JP2018537389A - ガラスウェブを分離する方法 - Google Patents

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Abstract

ガラスウェブ速度で移動しているガラスウェブを分離する方法である。この方法は、ガラスウェブ上の分離経路を、搬送方向のガラスウェブ速度ベクトルに等しいレーザビームスポット速度ベクトルで移動する少なくとも１つのレーザビームスポットで照射する工程を含む。この方法は、分離経路がレーザビームスポットからの熱応力下にある間に、分離経路上に欠陥を生成し、その欠陥に応答して、ガラスウェブが分離経路に沿って自発的に分離する工程も含む。更なる例において、ガラスウェブ分離装置は、レーザビームスポットが分離経路に沿って繰り返し通過するように回転する第１の反射器と、レーザビームスポットがガラスウェブの搬送方向に移動するように回転する第２の反射器とを含む。

Description

関連出願の相互参照
本願は、合衆国法典第３５巻第１１９条に基づき、２０１５年１１月２５日に出願された米国仮特許出願第６２／２５９，７７０号による優先権を主張するものであり、その内容に依拠すると共に、その全体を参照して本明細書に組み込む。
本開示は、一般的に、ガラスウェブを分離する方法に関し、より具体的には、熱応力下にある分離経路上に欠陥を生成することにより、欠陥に応答してガラスウェブが分離経路に沿って自発的に分離することによって、ガラスウェブを分離する方法に関する。
所望の寸法を有するガラスシートを達成するために、ガラスリボンを分離することが知られている。従来の分離技術は、ガラスリボンが移動している間に分離を達成しており、それにより、ガラスリボンからガラスシートを分離する間、移動方向に沿ったガラスリボンの中断されない移動が妨げられる。
以下に、詳細な説明に記載される幾つかの実施形態の基本的な理解を提供するために、本開示の簡単な要約を示す。
幾つかの実施形態によれば、ガラスウェブを分離する方法は、ガラスウェブを、移動するガラスウェブの搬送方向のガラスウェブ速度ベクトルを含むガラスウェブ速度で移動させる工程（Ｉ）を含む。本方法は、ガラスウェブ上の、搬送方向に対して横断方向に延びる分離経路に沿った熱応力を生じるために、分離経路を少なくとも１つのレーザビームスポットで照射する工程（ＩＩ）を更に含む。本方法は、レーザビームスポットを、ガラスウェブ速度ベクトルに等しい搬送方向のレーザビームスポット速度ベクトルを含むレーザビームスポット速度で移動させる工程（ＩＩＩ）を更に含む。ガラスウェブがガラスウェブ速度で移動する間、分離経路に沿った熱応力を生じ続けるために、分離経路はレーザビームスポットで照射され続ける。本方法は、分離経路が工程（ＩＩ）および（ＩＩＩ）において生じた熱応力下にある間に、分離経路上に欠陥を生成し、欠陥の生成に応答して、ガラスウェブが分離経路に沿って分離する工程（ＩＶ）も含む。
一実施形態において、工程（ＩＩＩ）は、レーザビームスポットをレーザビームスポット速度ベクトルで移動させるために、回転する反射面から少なくとも１つのレーザビームを反射させる工程を含む。
別の実施形態において、本方法は、工程（ＩＩ）および（ＩＩＩ）において分離経路に沿った熱応力を生じるために、レーザビームスポットを搬送方向に対して横断方向の分離経路に沿って繰り返し通過させる工程を更に含む。
別の実施形態において、工程（ＩＩＩ）のレーザビームスポット速度は、搬送方向に対して横断方向のもう一つのレーザビームスポット速度ベクトルを含む。ガラスウェブがガラスウェブ速度で移動すると共にレーザビームスポットが搬送方向に対して横断方向の分離経路に沿って繰り返し通過し続ける間、分離経路に沿った熱応力を生じ続けるために、分離経路がレーザビームスポットで照射され続けるように、レーザビームスポットは搬送方向および該搬送方向に対して横断方向に移動する。
別の実施形態において、工程（ＩＩＩ）は、レーザビームスポットを搬送方向に対して横断方向の分離経路に沿って繰り返し通過させるために、第１の軸周りに回転する第１の反射面から少なくとも１つのレーザビームを反射させる工程を含む。工程（ＩＩＩ）は、レーザビームスポットをガラスウェブの搬送方向のレーザビーム速度ベクトルで移動させるために、第２の軸周りに回転する第２の反射面から少なくとも１つのレーザビームを反射させる工程を更に含む。
別の実施形態において、少なくとも１つのレーザビームは、第２の反射面の前に第１の反射面から反射する。
別の実施形態において、なくとも１つのレーザビームは、第１の反射面の前に第２の反射面から反射する。
別の実施形態において、第１の軸は第２の軸に対して垂直である。
別の実施形態において、ビームスポットを繰り返し通過させる工程は、ビームスポットを搬送方向に対して横断方向の単一の方向に繰り返し通過させる工程を含む。
別の実施形態において、単一の方向は、ガラスウェブの第１の縁部から第２の縁部に向かって延びる方向を含み、欠陥は、第２の縁部よりも第１の縁部の近くに生成される。
別の実施形態において、工程（ＩＶ）は、工程（ＩＩＩ）が行われている間に行われる。
別の実施形態において、工程（ＩＶ）は、工程（ＩＩＩ）において分離経路に沿った所定のレベルの熱応力達成された後に行われる。
別の実施形態において、工程（Ｉ）の少なくとも１つのレーザビームスポットは、工程（ＩＩ）および（ＩＩＩ）において分離経路の対応する線分に沿った熱応力を各レーザビームスポットが生じる複数のレーザビームスポットを含む。
別の実施形態において、分離経路の各線分は、分離経路の少なくとも１つの隣接する線分の一部分と重複する。
別の実施形態において、工程（ＩＶ）の欠陥は、レーザを用いて、またはガラスウェブを機械的に係合させることによって生成される。
別の実施形態において、ガラスウェブは、長さおよびガラスウェブの第１の縁部と第２の縁部との間に延びる幅を含み、搬送方向はガラスウェブの長さの方向である。
別の実施形態において、ガラスウェブは、形成体から延伸されたガラスリボンを含み、搬送方向はガラスリボンの延伸方向である。
他の実施形態によれば、ガラスウェブを分離する装置は、少なくとも１つのレーザビーム発生器と、第１の反射器と、第２の反射器とを含む。第１の反射器は、第１の軸周りに回転可能な第１の反射面を含む。第１の反射器が回転しているときに、少なくとも１つのレーザビーム発生器によって生じたレーザビームが、ガラスウェブ上の分離経路に沿って繰り返し通過するレーザビームスポットを生じるように、レーザビーム発生器が第１の反射器と位置決めされる。第２の反射器は、第２の軸周りに回転可能な第２の反射面を含む。第２の反射器が回転しているときに、レーザビームスポットがガラスウェブの搬送方向に移動するように、第２の反射器が第１の反射器と位置決めされる。レーザビーム発生器によって生じたレーザビームが、第２の反射器の第２の反射面から反射する前に第１の反射器の第１の反射面から反射するように、第１の反射器は第２の反射器から上流に配置される。
一実施形態において、第１の軸は第２の軸に対して垂直である。
別の実施形態において、少なくとも１つのレーザビーム発生器は、分離経路の対応する線分に沿った熱応力を各レーザビームスポットが生じる複数のレーザビームスポットを生じるよう構成される。
他の実施形態によれば、ガラスウェブを分離する装置は、少なくとも１つのレーザビーム発生器と、第１の反射器と、第２の反射器とを含む。第２の反射器は、第２の軸周りに回転可能な第２の反射面を含む。第２の反射器が回転しているときに、少なくとも１つのレーザビーム発生器によって生じたレーザビームがガラスウェブの搬送方向に移動するレーザビームスポットを生じるように、レーザビーム発生器が第２の反射器と位置決めされる。第１の反射器は、第１の軸周りに回転可能な第１の反射面を含む。第１の反射器が回転しているときに、少なくとも１つのレーザビームによって生じたレーザビームスポットがガラスウェブ上の分離経路に沿って繰り返し通過するように、第１の反射器が第２の反射器と位置決めされる。レーザビーム発生器によって生じたレーザビームが、第１の反射器の第１の反射面から反射する前に第２の反射器の第２の反射面から反射するように、第２の反射器は第１の反射器から上流に配置される。
一実施形態において、第１の軸は第２の軸に対して垂直である。
別の実施形態において、少なくとも１つのレーザビーム発生器は、分離経路の対応する線分に沿った熱応力を各レーザビームスポットが生じる複数のレーザビームスポットを生じるよう構成される。
他の実施形態によれば、ガラスウェブを分離する方法は、ガラスウェブを搬送方向に移動させる工程（Ｉ）と、搬送方向に対して横断方向に延びる分離経路に沿った熱応力を生じるために、ガラスウェブ上の分離経路を少なくとも１つのレーザビームスポットで照射する工程（ＩＩ）とを含む。本方法は、分離経路が工程（ＩＩ）において生じた熱応力下にある間に、分離経路上に欠陥を生成し、欠陥の生成に応答して、ガラスウェブが分離経路に沿って分離する工程（ＩＩＩ）を更に含む。
本開示の上記の特徴、態様、および長所は、添付の図面を参照して以下の詳細な説明を読めば、よりよく理解される。
ガラスリボンを延伸するよう構成されたフュージョンダウンドロー装置、および例示的なガラスリボン分離装置の模式図 レーザビームがガラスリボン上の経路の上流側端部を照射している、図１の線２−２に沿った例示的なガラス分離装置の断面模式図 ガラスリボン上の経路の中間位置を照射しているレーザビームを示す ガラスリボン上の経路の下流側端部を照射しているレーザビームを示す レーザビームの焦点深度内に配置されているガラスリボン上の経路を示す ガラスリボンの経路に沿って変化するパワー密度を示す、図５のガラスリボンの側面図 経路上のガラスリボンに欠陥を生成する工程を示す 経路が、経路の対応する線分に沿った熱応力を各レーザビームが生じる複数のレーザビームで照射される、別の実施形態を示す 上流位置においてガラスリボン上の分離経路を照射している装置の斜視模式図 中間位置において分離経路を照射している図９の装置の斜視模式図 下流位置において分離経路を照射している図９の装置の斜視模式図 分離経路が熱応力下にある間に分離経路上に欠陥が生成されている、図１１の装置の斜視模式図 欠陥に応答して、ガラスリボンが、分離経路に沿ってガラスシートをガラスリボンから自発的に分離する、図１２の装置の斜視模式図 上流位置においてガラスリボン上の分離経路を照射している別の装置の模式図 中間位置において分離経路を照射している図１４の装置の斜視模式図 下流位置において分離経路を照射している図１４の装置の斜視模式図 分離経路が熱応力下にある間に分離経路上に欠陥が生成されている、図１６の装置の斜視模式図 欠陥に応答して、ガラスリボンが、分離経路に沿ってガラスリボンからガラスシートを自発的に分離する、図１７の装置の斜視模式図
以下、本開示の例示的な実施形態が示されている添付の図面を参照し、装置および方法について、より完全に説明する。可能な場合には常に、同じまたは類似の部分を参照するために、図面を通して同じの参照番号が用いられる。しかし、本開示は、多くの異なる形態で実施され得るものであり、本明細書において述べる実施形態に限定されるものと解釈されるべきではない。
本明細書において開示される具体的な実施形態は例示的であることが意図され、従って、本発明を限定するものではないことを理解されたい。従って、本開示は、ガラスウェブを分離するための方法および装置に関する。幾つかの実施形態では、ガラスウェブは、任意のガラス形成法またはガラス製造法で形成されたガラスリボンを含み得る。ガラスリボンは、ガラス形成装置またはガラス製造装置から直接供給されてもよく、コア上に巻かれ得るまたは巻回され得るガラスリボンのスプールとして供給されてもよく、または、独立したガラスリボンとして供給されてもよい。他の実施形態では、ガラスウェブは、任意のガラス形成法またはガラス製造法によって形成されたガラスシートを含み得る。ガラスシートは、ガラスリボンから分離されたガラスシートとして、別のガラスシートから分離されたガラスシートとして、コア上に巻かれたまたは巻回された１以上のガラスシートのスプールとして供給される１以上のガラスシートとして、ガラスシートのスタックとして、または独立したガラスシートとして設けられ得る。
