JP2019028430A - 波長変換素子、波長変換素子の製造方法、光源装置及びプロジェクター - Google Patents
波長変換素子、波長変換素子の製造方法、光源装置及びプロジェクター Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019028430A JP2019028430A JP2017247872A JP2017247872A JP2019028430A JP 2019028430 A JP2019028430 A JP 2019028430A JP 2017247872 A JP2017247872 A JP 2017247872A JP 2017247872 A JP2017247872 A JP 2017247872A JP 2019028430 A JP2019028430 A JP 2019028430A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- wavelength conversion
- light
- conversion element
- inorganic oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Projection Apparatus (AREA)
- Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
Description
このようにすれば、第1無機酸化物層及び第2無機酸化物層が同じ材料で形成されるので、第1無機酸化物層及び第2無機酸化物層間の密着力をより高めることができる。
なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
まず、本実施形態に係るプロジェクターの一例について説明する。
図1は、本実施形態に係るプロジェクターの概略構成を示す図である。
図1に示すように、本実施形態のプロジェクター1は、スクリーンSCR上にカラー映像を表示する投射型画像表示装置である。プロジェクター1は、照明装置2と、色分離光学系3と、光変調装置4R,光変調装置4G,光変調装置4Bと、合成光学系5と、投写光学系6とを備えている。
続いて、本発明の一実施形態に係る照明装置2について説明する。図2は照明装置2の概略構成を示す図である。図2に示すように、照明装置2は、光源装置2Aと、インテグレーター光学系31と、偏光変換素子32と、重畳レンズ33aとを備えている。本実施形態において、インテグレーター光学系31と重畳レンズ33aとは重畳光学系33を構成している。
アフォーカル光学系23は、光線BLの光束径を調整する。アフォーカル光学系23は、例えば凸レンズ23a,凹レンズ23bから構成されている。
第2の集光光学系29は、例えば凸レンズ29a,29bから構成され、青色光BLc1を集光させた状態で拡散反射素子30に入射させる。
偏光変換素子32は、偏光分離膜と位相差板とから構成されている。偏光変換素子32は、非偏光の蛍光YLを含む照明光WLを直線偏光に変換する。
波長変換素子40は、図2に示すように、基材41及び蛍光体層42を備え、回転しない固定型の構成となっている。基材41は、第1の集光光学系26側となる第1面41aと、第1面41aとは反対側となる第2面41bとを有している。波長変換素子40は、第1面41aと蛍光体層42との間に設けられた反射部材43と、第2面41bに設けられた放熱部材44と、をさらに備える。本実施形態において、蛍光体層42は特許請求の範囲に記載の「波長変換層」に相当する。
なお、第1保護層53aは、劣化防止膜51と同じ金属を含有する膜から形成されていても良い。すなわち、劣化防止膜51の材料としてTiを用いる場合、第1保護層53aの材料としてTiを用いていてもよい。
なお、第2保護層53bは、多層膜50の材料として、SiO2、TiO2、Al2O3を用いた場合に、これらの材料とは異なる材料を用いて構成してもよい。
本実施形態において、第1保護層53aは特許請求の範囲に記載の「第4層」に相当し、第2保護層53bは特許請求の範囲に記載の「第5層」に相当する。
図4に示すように、本実施形態において、蛍光体層42は、内部に設けられた複数の気孔42cを有している。これにより、蛍光体層42は、複数の気孔42cにより光散乱特性を有したものとなっている。
まず、蛍光体層42を構成する蛍光体粒子及び有機物からなる混合物を調整し、当該混合物を所定の温度にて焼成する。
なお、上記製造方法においては、蛍光体層42を構成する蛍光体粒子及び無機物からなる混合物を調整し、当該混合物を所定の温度にて焼成しても良いし、蛍光体層42を構成する蛍光体粒子のみを所定の温度にて焼成しても良い。
よって、この波長変換素子40を備えた光源装置2Aは、蛍光YLの取り出し効率の低下を抑制した光源装置を提供することができる。
また、本実施形態のプロジェクター1によれば、上記光源装置2Aを用いた照明装置2を備えるため、当該プロジェクター1は高輝度な画像を形成できる。
続いて、第一実施形態の波長変換素子40の製造方法の変形例について説明する。上記実施形態と共通の部材については同じ符号を付し、詳細な説明については省略する。
具体的に、蛍光体層42を構成する蛍光体粒子及び有機物からなる混合物を調整し、当該混合物を所定の温度にて焼成する。
本変形例において、第2工程は、蛍光体層42の底面42B上に化学蒸着法を用いて第1無機酸化物層を形成する第1形成工程と、第1全反射層上に物理蒸着法を用いて第2無機酸化物層を形成する第2形成工程とを含む。
また、本変形例においては、主成分が同じ材料を用いて、第1全反射層50a1及び第2全反射層50a2を形成するようにしている。具体的に、第1全反射層50a1及び第2全反射層50a2の材料としてSiO2を用いた。このように第1全反射層50a1と第2全反射層50a2とを同じ材料(SiO2)で形成することで、第1全反射層50a1および第2全反射層50a2間の密着力を高めることができる。
なお、上記製造方法においては、蛍光体層42を構成する蛍光体粒子及び無機物からなる混合物を調整し、当該混合物を所定の温度にて焼成しても良いし、蛍光体層42を構成する蛍光体粒子のみを所定の温度にて焼成しても良い。
続いて、本発明の第二実施形態に係る波長変換素子について説明する。上記実施形態と共通の部材については同じ符号を付し、詳細な説明については省略する。
図6に示すように、波長変換素子140は、基材41の第1面41aと蛍光体層42との間に設けられた反射部材143を備えている。
続いて、本発明の第三実施形態に係る波長変換素子について説明する。第一実施形態と共通の部材については同じ符号を付し、詳細な説明については省略する。
