JP2019036631A - リードフレームおよび半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、図1乃至図5により、本実施の形態によるリードフレームの概略について説明する。図1乃至図5は、本実施の形態によるリードフレームを示す図である。
次に、図6および図7により、本実施の形態による半導体装置について説明する。図6および図7は、本実施の形態による半導体装置を示す図である。
次に、図1乃至図5に示すリードフレーム10の製造方法について、図8(a)−(e)及び図9(a)−(c)を用いて説明する。なお、図8(a)−(e)は、リードフレーム10の製造方法を示す断面図(図3に対応する図)であり、図9(a)−(c)は、リードフレーム10の製造方法を示す断面図(図4に対応する図)である。
次に、図6および図7に示す半導体装置20の製造方法について、図10(a)−(e)を用いて説明する。
図8(a)−(e)及び図9(a)−(c)に示す方法により、本実施の形態によるリードフレーム10を作製した。次に、図10(a)−(e)に示す方法により、本実施の形態による半導体装置20(実施例)を作製した。その後、得られた半導体装置20において、互いに隣接するリード部12同士が短絡しているか否かを確認した。この場合、リードフレーム10において、コネクティングバー13のリード連結部41の厚みは105μmであり、中間部43の厚みは100μmであった。また、リードフレーム10および半導体装置20において、タイバー14の厚みは115μmであり、環状連結部19の厚みは115μmであった。この結果を表1に示す。
タイバーの厚みが90μmであり、環状連結部の厚みが90μmであること、以外は、実施例と同様にして、得られた半導体装置において、互いに隣接するリード部同士が短絡しているか否かを調査した。この結果を表1に示す。
11 ダイパッド
12 リード部
13 コネクティングバー
14 タイバー
19 環状連結部
20 半導体装置
21 半導体素子
22 ボンディングワイヤ
23 封止樹脂
Claims (8)
- リードフレームにおいて、
半導体素子が搭載されるダイパッドと、
前記ダイパッドの周囲に設けられた、複数のリード部と、
前記複数のリード部が連結されたコネクティングバーと、
前記ダイパッドと前記コネクティングバーとを連結するタイバーとを備え、
前記コネクティングバーおよび前記タイバーは、それぞれ裏面側から薄肉化され、
前記コネクティングバーの厚みは、前記タイバーの厚みよりも薄い、リードフレーム。 - リードフレームにおいて、
半導体素子が搭載されるダイパッドと、
前記ダイパッドの周囲に設けられた、複数のリード部と、
前記複数のリード部が連結されたコネクティングバーと、
前記ダイパッドから延在するタイバーと、
前記タイバーと前記コネクティングバーとを連結する連結部材とを備え、
前記連結部材の幅は、前記タイバーの幅よりも広い、リードフレーム。 - 前記コネクティングバーおよび前記タイバーは、それぞれ裏面側から薄肉化され、
前記コネクティングバーの厚みは、前記タイバーの厚みよりも薄い、請求項2に記載のリードフレーム。 - 前記連結部材は、裏面側から薄肉化されている、請求項2または3に記載のリードフレーム。
- 前記連結部材の幅は、150μm以上350μm以下であり、前記タイバーの幅は、100μm以上250μm以下である、請求項2乃至4のいずれか一項に記載のリードフレーム。
- 前記コネクティングバーの厚みは、60μm以上120μm以下であり、前記タイバーの厚みは、70μm以上130μm以下である、請求項1乃至5のいずれか一項に記載のリードフレーム。
- 半導体装置において、
ダイパッドと、
前記ダイパッドの周囲に設けられた、複数のリード部と、
前記ダイパッドから延在するタイバーと、
前記タイバーに連結された連結部材と、
前記ダイパッド上に搭載された半導体素子と、
前記半導体素子と前記リード部とを電気的に接続する接続部材と、
前記ダイパッドと、前記リード部と、前記タイバーと、前記連結部材と、前記半導体素子と、前記接続部材とを封止する封止樹脂とを備え、
前記連結部材の幅は、前記タイバーの幅よりも広い、半導体装置。 - 前記連結部材の幅は、150μm以上350μm以下であり、前記タイバーの幅は、100μm以上250μm以下である、請求項7に記載の半導体装置。
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