JP2018193563A - 粘着シート - Google Patents
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Abstract
Description
1つの実施形態においては、上記粘着剤層中の粘着剤を構成する材料のsp値が、7(cal/cm3)1/2〜10(cal/cm3)1/2である。
1つの実施形態においては、上記粘着剤層のプローブタック値が、50N/5mmφ以上である。
1つの実施形態においては、上記粘着剤層が、アクリル系粘着剤を含む。
1つの実施形態においては、上記アクリル系粘着剤が、ベースポリマーとして、側鎖に炭素数が4以上のアルキルエステルを有するアクリル系ポリマーを含む。
1つの実施形態においては、上記アクリル系ポリマー中、側鎖に炭素数が4以上のアルキルエステルを有する構成単位の含有割合が、該アクリル系ポリマーを構成する全構成単位に対して、30重量%以上である。
1つの実施形態においては、上記粘着剤層が、ゴム系粘着剤を含む。
1つの実施形態においては、上記粘着剤層が、シリコーン系粘着剤を含む。
1つの実施形態においては、上記シリコーン系粘着剤が、ベースポリマーとして、シリコーンゴムおよびシリコーンレジンを含み、該シリコーンゴムとシリコーンレジンの重量比(ゴム:レジン)が、100:0〜100:220である。
1つの実施形態においては、上記粘着剤層が、熱膨張性微小球をさらに含む。
1つの実施形態においては、上記熱膨張性微小球を加熱する前における、上記粘着剤層の算術表面粗さRaが、500nm以下である。
1つの実施形態においては、本発明の粘着シートは、23℃の環境温度下、前記粘着剤層外面全面をベークライト板に貼り合わせ、40℃の環境温度下で30分間エージングし、その後、1.96Nの荷重を加えつつ2時間保持した際に、該ベークライト板に対するズレが、0.5mm以下である。
1つの実施形態においては、本発明の粘着シートは、基材層をさらに備え、該基材層の片側または両側に、前記粘着剤層が配置される。
1つの実施形態においては、上記基材層と上記粘着剤層との投錨力が、6.0N/19mm以上である。
本発明の粘着シートは粘着剤層を備える。本発明の粘着シートは、該粘着剤層のみから構成されていてもよく、該粘着剤層の他に任意の適切な層をさらに備えていてもよい。粘着剤層以外の層としては、例えば、支持体として機能し得る基材層、粘着剤層上に剥離可能に配置されたセパレーター等が挙げられる。また、上記粘着剤層の他、別の粘着剤層をさらに備えていてもよい。別の粘着剤層は、公知の構成であってもよい。
上記粘着剤層は、表面における、4−ターシャリーブチルフェニルグリシジルエーテルに対する接触角が、15°以上であり、より好ましくは20°以上であり、さらに好ましくは30°〜100°であり、特に好ましくは40°〜60°である。
上記粘着剤層を構成する粘着剤としては、本発明の効果が得られる限りにおいて、任意の適切な粘着剤が用いられ得る。好ましくは、sp値が上記範囲にあるベースポリマーを含む粘着剤が用いられる。該粘着剤としては、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、シリコーン系粘着剤等が挙げられる。なかでも、アクリル系粘着剤が好ましく用いられ得る。また、粘着剤として、活性エネルギー線硬化型粘着剤を用いてもよい。
上記アクリル系粘着剤としては、例えば、(メタ)アクリル酸アルキルエステルの1種または2種以上を単量体成分として用いたアクリル系ポリマー(ホモポリマーまたはコポリマー)をベースポリマーとするアクリル系粘着剤等が挙げられる。
上記ゴム系粘着剤としては、本発明の効果が得られる限り、任意の適切な粘着剤が用いられ得る。上記ゴム系粘着剤として、例えば、天然ゴム;ポリイソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレン・ブタジエン(SB)ゴム、スチレン・イソプレン(SI)ゴム、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体(SIS)ゴム、スチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体(SBS)ゴム、スチレン・エチレン・ブチレン・スチレンブロック共重合体(SEBS)ゴム、スチレン・エチレン・プロピレン・スチレンブロック共重合体(SEPS)ゴム、スチレン・エチレン・プロピレンブロック共重合体(SEP)ゴム、再生ゴム、ブチルゴム、ポリイソブチレンゴム、またはこれらの変性体等の合成ゴム;等をベースポリマーとするゴム系粘着剤が好ましく用いられる。これらのベースポリマー(ゴム)はsp値が低く、該ベースポリマーを用いれば、封止材料との親和性が低い粘着剤層を形成することができる。
