JP2018509620A - 静電容量式センサの電極変位計測のための高分解能デルタシグマ変調器 - Google Patents
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title description 29
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 137
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 104
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 claims abstract description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 62
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 28
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 24
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 21
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 18
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 15
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 15
- 230000009471 action Effects 0.000 description 8
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 8
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 7
- 238000012886 linear function Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 4
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 4
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000013139 quantization Methods 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/24—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
- G01L9/0075—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/12—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M3/00—Conversion of analogue values to or from differential modulation
- H03M3/30—Delta-sigma modulation
- H03M3/39—Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators
-
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M3/00—Conversion of analogue values to or from differential modulation
- H03M3/30—Delta-sigma modulation
- H03M3/458—Analogue/digital converters using delta-sigma modulation as an intermediate step
- H03M3/494—Sampling or signal conditioning arrangements specially adapted for delta-sigma type analogue/digital conversion systems
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M3/00—Conversion of analogue values to or from differential modulation
- H03M3/30—Delta-sigma modulation
- H03M3/322—Continuously compensating for, or preventing, undesired influence of physical parameters
- H03M3/352—Continuously compensating for, or preventing, undesired influence of physical parameters of deviations from the desired transfer characteristic
- H03M3/354—Continuously compensating for, or preventing, undesired influence of physical parameters of deviations from the desired transfer characteristic at one point, i.e. by adjusting a single reference value, e.g. bias or gain error
- H03M3/356—Offset or drift compensation
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M3/00—Conversion of analogue values to or from differential modulation
- H03M3/30—Delta-sigma modulation
- H03M3/322—Continuously compensating for, or preventing, undesired influence of physical parameters
- H03M3/368—Continuously compensating for, or preventing, undesired influence of physical parameters of noise other than the quantisation noise already being shaped inherently by delta-sigma modulators
- H03M3/376—Prevention or reduction of switching transients, e.g. glitches
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Abstract
Description
図1A及び図1Bは、単一極板電極変位型の静電容量式センサに対して選択可能な、静電容量・デジタル(C/D)変換用の励起の仕組みの2つの例を示す図である。電極変位型の静電容量式センサは、センサを形成する2つの極板の間隙が、検出パラメータに応じて変化するものである。従って、センサの静電容量が、検出パラメータに応じて変化することになる。図1Aは、静電容量式センサ12と、静電容量・デジタル(C/D)変換用のデルタ・シグマ変調器14とを備えたセンサ回路10を示している。静電容量式センサ12は、センサコンデンサCSと基準コンデンサCRとを備え、これらセンサコンデンサCS及び基準コンデンサCRは共通極板を共有する。静電容量式センサ12は、共通極板端子CP、センサ極板端子SP、及び基準極板端子RPの3つの端子を有する。センサ極板端子SP及び基準極板端子RPは、それぞれデルタ・シグマ変調器14の入力に接続される。共通極板端子CPは、センサコンデンサCS及び基準コンデンサCRの双方を励起する単一の2フェーズ励起信号Vexcを受信する。デルタ・シグマ変調器14は、パルス符号変調された出力信号PCMと、励起信号Vexcとを出力する。
図1Bは、単一極板電極変位型の静電容量式センサ22と、C/D変換用のデルタ・シグマ変調器24とを備えたセンサ回路20を示している。静電容量式センサ22は、静電容量式センサ12に類似している。静電容量式センサ22は、共通極板端子CPがデルタ・シグマ変調器24の入力に接続されたセンサコンデンサCSと基準コンデンサCRとを備える。センサ極板端子SPはセンサ励起信号Vexc_senを受信し、基準極板端子RPは基準励起信号Vexc_refを受信する。デルタ・シグマ変調器24は、パルス符号変調された出力信号PCMのほか、センサ励起信号Vexc_sen及び基準励起信号Vexc_refを出力する。
静電容量式センサ12及び静電容量式センサ22は、例えば絶対圧(AP)の計測結果を得るために用いることが可能な、単一極板電極変位型の静電容量式センサである。これら静電容量式センサ12及び静電容量式センサ22は、センサコンデンサCS(静電容量CSENSORを有する)と、基準コンデンサCR(静電容量CREFを有する)とを備える。センサコンデンサCS及び基準コンデンサCRは共通極板端子CPを共有している。センサコンデンサCSの静電容量CSENSORは、下記式(1)でモデル化できる。
図2は、実際のセンサ回路10の基本構成を示している。センサ回路10は、図1Aに基づき説明したように、静電容量式センサ12と、C/D変換用のデルタ・シグマ変調器14とを備えている。デルタ・シグマ変調器14は、積分器30、量子化器32、及び励起信号発生器34を備える。積分器30は第1ステージ積分器であり、演算増幅器(オペアンプ)36、7つのスイッチ38,40,42,44,46,48,50、オートゼロコンデンサCZ、及びフィードバックコンデンサCF1を備える。量子化器32は、コンパレータ52及びラッチ54を備える。励起信号発生器34は、スイッチ56及びスイッチ58を備える。また、図2には、デルタ・シグマ変調器14の2フェーズ作動を得るクロック信号φ1及びクロック信号φ2も示されている。デルタ・シグマ変調器14は、3つの電圧レベルVP、VMID、及びVNを用いる。VMIDは、VDDAとVSSAとの中間の電圧である。
