JP2019007910A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 結晶領域を含む試料の、前記結晶領域の結晶格子像を含む第１の画像を記憶可能とする第１の記憶部と、
   前記結晶格子像からモアレ像を生成する第１の画像処理部と、
   モアレ像のモアレ縞のパターンと結晶欠陥との対応関係、及び、モアレ像のモアレ縞のパターンと結晶歪との対応関係の少なくとも一方の対応関係を記憶可能とする第２の記憶部と、
   前記少なくとも一方の対応関係を参照して前記結晶格子像から生成されたモアレ像を解析し、前記結晶領域の中の結晶欠陥及び結晶歪の少なくとも一方を検出する解析部と、
   を備える結晶解析装置。
2. 前記解析部で得られた解析結果を記憶可能とする第３の記憶部を、更に備える請求項１記載の結晶解析装置。
3. 前記解析部が結晶欠陥の密度を計算する請求項１又は請求項２記載の結晶解析装置。
4. 前記第２の記憶部がモアレ像のモアレ縞のパターンと結晶欠陥の種類との対応関係を更に記憶し、前記解析部が前記モアレ像のモアレ縞のパターンと結晶欠陥の種類との対応関係を参照して結晶欠陥の種類を識別する請求項１ないし請求項３いずれか一項記載の結晶解析装置。
5. 前記解析部が結晶歪の歪量を計算する請求項１ないし請求項４いずれか一項記載の結晶解析装置。
6. 前記解析部で得られた解析結果を表示する表示部を更に備える請求項１ないし請求項５いずれか一項記載の結晶解析装置。
7. 前記解析部で得られた解析結果と前記第１の画像を合成した第２の画像を生成する第２の画像処理部を、更に備える請求項１ないし請求項６いずれか一項記載の結晶解析装置。
8. 結晶欠陥及び結晶歪の少なくとも一方に基づく判定基準を記憶可能とする第４の記憶部と、
   前記解析部で得られた解析結果及び前記判定基準を基に、前記試料の良否判定を行う判定部を更に備える請求項１ないし請求項７いずれか一項記載の結晶解析装置。
9. 結晶領域を含む試料の、前記結晶領域の結晶格子像を含む第１の画像の前記結晶格子像からモアレ像を生成し、
   モアレ像のモアレ縞のパターンと結晶欠陥との対応関係、及び、モアレ像のモアレ縞のパターンと結晶歪との対応関係の少なくとも一方の対応関係を参照して前記結晶格子像から生成されたモアレ像を解析し、前記結晶領域の中の結晶欠陥及び結晶歪の少なくとも一方を検出する結晶解析方法。