ガラスウェブは、１以上の更なるガラスウェブを形成するために、本明細書において開示される実施形態に従って分離され得る。幾つかの実施形態では、ガラスウェブから分離された１以上の更なるガラスウェブは、ガラスリボンを含み得る。ガラスリボンは、ガラス形成装置またはガラス製造装置から直接供給されたガラスリボンから分離されてもよく、コア上に巻かれ得るまたは巻回され得るガラスリボンのスプールとして供給されたガラスリボンから分離されてもよく、または、独立したガラスリボンとして供給されたガラスリボンから分離されてもよい。他の実施形態では、ガラスウェブから分離された１以上の更なるガラスウェブは、ガラスシートを含み得る。ガラスシートは、ガラス形成装置またはガラス製造装置から直接供給されたガラスリボンから分離されてもよく、コア上に巻かれ得るまたは巻回され得るガラスリボンのスプールとして供給されたガラスリボンから分離されてもよく、または、独立したガラスリボンとして供給されたガラスリボンから分離されてもよい。更に別の実施形態では、ガラスシートは、ガラスリボンから分離されたガラスシートとして供給されたガラスシートから分離されてもよく、別のガラスシートから分離されたガラスシートとして供給されたガラスシートから分離されてもよく、コア上に巻かれたまたは巻回された１以上のガラスシートのスプールとして供給されたガラスシートから分離されてもよく、ガラスシートのスタックとして供給されたガラスシートから分離されてもよく、または、独立したガラスシートとして供給されたガラスシートから分離されてもよい。
更なる例では、ガラスウェブは、ガラスウェブの残りの部分から縁部を除去するために分離され得る。例えば、縁部は廃棄されてもよく、または、更なる用途において更に処理されてもよい。
ガラスウェブから分離されたガラスシートは、所望のディスプレイ用途に更に加工されるのに適したものであり得る。ガラスシートは、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、電気泳動ディスプレイ（ＥＰＤ）、有機発光ダイオードディスプレイ（ＯＬＥＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等を含む広範なディスプレイ用途で用いられ得る。ガラスシートは、一つの位置から別の位置へと輸送される必要があり得る。ガラスシートは、ガラスシートのスタックを適切な位置に固定するよう設計された従来の支持枠を用いて輸送され得る。更に、各ガラスシート間に、ガラスシートの接触を防止して清浄な表面を保存するのを補助するための合紙材料が配置され得る。
ここで、分離されるガラスウェブがガラスリボンで構成される幾つかの実施形態について説明するが、本開示の装置および方法はそのように限定するものではない。実際、本開示の装置および方法は、上述のガラスウェブのような様々なガラスウェブのうちの任意の１つを分離するために用いられ得る。
幾つかの実施形態では、ガラスリボンで構成されるガラスウェブを分離する方法は、ガラスリボンを製造するよう構成されたガラス製造装置と関連して用いられ得るが、更なる実施形態では他のガラス処理装置が設けられてもよい。幾つかの実施形態では、ガラス製造装置は、スロットドロー装置、フロートバス装置、ダウンドロー装置、アップドロー装置、プレスローリング装置、または他のガラスリボン製造装置を含み得る。例として、図１は、後で分離される（例えば、図示されているガラスシート１０４のような別のガラスウェブに分離される）ガラスリボン１０３をフュージョンドローするためのフュージョンダウンドロー装置１０１を含む、或る量のガラスメルトを処理するための装置を模式的に示す。フュージョンダウンドロー装置１０１は、貯蔵ビン１０９からバッチ材料１０７を受け取る溶融器１０５を含み得る。バッチ材料１０７は、モータ１１３によって動力を供給されるバッチ送出装置１１１によって導入され得る。必要に応じて設けられるコントローラ１１５は、矢印１１７によって示されているように、所望の量のバッチ材料１０７を溶融器１０５に導入するために、モータ１１３を作動させるために用いられ得る。ガラスメルトプローブ１１９は、直立管１２３内のガラスメルト１２１レベルを測定して、測定情報を通信ライン１２５を介してコントローラ１１５に通信するために用いられ得る。
フュージョンダウンドロー装置１０１は、溶融器１０５から下流に配置され、第１の接続管１２９を介して溶融器１０５に結合された、例えば清澄器１２７等の、第１のコンディショニングステーションも含み得る。幾つかの実施形態では、ガラスメルトは、溶融器１０５から第１の接続管１２９を介して清澄器１２７へと重力によって供給され得る。例えば、重力は、ガラスメルトを、溶融器１０５から清澄器１２７へと第１の接続管１２９の内部通路を通過するように駆動するよう作用し得る。清澄器１２７内では、様々な技術によって、ガラスメルトから気泡が除去され得る。
フュージョンドロー装置は、清澄器１２７から下流に配置され得る、例えばガラスメルト混合器１３１等の、第２のコンディショニングステーションを更に含み得る。ガラスメルト混合器１３１は、均質なガラスメルト組成物を設けることにより、清澄器から出た清澄化後のガラスメルトに存在し得る不均質性の筋を低減または解消するために用いられ得る。図示されるように、清澄器１２７は、第２の接続管１３５を介してガラスメルト混合器１３１に結合され得る。幾つかの実施形態では、ガラスメルトは、清澄器１２７から第２の接続管１３５を介してガラスメルト混合器１３１へと重力によって供給され得る。例えば、重力は、ガラスメルトを、清澄器１２７からガラスメルト混合器１３１へと第２の接続管１３５の内部通路を通過するように駆動するよう作用し得る。
フュージョンドロー装置は、ガラスメルト混合器１３１から下流に配置され得る、例えば送出器１３３等の、もう一つのコンディショニングステーションを更に含み得る。送出器１３３は、形成装置に供給されるガラスをコンディショニングし得る。例えば、送出器１３３は、ガラスメルトの一貫した流れを調節して形成器に供給するためのアキュムレータおよび／または流れコントローラとして作用し得る。図示されるように、ガラスメルト混合器１３１は、第３の接続管１３７を介して送出器１３３に結合され得る。幾つかの実施形態では、ガラスメルトは、ガラスメルト混合器１３１から第３の接続管１３７を介して送出器１３３へと重力によって供給され得る。例えば、重力は、ガラスメルトを、ガラスメルト混合器１３１から送出器１３３へと第３の接続管１３７の内部通路を通過するように駆動するよう作用し得る。
更に図示されるように、ガラスメルト１２１を送出器１３３から形成器１４３の導入口１４１へと送出するために、下降管１３９が配置され得る。次に、形成ウェッジ１４７のルート部１４５からフュージョンドローによってガラスリボン１０３が延伸され、次に、ガラス分離装置１４９によって、例えば、別のガラスリボンまたは図示されているガラスシート１０４等のガラスウェブへと分離され得る。図１は、ガラス分離装置１４９の全体的な模式図を示しており、図２〜図５、図７および図８は、ガラス分離装置１４９の例示的な特徴を模式的に示す。実際、図示されているように、ガラス分離装置１４９は、搬送方向（例えば、延伸方向９０１等）に対して横断する方向２２５（図２を参照）に延びる分離経路１５１に沿って、ガラスリボン１０３からガラスシート１０４を分割し得る。図１に示されるように、本開示の実施形態のうちの任意のものにおいて、搬送方向９０１に対して横断する方向２２５は、搬送方向９０１に対して垂直な方向２２５または搬送方向に対して別の角度の方向を含み得る。幾つかの実施形態では、方向２２５は、ガラスリボン１０３の第１の外縁部１５３と第２の外縁部１５５との間のガラスリボン１０３の幅「Ｗ」に沿って延びる。図１に示されるように、幾つかの実施形態では、ガラスリボン１０３の搬送方向９０１は、ガラスリボンの延伸方向を含み得る。図示されている実施形態では、搬送方向９０１は、形成器１４３からフュージョンダウンドロー中のガラスリボン１０３のフュージョンドロー方向であり得る。或いは、ガラスリボンがガラスリボンのスプールから巻き出される場合には、搬送方向は、ガラスリボンがスプールから引き出される方向であると見なされ得る。更に、ガラスウェブ（例えば、ガラスリボン、ガラスシート等）が移動経路に沿って横移動している場合には、搬送方向は、移動経路に沿ってガラスウェブが移動する方向であると見なされ得る。
図１に示されている一実施形態において、ガラスリボン１０３の長さは、形成ウェッジ１４７のルート部１４５からガラスリボン１０３の外側端部１７１（例えば、下端部）まで延びるガラスリボン１０３の全長「Ｌ１」であると見なされ得る。更なる実施形態では、ガラスリボン１０３の長さは、ガラスリボンの全長「Ｌ１」の一部であると見なされ得る。例えば、ガラスリボン１０３の長さは、ガラスリボン１０３の幅「Ｗ」に対して垂直な方向に沿ったガラスリボンの寸法であると見なされ得る。それに加えて、またはその代わりに、ガラスリボン１０３の長さは、ガラスリボン１０３の延伸方向９０１に沿ったガラスリボンの寸法であると見なされ得る。
別の実施形態において、ガラス分離装置１４９は、ガラスウェブから縁部（例えば、縁部ウェブ部分）を分離し得る。例えば、図１に示されるように、ガラス分離装置１４９は、ガラスシート１０４の第１の縁部１６５と第２の縁部１６７との間においてガラスシート１０４の搬送方向に対して横断する方向に延びる分離経路１６３に沿って、ガラスシート１０４の縁部部分１５９をガラスシート１０４の中心部分１６１から分離し得る。図示されている実施形態では、分離経路１６３は、ガラスシート１０４の搬送経路に対して垂直であるガラスシートの長さ「Ｌ２」に沿って延びている。
図２は、図１に模式的に示されている例示的なガラス分離装置１４９を示す。ガラス分離装置は、レーザビーム２０３を生じるレーザビーム発生器２０１を含み得る。一実施形態において、エネルギーの連続した流れを近似し得る比較的長いパルスを用いて選択された経路を加熱可能なＣＯ２レーザビームを生じるレーザビーム発生器が用いられ得る。従って、レーザビーム２０３は、ガラスリボン（またはガラスシート１０４）を損傷することなくガラスリボン上の選択された経路を加熱するよう設計され得る。本願の目的で、ガラスリボンを損傷することなくガラスリボン上の選択された経路を加熱するとは、別様では欠陥を生じることなくガラスリボンの分離を生じる方法で、ガラスリボンを損傷することなく経路を加熱することを意味することが意図される。ガラスリボンを損傷することなく選択された経路を加熱することの例としては、ガラスリボンを溶かすことなく加熱すること、ガラスリボンをアブレートすることなく加熱すること、ガラスリボンに完全なクラックを生成することなく加熱すること、および、ガラスリボンに折り線を生じることなく加熱することが挙げられる。実際、レーザビーム２０３は、後述するように、欠陥を施す前にガラスリボンを分離することなく、ガラスリボン（例えば、ガラスリボン１０３またはガラスシート１０４）の分離経路１５１、１６３に沿った所望のレベルの熱応力を生じることを可能にするために、ガラスリボンを損傷することを回避し得る。
図２に更に示されるように、例示的なガラス分離装置１４９は、必要に応じて設けられる一続きの反射器２０５ａ、２０５ｂ、２０５ｃ、２０５ｄと、ガラスリボン１０３またはガラスシート１０４の外縁部分２１１ａ、２１１ｂまたは第１の主要な面２１３上にレーザビームスポット２０９を設けるよう構成された１以上の光学レンズ２０７とを更に含み得る。本願を通して、レーザビームスポット２０９は、レーザビーム２０３で照射されるガラスウェブの表面の領域であると見なされ、そこで、レーザビーム２０３がガラスウェブの表面と交差する。幾つかの実施形態では、レーザビームスポットは、分離経路１５１の全長よりかなり小さい円形もしくは長方形のレーザビームスポットまたは楕円形のレーザビームスポットを含み得る。更なる実施形態では、レーザビームスポットは、分離経路１５１の全長にわたるまたは分離経路の全長より大きい細長いレーザビームスポットを含み得る。
