JP2018195636A - 受光素子、受光装置及び撮像装置 - Google Patents
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Abstract
Description
先ず、第1の実施形態について説明する。第1の実施形態は、2種類の波長の光を検出できる受光素子に関する。図1は、第1の実施形態に係る受光素子の構成を示す図であり、図2は、受光素子に含まれる受光セルの構成を示す断面図である。
次に、第2の実施形態について説明する。第2の実施形態は、受光セル10内の電極11及び12の配置の点で第1の実施形態と相違する。図4は、第2の実施形態に係る受光素子の構成を示す図である。
次に、第3の実施形態について説明する。第3の実施形態は、受光セル10内の電極11及び12の配置の点で第1の実施形態と相違する。図5は、第3の実施形態に係る受光素子の構成を示す図である。
次に、第4の実施形態について説明する。第4の実施形態は、受光セル10の平面形状の点で第3の実施形態と相違する。図6は、第4の実施形態に係る受光素子の構成を示す図である。
次に、第5の実施形態について説明する。第5の実施形態は、3種類の波長の光を検出できる受光素子に関する。図7は、第5の実施形態に係る受光素子の構成を示す図であり、図8は、受光素子に含まれる受光セルの構成を示す断面図である。
次に、第6の実施形態について説明する。第6の実施形態は、受光セル20内の電極21〜23の配置の点で第5の実施形態と相違する。図9は、第6の実施形態に係る受光素子の構成を示す図である。
次に、第7の実施形態について説明する。第7の実施形態は、4種類の波長の光を検出できる受光素子に関する。図10は、第7の実施形態に係る受光素子の構成を示す図である。
次に、第8の実施形態について説明する。第8の実施形態は、受光素子を含む撮像装置に関する。図12は、第8の実施形態に係る撮像装置を示す図である。
基板と、
前記基板上に二次元に配列した複数の受光セルと、
を有し、
前記受光セルは各々複数の電極を表面に有し、
前記受光セルの平面形状は六角形であり、
隣り合う前記受光セルの間で、六角形の2頂点及び1辺が共有されることを特徴とする受光素子。
前記受光セルは前記複数の電極として第1の電極及び第2の電極を有し、
六角形の6頂点のうち、前記第1の電極が最も近接する第1の最近接頂点と、前記第2の電極が最も近接する第2の最近接頂点とは2頂点を挟んで離れており、
各頂点について、当該頂点を共有する複数の受光セルの間で、当該頂点を最近接頂点とする電極を有する受光セルの数は1であることを特徴とする付記1に記載の受光素子。
前記受光セルは、順に積層された第1のコンタクト層、第1の活性層、第2のコンタクト層、第2の活性層及び第3のコンタクト層を有し、
前記第1の電極は前記第2のコンタクト層に電気的に接続され、
前記第2の電極は前記第3のコンタクト層に電気的に接続され、
前記第1の活性層及び前記第2の活性層の間で吸収する光の波長が相違していることを特徴とする付記2に記載の受光素子。
前記受光セルは、順に積層された第1のコンタクト層、活性層及び第2のコンタクト層を有し、
前記第1の電極は前記第1のコンタクト層に電気的に接続され、
前記第2の電極は前記第2のコンタクト層に電気的に接続されていることを特徴とする付記2に記載の受光素子。
前記受光セルは前記複数の電極として第1の電極、第2の電極及び第3の電極を有し、
六角形の6辺のうち、前記第1の電極が最も近接する第1の最近接辺と、前記第2の電極が最も近接する第2の最近接辺と、前記第3の電極が最も近接する第3の最近接辺とは1辺を挟んで離れており、
各辺について、当該辺を共有する2つの受光セルの間で、当該辺を最近接辺とする電極を有する受光セルの数は1であることを特徴とする付記1に記載の受光素子。
前記受光セルは前記複数の電極として第1の電極、第2の電極及び第3の電極を有し、