上記シリコーン系粘着剤としては、本発明の効果が得られる限り、任意の適切な粘着剤が用いられ得る。上記シリコーン系粘着剤として、例えば、オルガノポリシロキサンを含むシリコーンゴムまたはシリコーンレジン等をベースポリマーとするシリコーン系粘着剤が好ましく用いられる。シリコーン系粘着剤を構成するベースポリマーとして、上記シリコーンゴムまたはシリコーンレジンを、架橋して得られたベースポリマーを用いてもよい。なお、本明細書において、「シリコーンゴム」とは、主成分としてのジオルガノシロキサン(D単位)が直鎖状に連なった重合体(例えば、粘度1000Pa・s)を意味し、「シリコーンレジン」とは、主成分としてのトリオルガノシルヘミオキサン(M単位)とシリケート(Q単位)から構成される重合体を意味する(「粘着剤(フィルム・テープ)の材料設計と機能性付与」、技術情報協会、2009年9月30日発刊)。
上記粘着剤として、活性エネルギー線の照射により硬化(高弾性率化)し得る活性エネルギー線硬化型粘着剤を用いてもよい。活性エネルギー線硬化型粘着剤を用いれば、貼り付け時には低弾性で柔軟性が高く取り扱い性に優れ、剥離を要する場面においては、活性エネルギー線を照射することにより粘着力を低下させ得る粘着シートを得ることができる。活性エネルギー線としては、例えば、ガンマ線、紫外線、可視光線、赤外線(熱線)、ラジオ波、アルファ線、ベータ線、電子線、プラズマ流、電離線、粒子線等が挙げられる。なお、本明細書において、単に「粘着剤層」という場合は、粘着剤が硬化して粘着力が低下する前の粘着剤層を意味する。
1つの実施形態においては、上記粘着剤層は、熱膨張性微小球をさらに含む。熱膨張性微小球を含む粘着剤層を備える粘着シートは、加熱されることにより、該熱膨張性微小球が膨張または発砲して粘着面に凹凸が生じ、その結果、粘着力が低下または消失する。このような粘着シートは、加熱することにより容易に剥離することができる。
1つの実施形態においては、本発明の粘着シートは、粘着剤層と基材層とを備える。図2(a)は、本発明の1つの実施形態による粘着シートの概略断面図である。この粘着シート100は、粘着剤層10と粘着剤層10の片側に配置される基材層30とを含む。図2(b)は、本発明の別の実施形態による粘着シートの概略断面図である。この粘着シート200は、粘着剤層10と基材層30とを含み、基材層30の両側に粘着剤層10が配置される。2層ある粘着剤層は、それぞれ同じ構成の粘着剤層であってもよく、異なる構成の粘着剤層であってもよい。なお、基材層の片側に上記粘着剤層を備え、もう一方の面に別の粘着剤層を備える構成であってもよい。
本発明の粘着シートは、弾性層をさらに備え得る。図3は、本発明の1つの実施形態による粘着シートの概略断面図である。粘着シート300は、弾性層40をさらに備える。弾性層40は、粘着剤層10が上記熱膨張性微小球を含む場合に、好ましく配置され得る。また、粘着シート300が、基材層30を備える場合、弾性層40は、図示例のように粘着剤層10と基材層30との間に配置されていてもよく、基材層の粘着剤層とは反対側に設けられていてもよい。弾性層40は、2層以上設けられていてもよい。なお、図3においは、弾性層40を1層有し、該弾性層40が、粘着剤層10と基材層30との間に配置されている例を示している。弾性層40を備えることにより、被着体に対する追従性が向上する。また、弾性層40を備える粘着シートは、剥離時に加熱した際には、粘着剤層の面方向の変形(膨張)が拘束され、厚み方向の変形が優先される。その結果、剥離性が向上する。
本発明の粘着シートは、必要に応じて、セパレーターをさらに備え得る。該セパレーターは少なくとも一方の面が剥離面となっており、上記粘着剤層を保護するために設けられ得る。セパレーターは、任意の適切な材料から構成され得る。
