JP2018529952A - 補助電磁場の導入に基づく1次スキャトロメトリオーバーレイでの新たなアプローチ - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2015年9月9日に出願された米国仮特許出願第62/215,895号の利益を主張するものであり、この出願は、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
Claims (25)
- メトロジー測定方法であって、
静止回折ターゲットを静止照明源によって照明することと、
零次回折信号と1次回折信号の合計から成る信号を測定することと、
前記回折ターゲット及び前記照明源を静止状態に維持しながら、前記零次回折信号と前記1次回折信号の間の複数の関係についての前記測定を反復することと、
前記1次回折信号を前記測定合計から抽出することと、を含む、メトロジー測定方法。 - 前記照明は、干渉性であり、前記測定は、前記ターゲットに関する瞳面で実行される、請求項1に記載のメトロジー測定方法。
- 照明波長及び前記ターゲットのピッチが、前記瞳面で前記零次回折次数と前記1次回折次数の部分的重複を生じさせるように選択される、請求項2に記載のメトロジー測定方法。
- 前記照明は、非干渉性であり、前記測定は、前記ターゲットに関するフィールド面で実行される、請求項1に記載のメトロジー測定方法。
- 測定されない1次回折信号が、前記測定合計を生じさせるために、前記ターゲットの瞳面においてマスクされる、請求項4に記載のメトロジー測定方法。
- 前記ターゲットは、少なくとも2つの周期構造を備える結像ターゲットであり、前記方法は、前記ターゲットの少なくとも2つのオーバーレイ測定、マスクされた+1回折次数による少なくとも1つの測定、及びマスクされた−1回折次数による少なくとも別の1つの測定を実行することと、
前記少なくとも2つのオーバーレイ測定を平均することによってオーバーレイを抽出することと、を更に含む、請求項5に記載のメトロジー測定方法。 - 訓練段階中に不正確をもたらす照明点を識別することと、それを除去することと、を更に含む、請求項4に記載のメトロジー測定方法。
- 前記零次回折信号と前記1次回折信号の間の前記関係としての複数の位相について前記反復測定を実行することを更に含む、請求項2又は4に記載のメトロジー測定方法。
- 前記零次回折信号と前記1次回折信号の間の前記関係を修正するために、前記照明の複数の角度及び/又は位相及び/又は波長について反復測定を実行することを更に含む、請求項2又は4に記載のメトロジー測定方法。
- 前記照明は環状であり、前記回折ターゲットは、少なくとも2つの対応する異なるピッチを有する少なくとも2つの周期構造を備え、前記環状照明の幅及び前記ピッチは、前記零次回折信号と前記1次回折信号のそれぞれとの間の重複領域を、前記それぞれの周期構造のそれぞれから分離するように選択される、請求項1に記載のメトロジー測定方法。
- メトロジーツールであって、
静止回折ターゲットを照明するように構成された静止照明源と、
零次回折信号と1次回折信号の合計から成る信号を反復測定するように構成された測定ユニットであって、前記反復測定は、前記回折ターゲット及び前記照明源を静止状態に維持しながら、前記零次回折信号と前記1次回折信号の間の複数の関係について実行される、測定ユニットと、
前記1次回折信号を前記測定合計から抽出するように構成された処理ユニットと、を備える、メトロジーツール。 - 前記照明は、干渉性であり、前記測定は、前記ターゲットに関する瞳面で実行される、請求項11に記載のメトロジーツール。
- 照明波長及び前記ターゲットのピッチは、前記瞳面での前記零次回折次数と前記1次回折次数の部分的重複を生じさせるように選択される、請求項12に記載のメトロジーツール。
- 前記照明は、非干渉性であり、前記測定は、前記ターゲットに関するフィールド面で実行される、請求項11に記載のメトロジーツール。
- マスクを前記ターゲットの瞳面に更に含み、前記マスクは、前記測定合計を生じさせるために、測定されない1次回折信号を遮断するように構成されている、請求項14に記載のメトロジーツール。
- 前記ターゲットは、少なくとも2つの周期構造を備える結像ターゲットであり、前記メトロジーツールは、前記ターゲットの少なくとも2つのオーバーレイ測定、遮断された+1回折次数による少なくとも1つの測定、及び遮断された−1回折次数による少なくとも別の1つの測定を実行して、前記少なくとも2つのオーバーレイ測定を平均することによってオーバーレイを抽出するように更に構成されている、請求項15に記載のメトロジーツール。
- 異なる回折次数に関するフィールド信号を分離するように構成された次数分離光学部品を更に備え、前記測定ユニットは、前記分離されたフィールド信号を測定するためのそれぞれの少なくとも2つの検出器を備える、請求項14に記載のメトロジーツール。
- 前記測定ユニットは、前記零次回折信号と前記1次回折信号の間の前記関係としての複数の位相について前記反復測定を実行するように更に構成されている、請求項11に記載のメトロジーツール。
- 前記反復位相測定を実行するように構成された光学位相走査装置を更に備える、請求項18に記載のメトロジーツール。
- 訓練段階中に不正確をもたらす照明点を識別して、それを除去するように更に構成されている、請求項11に記載のメトロジーツール。
- 前記測定ユニットは、前記零次回折信号と前記1次回折信号の間の前記関係を修正するために、前記照明の複数の角度及び/又は位相及び/又は波長について前記反復測定を実行するように更に構成されている、請求項11に記載のメトロジーツール。
- 前記反復測定の間の照明ビーム入射角を修正するように構成されたビームディスプレーサを更に備える、請求項18から21のいずれか1項に記載のメトロジーツール。
- 前記照明は、環状であり、前記回折ターゲットは、少なくとも2つの対応する異なるピッチを有する少なくとも2つの周期構造を備え、前記環状照明の幅及び前記ピッチは、前記零次回折信号と前記1次回折信号のそれぞれとの間の重複領域を、前記それぞれの周期構造のそれぞれから分離するように選択される、請求項11に記載のメトロジーツール。
- 請求項23に記載のメトロジーツールから抽出されたメトロジー信号。
- 少なくとも2つの対応する異なるピッチを有する少なくとも2つの周期構造を有する単一セルを備える回折ターゲット。
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