JP2019009391A - 薄膜コンデンサ及び電子部品内蔵基板 - Google Patents
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Abstract
Description
上記実施形態では、薄膜コンデンサ1の再配線層である第1配線層31及び第2配線層32において、第2導体62の外周が全て第1導体61により覆われている状態について説明した。ただし、第2導体62が第1導体61により「囲われている」状態とは、第2導体62の周囲全てが第1導体61により覆われている状態に限定されず、第2導体62の外周の一部が第1導体61には覆われておらず、外方に露出している状態も含まれる。例えば、第1配線層31のように、第2導体62の外周が長辺(ビア導体70b,70d,70e,70hの延在方向に延びる領域)と、短辺(ビア導体70b,70d,70e,70hの延在方向に対して交差する方向に延びる領域)とを有している場合、第2導体62の外周のうち長辺側の領域は第1導体61に囲われている、すなわち、第2導体62の長辺側の端部に対して第1導体61が近接配置していて、長辺側の端部は外方に露出していないことが好ましい。一方、第2導体62の短辺側の端部は、外方に露出していない場合でも、第1導体61の配置によっては、第2導体62からの電界放出を抑制することができる。
Claims (5)
- グランド電位が与えられる第1電極層と、前記グランド電位とは異なる電位が与えられる第2電極層と、前記第1電極層及び前記第2電極層に挟まれた誘電体層と、を含む容量部と、
前記容量部に対して積層され、前記第1電極層に対してビア導体を介して接続される第1導体と、前記第2電極層に対してビア導体を介して接続される第2導体と、を含む複数の再配線層と、
を有し、
前記複数の再配線層に含まれる各再配線層において、前記第2導体は、前記第1導体に囲まれる、薄膜コンデンサ。 - 前記第1電極層は、前記容量部において前記第2電極層よりも前記再配線層から離間する位置に設けられる、請求項1に記載の薄膜コンデンサ。
- 前記第2導体は、外周が全て前記第1導体により囲われている、請求項1又は2に記載の薄膜コンデンサ。
- 前記第1導体の端部に対して前記第2導体の端部が外方に突出していない、請求項1又は2に記載の薄膜コンデンサ。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載の薄膜コンデンサと、
前記薄膜コンデンサの周囲に設けられ、前記薄膜コンデンサにおける積層方向に沿って延びると共に前記グランド電位が与えられるビア導体と、
前記容量部に対して前記再配線層とは逆側に設けられて、導体材料からなり、前記グランド電位が与えられるグランド配線層と、
を有する、電子部品内蔵基板。
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