図7に示すように、波長変換素子240は、基材41の第1面41aと蛍光体層42との間に設けられた反射部材243を備えている。
続いて、本発明の第三実施形態に係る波長変換素子について説明する。第二実施形態と共通の部材については同じ符号を付し、詳細な説明については省略する。
図8に示すように、波長変換素子340は、基材41の第1面41aと蛍光体層42との間に設けられた反射部材343を備えている。
本実施形態では、第1劣化防止膜351および第2劣化防止膜352の材料としてそれぞれITOを用いた。なお、第1劣化防止膜351および第2劣化防止膜352としての材料は互いに異なっていてもよい。
上記第二実施形態において、第2保護層53bとAg層からなる接合補助層54との間に劣化防止膜151と同様の材料からなる層を配置するようにしてもよい。
上記第三実施形態において、第2保護層53bとAg層からなる接合補助層54との間に第1劣化防止膜251および第2劣化防止膜252のいずれか一方と同様の材料からなる層を配置するようにしてもよい。
上記第四実施形態において、第2保護層53bとAg層からなる接合補助層54との間に第1劣化防止膜351および第2劣化防止膜352のいずれか一方と同様の材料からなる層を配置するようにしてもよい。
本発明者は、実施例と比較例とを比較し、本発明の有効性について確認する実験を行った。実施例1では、蛍光体の代わりにガラス基板を用い、ガラス基板上の一方面に反射部材を形成したものをサンプルとして用いて実験を行った。
また、比較例では、上記実施例1、2の構成から劣化抑制膜を省略したものをサンプルとして用いた。
Claims (13)
- 励起光が入射する第1面と、前記第1面に対向する第2面を有する波長変換層と、
前記第2面に対向して設けられ、第1の無機酸化物を含有する第1層と、
前記第1層に対向して設けられ、第1の金属または前記第1の無機酸化物とは異なる第2の無機酸化物を含有する第2層と、
前記第2層に対向して設けられ、銀またはアルミニウムのいずれか一方を含有し、前記励起光が前記波長変換層により波長変換された光または前記励起光を反射する第3層と、を備える
ことを特徴とする波長変換素子。 - 前記第3層に対向して設けられ、前記第1の金属または前記第1の金属とは異なる第2の金属を含有する第4層と、
前記第4層に対向して設けられ、前記第1の無機酸化物または前記第2の無機酸化物を含有する第5層と、をさらに備える
ことを特徴とする請求項1に記載の波長変換素子。 - 基材をさらに備え、
前記第5層と前記基材との間に設けられる接合材により、前記波長変換素子と前記基材とが接合される
ことを特徴とする請求項2に記載の波長変換素子。 - 前記第2層の前記第1の金属は、Al、Ni、Ti、W、Nbから選択される少なくとも1種の金属を含有する
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の波長変換素子。 - 前記第2層の前記第2の無機酸化物は、酸化物導電体材料またはアモルファス導電性酸化物である
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の波長変換素子。 - 前記第3層と前記第4層との間に、前記第1の金属または前記第2の無機酸化物を含有する第6層をさらに備える
ことを特徴とする請求項2または3に記載の波長変換素子。 - 前記第6層の前記第1の金属は、Al、Ni、Ti、W、Nbから選択される少なくとも1種の金属を含有する
ことを特徴とする請求項6に記載の波長変換素子。 - 前記第6層の前記第2の無機酸化物は、酸化物導電体材料またはアモルファス導電性酸化物である
ことを特徴とする請求項6に記載の波長変換素子。 - 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の波長変換素子と、
前記励起光を射出する光源と、を備える
ことを特徴とする光源装置。 - 請求項9に記載の光源装置と、
前記光源装置からの光を画像情報に応じて変調することにより画像光を形成する光変調装置と、
前記画像光を投写する投写光学系と、を備える
ことを特徴とするプロジェクター。 - 互いに対向する第1面及び第2面を有する波長変換層を形成する第1工程と、
前記波長変換層の前記第2面に対向する位置に、第1の無機酸化物を含有する第1層を形成する第2工程と、
前記第1層に対向する位置に、第1の金属または前記第1の無機酸化物とは異なる第2の無機酸化物を含有する第2層を形成する第3工程と、
前記第2層に対向する位置に、銀またはアルミニウムのいずれか一方を含有し、励起光が前記波長変換層により波長変換された光または前記励起光を反射する第3層を形成する第4工程と、を備える
ことを特徴とする波長変換素子の製造方法。 - 前記第1層は、第1無機酸化物層及び第2無機酸化物層を含み、
前記第2工程は、前記第2面上に化学蒸着法を用いて前記第1無機酸化物層を形成する第1形成工程と、前記第1全反射層上に物理蒸着法を用いて前記第2無機酸化物層を形成する第2形成工程とを含む
ことを特徴とする請求項11に記載の波長変換素子の製造方法。 - 前記第1無機酸化物層及び前記第2無機酸化物層の材料としてSiO2を用いる
ことを特徴とする請求項12に記載の波長変換素子の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US16/050,125 US10859899B2 (en) | 2017-08-03 | 2018-07-31 | Wavelength conversion element, method for producing wavelength conversion element, light source device, and projector |
CN201810862557.4A CN109388008B (zh) | 2017-08-03 | 2018-08-01 | 波长转换元件及其制造方法、光源装置及投影仪 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017150599 | 2017-08-03 | ||
JP2017150599 | 2017-08-03 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019220158A Division JP7167906B2 (ja) | 2017-08-03 | 2019-12-05 | 波長変換素子、波長変換素子の製造方法、光源装置及びプロジェクター |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019028430A true JP2019028430A (ja) | 2019-02-21 |
