JP2018508344A5

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Publication number: JP2018508344A5
Application number: JP2017537976A
Authority: JP
Filing date: 2016-01-22
Publication date: 2019-02-07
Anticipated expiration: 2036-01-22

Claims

流体を大気圧で収容する洗浄チャンバと、
前記洗浄チャンバ内に配置された電極であって、電力整合ユニットを通じて発電機に接続された電極と、
前記電極の付近に配置された穴のある誘電体部材であって、前記電極と被加工物の間に発生した
プラズマを誘導するかまたは方向付けて、一掃する方向で前記被加工物に到達させる誘電体部材とを備え、前記プラズマは、前記穴を通って進み、
前記被加工物は、プラズマ損傷を生じさせない前記プラズマにより洗浄される、非熱ソフトプラズマ洗浄システム。
前記洗浄チャンバ内の前記流体は、空気またはガスであり、前記非熱ソフトプラズマ洗浄システムは、前記プラズマと組み合わさって放電流体流となり、前記プラズマを前記被加工物に誘導し、洗浄領域を拡張する原料ガスを更に備え、前記原料ガスは、前記プラズマにプラズマ種を加える、請求項１に記載の非熱ソフトプラズマ洗浄システム。
穴を有する第２の誘電体部材を更に備え、前記第２の誘電体部材は、プラズマ誘導・増幅コンポーネントを構成すべく、前記誘電体部材と実質的に垂直に配置された状態にある、請求項２に記載の非熱ソフトプラズマ洗浄システム。
第２の穴を有する第２の誘電体部材を更に備え、前記第２の誘電体部材は、プラズマ誘導・増幅コンポーネントを構成すべく、前記誘電体部材と実質的に平行に配置された状態にある、請求項２に記載の非熱ソフトプラズマ洗浄システム。
前記洗浄チャンバ内に配置された浮遊電極を更に備え、前記浮遊電極は、レジスタ、インダクタおよびコンデンサから成る調整ネットワークに接続され、前記調整ネットワークは、前記プラズマ内の電界成分とイオンエネルギーの両方を更に管理し提供するためにグラウンドまたはバイアスに接続された状態にある、請求項１〜４のいずれか一項に記載の非熱ソフトプラズマ洗浄システム。
２つ以上の浮遊電極を備える、請求項５に記載の非熱ソフトプラズマ洗浄システム。
前記浮遊電極は、プレート、穿孔を有するプレートまたはグリッドメッシュである、請求項５または６に記載の非熱ソフトプラズマ洗浄システム。
前記被加工物に対して前記洗浄チャンバ内の前記プラズマを予備電離し、誘導し、または方向付けるための偏向器を更に備える、請求項２〜７のいずれか一項に記載の非熱ソフトプラズマ洗浄システム。
前記被加工物はテストソケットであり、前記テストソケットの空洞が前記洗浄チャンバを形成する、請求項１〜８のいずれか一項に記載の非熱ソフトプラズマ洗浄システム。
前記被加工物は、ワイヤボンダの楔状部、半導体素子をテストするプローブカードのピン、半導体素子またはプラズマイオン損傷を受けやすい他の素子をテストするテストソケットのピンである、請求項１〜８のいずれか一項に記載の非熱ソフトプラズマ洗浄システム。
前記原料ガスは、不活性ガス、窒素、水素、圧縮空気、液体二酸化炭素または液体窒素である、請求項２に記載の非熱ソフトプラズマ洗浄システム。
前記洗浄チャンバ内の前記流体は液体である、請求項１に記載の非熱ソフトプラズマ洗浄システム。
前記液体は、水、溶媒または化学溶液である、請求項１２に記載の非熱ソフトプラズマ洗浄システム。
前記水に溶けた塩化イオンを更に備える、請求項１３に記載の非熱ソフトプラズマ洗浄システム。
塩化イオンを有する水もしくは溶媒または化学溶液を前記洗浄チャンバに導入する入口を更に備える、請求項１２に記載の非熱ソフトプラズマ洗浄システム。
原料ガスを前記洗浄チャンバに導入する入口を更に備える、請求項１５に記載の非熱ソフトプラズマ洗浄システム。
前記電極と前記被加工物の間に配置された浮遊電極であって、前記浮遊電極は、前記プラズマまたは液体内の電界成分とイオンエネルギーの両方を更に管理するように、レジスタ、インダクタおよびコンデンサから成る調整ネットワークに接続された状態にあり、前記浮遊電極は、金属、セラミック、半導体または電気絶縁体で作られる、請求項１２〜１６のいずれか一項に記載の非熱ソフトプラズマ洗浄システム。
前記プラズマまたは前記液体内の鉄を更に誘導するかまたは方向付けて、一掃する方向で穴のある前記被加工物に到達させるように配置された第２の誘電体部材を更に備える、請求項１２〜１７のいずれか一項に記載の非熱ソフトプラズマ洗浄システム。
前記金属浮遊電極は、プレート、穿孔を有するプレートまたはグリッドメッシュである、請求項１７に記載の非熱ソフトプラズマ洗浄システム。
非熱ソフトプラズマ洗浄システムであって、
流体を大気圧で収容する洗浄チャンバと、
前記洗浄チャンバ内に配置された電極であって、電力整合ユニットを通じて発電機に接続された電極と、および、
第１の穴を有する第１絶縁体部および第２の穴を有する第２絶縁体部を含む前記電極と接近して配置された、プラズマ誘導・増幅コンポーネントであって、前記第１の穴と前記第２の穴とは一列に並んでいないことにより、前記電極と被加工物との間に生じたプラズマの経路は実質的に真っすぐではない、プラズマ誘導・増幅コンポーネントとを、備える、非熱ソフトプラズマ洗浄システム。
前記プラズマと組み合わさって放電流体流を形成する原料ガスを含む、請求項２０に記載の前記非熱ソフトプラズマ洗浄システム。
前記洗浄チャンバ内の前記放電流体流を前記被加工物へと誘導する、または方向付けるための偏向器を含む、請求項２１に記載の前記非熱ソフトプラズマ洗浄システム。
前記洗浄チャンバ内の前記流体は、空気、ガス、または、液体である、請求項２０〜２２のいずれか一項に記載の非熱ソフトプラズマ洗浄システム。
前記流体が液体であるとき、前記流体は食塩水を含む、請求項２３に記載の非熱ソフトプラズマ洗浄システム。