JP2018189231A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 眞空バルブシステムであって、
   体積流量又は質量流量を制御し、及び／又は、プロセス体積をガス密にシールするための眞空バルブ（４０、４０’、４０”、４０”’）を備え、前記眞空バルブは、
   ・開口軸（１４）を規定する弁開口部（１２、４２）の周りに伸ばされる弁座と、
   ・前記弁開口部（１２、４２）を実質的にガス密方法で閉じるための弁閉鎖体（１３、４１）、特に弁体と、及び
   ・少なくとも２つのシール面（１５、１８、４５、４８）であって、
   ・前記少なくとも２つのシール面の第１シール面（１５、４５）が、前記弁座に設けられ、かつ前記弁開口部（１２、４２）の周りに伸ばされ、
   ・前記少なくとも２つのシール面の第２シール面（１８、４８）が、前記弁閉鎖体（１３、４１）に設けられ、かつ前記第１シール面（１５,４５）に対応して形成されている、
   シール面（１５、１８、４５、４８）と、
   ・前記弁閉鎖体（１３、４１）に結合された駆動ユニット（１６）であって、その駆動ユニットは、前記弁閉鎖体（１３、４１）が、
   ・それぞれの弁開状態を提供するために、規定された方法で変更及び調整されることができ、かつ
   ・開位置（Ｏ）、そこにおいて前記弁閉鎖体（１３、４１）は前記弁開口部（１２、４２）を少なくとも部分的に開放する位置、から、閉位置、そこにおいて前記第２シール面（１８、４８）は前記第１シール面（１５、４５）の方向に押圧され且つ前記弁開口部（１２、４２）は実質的にガス密に閉じられる位置、へ移動可能である、
   ような方法で設計されている駆動ユニット（１６）と、
   を有し、
   前記眞空バルブシステムは、光学的センサユニット（２０、３０、５０、６０、７０、８０）を有し、前記光学的センサユニット（２０、３０、５０、６０、７０、８０）は、
   ・光学的測定信号を検出するように設計されており、
   ・前記光学的センサユニット（２０、３０、５０、６０、７０、８０）の光検出軸は、前記シール面（１５、１８、４５、４８）の１つの少なくとも部分に対する前記測定信号が検出されうるような方法で配向されているように配設され、
   前記測定信号は、前記弁閉鎖体（１３、４１）の試験位置において生成されうること、
   を特徴とする、
   前記眞空バルブシステム。
2. 前記シール面（１５、１８、４５、４８）の１つの少なくとも部分に対する前記測定信号は、前記弁閉鎖体（１３、４１）の特定の試験位置においてのみ発生させられうる、
   ことを特徴とする、
   請求項１に記載の眞空バルブシステム。
3. 前記眞空バルブ（４０、４０’、４０”、４０”’）は、外部環境から分離された真空領域を画定する、
   ことを特徴とする、
   請求項１又は２に記載の眞空バルブシステム。
4. ・前記光学的センサユニット（２０、３０、５０、６０、７０、８０）は、少なくとも部分的に前記真空領域内に配設され、且つ
   ・前記検出軸は、前記第２シール面（１８、４８）のための前記光学的測定信号を検出するために前記弁座の方向に向けられている、
   ことを特徴とする、
   請求項３に記載の眞空バルブシステム。
5. 前記眞空バルブ（４０、４０’、４０”、４０”’）は、少なくとも前記光学的測定信号に対して透過性の透過窓（２２、６２）を有する、
   ことを特徴とする、
   請求項１〜４の何れか１項に記載の眞空バルブシステム。
6. 前記光学的センサユニット（２０、３０、５０、６０、７０、８０）は、前記光学的測定信号が、前記透過窓（２２、６２）を介して前記光学的センサユニット（２０、３０、５０、６０、７０、８０）によって検出されるように前記外部環境に配設され、特に前記検出軸が前記透過窓（２２、６２）内にある、
   ことを特徴とする、
   請求項５に記載の眞空バルブシステム。
7. 前記透過窓（２２、６２）は、少なくとも２つのシール面（１５、１８、４５、４８）の１つの少なくとも一部分を形成する、
   ことを特徴とする、
   請求項５又は６に記載の眞空バルブシステム。
8. 前記光学的センサユニット（２０、３０、５０、６０、７０、８０）は、前記光学的測定信号を検出し且つ導くための光ファイバ（３１、５１、８１、８２）を備え、特に、前記光ファイバの少なくとも一部分、特にファイバ端部、が前記真空領域内に存在し、且つ少なくとも２つのシール面（１５、１８、４５、４８）の少なくとも１つに対する前記光学的測定信号を検出するように配設かつ配向されている、
   ことを特徴とする、
   請求項１〜７の何れか１項に記載の眞空バルブシステム。
9. 前記光学的センサユニット（２０、３０、５０、６０、７０、８０）は、前記弁閉鎖体（１３、４１）に接続され、特に前記弁閉鎖体（１３、４１）の少なくとも一部分に一体化されている、
   ことを特徴とする、
   請求項１〜８の何れか１項に記載の眞空バルブシステム。
10. 前記光学的センサユニット（２０、３０、５０、６０、７０、８０）は、
    ・カメラ、
    ・赤外線検出器、特に近赤外線検出器、特にＮＩＲ分光器、
    ・散乱光センサ、及び／又は
    ・ラマン検出器
    を有するビーム検出モジュール（２３、５３、６３、８３）を備えている、
    ことを特徴とする、
    請求項１〜９の何れか１項に記載の眞空バルブシステム。
11. 前記眞空バルブシステムは、検出された測定信号が処理ユニットによって処理され、且つ前記検出された測定信号に基づいて状態情報が生成されうるように形成された前記処理ユニットを備えている、
    ことを特徴とする、
    請求項１〜１０の何れか１項に記載の眞空バルブシステム。
12. ・前記状態情報は、前記第１又は第２シール面（１５、１８、４５、４８）の化学的、機械的、及び／又は、構造的完全性に関する情報を提供し、及び／又は
    ・前記状態情報は、画像処理によって、及び／又は、前記検出された測定信号の実際と目標の比較によって生成される、
    ことを特徴とする、
    請求項１１に記載の眞空バルブシステム。
13. 前記状態情報に基づいて、材料組成及び／又は材料組成の変化が、少なくとも２つのシール面（１５、１８、４５、４８）の１つの少なくとも検出可能な部分について推定されうる、
    ことを特徴とする、
    請求項１１又は１２に記載の眞空バルブシステム。
14. 前記状態情報は、
    ・前記少なくとも２つのシール面（１５、１８、４５、４８）の１つの少なくとも前記検出可能な部分の視覚的表現、特に前記シール面（１５、１８、４５、４８）の少なくとも前記検出可能な部分の画像として、又は
    ・分光測定信号、特に波長−強度曲線、を具現化するグラフ、又は
    ・前記検出された測定信号と特定の許容値との関係を特定する出力信号、
    として生成される、
    ことを特徴とする、
    請求項１１〜１３の何れか１項に記載の眞空バルブシステム。
15. 前記弁座は、
    ・前記眞空バルブに構造的に接続された前記眞空バルブの一部分によって形成されている、特に、前記弁座は、前記眞空バルブのハウジングに形成されている、又は
    ・プロセスチャンバ、特にチャンバハウジング、に備えられる、
    ことを特徴とする、
    請求項１〜１４の何れか１項に記載の眞空バルブシステム。