本発明の粘着シートは、任意の適切な方法により製造することができる。本発明の粘着シートは、例えば、基材層(基材層を含まない粘着シート得る場合には、任意の適切な基体)上に直接、粘着剤を含む組成物を塗工する方法、または任意の適切な基体上に粘着剤を含む組成物を塗工し形成された塗工層を基材層に転写する方法等が挙げられる。粘着剤を含む組成物は、任意の適切な溶媒を含み得る。
粘着シートを、粘着剤層が上になるようにしてスライドガラス上に置き、粘着剤層表面の4−ターシャリーブチルフェニルグリシジルエーテルに対する接触角を測定した。
粘着剤層表面に、4−ターシャリーブチルフェニルグリシジルエーテルを2μl滴下して5秒後の接触角を測定した(N=5)。接触角の測定は、接触角計(協和界面社製、商品名「CX−A型」)を用い、23℃、50%RHの雰囲気下で行った。
(2)sp値
粘着シート形成後の粘着剤層中のポリマーのsp値を、フェドーズ(Fedors)の方法(山本秀樹著、「sp値 基礎・応用と計算方法」、株式会社情報機構出版、2006年4月3日発行、66〜67ページ)により算出した。具体的には、該sp値は、ポリマーを形成する各原子または原子団の25℃における蒸発エネルギーΔe(cal)と、ポリマーを形成する各原子または原子団の25℃におけるモル容積ΔV(cm3)とから、以下の式により算出した。
Sp値=(ΣΔe/ΣΔv)1/2
また、ポリマーが共重合体である場合、そのSP値は、その共重合体を構成する各構成単位のそれぞれの単独共重合体のSP値を算出し、これらのSP値のそれぞれに各構成単位のモル分率を乗じたものを合算して算出される。
上記の場合、各構成単位の分析方法(ポリマーの組成分析)は、該粘着シートから粘着剤層だけを適宜採取し、ジメチルホルムアミド(DMF)、アセトン、メタノール、テトラヒドロフラン(THF)など有機溶媒に浸漬して得られる溶媒可溶部分を回収し、ゲルろ過浸透クロマトグラフ(GPC)、核磁気共鳴分光法(NMR)、赤外分光法(IR)、質量分析の分析方法から求めることができる。
(3)粘着力
粘着シート(幅20mm×長さ140mm)の粘着剤層とは反対側の面の全面に、両面接着テープ(日東電工社製、商品名「No.531」)を介して、SUS304板を、2kgハンドローラーを用いて貼着した。
次いで、粘着剤層の表面全面に、ポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ社製、商品名「ルミラーS−10」、厚さ:25μm、幅:30mm)を貼着した(温度:23℃、湿度:65%、2kgローラー1往復)。
上記のようにして得られた評価用試料を、引っ張り試験に供した。引っ張り試験機としては、島津製作社製の商品名「島津オートグラフAG−120kN」を用いた。引っ張り試験機に評価用試料をセットした後、23℃の環境温度下で30分間放置した後に、引っ張り試験を開始した。引っ張り試験の条件は、剥離角度:180°、剥離速度(引っ張り速度):300mm/minとした。上記PETフィルムから粘着シートを剥離した時の荷重を測定し、その際の最大荷重を粘着シートの粘着力とした。
(4)投錨力
粘着シート(幅20mm×長さ140mm)の粘着剤層とは反対側の面の全面に、両面接着テープ(日東電工株式会社、商品名「No.531」)を介して、SUS304板(幅40mm×長さ120mm)を、2kgハンドローラーを用いて貼着した。
次いで、評価用シート(日東電工株式会社、商品名「No.315テープ」、幅19mm×長さ150mm)を貼着した(温度:23℃、湿度:65%、2kgローラー1往復)。
上記のようにして得られた評価用試料を、引っ張り試験に供した。引っ張り試験機としては、島津製作社製の商品名「島津オートグラフAG−120kN」を用いた。引っ張り試験の条件は、剥離角度:180°、剥離速度(引っ張り速度):50mm/minとした。上記評価用シートを把持して、粘着シートの基材層から粘着剤層を剥離しようとした時の荷重を測定し、その際の最大荷重を基材層と粘着剤層との投錨力とした。
(5)タック値
粘着シート(幅20mm×長さ50mm)の粘着剤層とは反対側の面の全面に、両面接着テープ(日東電工株式会社、商品名「No.531」)を介して、スライドガラス(松浪ガラス工業社製、26mm×76mm)を、2kgハンドローラーを用いて貼着した。
