JP2018524245A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 付加製造装置の加工チャンバと、
   付加製造装置のキャリアガス源と、
   加工チャンバ内に配設され、付加製造工程の間に加工チャンバ内に配設される基板に粉体を向けるように構成された付加製造装置のノズルと、
   第１の粉体を保持するように構成された付加製造装置の粉体フィーダと、
   前記キャリアガス源及び前記粉体フィーダと流体連通する入力部と、前記ノズルと流体連通する出力部とを有する粉体搬送管路と、
   前記粉体搬送管路に配設され、前記粉体搬送管路の前記入力部と流体連通する流入口と、前記粉体搬送管路の前記出力部と流体連通する第１流出口と、第２流出口とを有する粉体制御弁であって、前記流入口から入る入力流体流を、前記第１流出口に供給される出力流体流と前記第２流出口に供給される戻り流体流とに分けるように構成された再循環状態を有する粉体制御弁と、
   前記粉体制御弁の前記戻りポートと流体連通する戻り管路と、
   前記粉体フィーダから独立して設けられ、前記戻り管路を介して前記粉体制御弁と流体連通する粉体戻りタンクとを備えた粉体搬送システム。
2. 前記粉体制御弁は、可変出力流体流及び可変戻り流体流を提供するように構成された絞り弁からなる請求項１記載の粉体搬送システム。
3. 前記粉体制御弁は、第１状態と第２状態とを有するバイナリ弁からなる請求項１記載の粉体搬送システム。
4. 前記バイナリ弁の前記第１状態は、前記入力流体流をすべて前記第１流出口に送り、前記バイナリ弁の前記第２状態は、前記入力流体流をすべて前記第２流出口に送る請求項３記載の粉体搬送システム。
5. 前記粉体戻りタンクは、前記付加製造装置の前記粉体フィーダと接続管路を介して流体連通し、前記接続管路には戻り弁が配設されている請求項１記載の粉体搬送システム。
6. 前記粉体戻りタンクの内部と前記粉体戻りタンクの外部とを流体連通する排気ポートをさらに備えた請求項１記載の粉体搬送システム。
7. 前記排気ポートは、前記付加製造装置の加工チャンバに流体連結された請求項６記載の粉体搬送システム。
8. 前記キャリアガス源を前記粉体搬送管路から独立して前記ノズルに流体連結する補給管路をさらに備えた請求項１記載の粉体搬送システム。
9. 第２の粉体を分配する第２粉体フィーダと、
   前記キャリアガス源及び前記第２粉体フィーダと流体連通する入力部と、前記ノズルと流体連通する出力部とを有する第２粉体搬送管路と、
   前記第２粉体搬送管路に配設され、前記第２粉体搬送管路の前記入力部と流体連通する流入口と、前記第２粉体搬送管路の前記出力部と流体連通する第１流出口と、第２流出口とを有する第２粉体制御弁であって、その前記流入口から入る第２入力流体流を、その前記第１流出口に供給される第２出力流体流とその前記第２流出口に供給される第２戻り流体流とに分けるように構成された再循環状態を有する第２粉体制御弁と、
   前記第２粉体制御弁の前記第２流出口と流体連通する第２戻り管路と、
   前記第２粉体フィーダから独立して設けられ、前記第２戻り管路を介して前記第２粉体制御弁と流体連通する第２粉体戻りタンクとをさらに備えた請求項１記載の粉体搬送システム。
10. 前記粉体搬送管路の前記出力部と前記第２粉体搬送管路の前記出力部の両方に流体連通する混合チャンバをさらに備えた請求項９記載の粉体搬送システム。
11. 付加製造装置のノズルに粉体を搬送する方法であって、
    粉体搬送管路の入力部を通るキャリアガスの入力流体流を供給することと、
    粉体フィーダから前記入力流体流に粉体を分配することと、
    前記入力流体流を、前記搬送管路の出力部を通る出力流体流と、戻り管路を通る戻り流体流とに分けることと、
    前記出力流体流を前記ノズルに送ることと、
    前記戻り流体流を粉体フィーダから独立して設けられた粉体戻りタンクに送ることを備えた方法。
12. 前記粉体搬送管路には粉体制御弁が配設されており、該粉体制御弁は、前記戻り管路と流体連通し、前記入力流体流を前記出力流体流と前記戻り流体流とに分けるように構成されている請求項１１記載の方法。
13. 前記粉体制御弁は、前記出力流体流及び前記戻り流体流の流量を調整するために調節することができる請求項１２記載の方法。
14. 前記粉体制御弁は、前記入力流体流がすべて前記出力流体流に送られる搬送状態と、前記入力流体流がすべて前記戻り流体流に送られる戻り状態とを有する請求項１２記載の方法。
15. 戻り粉体を前記粉体戻りタンクから前記付加製造装置の粉体フィーダに移送することをさらに備えた請求項１４記載の方法。