６２５によって基板Ｐを上下から挟み込む状態となる。このように、貼り付け位置Ｂにおいて、支持部１３２に載置された基板Ｐを支持する支えローラー１２３を備え、貼り付け位置Ｂにおいて、基板Ｐに基材フィルムＦ１を張り付ける工程と同期させて支えローラー１２３を駆動し、基板Ｐに基材フィルムＦ１を貼付することができる。基板Ｐを載置している基板搬送装置１が支えローラー１２３を備えるので、基板Ｐの位置に合わせて精度よく基材フィルムＦ１を貼付することができる。また、支えローラー１２３を上昇させる昇降手段を備えるので、基板Ｐに対して下方から支えローラー１２３を接触させることができ、基板Ｐに精度よく基材フィルムＦ１を貼付することができる。

図６に示すように、基板搬送装置１が貼り付け位置Ｂに移動しているとき、基板支持装置１３は下降し、搬送位置Ｆに移動している。基板支持装置１３は、上述したように、基板搬送装置１が受け取り位置Ａに位置しているとき上昇し、図４に示す受け取り位置Ｅに移動する。受け取り位置Ａにおいて、基板支持装置１３上に基板Ｐが載置される。つまり、基板支持装置１３の複数の球体１３３，１３３・・・の上面に基板Ｐが載置される。基板搬送装置１が受け取り位置Ａにおいて、基板支持装置１３に基板Ｐが載置されると、受け取り位置Ａにおいて基板支持装置１３が下降し、搬送位置Ｆに移動する。基板支持装置１３が搬送位置Ｆに下降した後、基板搬送装置１は、受け取り位置Ａから貼り付け位置Ｂに移動する。このように、受け取り位置Ａで基板Ｐを受け取るとき、複数の支持柱１３１と複数の球体１３３（曲面部）を上昇させる昇降手段を備えるので、基板Ｐの受け取りをスムーズに行うことができる。

｛３．基板支持装置１３の構成｝
次に、図７〜図８を参照しながら基板支持装置１３の構成について説明する。図７は、図４あるいは図６で示した基板支持装置１３の側面の拡大図である。図に示すように、基板支持装置１３は、下部プレート１３０を備えている。下部プレート１３０の上面には、等間隔で支持柱１３１，１３１・・・が設けられている。支持柱１３１，１３１・・・は、図５に示したように、ｘ軸方向およびｙ軸方向に等間隔で配置されている。

各支持柱１３１の上端には支持部１３２が設けられている。支持柱１３１および支持部１３２は、本実施の形態においては樹脂性の部材である。支持柱１３１および支持部１３２を金属部材で構成してもよい。

図８は、支持部１３２の拡大図である。支持部１３２には、挿入穴１３３１が設けられており、挿入穴１３３１の内部には、球体１３３が設けられている。球体１３３は、挿入穴１３３１内で自由に回転可能である。本実施の形態においては、球体１３３は樹脂性の部材である。図９は、支持部１３２の平面拡大図である。図に示すように、球体１３３の中央部分は平面視で外方に露出している。平面視で球体１３３の外周部の上部には支持部１３２の側壁が覆いかぶさっている。これにより、球体１３３の上下方向の移動は規制されている。

球体１３３は、本発明における曲面部に対応している。つまり、基板Ｐは、上方に向って凸状の複数の曲面部によって支持される。上方に向って凸状の複数の曲面部によって基板Ｐを支持するので、基板Ｐが硬質のガラス基板である場合であっても、フレキシブルな基板である場合であっても基板を搬送することができる。また、曲面部が球面であるので、基板に傷をつけることなく支持することができる。また、基板の受け取り工程および送り出し工程においても基板をスムーズに搬送することができる。さらに、曲面部が回転自在な球体であるので、基板に傷をつけることなく支持することができる。また、基板の受け取り工程および送り出し工程においても基板をスムーズに搬送することができる。

｛４．フィルムの貼付工程｝
以上の構成のフィルム貼付装置１００により、基板Ｐにフィルムを貼付する工程について説明する。図１を参照する。基板搬送装置１は、まず、基板Ｐの受け取り位置Ａに移動する。基板Ｐの受け取り位置Ａに移動すると、基板搬送装置１の基板支持装置１３が上昇し、受け取り位置Ｅに移動する（図４参照）。

ここで図示せぬ基板Ｐの運搬装置によって、基板Ｐが基板支持装置１３の上部に載置される。基板Ｐの運搬装置は、例えば、フォーク式の装置である。フォークの上部に基板Ｐを載置し、支持柱１３１，１３１・・・の間にフォークを進入させる。そして、基板Ｐを支持部１３２に載置した後、フォークを後退させることにより、基板Ｐの受け渡しを完了する。あるいは、基板Ｐの運搬装置は吸着式であってもよい。基板Ｐの上面の端部を吸着し、支持部１３２上に基板Ｐを載置した後、吸引力を解除することにより基板Ｐを受け渡す方法であってもよい。あるいは、基板Ｐの運搬装置はチャック式であってもよい。チャック式運搬装置により基板Ｐを挟み、基板Ｐを支持部１３２の上部に載置するという構成であってもよい。

