JP2019039765A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
Description
並べられるため、1フレーム目のデータブロックX,Y,A,Eの後に、2フレーム目のデータブロックX,Y,A,Eが配置され、2フレーム目のデータブロックX,Y,A,Eの後に、3フレーム目のデータブロックX,Y,A,Eが配置される。3フレーム目以降についても同様である。
荷電粒子線で試料を繰り返し走査して、元素マップを取得する荷電粒子線装置であって、
荷電粒子源と、
荷電粒子線を偏向させる偏向器と、
前記荷電粒子線が照射されることにより試料から発生するX線を検出し、X線信号データを出力するX線検出器と、
前記X線信号データおよび前記荷電粒子線が照射された位置を示す位置データを、記憶部に記憶させる処理部と、
を含み、
前記処理部は、複数フレーム分の前記X線信号データおよび前記位置データから、重複
している前記位置データを削除して、前記記憶部に記憶させる。
1.1. 電子顕微鏡
まず、第1実施形態に係る電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る電子顕微鏡100の構成を示す図である。
次に、処理部60の処理について説明する。図2は、記憶部70に格納されたデータ列(元素マップデータ)の構造を説明するための図である。なお、図2において、「F1」は、1フレーム目に取得されたデータであることを示しており、「F2」は、2フレーム目に取得されたデータであることを示している。「F3」以降についても同様である。
つのデータパックを生成する。
タのデータサイズを小さくすることができる。
2.1. 電子顕微鏡
次に、第2実施形態に係る電子顕微鏡について、図面を参照しながら説明する。図3は、第2実施形態に係る電子顕微鏡200の構成を示す図である。以下、第2実施形態に係る電子顕微鏡200において、第1実施形態に係る電子顕微鏡100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
り実現できる。
次に、第2実施形態に係る電子顕微鏡の変形例について説明する。以下では、上述した電子顕微鏡200の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
まず、第1変形例について説明する。本変形例では、処理部60は、フレームごとに生成された二次電子像と基準画像との類似度に基づいて、二次電子像が異常か否かを判定し、二次電子像が異常と判定した場合に、異常と判断された二次電子像が得られたフレームのX線信号データを削除する。
ただし、aは類似度の移動平均値であり、σは類似度の分散であり、fは係数(1,2,3,・・・)である。fの値は、2以上が好ましい。
定されない。例えば、データ列をデータパックに分けた後に、X線信号データブロックEを削除してもよい(すなわち、ステップS106の処理の後にステップS200の処理を行ってもよい)。
本変形例では、処理部60は、基準画像に対する、フレームごとに生成された二次電子像の位置ずれ量を求め、当該位置ずれ量に基づいて位置データを補正する処理を行う。
ynew=yold+Δy
位置ずれを補正した場合、X線信号データがない座標が発生するため、その座標のX線信号データは零としてもよい。また、位置ずれを補正した場合、もとのデータには無い座標が発生するため、その座標のX線信号データは破棄する。
る。なお、図15では、図6と同じ処理を行うステップには同じ符号を付して、その説明を省略する。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
である例について説明したが、本発明に係る荷電粒子線装置は、荷電粒子線(電子線やイオンビーム等)で試料を走査して観察や分析を行うことが可能な装置であればよい。本発明に係る荷電粒子線装置は、例えば、走査透過電子顕微鏡(STEM)や、電子プローブマイクロアナライザー(EPMA)、集束イオンビーム装置(FIB装置)などであってもよい。
Claims (6)
- 荷電粒子線で試料を繰り返し走査して、元素マップを取得する荷電粒子線装置であって、
荷電粒子源と、
前記荷電粒子線を偏向させる偏向器と、
前記荷電粒子線が照射されることにより試料から発生するX線を検出し、X線信号データを出力するX線検出器と、
前記X線信号データおよび前記荷電粒子線が照射された位置を示す位置データを、記憶部に記憶させる処理部と、
を含み、
前記処理部は、複数フレーム分の前記X線信号データおよび前記位置データから、重複している前記位置データを削除して、前記記憶部に記憶させる、荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記処理部は、
設定されたフレーム数分だけ前記X線信号データおよび前記位置データを取得し、重複している前記位置データを削除して、前記記憶部に記憶させる、荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記荷電粒子線が照射されることにより試料から放出された電子を検出し、電子信号データを出力する電子検出器を含み、
前記処理部は、
前記X線信号データ、前記位置データ、および前記電子信号データが時系列に並んだデータ列を取得し、
フレームごとに前記電子信号データから試料像を生成し、生成された試料像と基準画像とを比較して類似度を求め、
前記データ列を、前記類似度に基づき複数のデータパックに分け、
前記データパックごとに、重複している前記位置データを削除して、前記記憶部に記憶させる、荷電粒子線装置。 - 請求項3において、
前記処理部は、
前記類似度に基づいて、試料像が異常か否かを判定し、
試料像が異常と判定した場合、異常と判断された試料像が得られたフレームの前記X線信号データを削除する、荷電粒子線装置。 - 請求項3または4において、
前記処理部は、
基準画像に対する、フレームごとに生成された試料像の位置ずれ量を求め、
前記位置ずれ量に基づいて前記位置データを補正する、荷電粒子線装置。 - 請求項3ないし5のいずれか1項において、
前記処理部は、
前記データパックに含まれる、同じ前記位置データに関連付けられた複数の前記電子信号データを平均化して1つのデータとする、荷電粒子線装置。
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JP2007299768A (ja) * | 2007-07-23 | 2007-11-15 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料像形成方法及び荷電粒子線装置 |
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