JP2019004096A - 基板保持具及びこれを用いた基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記天板及び前記天板に連結された前記支柱のうち最も外側に位置する部分は、前記底板及び前記底板に連結された前記支柱のうち最も外側に位置する部分よりも小さく形成されている。
先ず、本実施形態に係る基板処理装置100について、図1を参照しながら説明する。図1に、本実施形態に係る基板処理装置100の一例の概略構成図を示す。
次に、本発明の第1の実施形態に係る基板保持具及び基板処理装置について説明する。図2は、本発明の第1の実施形態に係るウエハボートを示した図である。図2(a)は、第1の実施形態に係るウエハボート90の上面図であり、図2(b)は、第1の実施形態に係るウエハボート90の正面図である。また、図2(c)は、図2(b)のD−D断面で切って上から見た切断上面図である。
図9は、本発明の第2の実施形態に係るウエハボート190の一例を示した図である。図9(a)は、第2の実施形態に係るウエハボート190の上面図であり、図9(b)は、第2の実施形態に係るウエハボート90の側断面図である。また、図9(c)は、図9(b)のD−D断面で切って上から見た切断上面図である。
図12は、第3の実施形態に係るウエハボート290の一例の構成を示した図である。第3の実施形態に係るウエハボート290は、支柱293の上端部の外周面が、テーパー加工ではなく段差加工され、段差形状を有している。この場合も、図12に示される通り、インナーチューブ11とのクリアランスを増加させることができ、干渉を防ぐことができる。このように、ウエハボート290の支柱293の最上部外側に段差加工を施し、段差形状によりインナーチューブ11との接触を回避する構成としてもよい。
図13は、本発明の第4の実施形態に係るウエハボート390の一例の構成を示した図である。第4の実施形態に係るウエハボート390は、支柱393の周方向の形状が第1乃至第3の実施形態に係るウエハボート90、190、290と異なっている。第1及び第2の実施形態において、支柱93、94、193の径方向において削った分を、周方向に付加して幅広に構成して強度を保つ構成について説明したが、そのような幅を広くする形状は、周方向において徐々広くする構成としてもよい。図13において、ウエハボート390の支柱393の幅(周方向の大きさ)が、下方から天板391に向かって徐々に広がっている構成が示されている。例えば、このような構成を採用し、支柱93、94、190、290の強度を保つようにしてもよい。
図14は、本発明の第5の実施形態に係るウエハボート490の一例の構成を示した図である。第5の実施形態に係るウエハボート490は、支柱493の周方向の形状が第1乃至第4の実施形態に係るウエハボート90、190、290、390と異なっている。第1及び第2の実施形態において、支柱93、94、193の径方向において削った分を、周方向に付加して幅広に構成して強度を保つ構成について説明したが、そのような幅を広くする形状は、周方向において段階的に、階段状に広くする構成としてもよい。図14において、ウエハボート490の支柱493の幅(周方向の大きさ)が、天板491に向かって段階的に広がっている構成が示されている。例えば、このような構成を採用し、支柱93、94、190、290の強度を保つようにしてもよい。
図15は、本発明の第6の実施形態に係るウエハボート590の一例の構成を示した図である。第6の実施形態に係るウエハボート590は、基板保持用支柱593に加えて、補助支柱594を備える点で、第2乃至第5の実施形態に係るウエハボート190、290、390、490と異なっている。第1、第2、第4及び第5の実施形態において、支柱93、94、193、393、493の径方向において削った分を、周方向に付加して幅広に構成して強度を保つ構成について説明したが、そのような幅を広くして強度を確保する形状を採用せず、補助支柱を追加する構成としてもよい。例えば、第1乃至第3の実施形態において説明した薄肉部を有し、径方向の肉厚を薄くする構成の支柱93、94、193、293を採用するとともに、支柱93、94、193、293の支柱の強度の低下を補うために、補助支柱594を設ける構成としてもよい。
図16は、本発明の第7の実施形態に係るウエハボート690の一例の構成を示した図である。第7の実施形態に係るウエハボート690は、ブランチ695を備える点で、第1乃至第6の実施形態に係るウエハボート190、290、390、490、590と異なっている。第1、第2、第4及び第5の実施形態において、支柱93、94、193、393、493の径方向において削った分を、周方向に付加して幅広に構成して強度を保つ構成について説明したが、そのような幅を広くして強度を確保する形状を採用せず、薄肉化した支柱693と天板691とを連結するブランチ695を追加する構成としてもよい。例えば、第1乃至第3の実施形態において説明した薄肉部を有し、径方向の肉厚を薄くする構成の支柱93、94、193、293を採用するとともに、支柱93、94、193、293の支柱の強度の低下を補うために、ブランチ695を設ける構成としてもよい。ブランチ695を設けることにより、支柱693の薄肉部を天板691に連結させることができ、支柱693の強度を簡素な構成で維持することができる。