幾つかの実施形態では、ガラス分離装置１４９は、例えば、図示されているポリゴン反射器２１５等の、第１の反射器を含み得る。第１の反射器は、第１の反射面を含み得る。例えば、図２に示されるように、図示されているポリゴン反射器２１５は、第１の反射面が８つの反射面部分２１９ａ〜２１９ｈを含む八角形の反射器を含み得るものであり、８つの反射面部分２１９ａ〜２１９ｈは互いに一体であってもよく、または、互いに近接して取り付けられた別々の部分として設けられてもよい。更に、八角形の反射器が用いられ得るが、本開示の複数の態様によれば、これより多いまたは少ない反射面部分を有する他の反射器が用いられてもよい。第１の反射器の第１の反射面もしくは任意の反射面、または本開示の任意の反射器の反射面は、ミラーの反射面から光を反射するミラーの表面、研磨された金属の反射面、または他の反射面を含み得る。更なる実施形態では、図示されるように、反射面は平坦であり得るが、更なる実施形態では、湾曲した（例えば、凹面、凸面の）表面が設けられてもよい。
一実施形態において、本方法は、第１の反射器を時計回りまたは反時計回りに回転させることにより、ガラスリボン１０３またはガラスシート１０４に沿った分離経路１５１、１６３の一方または両方を照射する工程を含み得る。例えば、図２〜図５、および図７〜図８に示されるように、ポリゴン反射器２１５は、８つの反射面部分２１９ａ〜２１９ｈの各々をレーザビーム２０３の選択された経路内に順次配置するために、第１の回転軸２１８周りに反時計回り方向２１７に回転し得る。図示されている回転は、レーザビームスポット２０９の掃引の原理を示すものである。ポリゴン反射器２１５の実際の構成および／または回転は、例えば、レーザビームスポット２０９がガラスリボンの第１の外縁部１５３から第２の外縁部１５５までの端から端まで掃引するか否か、または、図５〜図８に示されるように、レーザビームスポット２０９がガラスリボンの外まで掃引するか否か等の、様々な要因に応じて変わる。図９〜図１８の実施形態は、第１の外縁部１５３から第２の外縁部１５５までの端から端まで掃引するレーザビームスポット２０９を示す。例えば図９〜図１８の実施形態のような、本開示の任意の実施形態は、図５〜図８に示されるようにガラスリボンの外まで掃引するレーザビームスポット２０９も含み得る。
後述するように、レーザビームは、ガラスリボン上の分離経路１５１を加熱し得る。図面を通して、分離経路１５１は模式的に破線として示されているが、実際の分離経路は、ガラスリボン（例えば、ガラスリボンの縁部部分および／または主要な表面等）と同じ位置にあることを理解されたい。図示されるように、分離経路１５１は、第１の外縁部１５３から第２の外縁部１５５までガラス分離装置１４９に面したガラスリボン１０３の外縁部分２１１ａ、２１１ｂ、および第１の主要な面２１３に沿って延び得るが、分離経路は、ガラスリボンの反対側の主要な面に沿って、またはガラスリボンの２つの主要な表面の間の中間位置に延びていてもよい。実際、図示されるように、分離経路１５１は、外縁部分２１１ａ、２１１ｂの外面と一致して延び得ると共に、ガラスリボン１０３の第１の主要な面２１３と一致して延び得る。更に、図示されるように、第１の外縁部分２１１ａは第１の外縁部１５３を含んでもよく、第２の外縁部分２１１ｂは第２の外縁部１５５を含んでもよく、分離経路１５１は、ガラスリボンの大部分または全幅「Ｗ」にわたって延び得る。同様に、図１を参照すると、ガラスシート１０４は、第１の縁部１６５および第２の縁部１６７を含み得るものであり、分離経路１６３は、ガラスシート１０４の大部分または全長「Ｌ２」にわたって延び得る。
次に、例示的なポリゴン反射器２１５を用いて分離経路１５１を加熱する例示的な方法について説明する。図２に示されるように、例えば、第１の反射面部分２１９ａがレーザビームの経路と交差すると、まず、第１の反射面部分２１９ａの第１の縁部２２１ａがレーザビーム２０３の経路と交差してレーザビーム２０３を反射し、ガラスリボン１０３を横断する分離経路１５１の上流側端部２２１をレーザビームスポット２０９で照射する。実際、図示されるように、分離経路１５１の上流側端部２２１がレーザビームスポット２０９で照射されることにより、その位置において分離経路１５１が加熱される。ポリゴン反射器２１５が第１の回転軸２１８周りに反時計回り方向２１７に回転するにつれ、第１の反射面部分２１９ａの角度が変わり、レーザビームスポット２０９がガラスリボン１０３の第１の外縁部分２１１ａから第２の外縁部分２１１ｂに向かって延びる方向２２５に沿って移動する。
図３は回転されているポリゴン反射器２１５を示しており、第１の反射面部分２１９ａの中間部分２２１ｂが次にレーザビーム２０３の経路と交差してレーザビーム２０３を反射し、分離経路１５１の中間位置３０１をレーザビームスポット２０９で照射することにより、その位置において経路を加熱する。
図４に更に示されるように、ポリゴン反射器２１５は第１の回転軸２１８周りに反時計回り方向２１７に更に回転可能であり、第１の反射面部分２１９ａの第２の縁部２２１ｃが次にレーザビームの経路と交差してレーザビームを反射し、分離経路１５１の下流側端部４０１をレーザビームスポット２０９で照射することにより、その位置において分離経路を加熱する。図４に示されている、第１の回転軸２１８周りの反時計回り方向２１７の更なる増分回転により、第２の反射面部分２１９ｂの第１の縁部４０３がレーザビーム２０３の経路と交差し、レーザビームスポット２０９は分離経路１５１の下流側端部４０１から消え、図２に示されるように、分離経路１５１の上流側端部２２１において再び現れる。当然ながら、実際のレーザビームは有限の直径を有するので、レーザビームが隣接する反射面部分の隣接する部分から同時に反射する短い瞬間がある。そのような瞬間には、レーザビームスポット２０９は、掃引経路の両端において同時に部分的に現れ得る。例えば、図４を参照すると、短い期間中、レーザビーム２０３は、第１の反射面部分２１９ａの第２の縁部２２１ｃおよび第２の反射面部分２１９ｂの第１の縁部４０３から同時に反射する。そのような瞬間には、レーザビームスポット２０９は、図４に示されている位置に部分的に現れ得ると共に、図２に示されている位置に部分的に現れ得る。
従って、加熱する工程は、分離経路１５１に沿った熱応力を生じるために、レーザビームスポット２０９を分離経路１５１に沿って繰り返し通過させることを含み得る。更に、図示されている実施形態では、レーザビームスポット２０９を繰り返し通過させる工程は、必要に応じて、レーザビームスポット２０９を単一の方向２２５に繰り返し通過させることを含み得る。実際、ポリゴン反射器２１５が、第１の回転軸２１８周りに図示されている反時計回り方向２１７に回転する間に、反射面部分２１９ａ〜２１９ｈの各々がレーザの経路と交差すると、レーザビームスポット２０９は常に、分離経路１５１の上流側端部２２１から下流側端部４０１まで単一の方向２２５に移動する。レーザビームスポットは、ポリゴン反射器２１５の回転速度に応じて、単一の方向２２５に沿って様々な速度で移動し得る。例えば、レーザビームスポットは、分離経路１５１に沿って約０．５ｋｍ／秒〜約６ｋｍ／秒（例えば、約１ｋｍ／秒〜約５ｋｍ／秒、約２ｋｍ／秒〜約４ｋｍ／秒、約３ｋｍ／秒等）で移動し得る。
図示しないが、更なる実施形態では、分離経路１５１は様々な方法で加熱され得る。例えば、ポリゴン反射器の異なるミラーおよび／または同じミラーの異なる部分からレーザビームを同時に反射するために、複数のレーザビーム発生器２０１が設けられてもよく、および／または、レーザビーム発生器によって生じたレーザビームが２以上のレーザビームに分割されてもよい。従って、ガラス分離装置１４９の光学的構成に応じて、分離経路１５１に沿って単一の方向２２５にまたは両方向に同時に移動する複数のレーザビームスポットが設けられ得る。別の実施形態において、レーザビーム発生器２０１によって生じたレーザビーム２０３は、分離経路１５１全体を同時に加熱する細長いレーザビームスポットになるよう引き伸ばされ得る。そのような実施形態では、レーザビームスポット２０９は、分離経路１５１全体を同時に加熱している間、静止していてもよい。更なる例では、分離経路１５１全体を加熱するために、複数の静止したレーザビームスポットが設けられ得る。例えば、複数の静止したレーザビームスポットは端と端とを合わせて配置され、全てのレーザビームのスポットの全体的な長さが分離経路１５１の全長に沿って延びるか、または分離経路１５１の全長より大きくてもよい。更なる実施形態では、複数の静止したレーザビームスポットは部分的に互いに重複するよう配置されてもよく、全てのレーザビームのスポットの全体的な長さが分離経路１５１の全長に沿って延びるか、または分離経路１５１の全長より大きくてもよい。
更に別の実施形態では、分離経路全体のうちの１つの線分を各ガラス分離装置１４９がレーザビームスポット２０９で照射する複数のガラス分離装置１４９が設けられ得る。例えば、図８に示されるように、必要に応じて先に述べたガラス分離装置１４９と類似または同一であり得る複数のガラス分離装置１４９が設けられ得る。なお、図８には５つのガラス分離装置１４９が示されているが、この図は添付の特許請求の範囲を限定すべきではなく、特許請求される主題の実施形態においては、任意の数のガラス分離装置（例えば、１、２、３、…５以上のガラス分離装置）が用いられ得る。各ガラス分離装置１４９は、各レーザビームによって設けられるそれぞれのレーザビームスポット２０９によって、分離経路全体に沿った対応する加熱される線分８０１、８０３、８０５、８０７、８０９に沿った熱応力を生じることができるレーザビーム８０２、８０４、８０６、８０８、８１０を生じ得る。幾つかの実施形態では、分離経路を加熱するために、加熱される線分は、端と端とを合わせて配置され得る。しかし、図示されるように、加熱される各線分は、線分間の分離経路の十分な加熱を提供するために、重複領域８１１、８１３、８１５、８１７において、少なくとも１つの隣接する加熱される線分と重複していてもよい。幾つかの実施形態では、重複領域は、加熱される線分８０１、８０３、８０５、８０７、８０９のうちの少なくとも１つの線分の長さの約５％〜約４０％（例えば、加熱される線分のうちの少なくとも１つの線分の長さの約１０％〜約３０％、約１０％〜約２５％等）である重複長さを含み得る。一実施形態において、対応する加熱される各線分８０１、８０３、８０５、８０７、８０９は約８００ミリメートル（ｍｍ）の長さを有し得るものであり、各重複領域８１１、８１３、８１５、８１７は約１００ｍｍの重複長さを有し得る。複数の線分および必要に応じて重複領域を設けることは、ガラスリボンに沿って延びる分離経路全体に沿った十分なレベルの熱応力を達成することを補助し得る。
本開示の幾つかの実施形態は、ガラスリボンの大部分（例えば、ガラスリボンの全体寸法等）にわたって移動するレーザビームスポットを示しており、他の実施形態では、レーザビームスポットはガラスリボンの外まで移動するよう示されている。従って、分離経路１５１、１６３も同様に、ガラスリボンの大部分（例えば、ガラスリボンの全体寸法等）にわたって延び得る。例えば、図示されているように、分離経路１５１がガラスリボン１０３の全幅「Ｗ」に延びるように、レーザビームスポット２０９は、ガラスリボン１０３の第１の外縁部１５３から第２の外縁部１５５までの全幅「Ｗ」に沿って通過する。同様に、図１に更に示されるように、分離経路１６３がガラスシート１０４の全長「Ｌ２」に延びるように、レーザビームスポット２０９は、ガラスシート１０４の第１の縁部１６５から第２の縁部１６７までの全長「Ｌ２」に沿って通過する。幾つかの実施形態では、分離経路１５１、１６３は約５０ｍｍ〜約５０００ｍｍ（例えば、約５０ｍｍ〜約１０００ｍｍ等）であり得るが、更なる実施形態では、レーザビームスポット２０９は、より長いまたはより短い経路に沿って移動し得る。
レーザビームスポット２０９は円形のスポットを含み得るが、更なる実施形態では、楕円形または他のスポット形状が設けられてもよい。円形のレーザビームスポットの、スポットの強度プロファイルの１／ｅ２として決定された場合の集光されたウエストにおける最小直径は約１ｍｍ〜約２ｍｍであり得るが、更なる実施形態では他の寸法が設けられてもよい。同様に、楕円形または他のスポット形状の最大長さは約１ｍｍ〜約３ｍｍであり得るが、更なる実施形態では他の寸法が設けられてもよい。例えば、静止したレーザビームを用いる場合には、レーザビームスポット形状は実質的に細長いものであり得、数十センチメートルの長さ（例えば、１メートルを超える長さ）を有し得る。分離経路１５１を照射するために、１または複数の静止したレーザビームスポットが用いられ得る。