六角形の6辺のうち、前記第1の電極が最も近接する第1の最近接頂点と、前記第2の電極が最も近接する第2の最近接頂点とが2頂点を挟んで離れており、第3の電極が前記第1の電極及び前記第2の電極の間に位置し、
各頂点について、当該頂点を共有する複数の受光セルの間で、当該頂点を最近接頂点とする電極を有する受光セルの数が1であることを特徴とする付記1に記載の受光素子。
前記受光セルは、順に積層された第1のコンタクト層、第1の活性層、第2のコンタクト層、第2の活性層、第3のコンタクト層、第3の活性層及び第4のコンタクト層を有し、
前記第1の電極は前記第2のコンタクト層に電気的に接続され、
前記第2の電極は前記第3のコンタクト層に電気的に接続され、
前記第3の電極は前記第4のコンタクト層に電気的に接続され、
前記第1の活性層、前記第2の活性層及び前記第3の活性層の間で吸収する光の波長が相違していることを特徴とする付記5又は6に記載の受光素子。
前記受光セルは前記複数の電極として第1の電極、第2の電極、第3の電極及び第4の電極を有し、
六角形の6辺のうち、前記第1の電極が最も近接する第1の最近接辺と、前記第2の電極が最も近接する第2の最近接辺と、前記第3の電極が最も近接する第3の最近接辺とは1辺を挟んで離れており、第4の電極が前記第1の電極、前記第2の電極及び前記第3の電極の中心に位置し、
各辺について、当該辺を共有する複数の受光セルの間で、当該辺を最近接辺とする電極を有する受光セルの数は1であることを特徴とする付記1に記載の受光素子。
前記受光セルの平面形状が正六角形であることを特徴とする付記1乃至8のいずれか1項に記載の受光素子。
前記受光セルの平面形状を六角形ABCDEFと表したとき、
辺AB、辺BC、辺DE及び辺EFの長さが第1の長さであり、
辺CD及び辺FAの長さが前記第1の長さより短い第2の長さであり、
角A、角C、角D及び角Fの角度が等しく、
辺CD及び辺FA間の距離は、頂点B及び頂点E間の距離の1.8〜2.2倍であることを特徴とする付記2乃至4のいずれか1項に記載の受光素子。
前記基板の厚さが100μm以下であることを特徴とする付記1乃至10のいずれか1項に記載の受光素子。
前記基板は、III-V族化合物半導体基板であることを特徴とする付記1乃至11のいずれか1項に記載の受光素子。
前記基板は、シリコン基板又はガラス基板上に形成されていることを特徴とする付記1乃至12のいずれか1項に記載の受光素子。
前記受光セルは、赤外線を電気信号に変換することを特徴とする付記1乃至13のいずれか1項に記載の受光素子。
付記1乃至14のいずれか1項に記載の受光素子と、
前記受光素子に接続された読み出し集積回路と、
を有することを特徴とする受光装置。
前記受光素子と前記読み出し集積回路とがインジウム又はインジウム合金のバンプを介して接続されていることを特徴とする付記15に記載の受光装置。
前記受光素子と前記読み出し集積回路とが銅又は銅合金のバンプを介して接続されていることを特徴とする付記15に記載の受光装置。
付記15乃至17のいずれか1項に記載の受光装置を有することを特徴とする撮像装置。
基板上に二次元に配列した複数の受光セルを形成する工程を有し、
前記受光セルは各々複数の電極を表面に有し、
前記受光セルの平面形状は六角形とし、
隣り合う前記受光セルの間で、六角形の2頂点及び1辺を共有させることを特徴とする受光素子の製造方法。
11〜12、21〜23、31〜34:電極
100、200、300、400、500、600、700:受光素子
800:撮像装置
801:受光素子
802:読み出し集積回路(ROIC)
Claims (12)
- 基板と、
前記基板上に二次元に配列した複数の受光セルと、
を有し、
前記受光セルは各々複数の電極を表面に有し、
前記受光セルの平面形状は六角形であり、
隣り合う前記受光セルの間で、六角形の2頂点及び1辺が共有されることを特徴とする受光素子。 - 前記受光セルは前記複数の電極として第1の電極及び第2の電極を有し、
六角形の6頂点のうち、前記第1の電極が最も近接する第1の最近接頂点と、前記第2の電極が最も近接する第2の最近接頂点とは2頂点を挟んで離れており、