上記のようにして得られた評価用試料における粘着剤層外面のプローブタック値を、プローブタック測定機(RHESCA社製、商品名「TACKINESS Model TAC−II」)を用いて測定した。測定条件は、プローブ加工速度(Immersion speed):30mm/min、テスト速度(test speed):30mm/min、密着荷重(Prelod):100gf、密着保持時間(press time):1秒、プローブエリア(Probe Area):5mmφSUSとした。
(6)保持力試験
23℃の環境温度下で、粘着シート(幅10mm×長さ150mm)の粘着剤層外面全面を、ベークライト板(フタムラ化学社製、商品名「タイコーライトFL−102」、幅25mm×長さ125mm×厚さ2mm)の中央部分に、2kgハンドローラーを用いて貼着した。
上記のようにして得られた評価用試料に、40℃の環境温度下で30分間放置してエージングした後、テープクリープ試験機(今田製作所社製、形式/型番「12連重錘式/041」)を用いて、1.96Nの荷重を加え、該状態を維持して2時間放置した。
ベークライト板上における加圧前の位置を基準に、加圧による粘着シートの移動距離(ズレ)を測定した。該移動距離が短いほど保持力が高いことを示す。
(7)表面粗さ
粘着シートの粘着剤層表面の算術表面粗さRaを、JIS B0601に準じて測定した。測定機には、光学式表面粗さ計(Veeco Metrogy Group社製、商品名「Wyko NT9100」)を用いた。
(8)スタンドオフ抑制効果
ナフタレン型2官能エポキシ樹脂(DIC社製、商品名「HP4032D」、エポキシ当量:144)100重量部と、フェノキシ樹脂(三井化学社製、商品名「EP4250」)40重量部と、フェノール樹脂(明和化成社製、商品名「MEH−8000」)129重量部と、球状シリカ(アドマテックス社製、商品名「SO−25R」)1137重量部と、染料(オリエント化学工業社製、商品名「OIL BLACK BS」)14重量部と、硬化触媒(四国化成社製、商品名「2PHZ−PW」)1重量部と、メチルエチルケトン30重量部とを混合して、樹脂溶液A(固形分濃度:23.6重量%)を調製した。
粘着シートの粘着剤層上に、Siウエハ(1cm×1cm、厚み500μm)を載せ、さらに、該粘着剤層上で該Siウエハを覆い封止するようにして、上記樹脂溶液Aを塗布し、(塗布サイズ:3cm×3cm)、樹脂溶液を170℃で10分間加熱して硬化させ、粘着シートの粘着剤層上でSiウエハと封止樹脂とからなる構造体を形成させた。
冷却後、粘着シートを構造体から剥離した。剥離後の粘着シートについて、Siウエハと接触していなかった部分の粘着剤層の厚みと、Siウエハと接触していた部分の粘着剤層の厚みとの差をスタンドオフ量とした。
(9)糊残り性
上記(8)のようにして、粘着シート上でSiウエハと封止樹脂とからなる構造体を形成させ、冷却後、粘着シートを構造体から剥離した。剥離後、上記構造体の貼着面を顕微鏡(キーエンス社製、商品名「VHX−100」、倍率:150倍)で観察し、構造体に付着したままの粘着剤層成分の有無を確認した。表1中、粒径100μm(不定形上の場合は、最長辺の長さが100μm)以上の付着物が5個未満の場合を○、5個以上の場合を×とした。
ベースポリマーとしてのアクリル系コポリマー(アクリル酸2エチルヘキシルとヒドロキシエチルアクリレートのコポリマー、アクリル酸2エチルヘキシル構成単位:ヒドロキシエチルアクリレート構成単位=100:5(重量比))100重量部と、イソシアネート系架橋剤(日本ポリウレタン社製、商品名「コロネートL」1.5重量部と、テルペンフェノール系粘着付与樹脂(ヤスハラケミカル社製、商品名「YSポリスターS145」)10重量部と、トルエン100重量部とを混合し、粘着剤層形成用組成物を調製した。
該粘着剤層形成用組成物を、基材層としてのポリテトラフルオロエチレンフィルム(東レ社製、商品名「ルミラーS10」、厚み38μm)の片面に塗工して、基材層と粘着剤層(厚み10μm)とから構成される粘着シートを得た。
ベースポリマーとしてのアクリル系コポリマー(アクリル酸2エチルヘキシルとアクリル酸とトリメチロールプロパンアクリラートとのコポリマー、アクリル酸2エチルヘキシル構成単位:アクリル酸構成単位:トリメチロールプロパンアクリラート構成単位=100:3:0.03(重量比))100重量部と、エポキシ系架橋剤(三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドC」)0.5重量部と、テルペンフェノール系粘着付与樹脂(ヤスハラケミカル社製、商品名「YSポリスターS145」)10重量部と、トルエン100重量部とを混合し、粘着剤層形成用組成物を調製した。