図２〜図５、図７、および図８は、レーザビーム２０３が第１の外側位置４０５と第２の外側位置４０７との間を掃引する実施形態を示す（図２、図５、図７、および図８を参照）。本開示の実施形態のうちの任意のものにおいて、レーザビーム２０３は、分離経路を加熱する工程において、ガラスリボンの外まで移動し得る。例えば、図５、図７、および図８に示されるように、レーザビーム２０３の掃引は、必要に応じて、第１の外縁部１５３および第２の外縁部１５５の外側にある外側位置５０１、５０３間に延び得る。同様に、図示しないが、図９〜図１８のレーザビームの掃引は、加熱する工程において、ガラスリボンの外まで移動し得る。加熱中にレーザビームがガラスリボンの外まで掃引することを可能にすることは、分離経路１５１の全ての部分が十分なレベルの熱応力を達成することを確実にし得る。
図５に更に示されるように、ガラスリボンに沿った分離経路１５１を照射している間、ガラスリボンは、分離経路１５１全体がレーザビームの焦点深度「ＤＯＦ」内に配置されるよう配置され得る。焦点深度「ＤＯＦ」は以下の公式によって計算できる。
ＤＯＦ＝（８λ／π）（Ｆ／Ｄ）２
式中、「Ｆ」はレンズ２０７の焦点距離であり、「Ｄ」はレンズの前におけるビーム直径であり、「λ」は波長である。
分離経路１５１全体をレーザビーム２０３の焦点深度内に配置することは、レーザビームから分離経路１５１へのエネルギー伝達効率を高めるのを補助し得る。レーザビームの焦点深度は、ガラスの反り、厚さのばらつき、および分離中のガラスリボンの動きの大きさを超えるので、この焦点深度によって、レーザビーム発生器２０１に対して移動し得るかまたは向きを幾分変え得る、厚さが変化する平坦でないガラスの分離が可能なる。幾つかの実施形態では、焦点深度「ＤＯＦ」は、約２０ｍｍ〜約４００ｍｍ（例えば、約２０ｍｍ〜約２００ｍｍ等）であり得るが、更なる実施形態では他の焦点深度が設けられてもよい。
更に、幾つかの実施形態では、ガラスリボンの経路に加えて、ガラスリボン全体が焦点深度内に配置され得る。レーザビームの焦点深度は、ガラスの厚さのばらつき、ガラスの反り、または、本開示の方法の間にレーザビーム発生器に対するガラスリボンの位置およびその結果としてガラスリボン上の分離経路に生じ得る他の変化を超えるよう、十分に大きいものであり得る。
更に、幾つかの実施形態では、レーザビームスポットを分離経路１５１に沿って繰り返し通過させる間（特に、分離経路の縁部付近において）、ガラスリボンの主要な面上におけるレーザビームスポット２０９の寸法は変化する。例えば、レーザビーム２０３が掃引経路５０７または掃引経路５０９に沿って集光されている間、ガラスリボンの主要な面上におけるレーザビームスポット２０９の寸法は分離経路１５１に沿って変化し得るが、ガラスリボンが依然として焦点深度内に保たれている間に、他の掃引経路が設けられてもよい。
図６に示されるように、掃引経路５０９に沿って移動する場合には、分離経路１５１に沿ったレーザビームスポット２０９の直径および形状の変化に起因して、レーザビームスポット２０９は、図示されている先端部が切断された楕円形のパワー密度領域６０１によって表されているように、分離経路１５１に沿って変化するパワー密度を加え得る。図６に示されている実施形態では、レーザビームスポットは意図的にガラスリボンの外まで移動するので、ガラスリボンの表面におけるレーザビームスポット２０９の楕円形のパワー密度領域６０１は先端部が切断された形状になる。更なる実施形態では、先端部が切断されていない楕円形のパワー密度領域が設けられ得る。例えば、幾つかの実施形態では、楕円形のパワー密度領域の端点は、ガラスリボン１０３の第１の外縁部１５３および第２の外縁部１５５にそれぞれ位置し得る。外縁部分２１１ａ、２１１ｂが、厚くなった縁部ビードを含む場合には、厚くなった縁部（例えば、縁部ビード）にまたはその付近に位置する最大パワー密度を生じ、それぞれのレーザビームスポットの一部がガラスリボンの中心領域において重複する２つのレーザビーム２０３を用いて、ガラスリボンを分離するのがより有益であり得る。厚くなった縁部にまたはその付近に最大パワー密度が位置するので、厚くなった縁部ビードを標的にしてより高い熱応力が生成され、増加した熱応力を生じ得る。同時に、レーザビームスポットの後尾によって設けられる比較的低いパワー密度を部分的に重複させることで、重複するレーザビームスポットによる二重の照射に起因して、高められた熱応力が設けられ得る。そのような重複は、図８に示されている重複領域８１１、８１３、８１５、８１７においても設けられ得るものであり、これらの領域では、加熱される線分の外側端部におけるより低いパワー密度の部分を二重の照射で占めることができ、ガラスリボンに沿って延びる分離経路全体に沿った十分なレベルの熱応力の達成が補助される。
分離経路１５１の局所的な加熱は、ガラスリボンの異なる部分間に温度差を生じ、これが、分離経路１５１に沿った熱応力を生じる。上述のように、分離経路１５１を加熱する処理は、所定のレベルの応力が達成されるまで行われ得る。幾つかの実施形態では、好ましい所定のレベルの応力は、分離経路１５１に沿った、ガラスの歪点温度の約７０％〜約１００％（例えば、ガラスの歪点の約８０％〜約１００％、約９０％〜約１００％、約９５％〜約１００％等）の温度に対応する応力である。このレベルの加熱は、ガラスリボン内における残留応力の生成を回避する。更なる実施形態では、所定のレベルの応力は、分離経路１５１に沿った、ガラスの歪点から高々アニール点までの温度に対応する応力である。より低い温度も可能であり得るが、分離経路１５１に沿った熱応力を最大化するために、比較的高い温度に達することが所望される場合もある。比較的高い熱応力を設けることは、後でより完全に述べるように、欠陥を施した後の分離時間を低減することを補助し得る。幾つかの実施形態では、分離時間は、欠陥生成後の約０．１秒間〜約３秒間であり得るが、更なる実施形態では他の分離時間もあり得る。
分離経路を所望のレベルの熱応力まで加熱するのに要する時間は、例えば、レーザパワー、ガラスのタイプ、ガラスの寸法、ガラスの厚さ、または他の要因等の様々な要因に応じて異なり得る。幾つかの実施形態では、分離経路１５１、１６３は、約０．１ｍｍ〜約３ｍｍのガラス厚さで、約３００Ｗ〜約１．５ｋＷのＣＯ２レーザパワーを用いて約０．１秒間〜約５秒間の範囲内で十分に加熱され得る。
上述のように、ガラスリボン（例えば、ガラスリボン、ガラスシート等）を分離する方法は、ガラスリボンを損傷することなく分離経路に沿った熱応力を生じるために、ガラスリボン上の分離経路１５１を少なくとも１つのレーザビームスポット２０９で照射する工程を含み得る。本方法は、分離経路が、ガラスリボン上の分離経路を少なくとも１つのレーザビームスポット２０９で照射する工程において生じた熱応力下にある間に、分離経路上に欠陥を生成し、その欠陥に応答して、ガラスリボンが分離経路に沿って自発的に分離する工程も含み得る。
一実施形態では、分離経路を少なくとも１つのレーザビームスポット２０９で照射する工程において、分離経路１５１に沿った所定のレベルの熱応力が達成された後に、欠陥が生成される。実際、分離経路全体が所定のレベルの熱応力下にあるので、欠陥の開始は、その欠陥に応答した、分離経路に沿ったガラスリボンの自発的な分離に直接つながる。自発的な分離は、欠陥が生成されている際にまたは欠陥が生成された直後に開始し得る。従って、ガラスリボンの分離は、例えば、曲げ、クエンチ、または別様でガラスシートに応力をかける等の他の分離力を補助とせずに、レーザビームスポット２０９を用いて達成された所定のレベルの熱応力に基づいてガラスリボンを分離するために、分離経路全体に沿って完全なクラックを迅速に伝搬させる欠陥の直接的な結果として生じ得る。本明細書において用いられる「完全なクラック」という用語は、ガラスリボンの全厚さを通って延びるクラックを指す。本開示の複数の態様によるガラスウェブ（例えば、ガラスリボン）の分離時間は、ガラスウェブの分離に要する時間を、従来技術と比べて大きく低減し得る。従って、本開示の態様は、従来の技術よりも迅速なガラスウェブの分離が望ましい用途において有益であり得る。例えば、延伸速度を高めた用途では、ガラスリボンの所与の移動長さ内において分離が生じることを可能にするために、迅速な分離が有益であり得る。更に、本開示の方法は、高い温度条件においてもガラスリボンを分離できる。例えば、ガラスリボンが室温にある間に分離を行うことができる一方で、ガラスリボンが高温（典型的には、ガラスの歪点より低い、例えば、高々４００℃までの温度であるが、更なる実施形態では他の最大温度が設けられ得る）にあるときにも分離を行うことができる。従って、本開示の方法は、形成法または他の処理手順中にガラスリボンが冷却される前に、分離を提供できる。
一実施形態では、図７に示されるように、上述の実施形態のうちの任意のものにおいて、欠陥を生成する工程は、分離経路に沿った熱応力を生じるために、選択された分離経路を少なくとも１つのレーザビームスポット２０９で照射する工程を行っている間に行われ得る。分離経路を照射している間に欠陥を生成することは、欠陥の生成に直接的に応答して自発的に生じる迅速な分離を提供するために、分離経路に沿った十分なレベルの熱応力を保つことを補助し得る。幾つかの実施形態では、選択された分離経路を照射する工程は、欠陥を生成する工程の開始後に完了されてもよく、または、分離経路に沿ったガラスリボンの自発的な分離が完了するまで続けられてもよい。分離経路を照射している間に欠陥を生成することのもう一つの長所は、照射前に欠陥が生成される場合に、照射（加熱）中に開始し得る制御できない破損の確率が低減されることである。これは、強化ガラス、積層ガラス構造体、および高い内部応力を有する他の任意のガラス製品の信頼性の高い分離を可能にし得る。更に、経路を照射している間に欠陥を生成することのもう一つの長所は、分離に要する全体的な時間の低減である。
更なる実施形態では、選択された分離経路１５１を照射する工程は、欠陥を生成する直前に、欠陥が生成されているときに、欠陥が生成された直後に、または、欠陥が生成されてから間もなく完了され得る。そのような実施形態では、分離経路に沿って十分な残留熱応力があるときには、欠陥は依然として生成され、分離経路に沿った自発的な分離を提供できる。しかし、幾つかの実施形態では、欠陥を生成している間、および欠陥を生成した後（例えば、ガラスリボンの完全な分離中）も、分離経路１５１を少なくとも１つのレーザビームスポット２０９で照射し続けることにより、分離速度が高められ得る。実際、欠陥を生成している間に分離経路を照射し続けることは、例えば、分離経路に沿った最大熱応力等の所定の熱応力を保つことによって、分離速度を高め得る。しかし、過熱に起因する分離され縁部に沿った残留応力の生成を最小化または回避するために、分離経路の過剰な照射は回避されるべきである。
欠陥を生成する工程は、様々な方法で行われ得る。例えば、図１に模式的に示されるように、一実施形態において、欠陥は、ガラスリボン１０３を、例えば、機械的ツール７０１（例えば、スコアリングホイール、圧子、回転ツール（回転ディスク）、ダイヤモンドチップ等）と機械的に係合させることによって生成され得る。実際、図７に示されるように、ケガキ器７０１の先端部は、表面の不完全性（例えば、表面クラック）等の欠陥７０３を生じ得る。更なる実施形態では、欠陥は、点欠陥または折り線として設けられ得る。図示しないが、例えば、欠陥７０３の生成を容易にするために、ケガキ器７０１によって加えられる力に対抗することを補助するための空気ベアリング等の支持装置または機械的接触支持部材が設けられ得る。