各頂点について、当該頂点を共有する複数の受光セルの間で、当該頂点を最近接頂点とする電極を有する受光セルの数は1であることを特徴とする請求項1に記載の受光素子。 - 前記受光セルは、順に積層された第1のコンタクト層、第1の活性層、第2のコンタクト層、第2の活性層及び第3のコンタクト層を有し、
前記第1の電極は前記第2のコンタクト層に電気的に接続され、
前記第2の電極は前記第3のコンタクト層に電気的に接続され、
前記第1の活性層及び前記第2の活性層の間で吸収する光の波長が相違していることを特徴とする請求項2に記載の受光素子。 - 前記受光セルは、順に積層された第1のコンタクト層、活性層及び第2のコンタクト層を有し、
前記第1の電極は前記第1のコンタクト層に電気的に接続され、
前記第2の電極は前記第2のコンタクト層に電気的に接続されていることを特徴とする請求項2に記載の受光素子。 - 前記受光セルは前記複数の電極として第1の電極、第2の電極及び第3の電極を有し、
六角形の6辺のうち、前記第1の電極が最も近接する第1の最近接辺と、前記第2の電極が最も近接する第2の最近接辺と、前記第3の電極が最も近接する第3の最近接辺とは1辺を挟んで離れており、
各辺について、当該辺を共有する2つの受光セルの間で、当該辺を最近接辺とする電極を有する受光セルの数は1であることを特徴とする請求項1に記載の受光素子。 - 前記受光セルは前記複数の電極として第1の電極、第2の電極及び第3の電極を有し、
六角形の6辺のうち、前記第1の電極が最も近接する第1の最近接頂点と、前記第2の電極が最も近接する第2の最近接頂点とが2頂点を挟んで離れており、第3の電極が前記第1の電極及び前記第2の電極の間に位置し、
各頂点について、当該頂点を共有する複数の受光セルの間で、当該頂点を最近接頂点とする電極を有する受光セルの数が1であることを特徴とする請求項1に記載の受光素子。 - 前記受光セルは、順に積層された第1のコンタクト層、第1の活性層、第2のコンタクト層、第2の活性層、第3のコンタクト層、第3の活性層及び第4のコンタクト層を有し、
前記第1の電極は前記第2のコンタクト層に電気的に接続され、
前記第2の電極は前記第3のコンタクト層に電気的に接続され、
前記第3の電極は前記第4のコンタクト層に電気的に接続され、
前記第1の活性層、前記第2の活性層及び前記第3の活性層の間で吸収する光の波長が相違していることを特徴とする請求項5又は6に記載の受光素子。 - 前記受光セルは前記複数の電極として第1の電極、第2の電極、第3の電極及び第4の電極を有し、
六角形の6辺のうち、前記第1の電極が最も近接する第1の最近接辺と、前記第2の電極が最も近接する第2の最近接辺と、前記第3の電極が最も近接する第3の最近接辺とは1辺を挟んで離れており、第4の電極が前記第1の電極、前記第2の電極及び前記第3の電極の中心に位置し、
各辺について、当該辺を共有する複数の受光セルの間で、当該辺を最近接辺とする電極を有する受光セルの数は1であることを特徴とする請求項1に記載の受光素子。 - 前記受光セルの平面形状が正六角形であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の受光素子。
- 前記受光セルの平面形状を六角形ABCDEFと表したとき、
辺AB、辺BC、辺DE及び辺EFの長さが第1の長さであり、
辺CD及び辺FAの長さが前記第1の長さより短い第2の長さであり、
角A、角C、角D及び角Fの角度が等しく、
辺CD及び辺FA間の距離は、頂点B及び頂点E間の距離の1.8〜2.2倍であることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項に記載の受光素子。 - 請求項1乃至10のいずれか1項に記載の受光素子と、
前記受光素子に接続された読み出し集積回路と、
を有することを特徴とする受光装置。 - 請求項11に記載の受光装置を有することを特徴とする撮像装置。
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