基板Ｐの基板搬送装置１への受け渡し動作と平行して、フィルム供給装置３においては、光学フィルム供給装置３から光学フィルムＦが繰り出される。具体的には、モーター３１１が駆動することで繰り出し軸３１２が駆動し、光学フィルムＦが繰り出される。繰り出された光学フィルムＦは、テンション調整部３５に送られる。

光学フィルムＦからテンション調整部３５に送られた光学フィルムＦは、移動従動ローラー３３，３３を下方に押し下げる。そして、基板Ｐに貼付する一枚分の光学フィルムＦが光学フィルムロール３０から繰り出されると、テンション調整部３５において、基板Ｐに貼付する一枚分の光学フィルムＦが保持される。つまり、光学フィルムロール３０から繰り出された光学フィルムＦは、テンション調整部３５より下流側には送られず、テンション調整部３５において保持される。

光学フィルムロール３０から基板Ｐに貼付する一枚分の光学フィルムＦが繰り出された後、次の貼付工程によって、テンション調整部３５に保持されていた一枚分の光学フィルムＦは、テンション調整部３５の下流側に送られる。テンション調整部３５の下流側に送られた光学フィルムＦは、ハーフカット装置４に送られる。ハーフカット装置４に送られた光学フィルムＦは、カッター装置４１によって基材フィルムＦ１および保護フィルムＦ２に切り込みが入れられる。これにより、基板Ｐに貼付する一枚分の基材フィルムＦ１および保護フィルムＦ２が切断される。また、ハーフカット装置４よりも下流側に配置されていた光学フィルムＦは、貼付工程において、フィルム貼付部６に送り込まれる。

このように、テンション調整部３５は、光学フィルム供給装置３とハーフカット装置４との間を搬送される光学フィルムＦにテンションを付与する。一定のテンションで光学フィルムＦをハーフカット装置４に送り込むことができるので、光学フィルムＦの切断間隔の精度を上げることができる。

また、テンション調整部３５は、前記基板に貼付される一枚分の基材フィルムＦ１に対応する光学フィルムＦを保持する。一枚分の光学フィルムＦを送り出す間のテンションを一定に保つことができるので、精度よく基板Ｐに基材フィルムＦ１を貼付することができる。

次に、基板Ｐが載置された基板搬送装置１が、レール１０２上をｘ軸方向に移動し、貼り付け位置Ｂに到着する。基盤搬送装置１がレール１０２上を移動しているとき、図１および図２に示すカメラＣ１が、基板支持装置１３上に載置されている画像を撮像し、撮像した画像を制御部２０に送る。制御部２０は、取得した画像から基板Ｐの位置を解析し、位置補正ユニット１1を制御する。これにより、基板支持装置１３のｘ軸座標、ｙ軸座標および回転角度が調整される。このようにして基板Ｐの位置調整が行われた後、基板搬送装置１は、貼り付け位置Ｂに到着する。

基板搬送装置１が貼り付け位置Ｂに到着すると、貼付工程を開始する。貼付工程では、図６に示すように、バックアップローラー１２２および支えローラー１２３が上昇し、貼り付け位置Ｄに移動する。これにより、支えローラー１２３と貼付ローラー６２５によって基板Ｐが挟み込まれる状態となる。

基板搬送装置１が貼り付け位置Ｂに移動し、バックアップローラー１２２および支えローラー１２３が貼り付け位置Ｄに移動すると、支えローラー１２３およびコンベア７の複数の駆動ローラー７１，７１が同期して駆動を開始する。支えローラー１２３および駆動ローラー７１，７１が同期して駆動を開始することにより、基板Ｐに対する基材フィルムＦ１の貼付動作が開始される。なお、初期工程においては、光学フィルムＦの先端部分をフィルム貼付部６の貼付位置（つまり、貼付ローラー６２５と支えローラー１２３との間）に繰り出すために移動ローラー５７が使用される。つまり、図１に示す移動駆動ローラー５７が下方に移動し、固定従動ローラー５２（５２ａ）との間にセパレーターＦ３を挟み込む。そして、制御部２０の制御により移動駆動ローラー５７を駆動させ、セパレーターＦ３を下流側（セパレータ巻取装置５側）に送り出すことにより、光学フィルムＦの先端部分をフィルム貼付部６の貼付位置に繰り出す。初期工程が完了した後は、移動ローラー５７は、元の上方位置に戻る。