別の実施形態では、図１に示されるように、欠陥は、レーザビーム発生器１６９を用いて生成され得る。一実施形態において、レーザは、表面の不完全性等の欠陥を生成するために用いられ得るパルスレーザを含み得るが、表面下の不完全性不完全性が設けられてもよい。幾つかの実施形態では、レーザビーム発生器１６９によって生じた欠陥は、クラック、点欠陥、折り線、または、他の欠陥（そのような欠陥は、必要に応じてアブレーション処理によって生成され得る）を含み得る。幾つかの実施形態では、欠陥は、ガラスリボンのレーザビームスポットで照射される面とは反対側の外向きの面に配置され得る。例えば、図１２および図１７に示されるように、レーザビーム発生器１６９は、ガラスリボンのレーザビームスポットで照射される面とは反対側のガラスリボン１０３の外向きの面に欠陥を設けるよう配置される。更なる例では、欠陥は、レーザビームスポットで照射される内向きの面に配置されてもよく、更には、ガラスリボンの両面の欠陥を含んでもよい。例えば、図１２および図１７に示されているレーザビーム発生器は、レーザビームスポットで照射される内向きの面に欠陥を設けるために、ガラスリボンの他方の側に配置されてもよく、更には、ガラスリボンの両面に欠陥を設けるために、ガラスリボンの両側に配置されてもよい。更に、欠陥は、ガラスリボンの外縁部、１つの角、両方の角にも配置されてもよく（例えば、２つの欠陥）、または、内向きの表面から外向きの表面へと延びる連続した欠陥であってもよい。
幾つかの実施形態では、適切な完全なクラックを分離経路１５１、１６３の方向に沿って向かわせることを補助するために、折り線としての欠陥を設けることが有益であり得る。例えば、折り線は、分離経路１５１、１６３に沿って延びる長さと、分離経路に対して垂直な幅とを有し得る。例示的な折り線は、広範囲の長さおよび幅（例えば、約０．５ｍｍ〜約５ｍｍの範囲内の長さ、および約０．１ｍｍ〜約０．３ｍｍの幅等）を有し得る。表面欠陥として設けられる場合には、欠陥の深さは、ガラスのタイプに応じて、約５マイクロメートル〜約５００マイクロメートルであり得る。例えば、化学的に強化されたガラスでは、欠陥がガラスリボンの化学的に強化された層を超えて達するように、より深い欠陥が設けられ得る。
欠陥７０３は、分離経路１５１、１６３に沿った任意の位置（例えば、分離経路上等）に設けられ得る。一実施形態において、欠陥は、ガラスリボンの第１の外縁部１５３および第２の外縁部１５５のうちの一方の近くに配置される。一実施形態では、欠陥を、後述するように、レーザビームスポット２０９の走査が開始される第１の外縁部１５３の近くに配置することが有益であり得る。例えば、図７に示されるように、欠陥７０３は、ガラスリボン１０３の第１の外縁部１５３と第２の外縁部１５５との間に施されてもよく、または、更なる実施形態では、欠陥は、第１の縁部および／または第２の縁部に設けられてもよい。クラックが、ガラスリボンの縁部に存在し得る縁部の不完全性においてではなく、欠陥の位置において伝搬を開始するのを確実にすることを補助するために、第１の縁部と第２の縁部との間に欠陥を施すのが有益であり得る。更に、ガラスリボン１０３の第１の縁部と第２の縁部との間に欠陥を施すことで、ガラスリボンの分離がより速くなり得る。幾つかの実施形態では、欠陥は、ガラスリボン１０３の外縁部分２１１ａ、２１１ｂに通常見出される厚くなった縁部ビード上に生成され得る。或いは、図７および図８に示されるように、欠陥は、必要に応じて、厚くなった縁部ビードよりも内側に設けられ得る。幾つかの実施形態では、欠陥は、ガラスリボンの少なくとも１つの縁部から約１ｍｍ〜約２５ｍｍの距離に生成される。例えば、図７および図８に示されるように、幾つかの実施形態では、欠陥７０３は、第１の縁部（例えば、１５３、１６５）から約１ｍｍ〜約２５ｍｍ（例えば、約１ｍｍ〜約１０ｍｍ等）の距離「Ｄ」に生成され得るが、更なる実施形態では異なる距離が設けられ得る。
幾つかの実施形態では、欠陥は、分離経路の中心部に、またはガラスリボン１０３の第１の縁部または第２の縁部により近い位置に生成され得る。一実施形態では、図７に示されるように、欠陥７０３は、第２の外縁部１５５よりも第１の外縁部１５３の近くに生成され得る。ガラスリボンの第１の外縁部１５３により近い位置に（例えば、第１の外縁部１５３から距離「Ｄ」に）欠陥７０３を設けることは、上述のように、レーザビームスポット２０９がガラスリボンの第１の外縁部１５３から第２の外縁部１５５に向かって単一の方向２２５に移動する場合に、特に有益であり得る。そのような実施形態では、ガラスリボン１０３の第１の外縁部１５３は、単一の方向２２５のレーザビームスポット２０９の移動経路に沿って上流にある。完全なクラックは、レーザビームスポット２０９の単一の方向２２５に伝搬する傾向があるので、欠陥をガラスリボンの第１の外縁部１５３により近い位置に配置することは、完全なクラックが、ガラスリボンの方向２２５の幅（または長さ）にわたって迅速に下流に伝搬するのを補助し得る。更に、欠陥７０３は、完全なクラックが上流に伝搬して第１の外縁部１５３と交差するのを可能にするために十分近い距離「Ｄ」に配置され得る。
更に、図８を参照すると、レーザビーム８０２、８０４、８０６、８０８、８１０は、隣接するレーザビームスポットが重複領域８１１、８１３、８１５、８１７に沿って共存し得るように、各レーザビームのレーザビームスポットが、対応する単一の方向２２５ａ、２２５ｂ、２２５ｃ、２２５ｄ、２２５ｅに沿ってシーケンシャルなパターンで移動するのを可能にするタイミングにされ得る。従って、完全なクラックを分離経路全体に沿って迅速に駆動するのを補助するために、レーザビームスポットは、ガラスリボンの全幅または全長にわたって単一の方向に沿って略連続的に移動し得る。
上述の方法のうちのいずれも、ガラスシートまたはガラスリボン等のガラスウェブを分離するために適用され得る。従って、ガラスリボン１０３に関して述べた実施形態は、ガラスシート１０４または他のガラスウェブにも適用され得る。例えば、図１に関して図示されているように、分離経路１５１は、ガラスリボン１０３の第１の外縁部１５３と第２の外縁部１５５との間のガラスリボン１０３の幅「Ｗ」にわたって延び得る。そのような実施形態では、図１に示されるように、欠陥を生成することでガラスシート１０４がガラスリボン１０３から分離する。図１に示されている更なる実施形態では、分離経路１６３は、ガラスシートの第１の縁部１６５と第２の縁部１６７との間のガラスシート１０４の長さ「Ｌ２」に沿って延び得る。そのような実施形態では、欠陥を生成することで、ガラスシート１０４の縁部部分１５９をガラスシート１０４の中心部分１６１から分離できる。
上述の方法のうちのいずれも、（図示されているように）平坦な、または、例えば、Ｃ字形状、Ｓ字形状、または他の構成に曲がった平坦でない（例えば、反った）構成を有し得る、広範囲のガラスリボンの分離を容易にできる。更に、本方法のいずれも、略均一な厚さまたは不均一な変化する厚さを有するガラスリボンの分離を容易にできる。例えば、図示されるように、比較的厚い縁部ビードおよび比較的薄い中心部を有するガラスリボンを分離できる。
別の実施形態において、ガラスリボンは、ガラスリボンが比較的静止しているときに、またはガラスリボンが動いているときに分離され得る。例えば、ガラスリボンは、形成部材から延伸されている際に、またはガラスリボンが形成部材に対して僅かに揺れているおよび／または回転している場合に、動いている間に分離され得る。更に、本開示の方法のうちのいずれも、ガラスリボンのほぼ歪点を超えない高温でガラスリボンを分離するために用いられ得る。
更に、本開示の方法は、非強化ガラスまたは強化ガラスを分離するために用いられ得る。例えば、方法は、圧縮されている少なくとも１つの外側層と、張力がかかっている別の層とを含む強化されたガラスリボン（例えば、化学的に強化されたガラスリボン）を分離するために用いられ得る。特定の一実施形態では、本開示の方法は、ガラスリボンの２つの主要な表面が圧縮され、ガラスリボンの中心部に張力がかかっている、両面が強化された強化ガラスリボンを分離するために用いられ得る。
更なる実施形態では、本開示の方法は、積層されたガラスリボン層を含むガラスリボンを分離するために用いられ得る。一実施形態において、圧縮された表面層および張力がかかった中心層を有する積層構造が設けられ得る。別の実施形態において、２つの圧縮表面層を有し、これら２つの圧縮層間に張力がかかった中心層が挟まれた積層構造が設けられ得る。更なる実施形態では、本開示の方法は、複数の層のうちの少なくとも２つが異なる組成および／または異なる熱膨張係数を有する、積層されたガラスリボン層を分離するために用いられ得る。他の実施形態では、ガラスリボンは、イオン交換または熱処理によって生じた表面圧縮応力層を含む、化学的にまたは熱的に強化されたガラスリボンであり得る。
更なる実施形態では、レーザビームの焦点深度は、ガラスリボンの厚さのばらつきの大きさ、反りの大きさ、ビーム源に対するガラスの動きの大きさ、または他の処理条件のばらつきを超え得る。
図９〜図１８は、ガラスリボンがガラスリボンの長さの方向に沿って動いているときにガラスリボン１０３を分離し得る例示的な装置および方法を示す。特に明記しない限り、図１〜図８を参照して上述した本開示の態様は、図９〜図１８の例示的な装置および方法に適用され得る。
図９〜図１３は、ガラスリボン１０３からガラスシート１０４を分離するための例示的なガラス分離装置９４９を示す。図１４〜図１８は、ガラスリボン１０３からガラスシート１０４を分離するための別の例示的なガラス分離装置１４４９を示す。図９〜図１３、および図１４〜図１８の実施形態は、図１〜図７に示されている（および図８に複製されている）実施形態と類似または同一であり得るが、必要に応じて反射器２０５ａ〜２０５ｃのうちの１以上を除去するよう簡略化されてもよい。各ガラス分離装置９４９、１４４９は、より完全に上述したように、レーザビーム２０３を生じるレーザビーム発生器２０１等の少なくとも１つのレーザを含む。各ガラス分離装置９４９、１４４９は、上述のポリゴン反射器２１５等の第１の反射器を更に含む。先に述べたように、ポリゴン反射器２１５は、先に述べた第１の反射面を含み得る。第１の反射面は、第１の回転軸２１８周りに（例えば、反時計回り方向２１７に）回転可能である。上述のように、幾つかの実施形態では、ポリゴン反射器２１５の第１の反射面２１９は、先に述べた８つの反射面部分２１９ａ〜２１９ｈと類似または同一の複数の反射面部分を含み得る。図９〜図１３、および図１４〜図１８の実施形態に更に示されるように、複数の反射面部分は、第１の回転軸２１８周りに（例えば、反時計回り方向２１７に）回転されて、反射面部分からレーザビーム２０３を反射し、得られたレーザビームスポット２０９を、分離経路１５１に沿った熱応力を生じるために搬送方向９０１に対して横断方向（例えば、ガラスリボンの幅「Ｗ」の方向等）のガラスリボン１０３上の分離経路１５１に沿って繰り返し通過させ得る。
図９〜図１３、および図１４〜図１８に示されている実施形態に示されるように、ガラスリボン１０３からガラスシート１０４を分離するためのガラス分離装置９４９は、第２の反射面２０６、１４０２をそれぞれ含む第２の反射器２０５ｄ、１４０１を更に含み、第２の反射器２０５ｄ、１４０１は、レーザビーム２０３を反射して、レーザビームスポット２０９を搬送方向９０１に移動させるように、対応する第２の回転軸２２７、１４０３周りに方向９０３、１４０５に沿って回転可能であり得る。幾つかの実施形態では、本方法は、レーザビームスポット２０９を、搬送方向９０１のガラスウェブ速度ベクトルに等しい搬送方向９０１のレーザビームスポット速度ベクトルを含むレーザビームスポット速度で移動させることを含む。従って、たとえガラスリボン１０３が搬送方向９０１（例えば、延伸方向）に移動中であっても、分離経路１５１を連続的に加熱し、その結果、分離経路１５１に沿った熱応力を連続的に増加させるために、レーザビームスポット２０９は同じ分離経路１５１上に留まる。ダウンドロー法では、レーザビームスポット２０９は、ガラスリボンの延伸方向９０１の速度に等しいまたは略等しい延伸方向９０１の速度ベクトルを含み得る。従って、たとえガラスリボン１０３がガラスリボン１０３の延伸方向に移動中であっても、分離経路を連続的に加熱し、その結果、分離経路１５１に沿った熱応力を連続的に増加させるために、レーザビームスポット２０９はガラスリボン１０３の同じ分離経路１５１上に留まる。
図９〜図１３、および図１４〜図１８に示されるように、第１の回転軸２１８は、第２の回転軸２２７、１４０３に対して垂直であり得るが、レーザビームスポット２０９の光学的構成および／または所望の特性に応じて、第１の軸および第２の軸は互いに対して別の角度で配向され得る。
