JP2019029362A - 接着フィルムの破断装置及び接着フィルムの破断方法 - Google Patents
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Abstract
Description
なお、本発明の破断装置1が適用される接着フィルムK上のウエーハWは、図1に示すように個々のデバイスチップCに分割されている状態でなく、ストリートSに沿って内部に改質層が形成されているような分割前の状態であってもよい。
例えば、まず、図2に示す冷却室5の箱体50内に冷却用プレート4が収容され、天板51によって箱体50が閉じられた状態で、箱体50に冷却気体供給手段501から所定の温度の冷気が供給される。そして、冷却用プレート4が冷却室5で所定の温度に至るまで短時間の内に均等に冷却される。
次に、フレーム保持手段2によって環状のフレームFが保持される。即ち、環状フレームFによって支持されているウエーハWの中心と第2の保持部材22の開口部221の中心とが略合致するように、第2の保持部材22の上面上に環状フレームFが載置される。続いて、第1の保持部材21から離れて対向している第2の保持部材22を第1の保持部材21側に向けて上昇させることにより、環状フレームFを第1の保持部材21と第2の保持部材22との間に挟持させる。この状態においては、テープ拡張手段3の拡張ドラム30の上端部であるローラー302は、少なくとも、保護テープTの下方に位置している。
なお、環状フレームFを挟持状態とする方法は、これに限定されるものではなく、例えば、第1の保持部材21を第2の保持部材22に向かって下降させることによって、環状フレームFを挟持させるものとしてもよい。また、本実施形態においては、冷却工程の後に、フレーム保持工程を実施しているが、フレーム保持工程の後に冷却工程を実施してもよく、冷却工程とフレーム保持工程とを並行して実施してもよい。
フレーム保持手段2によって環状のフレームFが保持された後、可動手段52によって箱体50上から天板51が移動されて、箱体50の開口が開かれる。そして、図4に示すように、移動手段40が冷却用プレート4を冷却室5内から上昇させて、接着フィルムKのウエーハWが装着されている領域に保護テープTを介して冷却用プレート4を接触させる。冷却室5内で冷却されていた冷却用プレート4によって、接着フィルムKは、例えば、−10℃〜10℃程度まで冷却される。なお、図4に示すように、蓋体7の冷却空間71内に冷却気体供給管70から冷気を供給し、冷却空間71を冷却することで、接着フィルムKが冷却用プレート4の接触による冷却と共に冷気で冷却されるようにしてもよい。
次いで、図5に示すように、昇降機構31が拡張ドラム30を所定の高さ位置まで上昇させることで、第2の保持部材22の保持面が拡張ドラム30の上端部より下方の高さ位置に相対的に位置付けられた状態になる。その結果、保護テープTは、拡張ドラム30の上端部で押し上げられて径方向外側に向かって放射状に拡張される。例えば、保護テープTは、その凝固点が接着フィルムKの凝固点よりも低いため、冷却用プレート4により−10〜10℃程度まで冷却されても硬化せず、テープ拡張手段3による下方から外力を受けて破断せずに径方向外側に向かって放射状に均等に拡張されていく。
なお、ウエーハWが未分割であり、ストリートSに沿って改質層が形成された状態である場合には、保護テープTが拡張されると、ウエーハWにも拡張力が作用する。これにより、接着フィルムKの破断と共に、ウエーハWも改質層が形成されている位置、即ち、ストリートSに沿って分割される。
図6に示すように、昇降機構31が拡張ドラム30を所定の高さ位置まで下降させて、拡張ドラム30を保護テープTから離間させると、保護テープTを水平方向に引っ張る力が無くなり保護テープTのテンションが解除される。また、移動手段40が冷却用プレート4を下降させて、冷却用プレート4が冷却室5内へ再度収容されて、箱体50の天板51が再び閉じられる。
その後、第1の保持部材21と第2の保持部材22とによる環状フレームFの保持が解除されて、環状フレームFによって支持されたウエーハWが破断装置1内から取り出される。
1:破断装置 2:フレーム保持手段 21:第1の保持部材 211:開口部
22:第2の保持部材 221:開口部
3:テープ拡張手段 30:拡張ドラム 300:円筒部 301:フランジ部 302:ローラー 31:昇降機構 310:シリンダチューブ 311:ピストンロッド
4:冷却用プレート 40:移動手段
5:冷却室 50:箱体 51:天板 52:可動手段 501:冷却気体供給手段
7:蓋体
Claims (2)
- 表面に複数のストリートが格子状に形成されているとともに該複数のストリートによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたウエーハの裏面に装着された接着フィルムを、環状のフレームに装着された保護テープの表面に貼着された状態で該ストリートに沿って破断する接着フィルムの破断装置であって、
該環状のフレームを保持するフレーム保持手段と、
該フレーム保持手段に保持された該環状のフレームに装着された該保護テープを拡張して該接着フィルムを破断するテープ拡張手段と、
該接着フィルムのウエーハが装着されている領域に該保護テープを介して接触可能とした冷却用プレートと、
該冷却用プレートを冷却する冷却室と、
冷却された該冷却用プレートと該接着フィルムとが接近又は離間する方向に冷却用プレートと接着フィルムとを相対的に移動させる移動手段と、を少なくとも備える接着フィルムの破断装置。 - 表面に複数のストリートが格子状に形成されているとともに該複数のストリートによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたウエーハの裏面に装着された接着フィルムを、環状のフレームに装着された保護テープの表面に貼着された状態で請求項1に記載の破断装置によって該ストリートに沿って破断する接着フィルムの破断方法であって、
前記冷却用プレートを前記冷却室内に収容し冷却する冷却工程と、
前記フレーム保持手段によって該環状のフレームを保持するフレーム保持工程と、
該冷却用プレートを該冷却室内から移動させ該接着フィルムのウエーハが装着されている領域に該保護テープを介して接触させる接触工程と、
前記テープ拡張手段によって該フレーム保持手段に保持された該環状のフレームに装着された該保護テープを拡張して該接着フィルムを破断するテープ拡張工程と、
該冷却用プレートを該冷却室内へ再度収容する収容工程と、を少なくとも備える接着フィルムの破断方法。
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