JP2019035613A - 膜型表面応力センサーを用いた水素センサー及び水素検出方法 - Google Patents
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Description
ここで、前記水素吸蔵材料はパラジウム、マグネシウム、チタン、バナジウム、ジルコニウム、ランタン、鉄、ニッケル、タンタル、及び前記金属の二以上の合金からなる群から選択されてよい。
また、前記感応膜の膜厚が5nm以上であってよい。
本発明の他の側面によれば、前記何れかに記載の水素センサーに水素を含有するターゲットガスとパージガスとを交互に切り替えて供給し、前記水素センサーからの出力信号から前記ターゲットガス中の水素濃度を測定する水素検出方法が与えられる。
また、前記出力信号に対して演算処理を行ってよい。
また、前記演算処理は時間微分であってよい。
また、前記時間微分された前記出力信号のピーク値に基づいて水素濃度を求める処理を行ってよい。
また、前記時間微分された前記出力信号のピーク値に基づいて水素濃度を求める処理は、更に前記時間微分された前記出力信号の前記ピーク値に続く信号波形に基づいて水素濃度を求める処理を含んでよい。
また、前記時間微分された前記出力信号の前記ピーク値に続く信号波形に基づいて水素濃度を求める処理は前記時間微分された前記出力信号のピーク値に基づいて選択的に行われてよい。
Claims (9)
- 膜型表面応力センサーの表面応力を受け取る表面に感応膜として膜厚が30nm以下の水素吸蔵材料の膜を設けた水素センサー。
- 前記水素吸蔵材料はパラジウム、マグネシウム、チタン、バナジウム、ジルコニウム、ランタン、鉄、ニッケル、タンタル、及び前記金属の二以上の合金からなる群から選択される、請求項1に記載の水素センサー。
- 前記感応膜の膜厚が5nm以上である、請求項1または2に記載の水素センサー。
- 請求項1から3の何れかに記載の水素センサーに水素を含有するターゲットガスとパージガスとを交互に切り替えて供給し、前記水素センサーからの出力信号から前記ターゲットガス中の水素濃度を測定する水素検出方法。
- 前記出力信号に対して演算処理を行う、請求項4に記載の水素検出方法。
- 前記演算処理は時間微分である、請求項5に記載の水素検出方法。
- 前記時間微分された前記出力信号のピーク値に基づいて水素濃度を求める処理を行う、請求項6に記載の水素検出方法。
- 前記時間微分された前記出力信号のピーク値に基づいて水素濃度を求める処理は、更に前記時間微分された前記出力信号の前記ピーク値に続く信号波形に基づいて水素濃度を求める処理を含む、請求項7に記載の水素検出方法。
- 前記時間微分された前記出力信号の前記ピーク値に続く信号波形に基づいて水素濃度を求める処理は前記時間微分された前記出力信号のピーク値に基づいて選択的に行われる、請求項8に記載の水素検出方法。
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