式(4)に式(1)を代入することにより、下記式(5)のような伝達関数(TF)が導かれる。
α=0.6でC^P=0の場合、基準コンデンサCRの正規化静電容量C^REFを1.581とすることにより、伝達関数(TF)のダイナミックレンジが最大化されると共に中央化される。ダイナミックレンジは[−0.2252,0.2252]である。これに対応するTFのグラフは、図3Aに細線で示されている。α=0.6でC^P=0.5の場合は、基準コンデンサCRの正規化静電容量C^REFを2.121とすることにより、伝達関数のダイナミックレンジが最大化されると共に中央化される。ダイナミックレンジは[−0.1716,0.1716]である。これに対応するTFのグラフは、図3Aに太線で示されている。正規化寄生静電容量C^Pが0.5以上である場合、伝達関数のダイナミックレンジはかなり狭くなる。
伝達関数の感度は以下のように定められる。
センサ回路10において、励起の大きさは、0.5・VDDAとなっている。センサ極板端子SP及び基準極板端子RPにおけるスパイク電圧波形が図4A及び図4Bに示されており、図中において、VDDAはアナログ電源電圧、VSSAはアナログ接地電圧であり、VMID=VDDA/2は基準電圧である。信号対雑音比(S/N比)を改善するため、センサの励起量を増大させるのが一般的である。しかしながら、センサ回路10の場合、励起量増大の余地は限られている。これは、センサ極板端子SP及び基準極板端子RPにおけるスパイク電圧が電源電圧の両枠(即ち、VDDA及びVSSA)を超えてしまうと、そのスパイク電圧によってリーク作用を引き起こす可能性があり、その結果、計測精度が低下することになるからである。
図5は、本発明に係るセンサ回路の基本構成を示す。図5は、図1Bに示すセンサ回路20の基本構成であるセンサ回路20Aが示されている。センサ回路20Aは、静電容量式センサ22Aと、C/D変換用の1次デルタ・シグマ変調器24Aとを備えている。
α=0.6、C^P=0とするケース1と、α=0.6、C^P=0.5とするケース2との2つのケースについて、センサ回路20Aとセンサ回路10との比較を行う。
(1)伝達関数の線形性
この場合、正規化静電容量の関係式(1’)は、以下のように考えることができる。
基準コンデンサCRの正規化静電容量を下記式(16)のように選定することにより、中央化されたダイナミックレンジを有した本発明に係るセンサ回路の伝達関数は、下記式(17)のとおりとなる。
図6Bは、感度のグラフを示している。センサ回路20Aの場合、感度は0.8571で一定である。センサ回路10の場合、感度の変動範囲は[0.2858,0.7079]である。正規化絶対圧0においてセンサ回路10と比較すると、センサ回路20Aの感度は3倍に増大している。
一般的に、接続部(具体的には共通極板端子CP)に生じるスパイク電圧は、接地電圧VSSA及び電源電圧VDDAの枠外とならないようにするのが望ましい。過剰なスパイク電圧により、例えば式(12)などの充電平衡式が成り立たなくなるような、電荷のリークが生じることになる。このため、励起電圧の大きさに対し、実体的な制限が生じることになる。
(1)伝達関数の線形性
この場合、センサの静電容量の関係式は、式(1)のようになると考えられる。計測関係式(13)から、以下の伝達関数が導かれる。
図7Aは、センサ回路20AのTFが[−0.3333,0.3333]のダイナミックレンジを有することを示している。センサ回路10のTFのダイナミックレンジ[−0.1716,0.1716]と比べると、TFのダイナミックレンジの幅が1.94倍に増大している。
図7Bは、感度のグラフを示している。センサ回路20Aの場合、感度は一定ではなくなっており、変動範囲は[0.5343,0.8313]となっている。センサ回路10の感度の曲線では、変動範囲が[0.2858,0.7079]となっており、正規化絶対圧0において、センサ回路10の場合に比べ、センサ回路20Aの感度は、1.87倍に増大している。
センサ回路20Aの場合、共通極板端子CPにおける最大スパイク電圧は、y=0での作動中であると共に、正規化絶対圧P^Aが1.0に達したときに生じる。このときのVMIDに対するスパイク電圧は、(1/2)・ΔVEXと概算される。これは、励起信号の大きさが1.0・VDDAまで増大すると、共通極板端子CPにおけるスパイク電圧がVMIDに対し0.5・VDDAに及ぶことを意味する。従って、本発明に係るセンサ回路における励起電圧の最大値は、1.0・VDDAに達してもよいことになる。センサ回路10の場合(0.5・VDDA)に比べ、励起信号の大きさは2.0倍に増大する。
図8は、静電容量比CREF/CSENSORを計測するための2次デルタ・シグマ変調器を特徴とするセンサ回路20Bを示している。センサ回路20Bは、センサ回路20Aと同じ伝達関数(TF)を有する。図6A、図6B、図7A、及び図7Bは、センサ回路20Aと同様に、センサ回路20Bにも適用することができる。
