JP2019029487A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2019029487A5
JP2019029487A5 JP2017146802A JP2017146802A JP2019029487A5 JP 2019029487 A5 JP2019029487 A5 JP 2019029487A5 JP 2017146802 A JP2017146802 A JP 2017146802A JP 2017146802 A JP2017146802 A JP 2017146802A JP 2019029487 A5 JP2019029487 A5 JP 2019029487A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
imprint apparatus
mold
imprint
pattern
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2017146802A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP7089348B2 (ja
JP2019029487A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2017146802A priority Critical patent/JP7089348B2/ja
Priority claimed from JP2017146802A external-priority patent/JP7089348B2/ja
Priority to US16/044,864 priority patent/US10859912B2/en
Priority to KR1020180087717A priority patent/KR102380121B1/ko
Publication of JP2019029487A publication Critical patent/JP2019029487A/ja
Publication of JP2019029487A5 publication Critical patent/JP2019029487A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7089348B2 publication Critical patent/JP7089348B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2017146802A 2017-07-28 2017-07-28 インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法 Active JP7089348B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017146802A JP7089348B2 (ja) 2017-07-28 2017-07-28 インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法
US16/044,864 US10859912B2 (en) 2017-07-28 2018-07-25 Imprint apparatus, imprint method, and article manufacturing method
KR1020180087717A KR102380121B1 (ko) 2017-07-28 2018-07-27 임프린트 장치, 임프린트 방법, 및 물품 제조 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017146802A JP7089348B2 (ja) 2017-07-28 2017-07-28 インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2019029487A JP2019029487A (ja) 2019-02-21
JP2019029487A5 true JP2019029487A5 (https=) 2020-08-27
JP7089348B2 JP7089348B2 (ja) 2022-06-22

Family

ID=65037798

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017146802A Active JP7089348B2 (ja) 2017-07-28 2017-07-28 インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10859912B2 (https=)
JP (1) JP7089348B2 (https=)
KR (1) KR102380121B1 (https=)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102666843B1 (ko) * 2018-08-31 2024-05-21 삼성디스플레이 주식회사 나노 임프린트용 스탬프 및 이의 제조 방법
EP4398040A3 (en) * 2018-11-08 2025-07-02 Canon Kabushiki Kaisha Imprint apparatus and product manufacturing method

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07297119A (ja) * 1994-04-27 1995-11-10 Nikon Corp 位置検出方法
JP4579376B2 (ja) * 2000-06-19 2010-11-10 キヤノン株式会社 露光装置およびデバイス製造方法
JP2007501430A (ja) * 2003-08-04 2007-01-25 マイクロニック レーザー システムズ アクチボラゲット Ｐｓｍ位置調整方法及び装置
JP2009238777A (ja) * 2008-03-25 2009-10-15 Toshiba Corp 半導体装置の製造方法
JP5235506B2 (ja) * 2008-06-02 2013-07-10 キヤノン株式会社 パターン転写装置及びデバイス製造方法
JP2010080630A (ja) * 2008-09-25 2010-04-08 Canon Inc 押印装置および物品の製造方法
JP5451450B2 (ja) 2010-02-24 2014-03-26 キヤノン株式会社 インプリント装置及びそのテンプレート並びに物品の製造方法
JP5936373B2 (ja) 2012-01-31 2016-06-22 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント装置の制御方法、及びデバイス製造方法
JP6097704B2 (ja) 2014-01-06 2017-03-15 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法
JP5932859B2 (ja) * 2014-02-18 2016-06-08 キヤノン株式会社 検出装置、インプリント装置、および物品の製造方法
JP5954644B2 (ja) 2014-10-01 2016-07-20 大日本印刷株式会社 インプリント装置、インプリント方法およびインプリント装置の制御方法
JP6604793B2 (ja) * 2015-09-17 2019-11-13 キヤノン株式会社 インプリント装置および物品製造方法
US10481507B2 (en) * 2016-09-08 2019-11-19 Asml Holding N.V. Measurement method comprising in-situ printing of apparatus mark and corresponding apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9155365B2 (en) Method for sublimating an image onto a substrate
JP2012164832A5 (https=)
JP2007103924A5 (https=)
US20100103138A1 (en) Curved capacitive touch panel and manufacture method thereof
JP2013004744A5 (https=)
JP2013004537A (ja) インプリント方法、インプリント装置及び物品の製造方法
JP2016213458A5 (https=)
WO2014187088A1 (zh) 显示面板、应用其的显示装置及显示面板的制造方法
US20150202653A1 (en) Magnetic printing apparatus and magnetic printing method
WO2016107041A1 (zh) 一种线栅偏振片及其制作方法、显示装置
JP2019029487A5 (https=)
KR20120080801A (ko) 패턴화 리타더의 제조방법
JP2012056093A5 (https=)
CN102371748A (zh) 辊模、其制造方法以及利用其制造薄膜图案的方法
KR102211407B1 (ko) 필름 적층체로부터의 이물 제거 방법, 필름 적층체의 제조 방법 및 제조 장치
JP2011102001A5 (https=)
TW200630760A (en) Method of forming film pattern, device, method of manufacturing device, electro-optical device, and electronic apparatus
KR20180099507A (ko) 전사 방법, 전사 장치, 및 몰드
US20200073235A1 (en) Master stamp for nano imprint and method for manufacturing the same
US9753365B2 (en) Mask plate
ES2595303T3 (es) Forma de impresión de fotopolímero con tiempo de procesado reducido
TW201706102A (zh) 壓印用的模板
KR102380121B1 (ko) 임프린트 장치, 임프린트 방법, 및 물품 제조 방법
KR101394754B1 (ko) 액정표시장치의 러빙포 에이징 장치 및 이를 이용한 에이징 방법
KR101474251B1 (ko) 터치패널 및 이의 제조장치와, 이의 제조방법.