JP2019028430A5 - - Google Patents
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Description
複数の気孔４２ｃの一部は、蛍光体層４２の表面（底面４２Ｂ）に形成されるため、蛍光体層４２の底面４２Ｂには気孔４２ｃによる凹部４２ｄが生じる。本実施形態の波長変換素子４０は、凹部４２ｄを封孔する透明部材４５を有している。
透明部材４５の材料としては、透光性を有する無機材料、例えば、アルミナ、Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２、ＹＡｌＯ３、二酸化ジルコニア、Ｌｕ３Ａｌ５Ｏ１２、ＳｉＯ２（ガラスペースト）や嫌気性の接着剤が用いられる。本実施形態では、透明部材４５の材料として、蛍光体層４２の底面４２Ｂに形成される反射部材４３と同一の材料を用いることが望ましい。
本実施形態の波長変換素子１４０によれば、劣化に伴う反射層５２の反射率低下が起こり難いので、蛍光体層４２で生成された蛍光ＹＬを光入射面４２Ａから良好に射出させることができる。よって、蛍光ＹＬの取り出し効率の低下を抑制できる。
本実施形態の波長変換素子２４０によれば、蛍光ＹＬの取り出し効率の低下をより抑制し易くなる。
（第四実施形態）
続いて、本発明の第四実施形態に係る波長変換素子について説明する。第二実施形態と共通の部材については同じ符号を付し、詳細な説明については省略する。
続いて、本発明の第四実施形態に係る波長変換素子について説明する。第二実施形態と共通の部材については同じ符号を付し、詳細な説明については省略する。
本実施形態の波長変換素子３４０によれば、蛍光ＹＬの取り出し効率の低下をより抑制し易くなる。
Claims (10)
- 励起光が入射する第１面と、前記第１面に対向する第２面を有する波長変換層と、
前記第２面に対向して設けられ、第１の無機酸化物を含有する第１層と、
前記第１層に対向して設けられ、酸化錫を含有する第２層と、
前記第２層に対向して設けられ、銀またはアルミニウムのいずれか一方を含有し、前記励起光が前記波長変換層により波長変換された光または前記励起光を反射する第３層と、
を備え、
前記第１層は、前記波長変換素子の前記第２面と前記第２層との間に設けられる
ことを特徴とする波長変換素子。 - 前記第３層は、前記第２層に直接接触して設けられる
ことを特徴とする請求項１に記載の波長変換素子。 - 前記第３層に対向して設けられ、前記第１の無機酸化物とは異なる第２の無機酸化物を含有する第４層と、
をさらに備える
ことを特徴とする請求項１または２に記載の波長変換素子。 - 前記第４層の前記第２の無機酸化物は、酸化錫である
ことを特徴とする請求項３に記載の波長変換素子。 - 前記第２層の厚さは、１ｎｍ以上２０ｎｍ以下である
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の波長変換素子。 - 請求項１乃至５のいずれか一項に記載の波長変換素子と、
前記励起光を射出する光源と、を備える
ことを特徴とする光源装置。 - 請求項６に記載の光源装置と、
前記光源装置からの光を画像情報に応じて変調することにより画像光を形成する光変調装置と、
前記画像光を投写する投写光学系と、を備える
ことを特徴とするプロジェクター。 - 互いに対向する第１面及び第２面を有する波長変換層を形成する第１工程と、
前記波長変換層の前記第２面に対向する位置に、第１の無機酸化物を含有する第１層を形成する第２工程と、
前記第１層に対向する位置に、酸化錫を含有する第２層を形成する第３工程と、
前記第２層に対向する位置に、銀またはアルミニウムのいずれか一方を含有し、励起光が前記波長変換層により波長変換された光または前記励起光を反射する第３層を形成する第４工程と、を備え、
前記第１層は、前記波長変換素子の前記第２面と前記第２層との間に設けられる
ことを特徴とする波長変換素子の製造方法。 - 前記第１層は、第１無機酸化物層及び第２無機酸化物層を含み、
前記第２工程は、前記第２面上に化学蒸着法を用いて前記第１無機酸化物層を形成する第１形成工程と、前記第１無機酸化物層上に物理蒸着法を用いて前記第２無機酸化物層を形成する第２形成工程とを含む
ことを特徴とする請求項８に記載の波長変換素子の製造方法。 - 前記第１無機酸化物層及び前記第２無機酸化物層の材料としてＳｉＯ２を用いる
ことを特徴とする請求項９に記載の波長変換素子の製造方法。
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