該粘着剤層形成用組成物を、基材層としてのポリテトラフルオロエチレンフィルム(東レ社製、商品名「ルミラーS10」、厚み38μm)の片面に塗工して、基材層と粘着剤層(厚み10μm)とから構成される粘着シートを得た。
付加反応型シリコーン系粘着剤(東レ社製、商品名「シリコーンゴムSD−4580L」、シリコーンゴム:シリコーンレジン=60:40(重量比))100重量部と、白金系触媒(東レ社製、商品名「SRX−212」)0.5重量部と、トルエン100重量部とを混合し、粘着剤層形成用組成物を調製した。
該粘着剤層形成用組成物を、基材層としてのポリイミドフィルム(東レデュポン社製、商品名「カプトン200H」、厚み50μm)の片面に塗工して、基材層と粘着剤層(10μm)とから構成される粘着シートを得た。
ポリイソブチレン系ゴム(BASFジャパン社製、商品名「オパノールB80」)100重量部と、水酸基含有ポリオレフィン(出光興産社製、商品名「エポール」)1.5重量部と、イソシアネート系架橋剤(日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートL」)4重量部と、トルエン200重量部とを混合し、粘着剤層形成用組成物を調製した。
該粘着剤形成用組成物を、基材層としてのポリテトラフルオロエチレンフィルム(東レ社製、商品名「ルミラーS10」、厚み38μm)の片面に塗工して、基材層と粘着剤層(厚み10μm)とから構成される粘着シートを得た。
粘着剤層形成用組成物に、熱膨張性微小球(松本油脂製薬社製、商品名「マツモトマイクロスフェアーF−50」)30重量部をさらに添加し、粘着剤層の厚みを40μmとした以外は、実施例1と同様にして粘着シートを得た。
粘着剤層形成用組成物に、熱膨張性微小球(松本油脂製薬社製、商品名「マツモトマイクロスフェアーF−50」)30重量部をさらに添加し、粘着剤層の厚みを40μmとした以外は、実施例2と同様にして粘着シートを得た。
粘着剤層形成用組成物に、熱膨張性微小球(松本油脂製薬社製、商品名「マツモトマイクロスフェアーF−50」)30重量部をさらに添加し、粘着剤層の厚みを40μmとした以外は、実施例3と同様にして粘着シートを得た。
粘着剤層形成用組成物に、熱膨張性微小球(松本油脂製薬社製、商品名「マツモトマイクロスフェアーF−50」)30重量部をさらに添加し、粘着剤層の厚みを40μmとした以外は、実施例4と同様にして粘着シートを得た。
実施例1と同様にして、粘着剤層形成用組成物を調製した。
アクリル系コポリマー(アクリル酸エチルとアクリル酸2エチルヘキシルとヒドロキシエチルアクリレートとのコポリマー、アクリル酸エチル構成単位:アクリル酸2エチルヘキシル構成単位:ヒドロキシエチルアクリレート構成単位:70:30:5:6(重量比))100重量部と、イソシアネート系架橋剤(日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートL」)2重量部と、トルエン100重量部とを混合し弾性層形成用組成物を調製した。
アクリル系コポリマー(アクリル酸エチルとアクリル酸2エチルヘキシルとヒドロキシエチルアクリレートとのコポリマー、アクリル酸エチル構成単位:アクリル酸2エチルヘキシル構成単位:ヒドロキシエチルアクリレート構成単位:70:30:5:6(重量比))100重量部と、イソシアネート系架橋剤(日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートL」)2重量部と、ロジンフェノール系粘着付与樹脂(住友ベークライト社製、商品名「スミライドレジン PR−12603」)15重量部と、熱膨張性微小球(松本油脂製薬社製、商品名「マツモトマイクロスフェアーF−50」)35重量部と、トルエン100重量部と混合し、別の粘着剤層形成用組成物を調製した。
上記粘着剤層形成用組成物を、基材層としてのPETフィルム(東レ社製、商品名「ルミラーS10」、厚み38μm)の片面に塗工して、基材層上に粘着剤層(厚み10μm)を形成した。また、該PETフィルムのもう一方の面に、弾性層形成用組成物を塗工して、基材層上に弾性層(厚み10μm)を形成した。