幾つかの実施形態では、第１の反射器は、第２の反射器に対して上流または下流に配置され得る。例えば、図９〜図１３のガラス分離装置９４９は、レーザビーム２０３が第１の反射器２１５の第１の反射面２１９から反射する前に第２の反射器２０５ｄの第２の反射面２０６から反射するように、第２の反射器２０５ｄが第１の反射器２１５の上流に配置された実施形態を示す。図２〜図７に示されるように、第２の回転軸２２７周りに回転可能な第２の反射器２０５ｄは、より完全に上述したガラス分離装置１４９内に設けられ得る。そのような実施形態では、ガラス分離装置１４９は、必要に応じて、第２の反射面２０６を第２の回転軸２２７周りに回転させることを含み得る。幾つかの実施形態では、分離装置は、第２の反射面２０６を回転させることを回避する選択を可能にし得る。第２の反射面２０６の回転を回避することは、ガラスリボンがガラスリボンの長さに沿って移動されない用途において望ましい場合がある。
或いは、図１４〜図１８のガラス分離装置１４４９は、レーザビーム２０３が第２の反射器１４０１の第２の反射面１４０２から反射する前に第１の反射器２１５の第１の反射面２１９から反射するように、第１の反射器２１５が第２の反射器１４０１の上流に配置された実施形態を示す。そのような実施形態では、図２〜図７に示されている、全ての反射器２０５ａ〜２０５ｄが回転する能力を持たない構成が用いられ得る。従って、ガラス分離装置は、ガラスリボンがガラスリボンの長さに沿って移動されない用途において用いられ得る。或いは、第２の反射器１４０１は、更に、ガラスリボンの長さの方向におけるレーザビームスポットの動きを可能にするために設けられ得る。
幾つかの実施形態では、少なくとも１つのレーザビーム発生器２０１は、分離経路１５１の対応する加熱される線分に沿った熱応力を各レーザビームスポットが生じる複数のレーザビームスポット２０９を生じ得る。例えば、図８に示されるように、図示されている各第２の反射器２０５ｄは、分離経路１５１を各レーザビームのレーザビームスポットで連続的に照射するために、加熱される線分８０１、８０３、８０５、８０７、８０９の各々がガラスリボンの搬送方向に沿って移動することを可能にするために、第２の回転軸２２７周りに回転可能な反射面を含み得る。
幾つかの実施形態では、第１の反射器２１５を設けずに、第２の反射器２０５ｄ、１４０１が設けられ得る。そのような実施形態では、少なくとも１つのレーザビーム発生器は、ガラスリボンの全幅に沿って延びる、またはガラスリボンの全幅より大きい、単一のレーザビームスポットを生じるよう設計され得る。或いは、少なくとも１つのレーザビーム発生器は、合わせてガラスリボンの全幅に沿って延びる、またはガラスリボンの全幅より大きい、（例えば、必要に応じて部分的に互いに重複し得る）複数のレーザビームスポットを生じ得る。そのような実施形態では、静止した単一の細長いレーザビームスポットまたは複数の静止したレーザビームスポットが分離経路の全幅にわたって延びるので、分離経路に沿って移動する単一のレーザビームスポットは必要ない。そのような実施形態では、第２の反射器２０５ｄ、１４０１は、たとえガラスリボンが搬送方向９０１に沿って移動していても、分離経路１５１を連続的に加熱するために、単一のレーザビームスポットまたは複数のレーザビームスポットがガラスリボンと共にガラスリボンの搬送方向９０１（例えば、延伸方向）に沿って移動するのを可能にするために設けられ得る。
次に、ガラスリボン１０３からガラスシート１０４を分離する方法について説明する。本方法は、ガラスリボン１０３をガラスリボンの長さの方向に移動させる工程を含む。幾つかの実施形態では、ガラスリボン１０３は、以前に製造されたガラスリボンのスプールから移動され（例えば、巻き出され）得るものであり、ガラスリボンの巻き出された部分がガラスリボンの長さに沿って移動する。そのような実施形態では、ガラスリボンのスプールが巻き出され、ガラスリボンのスプールからのガラスリボンの巻き出しを中断することなく、ガラスリボンからガラスシートが分離され得る。更に、図示されているガラスリボン１０３の実施形態は、例えば重力の方向等の搬送方向９０１（例えば、引き出し方向）に移動され、引き出し方向はガラスリボンの長さの方向およびガラスリボンの搬送方向と同じ方向である。別の実施形態では、ガラスリボンは、重力に対して或る角度でまたは垂直な方向に沿って移動され得る。実際、ガラスリボンの輸送中および／または処理中には、ガラスリボン１０３は、例えばエアバー上において、ガラスリボンの長さに沿って水平に移動し得る。そのような実施形態では、ガラスリボンが横向き（例えば、水平）の搬送方向に移動する際に、ガラスリボン１０３からガラスシート１０４が分離され得る。
本方法は、ガラスリボン１０３を損傷することなく、分離経路１５１に沿った熱応力を生じるために、ガラスリボン１０３上の分離経路１５１を少なくとも１つのレーザビームスポット２０９で照射することを更に含み得る。分離経路１５１は、例えば、後でより完全に述べる欠陥の生成に応答して、分離経路に沿って、且つ、ガラスリボンの第１の主要な面からガラスリボンの第２の主要な面までガラスリボンの全厚さを通って自発的に生じる完全なクラックによって、第１の主要な面２１３上の分離が生じる経路であると見なされる。分離経路１５１は、ガラスリボンの幅「Ｗ」の方向に延び得る。例えば、分離経路は、必要に応じて、分離経路１５１の得られる方向ベクトルがガラスリボンの幅「Ｗ」の得られる方向ベクトルと同一であるように、長さ「Ｌ１」に対して垂直であり得る。そのような実施形態では、分離は、ガラスリボン１０３の外縁部１５３、１５５（即ち、互いに平行な外縁部１５３、１５５）に対して垂直である分離経路に沿って延びる分離された縁部を含むガラスリボンを生じ得る。或いは、分離経路は、長さ「Ｌ１」に対して垂直以外の角度であり得、この場合、分離経路１５１の得られる方向ベクトルは、ガラスリボンの幅「Ｗ」の得られる方向ベクトルと同一ではない。そのような実施形態では、分離は、外縁部１５３、１５５（即ち、平行な外縁部１５３、１５５）の一方に対して鋭角であり、平行な外縁部１５３、１５５の他方に対して鈍角である、分離経路に沿って延びる分離された縁部を含むガラスリボンを生じ得る。
図示すると共に上述したように、本方法は、少なくとも１つのレーザビーム２０３をガラスリボン１０３の主要な面（例えば、第１の主要な面２１３等）上の対応するレーザビームスポット２０９において交差させることを含み得る。本方法は、分離経路１５１に沿った熱応力を生じるために、レーザビームスポット２０９を、ガラスリボン１０３の幅「Ｗ」の方向２２５の分離経路１５１に沿って繰り返し通過させることを含み得る。幾つかの実施形態では、レーザビームスポット２０９は、ガラスリボン１０３の第２の外縁部１５５から第１の外縁部１５３に向かう反対方向には移動せずに、ガラスリボン１０３の第１の外縁部１５３から第２の外縁部１５５に向かう方向に単一の方向に（例えば、方向２２５に）移動し得る。
例示的な方法は、レーザビームスポット２０９を、ガラスリボン１０３の幅「Ｗ」の方向２２５の分離経路１５１に沿って繰り返し通過させるために、少なくとも１つのレーザビーム２０３を、第１の回転軸２１８周りに回転する第１の反射器２１５の第１の反射面２１９から反射させることを含み得る。上述のように、第１の反射器２１５は、レーザビームスポット２０９を単一の方向２２５に移動させるよう回転するポリゴン反射器を含み得る。
本開示の方法は、レーザビームがガラスリボン１０３と一緒に移動するように、レーザビームを搬送方向９０１（例えば、延伸方向、ガラスリボン１０３の長さの方向「Ｌ１」等）に移動させる工程を更に含み得る。従って、ガラスリボン１０３が搬送方向９０１に移動する間、分離経路１５１に沿った熱応力を生じ続けるために、分離経路１５１がレーザビームで照射され続ける。
そのような搬送方向９０１のレーザビームの動きは、ガラスリボン１０３がガラスリボン１０３の全幅「Ｗ」に沿って加熱される上述の実施形態のうちの任意のものにおいて行われ得る。例えば、そのようなレーザビームの動きは、レーザビーム発生器が単一の静止したレーザビームまたは静止して互いに重複する複数のレーザビーム（およびそれぞれのレーザビームスポット）を生じる実施形態において設けられ得る。更なる実施形態では、そのようなレーザビームの搬送方向９０１の動きは、レーザビームスポット２０９または複数のレーザビームスポット（図８を参照）を分離経路１５１に沿って繰り返し通過させることを含む実施形態を含み得る。そのような実施形態では、本方法は、分離経路１５１に沿った熱応力を生じ続けるために、レーザビームスポット２０９がガラスリボン１０３の幅「Ｗ」の方向の分離経路１５１に沿って繰り返し通過し続ける間、レーザビームスポット２０９がガラスリボン１０３と一緒に移動するように、レーザビームスポットを搬送方向９０１に移動させる工程を含む。
図９〜図１３、および図１４〜図１８の実施形態に示されるように、本方法は、レーザビームがガラスリボンと一緒に移動するように、少なくとも１つのレーザビーム２０３を回転する反射面２０６、１４０２から反射させて、レーザビームを搬送方向９０１（例えば、延伸方向）に移動させることを含み得る。そのようにして、図９〜図１３、および図１４〜図１８の各実施形態は、たとえ分離経路１５１が方向９０１に移動している間でも、分離経路１５１に沿った熱応力を生じる。
説明の目的で、図９〜図１３に示されている装置を用いて分離経路１５１に沿った熱応力を生じる実施形態について述べる。まず図９を参照すると、レーザビーム発生器２０１によって生じたレーザビーム２０３は、所望の形状を有するレーザビームスポットを生じるために、１以上の光学レンズ２０７を通過し得る。次に、レーザビーム２０３は、第２の回転軸２２７に対する第１の回転位置において、第１の反射面２１９の前に第２の反射面２０６から反射する。図９に示されている第１の回転位置にある間、第２の反射面２０６は、レーザビーム２０３が第１の位置９０５ａにおいて第１の反射面２１９と交差するようレーザビーム２０３を反射する。次に、レーザビームは、上述のように、第１の回転軸２１８に対する第１の反射器２１５の回転位置に応じた、分離経路上の横方向の位置において分離経路１５１と交差するよう、第１の反射面２１９の第１の位置９０５ａから反射する。実際、図示されているポリゴン反射器を第１の反射器２１５として用いた場合、第１の回転軸２１８周りに反時計回り方向２１７のポリゴン反射器の回転は、レーザビームスポットを、方向２２５の分離経路１５１に沿って、ガラスリボン１０３の第１の外縁部分２１１ａから第２の外縁部分２１１ｂに向かって移動させる。更に上述したように、レーザビームスポットを繰り返し通過させる工程は、必要に応じて、レーザビームスポットを単一の方向（例えば、方向２２５）に繰り返し通過させることを含み得る。レーザビームスポットを単一の方向に繰り返し通過させることは、後でより完全に述べるように、分離経路上に欠陥が生成された際に、ガラスリボン１０３からガラスシート１０４を迅速に分離するのを補助し得る。
第２の反射面２０６は、第１の反射面２１９からの反射の位置が、第１の回転軸２１８に対して平行な方向９０７（例えば、図示されている方向）に移動するように、或る回転速度（例えば、一定の回転速度）で第２の回転軸２２７周りに回転され得る（例えば、連続的に回転され得る）。反射の位置を方向９０７に移動させることは、分離経路が搬送方向９０１および搬送方向９０１に対して横断する（例えば、垂直な）方向２２５に移動する間、レーザビームスポットが分離経路１５１と連続的に交差するのを可能にするために、レーザビームスポット２０９がガラスリボンを搬送方向９０１に追うのを補助し得る。
第２の反射面２０６は、（図９に示されている）第１の回転位置から第２の回転軸２２７周りに方向９０３に（図１０に示されている）第２の回転位置へと回転され得る。図１０に示されている第２の回転位置にある間、第２の反射面２０６は、レーザビーム２０３が第１の位置９０５ａから下流の第２の位置９０５ｂにおいて第１の反射面２１９と交差するよう、レーザビーム２０３を反射する。次に、レーザビームは、レーザビームスポット２０９が、図９に示されている分離経路１５１の位置と比べて方向９０１に下流に移動した分離経路１５１と交差するよう、第１の反射面２１９の第２の位置９０５ｂから反射する。