JP2019028430A5 JP2019028430A5 (ja) | 2019-10-24 |
JP6652119B2 JP6652119B2 (ja) | 2020-02-19 |
Family
ID=65478429
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017247872A Active JP6652119B2 (ja) | 2017-08-03 | 2017-12-25 | 波長変換素子、波長変換素子の製造方法、光源装置及びプロジェクター |
JP2019220158A Active JP7167906B2 (ja) | 2017-08-03 | 2019-12-05 | 波長変換素子、波長変換素子の製造方法、光源装置及びプロジェクター |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019220158A Active JP7167906B2 (ja) | 2017-08-03 | 2019-12-05 | 波長変換素子、波長変換素子の製造方法、光源装置及びプロジェクター |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP6652119B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI739506B (zh) * | 2019-07-16 | 2021-09-11 | 日商日本特殊陶業股份有限公司 | 焊接用波長轉換構件、波長轉換裝置及光源裝置 |
US11442349B2 (en) | 2020-01-22 | 2022-09-13 | Seiko Epson Corporation | Wavelength conversion element, method of manufacturing wavelength conversion element, light source device, and projector |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7022355B2 (ja) | 2019-11-28 | 2022-02-18 | セイコーエプソン株式会社 | 波長変換素子、光源装置およびプロジェクター |
US20240145640A1 (en) * | 2021-03-22 | 2024-05-02 | Denka Company Limited | Phosphor plate and light emitting device |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006317603A (ja) * | 2005-05-11 | 2006-11-24 | Central Glass Co Ltd | 表面鏡 |
JP2007007982A (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-18 | Ulvac Seimaku Kk | 増反射膜付きAg又はAg合金反射電極膜及びその製造方法 |
JP2007310335A (ja) * | 2006-04-21 | 2007-11-29 | Central Glass Co Ltd | 表面鏡 |
JP2016058638A (ja) * | 2014-09-11 | 2016-04-21 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 波長変換部材、発光装置、プロジェクタ、及び、波長変換部材の製造方法 |
WO2017119335A1 (ja) * | 2016-01-06 | 2017-07-13 | コニカミノルタ株式会社 | 反射膜の製造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009259792A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-11-05 | Fujifilm Corp | 有機el表示装置 |
JP5894878B2 (ja) | 2012-07-23 | 2016-03-30 | 株式会社フォーネット | 検体容器用ラック |
US9562667B2 (en) * | 2012-08-02 | 2017-02-07 | Nichia Corporation | Wavelength converting device |
JP2015095284A (ja) * | 2013-11-08 | 2015-05-18 | 昭和電工株式会社 | 有機el素子並びにそれを備えた画像表示装置及び照明装置 |
JP6503710B2 (ja) * | 2013-12-27 | 2019-04-24 | 日本電気硝子株式会社 | プロジェクター用蛍光ホイール、その製造方法及びプロジェクター用発光デバイス |
JP6337519B2 (ja) | 2014-03-03 | 2018-06-06 | 富士通株式会社 | 音声処理装置、雑音抑圧方法、およびプログラム |
JPWO2015166764A1 (ja) * | 2014-04-28 | 2017-04-20 | コニカミノルタ株式会社 | 光取り出し積層体、有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 |
JP2016061852A (ja) * | 2014-09-16 | 2016-04-25 | セイコーエプソン株式会社 | 波長変換素子、光源装置、およびプロジェクター |
CN107850289B (zh) * | 2015-04-07 | 2020-10-13 | 美题隆公司 | 光学上增强的固态光转换器 |
-
2017
- 2017-12-25 JP JP2017247872A patent/JP6652119B2/ja active Active
-
2019
- 2019-12-05 JP JP2019220158A patent/JP7167906B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006317603A (ja) * | 2005-05-11 | 2006-11-24 | Central Glass Co Ltd | 表面鏡 |
JP2007007982A (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-18 | Ulvac Seimaku Kk | 増反射膜付きAg又はAg合金反射電極膜及びその製造方法 |