別途、別のPETフィルム上に上記別の粘着剤層形成用組成物を塗工して別の粘着剤層(厚み35μm)を形成した。該別の粘着剤層を上記弾性層上に転写して、粘着剤層/基材層/弾性層/別の粘着剤層からなる粘着シートを得た。
粘着剤層形成用組成物として、実施例2で得られた粘着剤層形成用組成物を用いた以外は、実施例9と同様にして粘着シートを得た。
粘着剤層形成用組成物として、実施例3で得られた粘着剤層形成用組成物を用いた以外は、実施例9と同様にして粘着シートを得た。
粘着剤層形成用組成物として、実施例4で得られた粘着剤層形成用組成物を用いた以外は、実施例9と同様にして粘着シートを得た。
アクリル系コポリマー(アクリル酸メチルとアクリル酸2エチルヘキシルとアクリル酸とのコポリマー、アクリル酸メチル構成単位:アクリル酸2エチルヘキシル構成単位:アクリル酸構成単位=15:85:8(重量比))100重量部と、エポキシ系架橋剤(三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドC」)3重量部と、テルペンフェノール系粘着付与樹脂(ヤスハラケミカル社製、商品名「YSポリスターS145」)10重量部と、トルエン100重量部とを混合し、粘着剤層形成用組成物を調製した。
該粘着剤層形成用組成物を、基材層としてのポリテトラフルオロエチレンフィルム(東レ社製、商品名「ルミラーS10」、厚み38μm)の片面に塗工して、基材層と粘着剤層(厚み10μm)とから構成される粘着シートを得た。
30 基材層
40 弾性層
100、200、300 粘着シート
Claims (16)
- 基材層と、該基材層の一方の面に配置された粘着剤層と、該基材層の他方の面に配置された粘着剤層または別の粘着剤層とを備える、粘着シートであって、
該粘着剤層表面の4−ターシャリーブチルフェニルグリシジルエーテルに対する接触角が、15°以上であり、
該粘着シートの23℃におけるポリエチレンテレフタレートに対する粘着力が、0.5N/20mm以上である、
粘着シート。 - 前記粘着剤層中の粘着剤を構成する材料のsp値が、7(cal/cm3)1/2〜10(cal/cm3)1/2である、請求項1に記載の粘着シート。
- 前記粘着剤層のプローブタック値が、50N/5mmφ以上である、請求項1または2に記載の粘着シート。
- 前記粘着剤層が、アクリル系粘着剤を含む、請求項1から3のいずれかに記載の粘着シート。
- 前記アクリル系粘着剤が、ベースポリマーとして、側鎖に炭素数が4以上のアルキルエステルを有するアクリル系ポリマーを含む、請求項4に記載の粘着シート。
- 前記粘着剤層が、ゴム系粘着剤を含む、請求項1から3のいずれかに記載の粘着シート。
- 前記粘着剤層が、シリコーン系粘着剤を含む、請求項1から3のいずれかに記載の粘着シート。
- 前記シリコーン系粘着剤が、ベースポリマーとして、シリコーンゴムおよびシリコーンレジンを含み、
シリコーンゴムとシリコーンレジンの重量比(ゴム:レジン)が、100:0〜100:220である、請求項7に記載の粘着シート。 - 前記粘着剤層が、熱膨張性微小球をさらに含む、請求項1から8のいずれかに記載の粘着シート。
- 前記熱膨張性微小球を加熱する前における、前記粘着剤層の算術表面粗さRaが、500nm以下である、請求項9に記載の粘着シート。
- 23℃の環境温度下、前記粘着剤層外面全面をベークライト板に貼り合わせ、40℃の環境温度下で30分間エージングし、その後、1.96Nの荷重を加えつつ2時間保持した際に、該ベークライト板に対するズレが、0.5mm以下である、請求項1から10のいずれかに記載の粘着シート。
- 前記基材層と前記粘着剤層との投錨力が、6.0N/19mm以上である、請求項11に記載の粘着シート。
- 弾性層をさらに備える、請求項1から12のいずれかに記載の粘着シート。
- 前記弾性層が、前記粘着剤層と前記基材層との間に配置されている、請求項13に記載の粘着シート。
- 前記弾性層の25℃における引っ張り弾性率が、100Mpa未満である、請求項13または14に記載の粘着シート。
- 封止樹脂により複数の半導体チップを一括に封止する際の仮固定材として用いられる、請求項1から15のいずれかに記載の粘着シート。
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