第２の反射面２０６は、（図１０に示されている）第２の回転位置から第２の回転軸２２７周りに方向９０３に（図１１に示されている）第３の回転位置まで更に回転され得る。図１１に示されている第３の回転位置にある間、第２の反射面２０６は、レーザビーム２０３が第２の位置９０５ｂから下流の第３の位置９０５ｃにおいて第１の反射面２１９と交差するよう、レーザビーム２０３を反射する。次に、レーザビームは、レーザビームスポット２０９が、図１０に示されている分離経路１５１の位置と比べて方向９０１に下流に移動した分離経路１５１と交差するよう、第１の反射面２１９の第３の位置９０５ｃから反射する。
なお、図９〜図１１は、第２の反射面２０６の増分の動きおよび分離経路１５１の増分位置を示しているが、分離経路がガラスリボンの長さの方向に移動する際に、レーザビームスポット２０９を分離経路１５１と連続的に交差させるために、第２の反射面２０６の動きは第２の回転軸１４０３周りに連続的に回転され得る。
次に、図１４〜図１８に示されている装置を用いて分離経路１５１に沿った熱応力を生じる実施形態について説明する。まず図１４を参照すると、レーザビーム発生器２０１によって生じたレーザビーム２０３は、所望の形状を有するレーザビームスポットを生じるために、１以上の光学レンズ２０７を通過し得る。次に、レーザビーム２０３は、必要に応じて、第２の反射面１４０２と交差する前に第１の反射面２１９と交差するよう、１以上の静止した反射器１４０６から反射し得る。一実施形態において、レーザビーム２０３は、位置１４０９において第１の反射面２１９と交差する。次に、レーザビーム２０３は、必要に応じて、１以上の更なる反射器１４０７から反射してから、第２の回転軸１４０３に対する第１の回転位置にある第２の反射器１４０１の第２の反射面１４０２から反射し得る。図１４に示されている第１の回転位置にある間、第２の反射面１４０２は、上述のように、レーザビームスポット２０９が、第１の回転軸２１８に対する第１の反射器２１５の回転位置に応じた分離経路上の横方向の位置において分離経路１５１と交差するよう、レーザビーム２０３を反射する。実際、図示されているポリゴン反射器を第１の反射器２１５として用いる場合には、第１の回転軸２１８周りの反時計回り方向２１７のポリゴン反射器の回転は、レーザビームスポット２０９を、分離経路１５１に沿って方向２５５に、ガラスリボン１０３の第１の外縁部分２１１ａから第２の外縁部分２１１ｂに向かって移動させる。更に上述したように、レーザビームスポットを繰り返し通過させる工程は、必要に応じて、レーザビームスポットを単一の方向（例えば、方向２２５）に繰り返し通過させることを含み得る。
分離経路がガラスリボンの長さの方向９０１およびガラスリボンの幅の方向２２５に移動する間、レーザビームスポットが分離経路１５１と連続的に交差するのを可能にするために、第２の反射面１４０２は、或る回転速度（例えば、一定の回転速度または調節された回転速度）で第２の回転軸１４０３周りに回転され得る（例えば、連続的に回転され得る）。
第２の反射面１４０２は、（図１４に示されている）第１の回転位置から第２の回転軸１４０３周りに方向１４０５に（図１５に示されている）第２の回転位置へと回転され得る。図１５に示されている第２の回転位置にある間、第２の反射面１４０２は、レーザビーム２０３が図１４に示されている分離経路１５１の位置と比べて方向９０１に下流に移動した分離経路１５１と交差するよう、レーザビーム２０３を反射する。
第２の反射面１４０２は、（図１５に示されている）第２の回転位置から第２の回転軸１４０３周りに方向１４０５に（図１６に示されている）第３の回転位置へと更に回転され得る。図１６に示されている第３の回転位置にある間、第２の反射面１４０２は、レーザビームスポット２０９が図１５に示されている分離経路１５１の位置と比べて方向９０１に下流に移動した分離経路１５１と交差するよう、レーザビーム２０３を反射する。
なお、図１４〜図１６は、第２の反射面１４０２の増分の動きおよび分離経路１５１の増分位置を示しているが、分離経路がガラスリボンの長さの方向に移動する際に、レーザビームスポットを分離経路１５１と連続的に交差させるために、第２の反射面１４０２の動きは第２の回転軸１４０３周りに連続的に回転され得る。
本開示の実施形態のうちの任意のものにおいて、分離経路が搬送方向に沿って移動する際に、レーザビームスポットが分離経路１５１と連続的に交差するように、第２の反射面２０６、１４０２の回転は、ガラスリボンの搬送方向９０１（例えば、延伸方向）の速度と調和され得る。例えば、第２の反射面２０６、１４０２は、第２の回転軸周りに手動で回転され得る。更なる実施形態では、レーザビームスポットが長さの方向に移動する際、および、レーザビームスポットが方向２２５に沿って移動する際に、レーザビームスポットを分離経路１５１と連続的に交差させるために、第２の反射面２０６、１４０２を連続的な所定の回転速度で回転させるために、アクチュエータ（図示せず）が用いられ得る。更に、アクチュエータは、必要に応じて、ガラスリボンの長さの方向（例えば、ダウンドロー方向９０１）へのガラスリボンの速度を感知するセンサからフィードバックを取得し、ガラスリボンの速度を、第２の反射面２０６、１４０２の第２の回転軸２２７、１４０３周りの目標回転速度を計算するアルゴリズムに入力するよう構成されたコントローラによって操作され得る。次に、コントローラは、レーザビームスポットを分離経路１５１と連続的に接触させるために、第２の反射面２０６、１４０２を目標回転速度で回転させるよう、アクチュエータを操作し得る。更なる実施形態では、レーザビームスポットがガラスリボンの対応する主要な面と交差している位置を決定するために、センサ（例えば、熱センサまたは光センサ）が用いられ得る。コントローラは、この位置を分離経路の位置と比較して、レーザビームスポットがガラスリボンの対応する主要な面と連続的に交差するように、第２の反射面２０６、１４０２の第２の回転軸２２７、１４０３周りの速度を上げる、速度を下げる、または現在の回転速度を保つよう、アクチュエータを操作し得る。
上述の本開示の方法のうちの任意のものは、分離経路が上述の処理において生じた熱応力下にある間に、分離経路上に１５１欠陥７０３を生成し、欠陥７０３に応答して、ガラスシート１０４がガラスリボン１０３から分離経路１５１に沿って自発的に分離する工程を更に含み得る。実際、図１２および図１７に示されるように、本方法は、分離経路がガラスリボンの長さの方向（例えば、延伸方向９０１）に移動する際に、分離経路１５１が、分離経路１５１に熱エネルギーを加えている間に生じた熱応力下にある間に、レーザ（例えば、ＵＶレーザ）を用いて欠陥７０３を生成する工程を含み得る。欠陥７０３を生成するためのレーザが示されているが、更なる実施形態は、例えば、スコアリングホイール、ダイヤモンドチップ、または他の欠陥生成技術等の機械的ケガキ器（例えば、図１に関して述べたケガキ器７０１）を用いてもよい。図１３および図１８に示されるように、欠陥７０３に応答して、ガラスシート１０４はガラスリボン１０３から分離経路１５１に沿って自発的に分離する。
先に述べたように、本開示の例示的な方法のうちの任意のものは、レーザビームスポット２０９を単一の方向２２５に第１の外縁部分２１１ａから第２の外縁部分２１１ｂへと繰り返し通過させることを含み得る。必須ではないが、ガラスシート１０４をガラスリボン１０３から迅速に分離するために、レーザビームスポットを単一の方向に通過させることが有益であり得る。例えば、図１２および図１７に示されるように、欠陥７０３は、第２の外縁部１５５よりも第１の外縁部１５３の近くに生成されてもよく、その際、単一の方向２２５に移動するレーザビームスポット２０９によって生じる熱応力プロファイルが、完全なクラックが単一の方向２２５に伝搬するのを補助し得る。
本開示の例示的な方法のうちの任意のものにおいて、欠陥７０３は、分離経路１５１に沿った熱応力を生じるために分離経路１５１がレーザビーム２０３で照射されている間に生成され得る。欠陥７０３は、熱応力の生成後間もなく生成され得るが、欠陥７０３を生成している間に、レーザビームを用いて分離経路１５１に沿った熱応力を生じ続けるまたは保つことは、分離経路１５１が最大応力下にある間に欠陥が生成されるのを可能にし、ガラスシート１０４の分離を容易にし得る。
更に、欠陥７０３は、分離経路１５１を加熱する工程において、分離経路に沿った所定のレベルの熱応力が達成された後に生成され得る。例えば、幾つかの実施形態では、ガラスリボンを分離するのに十分な熱応力は、先行経験または計算に基づいて予め決定され得る。更に、熱応力は、分離経路をレーザビーム２０３で照射する所定の時間に基づいて予め決定され得る。更に、熱応力が予め決定されてもよく、その場合、所定のレベルの応力が達成された後に欠陥が生成されてもよい。例えば、熱センサ（例えば、熱カメラ）または他のセンサ装置が、分離経路１５１の温度をモニタリングし得る。分離経路１５１の達成された所定の温度は、達成された所定の応力を示すものであり得る。従って、所定のレベルの応力が達成された後に分離経路１５１に欠陥を施すことは、その所定の応力に対応する所定の温度が達成されてから行われ得る。
図９〜図１３、および図１４〜図１８の実施形態は、単一のレーザビームを示しているが、更なる実施形態は、分離経路に沿った熱応力を生じるために、複数のレーザビームの使用を含み得る。例えば、図９〜図１３、および図１４〜図１８の実施形態において、全体的な幅が比較的大きいガラスリボンの分離を可能にするために、図８を参照して述べた複数のレーザビームが用いられ得る。そのような実施形態では、複数のレーザビームスポットの各々が、対応する加熱される線分８０１、８０３、８０５、８０７、８０９と交差し、分離経路がガラスリボンの長さの方向に移動するにつれて、各レーザビームが分離経路１５１を追ってもよい。更に、幾つかの実施形態では、分離経路の各線分は、分離経路の少なくとも１つの隣接する線分の一部分（例えば、重複領域８１１、８１３、８１５、８１７を参照）と重複してもよい。そのような重複領域は、分離経路１５１全体に沿った十分な熱応力が生じるのを可能にし得る。
本発明の趣旨および範囲から逸脱することなく、本開示に対して様々な変形および変更が行われ得ることが、当業者には自明であろう。従って、本発明は、添付の特許請求の範囲およびそれらの等価物の範囲内である、本開示の変形および変更を網羅することが意図される。
以下、本発明の好ましい実施形態を項分け記載する。
実施形態１
ガラスウェブを分離する方法において、
（Ｉ）前記ガラスウェブを、移動する前記ガラスウェブの搬送方向のガラスウェブ速度ベクトルを含むガラスウェブ速度で移動させる工程と、
（ＩＩ）前記ガラスウェブ上の、前記搬送方向に対して横断方向に延びる分離経路に沿った熱応力を生じるために、前記分離経路を少なくとも１つのレーザビームスポットで照射する工程と、
（ＩＩＩ）前記レーザビームスポットを、前記ガラスウェブ速度ベクトルに等しい前記搬送方向のレーザビームスポット速度ベクトルを含むレーザビームスポット速度で移動させる工程であって、前記ガラスウェブが前記ガラスウェブ速度で移動する間、前記分離経路に沿った熱応力を生じ続けるために、前記分離経路が前記レーザビームスポットで照射され続ける、工程と、
（ＩＶ）前記分離経路が前記工程（ＩＩ）および（ＩＩＩ）において生じた熱応力下にある間に、前記分離経路上に欠陥を生成する工程であって、該欠陥の生成に応答して、前記ガラスウェブが前記分離経路に沿って分離する、工程と
を含むことを特徴とする方法。
実施形態２
前記工程（ＩＩＩ）が、前記レーザビームスポットを前記レーザビームスポット速度ベクトルで移動させるために、回転する反射面から少なくとも１つのレーザビームを反射させる工程を含む、実施形態１記載の方法。
実施形態３
前記工程（ＩＩ）および（ＩＩＩ）において前記分離経路に沿った前記熱応力を生じるために、前記レーザビームスポットを前記搬送方向に対して前記横断方向の前記分離経路に沿って繰り返し通過させる工程を更に含む、実施形態１記載の方法。
実施形態４