図9Aに波形が示されており、4回のy=0の積分器作動(下降ステップ)が、2回のy=1の積分器作動(上昇ステップ)によって相殺されている。即ち、6回の積分処理からなる期間にわたる波形から、4回を正の方向、2回を負方向とするサイクルが繰り返され、N0=2、N1=4、N=6であることになる。これにより、η=(N0−N1)/N=(2−4)/6=−1/3となる。
図9Bに波形が示されており、2回のy=0の積分器作動(下降ステップ)が、2回のy=1の積分器作動(上昇ステップ)によって相殺されている。これにより、η=0となる。
図9Cに波形が示されており、2回のy=0の積分器作動(下降ステップ)が、4回のy=1の積分器作動(上昇ステップ)によって相殺されている。これにより、η=1/3となる。
図10A〜図10Cは、入力端子の共通極板端子CPにおけるスパイク波形のシミュレーション結果を示している。VMIDに対するスパイク電圧は表3に示されている。シミュレーションにおいて、励起電圧の大きさは、ΔVexc_sen=ΔVexc_ref=VDDAと設定している。シミュレーション結果は、y=0の作動中に正規絶対圧P^Aが1.0に達すると、共通極板端子CPに最大スパイク電圧が発生することを示している。この最大スパイク電圧は、VDDA/2=1.2Vを下回る1.05Vとなっている。シミュレーション結果は、本発明に係るセンサ回路が、励起電圧レベルをVDDAと同じレベルまで上昇可能であることを示している。
並列寄生静電容量が0でない場合には、伝達関数が、正規化絶対圧P^Aの非線形関数となる。式(23)を計測関係式(21)に代入することにより、伝達関数が以下のとおりとなり、このことが判る。
センサ回路20A及びセンサ回路20Bにおいて、TFのダイナミックレンジの中央化は、基準コンデンサCRの静電容量が切換選択可能であるとの仮定の下でなされる。実際の用途では、基準コンデンサCRが静電容量式センサ装置内に組み込まれ、切換選択可能とはなっていない。この結果、TFのダイナミックレンジを中央化することができない場合がある。
(a)静電容量式センサのセンサコンデンサ静電容量に対する寄生静電容量の補償。
(b)切換不可の組込式基準コンデンサに対応した伝達関数のダイナミックレンジの中央化。
改善した変調器回路の場合の計測関係式は以下のとおりとなる。
センサ回路20Cは、静電容量式センサ22Cと、C/D変換用のデルタ・シグマ変調器24Cとを備えている。デルタ・シグマ変調器24Cは、デルタ・シグマ変調器24Cが、励起信号Vexc_sen及び励起信号Vexc_refを生成するために、設定変更可能なレシオメトリックの複数の励起電圧を用いる点を除き、図5に示すセンサ回路20Aに概ね類似するものである。
デルタ・シグマ変調器24Cは、図13に示すような設定変更可能なレシオメトリックの励起電圧発生器180も備えている。励起電圧発生器180は、励起信号発生器154に接続され、4つの電圧レベルVP1,VP2,VP3,VSSAを供給する。励起電圧発生器180は、VDDP及びVSSAの電圧供給ライン間に接続された分圧器182を備える。分圧器182は、電流源183、ポテンショメータ184、及びポテンショメータ186を備える。3つのオペアンプ188,190,192及び3つのコンデンサ194,196,198により、分圧器182から3つの電圧VP1,VP2,VP3を出力する。VDDPは、VP1より高い供給電圧であり、必要に応じ、電源電圧VDDAよりも高い電圧とすることも可能である。電流源183の導入は任意である。別の選択肢として、電源電圧VDDAまたは別の供給電圧に分圧器を直接接続してもよいし、電流源183をもう1つ別の抵抗器と置き換えてもよい。
図12に示すようなスイッチ制御ロジックに基づき、センサコンデンサ用の励起信号の大きさは、以下のように表すことができる。
(1)伝達関数(TF)の線形性
センサコンデンサCSの有効静電容量を示す式(23)を計測関係式(39)に代入することにより、最適化した変調器回路の伝達関数は以下のようになる。
正規化弾性定数についての、TFの中央化されたダイナミックレンジは、以下のようになる。
TFの感度κは、正規化絶対圧P^Aに関する出力ηの一次導関数として定義される。式(41)から以下の式(45)が得られる。
表1にパラメータを例示したセンサ装置のTFのグラフが図14に示されており、図中の一方の線は静電容量比CC/CSAを計測する変調器回路についてのTFを示し、他方の線は静電容量比CREF/CSENSORを計測する変調器回路についてのTFを示している。静電容量比CC/CSAの線は線形であって、中央化されたダイナミックレンジ[−0.4286,0.4286]を有する一方、静電容量比CREF/CSENSORの線は非線形であって、中央化されていないダイナミックレンジ[−0.8605,0.0588]を有する。静電容量比CC/CSAを計測するための変調器(図12の静電容量式変調器24Cなど)は、TFの線形性及びTFのダイナミックレンジの中央化において、著しく改善されていることを示している。