図17は、第2の実施形態に係るウエハボート190を用いた基板処理装置の上面図である。第1乃至第7の実施形態で説明した通り、基板保持用支柱193の外周面を削り、ボート旋回径を縮小することにより、インナーチューブ11の内径を絞ることが可能となる。このような構成を採用することにより、インナーチューブ11の内径を2〜8mm程度縮小することができ、ウエハボート190とインナーチューブ11との間のクリアランスdを縮小し、処理ガスを逃がさずにウエハWに供給することができ、処理効率を高めることができる。
11 インナーチューブ
12 アウターチューブ
20 マニホールド
30 インジェクタ
50 蓋体
60 保温筒
70 ヒータ
80 制御部
90、190、290、390、490、590、690 ウエハボート
91、191 天板
91a、92a、191a、192a 円形部
91b、92b、191b、192b 突出部
92、192 底板
93、94、193、293、393、493、593、693 支柱
695 ブランチ
Claims (19)
- 天板と、底板と、該天板及び該底板の外縁部に端部が連結して設けられた複数本の支柱とを有し、基板を多段に保持可能な基板保持具であって、
前記天板及び前記天板に連結された前記支柱のうち最も外側に位置する部分は、前記底板及び前記底板に連結された前記支柱のうち最も外側に位置する部分よりも小さく形成されている基板保持具。 - 前記支柱は、外形が前記天板及び前記底板の外形と一致するように、前記天板及び前記底板の主面の外周端に連結された請求項1に記載の基板保持具。
- 前記天板及び前記底板は、円形部分と、
該円形部分から径方向外側に突出して張り出した支柱設置部を有する請求項2に記載の基板保持具。 - 前記天板に接続された前記支柱の頂部は、前記底板に接続された前記支柱の基部よりも前記径方向における肉厚が薄くなっており、肉厚が薄い分、前記天板の外形が前記底板の外形よりも小さく形成されている請求項3に記載の基板保持具。
- 前記支柱は、前記頂部付近の所定上部領域において、前記径方向において肉厚が薄くなった薄肉部を有する請求項4に記載の基板保持具。
- 前記薄肉部は、前記頂部に接近する程前記径方向における肉厚が薄くなる形状を有する請求項5に記載の基板保持具。
- 前記薄肉部は、前記頂部に接近する程前記径方向における肉厚が徐々に薄くなるテーパー形状を有する請求項6に記載の基板保持具。
- 前記薄肉部は、前記頂部に接近する程前記径方向における肉厚が段階的に薄くなる階段形状を有する請求項6に記載の基板保持具。
- 前記所定上部領域は、前記基板保持具の全長の1/10以下の領域に形成されている請求項5乃至8のいずれか一項に記載の基板保持具。
- 前記薄肉部は、前記薄肉部以外の部分の前記支柱よりも周方向に沿った幅が広く形成されている請求項5乃至9のいずれか一項に記載の基板保持具。
- 前記薄肉部は、前記薄肉部以外の部分の前記支柱と断面積が等しくなるように幅広に形成されている請求項10に記載の基板保持具。
- 前記薄肉部以外の部分の前記支柱の断面形状は円形であり、前記薄肉部は円の外側を削った形状となっている請求項5乃至11のいずれか一項に記載の基板保持具。
- 前記薄肉部以外の部分の前記支柱の断面形状は所定の下底と所定の高さを有する台形であり、前記薄肉部は前記所定の下底よりも幅が広く前記所定の高さよりも低い高さを有する台形である請求項5乃至11のいずれか一項に記載の基板保持具。
- 前記複数本の支柱は、基板を水平に載置可能な溝が鉛直方向に沿って複数形成され、複数の基板を多段に保持可能な溝構造を有する基板保持用支柱を少なくとも3本有する請求項1乃至13のいずれか一項に記載の基板保持具。
- 前記複数の支柱は、前記溝構造を有しない補強用支柱を更に有する請求項14に記載の基板保持具。
- 前記天板と前記基板保持用支柱とを連結する補強用ブランチを更に有する請求項14又は15に記載の基板保持具。
- 前記天板、前記底板及び前記支柱は石英からなる請求項1乃至16のいずれか一項に記載の基板保持具。
- 請求項1乃至17のいずれか一項に記載の基板保持具と、
該基板保持具を収容可能な縦長の処理容器と、
該処理容器内に設けられ、前記基板保持具の周囲を囲む円筒形の側面を含むインナーチューブと、
該インナーチューブ内で前記基板保持具に処理ガスを供給可能なインジェクタと、
前記処理容器の外側に設けられ、前記処理容器を加熱可能なヒータと、を有する基板処理装置。 - 前記インナーチューブの前記側面と前記基板保持具の外形との間隔は、互いに接触しない範囲で最小に設定されている請求項18に記載の基板処理装置。
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