制御部２０は、支えローラー１２３の駆動と同期させて駆動ローラー７１，７１・・・を駆動させる。図１０は、フィルム貼付部６の拡大図である。支えローラー１２３と駆動ローラー７１，７１・・・が駆動することにより、ハーフカット装置４より下流側に位置していた一枚分の光学フィルムＦがフィルム貼付部６に送り込まれる。フィルム貼付部６に送り込まれた光学フィルムＦは、剥離エッジ６３によってガイドされて、剥離エッジ６３の先端部に送られる。

剥離エッジ６３の先端に送られた光学フィルムＦは、セパレーターＦ３が剥離される。剥離されたセパレーターＦ３はテンション調整部５５側に送られる。テンション調整部５５は、１枚分の基材フィルムＦ１の長さに相当するセパレーターＦ３を保持する。つまり、剥離された一枚分の長さに相当するセパレーターＦ３は、テンション調整部５５より下流側に送られず、テンション調整部５５において保持される。このように、一枚分の基材フィルムＦ１に対する貼付作業を行っている間は、テンション調整部５５において一定のテンションを付与するようにしている。セパレーターＦ３が剥離された光学フィルムＦ、つまり、基材フィルムＦ１と保護フィルムＦ２は基板Ｐに貼付される。具体的には、セパレーターＦ３が貼付されていた基材フィルムＦ１の面は接着面となっており、基材フィルムＦ１の接着面が基板Ｐに貼付される。

このように本実施の形態におけるフィルム貼付装置１００においては、フィルム貼付部６の上流側にある第１テンション調整部３５と、フィルム貼付部６の下流側にある第２テンション調整部５５とによって、光学フィルムＦにテンションを付与しながら基材フィルムＦ１を基板Ｐに貼り付けることができる。これにより、一定のテンションで光学フィルムＦを送り出しながら基材フィルムＦ１を貼付することができる。

基材フィルムＦ１と保護フィルムＦ２が貼付された基板Ｐは、コンベア７側へと送られる。コンベア７は、複数の駆動ローラー７１，７１・・・を備えている。複数の駆動ローラー７１は、回転駆動することにより基板Ｐを下流側へと搬送する。これにより、基板Ｐに一枚の基材フィルムＦ１および保護フィルムＦ２が貼付される。基材フィルムＦ１および保護フィルムＦ２が貼付された基板Ｐ１は、図１において矢視Ｍの方向に搬送される。

上述したように、一枚の基材フィルムＦ１が基板Ｐに貼付され、一枚分の基材フィルムＦ１の長さに相当するセパレーターＦ３がテンション調整部５５において保持される。次の工程で、セパレーター巻取軸５０１が駆動し、テンション調整部５５において保持されていた一枚分の長さに相当するセパレーターＦ３がセパレーター巻取ロール５０に巻き取られる。セパレーター巻取ロール５０に対するセパレーターＦ３の巻取工程が終了すると、再び最初の工程に戻る。基板搬送装置１は、再び、図１の受け取り位置Ａに移動する。また、光学フィルム供給装置３から一枚分の光学フィルムＦがテンション調整部３５に送られ、次の基板Ｐに対するフィルム貼付工程を開始する。

以上、実施形態について説明したが、本開示は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。

１ 基板搬送装置
２ 装置本体
３ フィルム供給装置
４ カット装置
５ セパレーター巻取装置
６ 貼付部
１３ 基板支持装置
３０ 光学フィルムロール（原反）
５０ セパレーター巻取ロール
１００ フィルム貼付装置
１３１ 支持柱
１３２ 支持部
１３３ 球体

Claims (6)

1. 基板を搬送する基板搬送装置であって、
   基板の受け取り位置と前記基板にフィルムを貼付する貼り付け位置との間で前記基板搬送装置を移動させる移動手段と、
   複数の支持柱と、
   前記複数の支持柱のそれぞれの上部に設けられ、上方に向かって凸状の複数の曲面部を備え、前記複数の曲面部上に前記基板を載置する支持部と、
   を備える基板搬送装置。
2. 請求項１に記載の基板搬送装置であって、
   前記曲面部は球面を含む基板搬送装置。
3. 請求項２に記載の基板搬送装置であって、
   前記曲面部は球体を含み、
   前記球体は、前記支持部において回転自在に支持されている基板搬送装置。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板搬送装置であって、
   前記受け取り位置で前記基板を受け取るとき、前記複数の支持柱と前記複数の曲面部を上昇させる昇降手段を備える基板搬送装置。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の基板搬送装置であって、
   前記貼り付け位置において、前記支持部に載置された前記基板を支持する支えローラー、
   を備え、
   前記基板に前記フィルムを張り付ける工程において前記支えローラーを駆動する基板搬送装置。
6. 請求項５に記載の基板搬送装置であって、
   前記貼り付け位置で前記基板に前記フィルムを貼付するとき、前記支えローラーを上昇させる昇降手段を備える基板搬送装置。
   

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