最大励起電圧は、共通極板端子CPにおけるスパイク電圧によって制限される。図12に示す共通極板端子CPのスパイク電圧が電源電圧の枠外となると、共通極板端子CPにおけるリーク作用により、計測誤差を生じさせる可能性がある。スパイク電圧比は、以下のように演算することができる。
図16は、静電容量比CC/CSAの計測に使用可能な2次デルタ・シグマ変調器回路の概略図である。励起信号用の接地電圧VSSAを電圧VNと置き換え、電圧VP1,VP2,VP3を電圧VPと置き換えれば、静電容量比CREF/CSENSORの計測に使用することも可能である。図16の変調器回路が静電容量比CC/CSAを計測するための作動モードにある場合、寄生静電容量の補償機能が作動すると共に、TFのダイナミックレンジを中央化する機能も有効とされる。センサ回路20DのTFは、図12に示すセンサ回路20CのTFと同一とされる。また、図14及び図15の特性も、センサ回路20Dに適用可能である。
図16に概略を示す変調器回路について、シミュレーションを行った。このシミュレーションは、トランジスタレベルで実行された。アナログ電源電圧VDDAは2.4Vである。レシオメトリックの電圧は、VP1=2.4V、VP2=2.1V、VP3=1.2Vとなっている。正規化絶対圧を、P^A=0、P^A=0.5、及びP^A=1.0とした場合の、それぞれのシミュレーションにおける静電容量パラメータは、表5に示すとおりであり、表中の「予測η」の欄に示す値は、TFの式(42)から得た。
図15に示すグラフから、正規化絶対圧P^Aが0のときのスパイク電圧比が、y=0の場合には0.096に過ぎず、y=1の場合には0.241に過ぎないことも判る。従って、正規化絶対圧P^Aの計測結果が0に近い場合、励起信号のもととなる電圧VP1を2・VDDAのレベルまで上昇させることが可能となる。スパイク電圧VSPIKEは、VDDA/2未満のままとなるので、リークの問題が生じることはない。このようにすることで、正規化絶対圧P^Aが0のときのS/N比(信号対雑音比)が著しく改善されることになる。これが、適応励起電圧制御の基本的概念となる。
Claims (17)
- 静電容量式センサと、
静電容量・デジタル変換用のデルタ・シグマ変調器とを備えたセンサ回路であって、
前記静電容量式センサは、
センサコンデンサと、
基準コンデンサと、
前記センサコンデンサに接続されたセンサ極板端子と、
前記基準コンデンサに接続された基準極板端子と、
前記センサコンデンサ及び前記基準コンデンサの双方に接続された共通極板端子とを備え、
前記センサ極板端子と前記共通極板端子との間で間隙が検出パラメータに関連して変化し、
前記デルタ・シグマ変調器は、
前記共通極板端子に接続された入力を備えると共に、出力を備える積分器と、
前記積分器の前記出力に接続されて、パルス符号変調した出力信号を生成する量子化器と、
前記センサ極板端子にセンサ励起信号を供給し、前記基準極板端子に基準励起信号を供給する励起信号発生器とを備える
ことを特徴とするセンサ回路。 - 前記積分器は、前記入力に接続された第1ステージ積分器を備えることを特徴とする請求項1に記載のセンサ回路。
- 前記積分器は、前記第1ステージ積分器と前記出力との間に接続された第2ステージ積分器を備えることを特徴とする請求項2に記載のセンサ回路。
- 前記デルタ・シグマ変調器は、前記励起信号発生器に複数の励起電圧を供給する励起電圧発生器を更に備えることを特徴とする請求項1に記載のセンサ回路。
- 前記励起電圧発生器は、第1の電圧、第2の電圧、第3の電圧、及び第4の電圧を前記励起信号発生器に供給することを特徴とする請求項4に記載のセンサ回路。
- 前記励起信号発生器は、前記第1の電圧、前記第2の電圧、前記量子化器の出力状態、及びクロック信号に基づき前記センサ励起信号を供給することを特徴とする請求項5に記載のセンサ回路。
- 前記励起信号発生器は、前記第2の電圧、前記第3の電圧、前記第4の電圧、前記量子化器の前記出力状態、及び前記クロック信号に基づき前記基準励起信号を供給することを特徴とする請求項6に記載のセンサ回路。
- 前記第1の電圧は、前記第3の電圧より高く、前記第3の電圧は、前記第4の電圧より高く、前記第4の電圧は、前記第2の電圧より高いことを特徴とする請求項7に記載のセンサ回路。
- 前記励起電圧発生器は分圧器を備えることを特徴とする請求項5に記載のセンサ回路。
- 前記励起電圧発生器は、設定変更可能なレシオメトリックの励起電圧を供給することを特徴とする請求項5に記載のセンサ回路。
- 前記デルタ・シグマ変調器は、前記励起電圧発生器に接続された適応励起電圧制御部を更に備え、
前記適応励起電圧制御部は、前記励起電圧発生器が供給する前記励起電圧を変化させる
ことを特徴とする請求項4に記載のセンサ回路。 - 前記センサコンデンサと前記基準コンデンサとは共通極板を共有し、
前記共通極板端子は、前記共通極板に接続される
ことを特徴とする請求項1に記載のセンサ回路。 - 前記静電容量式センサは絶対圧センサであることを特徴とする請求項12に記載のセンサ回路。
- 前記デルタ・シグマ変調器は2フェーズのデルタ・シグマ変調器であることを特徴とする請求項1に記載のセンサ回路。