前記工程（ＩＩＩ）の前記レーザビームスポット速度が、前記搬送方向に対して前記横断方向のもう一つのレーザビームスポット速度ベクトルを含み、前記ガラスウェブが前記ガラスウェブ速度で移動すると共に前記レーザビームスポットが前記搬送方向に対して前記横断方向の前記分離経路に沿って繰り返し通過し続ける間、前記分離経路に沿った熱応力を生じ続けるために、前記分離経路が前記レーザビームスポットで照射され続けるように、前記レーザビームスポットが前記搬送方向および該搬送方向に対して前記横断方向に移動する、実施形態３記載の方法。
実施形態５
前記工程（ＩＩＩ）が、
前記レーザビームスポットを前記搬送方向に対して前記横断方向の前記分離経路に沿って繰り返し通過させるために、第１の軸周りに回転する第１の反射面から少なくとも１つのレーザビームを反射させる工程と、
前記レーザビームスポットを前記ガラスウェブの前記搬送方向の前記レーザビーム速度ベクトルで移動させるために、前記第２の軸周りに回転する第２の反射面から前記少なくとも１つのレーザビームを反射させる工程と
を含む、実施形態４記載の方法。
実施形態６
前記少なくとも１つのレーザビームが、前記第２の反射面の前に前記第１の反射面から反射する、実施形態５記載の方法。
実施形態７
前記少なくとも１つのレーザビームが、前記第１の反射面の前に前記第２の反射面から反射する、実施形態５記載の方法。
実施形態８
前記第１の軸が前記第２の軸に対して垂直である、実施形態５記載の方法。
実施形態９
前記ビームスポットを繰り返し通過させる前記工程が、前記ビームスポットを前記搬送方向に対して横断方向の単一の方向に繰り返し通過させる工程を含む、実施形態３記載の方法。
実施形態１０
前記単一の方向が、前記ガラスウェブの第１の縁部から第２の縁部に向かって延びる方向を含み、前記欠陥が、前記第２の縁部よりも前記第１の縁部の近くに生成される、実施形態９記載の方法。
実施形態１１
前記工程（ＩＶ）が、前記工程（ＩＩＩ）が行われている間に行われる、実施形態１記載の方法。
実施形態１２
前記工程（ＩＶ）が、前記工程（ＩＩＩ）において前記分離経路に沿った所定のレベルの熱応力が達成された後に行われる、実施形態１記載の方法。
実施形態１３
前記工程（Ｉ）の前記少なくとも１つのレーザビームスポットが、前記工程（ＩＩ）および（ＩＩＩ）において前記分離経路の対応する線分に沿った熱応力を各レーザビームスポットが生じる複数のレーザビームスポットを含む、実施形態１記載の方法。
実施形態１４
前記分離経路の各前記線分が、前記分離経路の少なくとも１つの隣接する前記線分の一部分と重複する、実施形態１３記載の方法。
実施形態１５
前記工程（ＩＶ）の前記欠陥が、レーザを用いて、または前記ガラスウェブを機械的に係合させることによって生成される、実施形態１記載の方法。
実施形態１６
前記ガラスウェブが、長さおよび前記ガラスウェブの第１の縁部と第２の縁部との間に延びる幅を含み、前記搬送方向が、前記ガラスウェブの前記長さの方向である、実施形態１記載の方法。
実施形態１７
前記ガラスウェブが、形成体から延伸されたガラスリボンを含み、前記搬送方向が前記ガラスリボンの延伸方向である、実施形態１記載の方法。
実施形態１８
ガラスウェブを分離する装置において、
少なくとも１つのレーザビーム発生器と、
第１の軸周りに回転可能な第１の反射面を含む第１の反射器であって、該第１の反射器が回転しているときに、前記少なくとも１つのレーザビーム発生器によって生じたレーザビームが前記ガラスウェブ上の分離経路に沿って繰り返し通過するレーザビームスポットを生じるように、前記レーザビーム発生器と位置決めされた第１の反射器と、
第２の軸周りに回転可能な第２の反射面を含む第２の反射器であって、該第２の反射器が回転しているときに、前記レーザビームスポットが前記ガラスウェブの搬送方向に移動するように、前記第１の反射器と位置決めされた第２の反射器と、
を含み、
前記レーザビーム発生器によって生じた前記レーザビームが、前記第２の反射器の前記第２の反射面から反射する前に前記第１の反射器の前記第１の反射面から反射するように、前記第１の反射器が前記第２の反射器から上流に配置された、
ことを特徴とする装置。
実施形態１９
前記第１の軸が前記第２の軸に対して垂直である、実施形態１８記載の装置。
実施形態２０
前記少なくとも１つのレーザビーム発生器が、前記分離経路の対応する線分に沿った熱応力を各レーザビームスポットが生じる複数のレーザビームスポットを生じるよう構成された、実施形態１８記載の装置。
実施形態２１
ガラスウェブを分離する装置において、
少なくとも１つのレーザビーム発生器と、
第２の軸周りに回転可能な第２の反射面を含む第２の反射器であって、該第２の反射器が回転しているときに、前記少なくとも１つのレーザビーム発生器によって生じたレーザビームが前記ガラスウェブの搬送方向に移動するレーザビームスポットを生じるように、前記レーザビーム発生器と位置決めされた第２の反射器と、
第１の軸周りに回転可能な第１の反射面を含む第１の反射器であって、該第１の反射器が回転しているときに、前記レーザビームスポットによって生じた前記少なくとも１つのレーザビームが前記ガラスウェブ上の分離経路に沿って繰り返し通過するように、前記第２の反射器と位置決めされた第１の反射器と
を含み、
前記レーザビーム発生器によって生じた前記レーザビームが、前記第１の反射器の前記第１の反射面から反射する前に前記第２の反射器の前記第２の反射面から反射するように、前記第２の反射器が前記第１の反射器から上流に配置された
ことを特徴とする装置。
実施形態２２
前記第１の軸が前記第２の軸に対して垂直である、実施形態２１記載の装置。
実施形態２３
前記少なくとも１つのレーザビーム発生器が、前記分離経路の対応する線分に沿った熱応力を各レーザビームスポットが生じる複数のレーザビームスポットを生じるよう構成された、実施形態２１記載の装置。
実施形態２４
ガラスウェブを分離する方法において、
（Ｉ）前記ガラスウェブを搬送方向に移動させる工程と、
（ＩＩ）前記ガラスウェブ上の、前記搬送方向に対して横断方向に延びる分離経路に沿った熱応力を生じるために、前記分離経路を少なくとも１つのレーザビームスポットで照射する工程と、
（ＩＩＩ）前記分離経路が前記工程（ＩＩ）において生じた熱応力下にある間に、前記分離経路上に欠陥を生成する工程であって、該欠陥の生成に応答して、前記ガラスウェブが前記分離経路に沿って分離する、工程と
を含むことを特徴とする方法。
１０１ フュージョンダウンドロー装置
１０３ ガラスリボン
１０４ ガラスシート
１４９、９４９、１４４９ ガラス分離装置
１５１、１６３ 分離経路
１５３ 第１の外縁部
１５５ 第２の外縁部
２０１ レーザビーム発生器
２０３、８０２、８０４、８０６、８０８、８１０ レーザビーム
２０５ａ、２０５ｂ、２０５ｃ、２０５ｄ 反射器
２０５ｄ、１４０１ 第２の反射器
２０６、１４０２ 第２の反射面
２０９ レーザビームスポット
２１５ ポリゴン反射器
２１８ 第１の回転軸
２１９ 第１の反射面
２２５、２２５ａ、２２５ｂ、２２５ｃ、２２５ｄ、２２５ｅ 単一の方向
２２７、１４０３ 第２の回転軸
８０１、８０３、８０５、８０７、８０９ 線分
８１１、８１３、８１５、８１７ 重複領域
９０１ 搬送方向

Claims (12)

  1. ガラスウェブを分離する方法において、
    （Ｉ）前記ガラスウェブを、移動する前記ガラスウェブの搬送方向のガラスウェブ速度ベクトルを含むガラスウェブ速度で移動させる工程と、
    （ＩＩ）前記ガラスウェブ上の、前記搬送方向に対して横断方向に延びる分離経路に沿った熱応力を生じるために、前記分離経路を少なくとも１つのレーザビームスポットで照射する工程と、
    （ＩＩＩ）前記レーザビームスポットを、前記ガラスウェブ速度ベクトルに等しい前記搬送方向のレーザビームスポット速度ベクトルを含むレーザビームスポット速度で移動させる工程であって、前記ガラスウェブが前記ガラスウェブ速度で移動する間、前記分離経路に沿った熱応力を生じ続けるために、前記分離経路が前記レーザビームスポットで照射され続ける、工程と、
    （ＩＶ）前記分離経路が前記工程（ＩＩ）および（ＩＩＩ）において生じた熱応力下にある間に、前記分離経路上に欠陥を生成する工程であって、該欠陥の生成に応答して、前記ガラスウェブが前記分離経路に沿って分離する、工程と
    を含むことを特徴とする方法。
  2. 前記工程（ＩＩＩ）が、前記レーザビームスポットを前記レーザビームスポット速度ベクトルで移動させるために、回転する反射面から少なくとも１つのレーザビームを反射させる工程を含む、請求項１記載の方法。
  3. 前記工程（ＩＩ）および（ＩＩＩ）において前記分離経路に沿った前記熱応力を生じるために、前記レーザビームスポットを前記搬送方向に対して前記横断方向の前記分離経路に沿って繰り返し通過させる工程を更に含む、請求項１または２記載の方法。
  4. 前記工程（ＩＩＩ）の前記レーザビームスポット速度が、前記搬送方向に対して前記横断方向のもう一つのレーザビームスポット速度ベクトルを含み、前記ガラスウェブが前記ガラスウェブ速度で移動すると共に前記レーザビームスポットが前記搬送方向に対して前記横断方向の前記分離経路に沿って繰り返し通過し続ける間、前記分離経路に沿った熱応力を生じ続けるために、前記分離経路が前記レーザビームスポットで照射され続けるように、前記レーザビームスポットが前記搬送方向および該搬送方向に対して前記横断方向に移動する、請求項３記載の方法。
  5. 前記工程（ＩＩＩ）が、
    前記レーザビームスポットを前記搬送方向に対して前記横断方向の前記分離経路に沿って繰り返し通過させるために、第１の軸周りに回転する第１の反射面から少なくとも１つのレーザビームを反射させる工程と、
    前記レーザビームスポットを前記ガラスウェブの前記搬送方向の前記レーザビーム速度ベクトルで移動させるために、前記第２の軸周りに回転する第２の反射面から前記少なくとも１つのレーザビームを反射させる工程と
    を含む、請求項４記載の方法。
  6. 前記ビームスポットを繰り返し通過させる前記工程が、前記ビームスポットを前記搬送方向に対して横断方向の単一の方向に繰り返し通過させる工程を含む、請求項３記載の方法。
  7. 前記工程（ＩＶ）が、前記工程（ＩＩＩ）が行われている間に行われる、請求項１〜６のいずれか一項記載の方法。
  8. 前記工程（ＩＶ）が、前記工程（ＩＩＩ）において前記分離経路に沿った所定のレベルの熱応力が達成された後に行われる、請求項１〜６のいずれか一項記載の方法。
  9. 前記工程（Ｉ）の前記少なくとも１つのレーザビームスポットが、前記工程（ＩＩ）および（ＩＩＩ）において前記分離経路の対応する線分に沿った熱応力を各レーザビームスポットが生じる複数のレーザビームスポットを含む、請求項１記載の方法。
  10. ガラスウェブを分離する装置において、
    少なくとも１つのレーザビーム発生器と、
    第１の軸周りに回転可能な第１の反射面を含む第１の反射器であって、該第１の反射器が回転しているときに、前記少なくとも１つのレーザビーム発生器によって生じたレーザビームが前記ガラスウェブ上の分離経路に沿って繰り返し通過するレーザビームスポットを生じるように、前記レーザビーム発生器と位置決めされた第１の反射器と、
    第２の軸周りに回転可能な第２の反射面を含む第２の反射器であって、該第２の反射器が回転しているときに、前記レーザビームスポットが前記ガラスウェブの搬送方向に移動するように、前記第１の反射器と位置決めされた第２の反射器と
    を含み、
    前記レーザビーム発生器によって生じた前記レーザビームが、前記第２の反射器の前記第２の反射面から反射する前に前記第１の反射器の前記第１の反射面から反射するように、前記第１の反射器が前記第２の反射器から上流に配置された
    ことを特徴とする装置。
  11. 前記第１の軸が前記第２の軸に対して垂直である、請求項１０記載の装置。
  12. 前記少なくとも１つのレーザビーム発生器が、前記分離経路の対応する線分に沿った熱応力を各レーザビームスポットが生じる複数のレーザビームスポットを生じるよう構成された、請求項１０または１１記載の装置。
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