JP2007310335A (ja) * | 2006-04-21 | 2007-11-29 | Central Glass Co Ltd | 表面鏡 |
JP2016058638A (ja) * | 2014-09-11 | 2016-04-21 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 波長変換部材、発光装置、プロジェクタ、及び、波長変換部材の製造方法 |
WO2017119335A1 (ja) * | 2016-01-06 | 2017-07-13 | コニカミノルタ株式会社 | 反射膜の製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI739506B (zh) * | 2019-07-16 | 2021-09-11 | 日商日本特殊陶業股份有限公司 | 焊接用波長轉換構件、波長轉換裝置及光源裝置 |
US11442349B2 (en) | 2020-01-22 | 2022-09-13 | Seiko Epson Corporation | Wavelength conversion element, method of manufacturing wavelength conversion element, light source device, and projector |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020052413A (ja) | 2020-04-02 |
JP7167906B2 (ja) | 2022-11-09 |
JP6652119B2 (ja) | 2020-02-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10859899B2 (en) | Wavelength conversion element, method for producing wavelength conversion element, light source device, and projector | |
JP7167906B2 (ja) | 波長変換素子、波長変換素子の製造方法、光源装置及びプロジェクター | |
JP6981086B2 (ja) | 波長変換素子、光源装置及びプロジェクター | |
US10725367B2 (en) | Wavelength conversion element, method of manufacturing wavelength conversion element, light source device, and projector | |
US9785039B2 (en) | Wavelength conversion member, light emitting device, projector, and method of manufacturing wavelength conversion member | |
US10477166B2 (en) | Wavelength conversion device and projector | |
JP2012190628A (ja) | 光源装置および照明装置 | |
US11442349B2 (en) | Wavelength conversion element, method of manufacturing wavelength conversion element, light source device, and projector | |
JP6089686B2 (ja) | 発光装置 | |
JP2018132549A (ja) | 波長変換装置、光源装置及びプロジェクター | |
WO2016181768A1 (ja) | 蛍光体基板、光源装置および投射型表示装置 | |
US10865950B2 (en) | Light source unit and projection-type display | |
JP2019045620A (ja) | 波長変換素子、光源装置及びプロジェクター | |
JP6743813B2 (ja) | 蛍光体基板、光源装置および投射型表示装置 | |
JP6582645B2 (ja) | 波長変換素子、波長変換素子の製造方法、照明装置およびプロジェクター | |
JP6977527B2 (ja) | 波長変換素子、波長変換素子の製造方法、光源装置及びプロジェクター | |
CN113495421B (zh) | 波长转换元件、光源装置以及投影仪 | |
CN112068390B (zh) | 波长转换元件、光源装置和投影仪 | |
JP7484130B2 (ja) | 波長変換素子、光源装置およびプロジェクター | |
US11841600B2 (en) | Wavelength conversion element, light source device, projector, and method of manufacturing wavelength conversion element | |
CN112859500A (zh) | 波长转换元件、光源装置以及投影仪 | |
JP2020031044A (ja) | 蛍光モジュール及び照明装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20190823 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190911 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190911 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20190911 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20190926 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191023 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191210 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191224 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200106 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6652119 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |