JP2018506745A - 改善されたスイッチング効率を有する光スイッチ - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2015年2月24日に出願された米国特許出願第14/630,093号明細書の優先権を主張するものである。
Claims (20)
- 光信号を受け取って、第1の出力および第2の出力を提供するように構成された第1の光カプラと、
前記光信号の第1の部分のための第1の光路を提供するように構成され、前記第1の出力と光通信する第1の光導波路と、
前記光信号の第2の部分のための第2の光路を提供するように構成され、前記第2の出力と光通信する第2の光導波路と
を備える光デバイスであって、
少なくとも前記第1の光導波路は、前記第1の光路と前記第2の光路の間に位相差を提供するように構成されており、
前記第2の光導波路は、前記第1の光導波路と関連した横方向の熱拡散長さの範囲内に配置されており、
前記横方向の熱拡散長さは、前記第1の光路に対してほぼ直交する方向において熱効果の及ぶ距離である光デバイス。 - 前記第1の光導波路はシリコン材料から構築されており、前記位相差を提供するために、前記第1の光導波路は、前記シリコン材料への自由キャリアの注入を引き起こすためのドーパントでドープされており、前記自由キャリアの前記注入は前記熱効果を引き起こす請求項1に記載の光デバイス。
- 前記ドーパントは、前記第1の光導波路によって分離された2つの領域に配設され、前記横方向の熱拡散長さは、前記ドーパントのレベルが前記領域のうち少なくとも1つにおいて低下するとき増加する請求項2に記載の光デバイス。
- 前記ドーパントは、前記第1の光導波路によって分離された2つの領域に配設され、前記横方向の熱拡散長さは、前記領域の少なくとも1つが前記第1の光導波路に向かって低下するドーパントのレベルを備えるとき増加する請求項2に記載の光デバイス。
- 前記第2の光導波路は、前記第2の光導波路と前記第1の光導波路が前記横方向の熱拡散長さ未満の距離だけ分離されるように配置されている請求項1に記載の光デバイス。
- 前記第1の光導波路と前記第2の光導波路の間の前記距離は10マイクロメートル(μm)未満である請求項1に記載の光デバイス。
- 前記第1の光導波路はシリコン基板層上に配設されており、前記横方向の熱拡散長さは、前記シリコン基板層が前記第1の光導波路と前記シリコン基板層の間に気孔を形成するように熱アンダーカットされたとき増加する請求項1に記載の光デバイス。
- 前記第1の光導波路および前記第2の光導波路と光通信する第2の光カプラをさらに備える光デバイスであって、前記第1の光導波路および前記第2の光導波路は前記第1の光カプラと前記第2の光カプラの間に配置されており、前記光デバイスはN×Nの光スイッチである請求項1に記載の光デバイス。
- 前記第1の光導波路および前記第2の光導波路は、
第1の方向に共に延び、
互いに交わることなく、前記第1の方向と反対の第2の方向へ共に向きを変えるようにさらに構成されている請求項1に記載の光デバイス。 - マッハツェンダ干渉計である請求項1に記載の光デバイス。
- マイケルソンの干渉計である請求項1に記載の光デバイス。
- 第1の光導波路を光スプリッタに結合して、光信号から分割された光の第1の部分のための第1の光路を提供するステップであって、前記第1の光導波路には、電界によって自由キャリアの注入を引き起こすドーパントが打ち込まれており、前記自由キャリアの注入が、前記第1の光路に対してほぼ直交する方向における横方向の熱拡散長さの範囲内に及ぶ熱効果に関連づけられる、ステップと、
第2の光導波路を前記光スプリッタに結合して、前記光信号から分割された光の第2の部分のための第2の光路を提供するステップと、
前記第2の光導波路を、前記第2の光導波路と前記第1の光導波路が前記横方向の熱拡散長さに基づく距離だけ分離されてほぼ平行になるように配置するステップと
を備える方法。 - 前記距離は前記横方向の熱拡散長さ未満である請求項12に記載の方法。
- 前記距離は10マイクロメートル未満である請求項12に記載の方法。
- 前記第1の光導波路および前記第2の光導波路を前記第1の方向に共に延ばすステップと、
前記第1の光導波路および前記第2の光導波路を、前記第1の方向に対して約180度の第2の方向へ、前記第1の光導波路と前記第2の光導波路が互いに交わることのないように共に向きを変えるステップと
をさらに備える請求項12に記載の方法。 - 前記第1の光導波路および前記第2の光導波路が前記光スプリッタと前記光結合器の間に配置されるように、前記第1の光導波路および前記第2の光導波路に対して光結合器を結合するステップをさらに備える請求項11に記載の方法。
- 光信号を受け取って第1の出力および第2の出力を提供するように構成された第1の光カプラと、
前記光信号の第1の部分のための第1の光路を提供するように構成され、前記第1の出力と光通信する第1の光導波路と、
前記光信号の第2の部分のための第2の光路を提供するように構成され、前記第2の出力と光通信する第2の光導波路と
を備える光デバイスであって、
少なくとも前記第1の光導波路が、ドーパントをドープされて、前記第1の光路と前記第2の光路の間に位相差を提供し、
前記第1の光導波路と前記第2の光導波路が、第1の方向に共に延び、次いで前記第1の方向と反対の第2の方向へ、互いに交わることなく向きを変えるようにさらに構成されている光デバイス。 - 前記第1の光導波路は、互いにほぼ平行に配置された第1の部分および第2の部分を備え、前記第2の光導波路は、互いにほぼ平行に配置された第1の部分および第2の部分を備える請求項17に記載の光デバイス。
- 前記第1の光導波路は前記第2の光導波路から距離を離して配置されており、前記距離は前記第1の光導波路に関連した横方向の熱拡散長さ未満である請求項17に記載の光デバイス。
- 前記第1の光導波路および前記第2の光導波路と光通信する第2の光カプラをさらに備える光デバイスであって、前記第1の光導波路および前記第2の光導波路は前記第1の光カプラと前記第2の光カプラの間に配置されており、前記第2の光カプラは、
前記位相差が約0度であるとき、前記光信号の前記第1の部分と前記第2の部分を結合して第3の出力を提供し、
前記位相差が約180度であるとき、前記光信号の前記第1の部分と前記第2の部分を結合して第4の出力を提供するように構成されている請求項17に記載の光デバイス。
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