- 前記デルタ・シグマ変調器は、前記基準コンデンサの静電容量をCREFとし、前記センサコンデンサの静電容量をCSENSORとするとき、CREF/CSENSORを表す出力信号を生成することを特徴とする請求項1に記載のセンサ回路。
- 前記デルタ・シグマ変調器は、
前記センサコンデンサの有効静電容量をCSA、最大の正規化検出パラメータにおける静電容量CSAをC1、最小の正規化検出パラメータにおける静電容量CSAをC0として、
CC/CSAを表す出力信号を生成する
ことを特徴とする請求項1に記載のセンサ回路。 - 前記静電容量式センサは、電極変位型の静電容量式センサであることを特徴とする請求項1に記載のセンサ回路。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/657,323 | 2015-03-13 | ||
US14/657,323 US9628104B2 (en) | 2015-03-13 | 2015-03-13 | High resolution sigma delta modulator for capacitance sensor terminal displacement measurement |
PCT/US2016/022140 WO2016149130A2 (en) | 2015-03-13 | 2016-03-11 | High resolution sigma delta modulator for capacitance sensor terminal displacement measurement |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018509620A true JP2018509620A (ja) | 2018-04-05 |
JP6676649B2 JP6676649B2 (ja) | 2020-04-08 |
Family
ID=55058828
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017546810A Active JP6676649B2 (ja) | 2015-03-13 | 2016-03-11 | 静電容量式センサの電極変位計測のための高分解能デルタシグマ変調器 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9628104B2 (ja) |
EP (1) | EP3268758B1 (ja) |
JP (1) | JP6676649B2 (ja) |
CN (2) | CN105973134B (ja) |
WO (1) | WO2016149130A2 (ja) |
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- 2015-03-13 US US14/657,323 patent/US9628104B2/en active Active
- 2015-04-27 CN CN201510206215.3A patent/CN105973134B/zh active Active
- 2015-04-27 CN CN201520260282.9U patent/CN204963771U/zh not_active Expired - Fee Related
-
2016
- 2016-03-11 WO PCT/US2016/022140 patent/WO2016149130A2/en active Application Filing
- 2016-03-11 EP EP16765513.3A patent/EP3268758B1/en active Active
- 2016-03-11 JP JP2017546810A patent/JP6676649B2/ja active Active
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CN105973134B (zh) | 2020-03-27 |
WO2016149130A2 (en) | 2016-09-22 |
WO2016149130A4 (en) | 2017-02-23 |
US20160265995A1 (en) | 2016-09-15 |
EP3268758B1 (en) | 2021-05-12 |
WO2016149130A3 (en) | 2016-12-15 |
CN204963771U (zh) | 2016-01-13 |
JP6676649B2 (ja) | 2020-04-08 |
EP3268758A4 (en) | 2018-11-07 |
US9628104B2 (en) | 2017-04-18 |
EP3268758A2 (en) | 2018-01-17 |
CN105973134A (zh) | 2016-09-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181220 |
|
A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |