KR101410793B1 - 진자 플레이트 위치 측정 장치 및 이를 포함하는 진자 밸브 - Google Patents

진자 플레이트 위치 측정 장치 및 이를 포함하는 진자 밸브 Download PDF

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KR101410793B1
KR101410793B1 KR1020130080085A KR20130080085A KR101410793B1 KR 101410793 B1 KR101410793 B1 KR 101410793B1 KR 1020130080085 A KR1020130080085 A KR 1020130080085A KR 20130080085 A KR20130080085 A KR 20130080085A KR 101410793 B1 KR101410793 B1 KR 101410793B1
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한석현
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(주)드림솔
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Abstract

본 발명은 진자 플레이트 위치 측정 장치 및 이를 포함하는 진자 밸브에 관한 것으로, 일측에 개방부가 형성되어 있고, 상하 관통된 공기 통로가 형성된 밸브 하우징, 상기 밸브 하우징 내부에 회전 가능하게 배치되어 있고, 상기 공기 통로를 단속하는 진자 플레이트, 상기 밸브 하우징에 결합되어 있고, 상기 진자 플레이트를 회전시키는 진자 구동부, 상기 개방부에 분리 가능하게 결합되어 있는 커버, 그리고 진자 플레이트의 위치를 측정하는 진자 플레이트 위치 측정 장치를 포함하며, 상기 진자 플레이트 위치 측정 장치는 상기 커버가 상기 밸브 하우징에서 분리되면, 상기 커버가 분리된 위치에 결합되어 상기 진자 플레이트의 위치를 측정한다.

Description

진자 플레이트 위치 측정 장치 및 이를 포함하는 진자 밸브{position measuring apparatus for pendulum plate and pendulum valve including the same}
본 발명은 진자 플레이트 위치 측정 장치 및 이를 포함하는 진자 밸브에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조 장치는 플라즈마를 이용하는 화학 기상 증착 설비, 식각 설비 등의 진공을 필요로 하는 공간에 진공을 걸어주기 위해서는 진공 펌프를 연결하여 그 챔버를 펌핑할 필요가 있으며, 챔버와 진공펌프 사이를 연결하는 배기라인에는 진자 밸브라는 개폐 장치를 설치하여 배기라인을 개폐하고 진공 펌프로부터의 펌핑 상태를 제어한다.
진자 밸브는 챔버와 진공 펌프를 연결하는 배기라인에 설치되는 밸브 하우징과 밸브 하우징의 내 부에 설치되어 진자운동하면서 배기라인을 개폐하는 진자 플레이트, 진자 플레이트를 구동시키는 구동모터, 진자 플레이트에 밀착되어 배기라인을 진공펌프측으로 밀봉시키도록 진공펌프 쪽에 위치되어진 실링과 실링을 진자 플레이트에 밀착시키는 공기압에 의해 동작되는 업다운 구동부로 구성된다.
그리고 반도체 생산라인에서는 주기적으로 확산설비의 사용환경을 초기상태로 돌리기 위한 설비보수 또는 클리닝 등의 예방정비(Preventive: PM, 이하에서는 PM 이라 한다.) 작업을 실시하고 있다.
이와 같은 PM 작업을 위해 반도체 생산라인의 소정의 구성요소들을 분해하여 보수 및 세정을 실시한 후 다시 조립하게 된다.
상기 진자 밸브 또한 PM 작업 시 분해, 세정, 조립이 이루어진다. 진자 밸브 조립 시 진자 플레이트를 정 위치에 조립 해야 기밀성이 유지된다. 그러나, 진자 플레이트 조립 시 육안으로 정 위치를 확인하면서 조립하게 되면서 진자 플레이트의 정 위치 조립이 정확하게 할 수 없었다.
공개특허공보 제10-2006-0013810호 (2006.02.14) 등록특허공보 제10-0482980호 (2005.04.04)
본 발명은 진자 밸브의 진자 플레이트를 정 위치에 정확하여 진자 플레이트의 위치 변화에 따른 고정 불량을 예방하는 진자 플레이트 위치 측정 장치 및 이를 포함하는 진자 밸브를 제공한다.
본 발명의 한 실시예에 따른 진자 플레이트 위치 측정 장치는 반도체 소자 제조용 장비의 공정 챔버와 진공 펌프 사이에 위치한 진자 밸브에 선택적으로 설치되어 상기 진자 밸브의 진자 플레이트 조립 위치를 측정하는 것으로, 상기 진자 플레이트가 내부에 위치한 밸브 하우징의 개방부 테두리에 분리 가능하게 설치되는 브래킷 및 상기 브래킷에 연결되어 상기 개방부에 위치하고, 상기 진자 플레이트의 위치를 측정하는 센서부를 포함한다.
상기 센서부는 거리측정 레이저 센서이며, 상기 브래킷에 설치되어 있는 몸체, 상기 몸체 내부에 위치한 센서 회로부, 그리고 상기 몸체에 연결되어 상기 개방부에 위치하고, 상기 센서 회로부와 전기적으로 연결되어 있으며 상기 진자 플레이트와 마주하는 광학투수광부을 포함한다.
상기 진자 플레이트 위치 측정 장치는 상기 몸체와 상기 광학투수광부 사이에 위치하고, 상기 광학투수광부가 상기 진자 플레이트를 향하는 각도를 조절하는 각도 조절부를 더 포함할 수 있다.
상기 각도 조절부는 상기 광학투수광부가 결합된 일면이 기설정된 각도로 경사져 있고, 타면이 상기 몸체에 접한 각도 블록, 상기 각도 블록을 상기 몸체에 고정하는 고정 부재, 그리고 상기 고정 부재와 떨어져 있고, 상기 각도 블록에 회전 가능하게 결합되어 있으며, 상기 몸체에 접하는 조절 부재를 포함하며, 상기 조절 부재의 회전에 의해 상기 각도 블록 일측과 상기 몸체 사이의 간격이 조절되어 상기 광학투수광부가 상기 진자 플레이트를 향하는 각도가 조절될 수 있다.
상기 밸브 하우징의 개방부 테두리에는 상기 개방부를 단속하는 커버를 결합하기 위한 체결홀들이 형성되어 있고, 상기 브래킷은 상기 체결홀에 고정될 수 있다.
상기 개방부의 테두리에는 상기 센서부의 결합 위치를 나타내는 정 위치 표시부가 형성되어 있으며, 상기 센서부가 상기 정 위치 표시부와 일치한 상태에서 상기 브래킷이 상기 체결홀에 맞지 않을 경우, 상기 브래킷과 상기 체결홀이 일치하도록 상기 브래킷의 길이를 늘리거나 줄일 수 있도록 상기 브래킷은 다단의 로드를 상호 슬라이드가능하게 결합하여 텔레스코픽(TELESCOPIC)방식으로 신축될 수 있도록 할 수 있다.
본 발명의 한 실시예에 따른 진자 밸브는 일측에 개방부가 형성되어 있고, 상하 관통된 공기 통로가 형성된 밸브 하우징, 상기 밸브 하우징 내부에 회전 가능하게 배치되어 있고, 상기 공기 통로를 단속하는 진자 플레이트, 상기 밸브 하우징에 결합되어 있고, 상기 진자 플레이트를 회전시키는 진자 구동부, 상기 개방부에 분리 가능하게 결합되어 있는 커버, 그리고 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 정의 되어 있는 진자 플레이트 위치 측정 장치를 포함하며, 상기 진자 플레이트 위치 측정 장치는 상기 커버가 상기 밸브 하우징에서 분리되면, 상기 커버가 분리된 위치에 결합되어 상기 진자 플레이트의 위치를 측정할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 진자 플레이트를 레이저를 이용하여 거리를 측정하는 센서부에 의해 진자 플레이트의 위치가 측정되므로 진자 플레이트의 위치를 정확하게 측정할 수 있다. 또한 레이저를 이용하여 거리를 측정하므로 진자 플레이트에 직접 접촉하지 않아도 진자 플레이트의 위치를 측정할 수 있다. 이에 따라 진자 플레이트가 공기 통로를 닫거나 개방한 상태에서 진자 플레이트의 정 위치를 측정할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 진자 플레이트 위치 측정 장치의 브래킷은 밸브 하우징의 일측 테두리에 결합된다. 이때 브래킷은 볼트 따위로 결합되는데, 볼트는 커버를 밸브 하우징에 결합하기 위한 체결홀에 결합된다. 브래킷이 체결홀에 결합되므로 브래킷은 항상 정 위치에 결합될 수 있다. 이에 따라 진자 플레이트 위치 측정 장치를 동일한 반도체 생산라인의 다른 진자 밸브들에서 설치하여 진자 플레이트 위치를 측정할 수 있다. 이에 따라 사용성이 높아질 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 각도 조절부에 의해 광학투수광부가 진자 플레이트를 향하는 각도를 조절할 수 있어 진자 플레이트 위치 측정 장치의 설치성이 향상될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 브래킷이 다단의 로드를 상호 슬라이드가능하게 결합하여 텔레스코픽 방식으로 형성하게 되어 브래킷의 길이를 조절할 수 있다. 브래킷의 길이를 체결홀에 맞춰 조절하게 되어 브래킷의 설치성이 향상되며 센서부를 정 위치에 위치시킬 수 있다. 이에 따라 진자 플레이트의 위치를 정확하게 측정할 수 있다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 진자 밸브를 나타낸 사시도.
도 2는 도 1에 도시한 진자 밸브 분해 사시도.
도 3은 도 2에 도시한 밸브 하우징에 진자 플레이트 위치 측정 장치가 결합된 상태를 나타낸 사시도.
도 4는 도 2에 도시한 밸브 하우징과 진자 플레이트 위치 측정 장치 분해 사시도.
도 5는 도 3에 도시한 V-V선을 따라 밸브 하우징을 자른 단면도.
도 6은 도 4에 도시한 센서부를 나타낸 사시도.
도 7은 도 6에 도시한 브래킷의 다른 실시예를 나타낸 사시도.
이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다.
그러면 본 발명의 한 실시예에 따른 진자 밸브에 대하여 도 1 내지 도 3을 참고하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 진자 밸브를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시한 진자 밸브 분해 사시도이며, 도 3은 도 2에 도시한 밸브 하우징에 진자 플레이트 위치 측정 장치가 결합된 상태를 나타낸 사시도이다.
도 1 및 도 3을 참고하면, 본 실시예에 따른 진자 밸브(1)는 반도체 공정 챔버(도시하지 않음)와 진공펌프(도시하지 않음)를 연결하는 배기라인(도시하지 않음)에 설치되어 배기라인을 개폐한다. 즉, 진공 밸브는 진공펌프의 펌핑 상태를 제어한다.
이러한 진자 밸브(1)는 밸브 하우징(10), 진자 플레이트(20), 진자 구동부(30), 커버(40), 그리고 진자 플레이트 위치 측정 장치(50)를 포함한다.
밸브 하우징(10)의 내부에는 설치 공간(11)이 형성되어 있다. 밸브 하우징(10)은 상하 관통되어 되어 공기 통로(12)가 형성되어 있다. 공기 통로(12)는 배기라인과 설치 공간(11)을 연결한다.
밸브 하우징(10)의 일측에는 개방부(13)가 형성되어 있다. 개방부(13)는 설치 공간(11)과 연결되어 있다. 개방부(13)가 형성된 밸브 하우징(10)의 일측에는 테두리(14)가 형성되어 있다. 테두리(14)에는 체결홀(15) 들이 간격을 두고 형성되어 있다.
진자 플레이트(20)는 원판 형태로 형성되어 있다. 진자 플레이트(20)는 개방부(13)를 통하여 설치 공간(11)에 위치할 수 있다. 진자 플레이트(20)는 적어도 일부분이 둘레면에서 연장되어 밸브 하우징(10)에 회전 가능하게 설치되어 있다. 진자 플레이트(20)는 회전 방향에 따라 공기 통로(12)를 단속한다.
이와 같은 진자 플레이트(20)를 설치 공간(11)에 설치 시 정 위치에 조립되지 않고, 정 위치를 벗어나 설치 되면 반도체 제조 공정에 있어 불량이 발생할 수 있다. 이에 따라 진자 플레이트(20)를 밸브 하우징(10)에 설치 후 정 위치에 설치 되었는지 측정한다.
진자 구동부(30)는 밸브 하우징(10) 외부에 배치되어 있다. 진자 구동부(30)는 모터 형태로 형성되어 있다. 모터의 구동축은 설치 공간(11)으로 삽입되어 진자 플레이트(20)에 연결되어 있다. 이에 따라 진자 구동부(30)가 구동하게 되면 진자 플레이트(20)가 움직이게 된다.
커버(40)는 밸브 하우징(10)의 개방부(13)를 단속한다. 커버(40)의 내부는 비어 있다. 커버(40)의 내부는 개방부(13)를 통하여 설치 공간(11)과 연결되어 있다. 이에 따라 진자 플레이트(20)가 공기 통로(12)를 개방하면, 진자 플레이트(20)는 개방부(13)를 통하여 커버(40) 내부로 삽입될 수 있다.
이와 같은 커버(40)는 진자 플레이트(20) 점검 및 세정 작업 시 밸브 하우징(10)에서 분리될 수 있다.
진자 플레이트 위치 측정 장치(50)는 진자 플레이트(20)가 정 위치에 설치되었는지 측정한다.
진자 플레이트 위치 측정 장치(50)는 진자 플레이트(20)가 설치 공간(11)에 설치된 다음 개방부(13)의 테두리(14)에 결합된다. 아울러, 커버(40)는 진자 플레이트(20)가 테두리(14)에서 분리된 다음, 테두리(14)에 결합된다.
이하, 진자 플레이트 위치 측정 장치(50)에 대하여 도 4 내지 도 6을 참고하여 설명한다.
도 4는 도 2에 도시한 밸브 하우징과 진자 플레이트 위치 측정 장치 분해 사시도이고, 도 5는 도 3에 도시한 V-V선을 따라 밸브 하우징을 자른 단면도이며, 도 6은 도 4에 도시한 센서부를 나타낸 사시도이다.
도 4 내지 도 6을 참고하면, 진자 플레이트 위치 측정 장치(50)는 브래킷(51) 및 센서부(52)를 포함한다.
브래킷(51)은 테두리(14)의 일측에 결합된다. 이때 브래킷(51)은 볼트 따위로 결합된다. 볼트는 커버(40)를 밸브 하우징(10)에 결합하기 위한 체결홀(15)에 결합된다. 브래킷(51)이 체결홀(15)에 결합되므로 브래킷(51)은 항상 정 위치에 결합될 수 있다. 이와 같은 브래킷(51)은 테두리(14) 및 체결홀(15)의 구조에 따라 달라질 수 있다.
센서부(52)는 레이저 거리 측정 센서이다. 센서부(52)는 진자 플레이트(20)의 설치 위치를 측정한다. 센서부(52)는 몸체(521), 센서 회로부(522), 그리고 광학투수광부(523)를 포함한다.
몸체(521)는 박스 형태로 형성되어 있다. 몸체(521)의 내부는 비어 있다. 몸체(521)는 브래킷(51)의 중앙에 결합되어 있다. 이때 몸체(521)는 브래킷(51)에서 분리될 수도 있다.
센서 회로부(522)는 몸체(521) 내부에 배치되어 있다. 센서 회로부(522)는 제어부(도시하지 않음)와 전기적으로 연결되어 있다. 센서 회로부(522)에는 발광 표시부(도시하지 않음)가 형성되어 있다.
광학투수광부(523)는 개방부(13)에 위치하여 몸체(521)에 연결되어 있다. 개방부(13)에 위치한 광학투수광부(523)는 설치 공간(11)의 진자 플레이트(20)의 기설정된 지점과 마주한다.
이때, 브래킷(51)이 체결홀(15)에 고정되므로, 광학투수광부(523)는 항상 동일한 진자 플레이트(20)의 기설정된 지점과 마주할 수 있다. 이에 따라, 브래킷(51)을 밸브 하우징(10)에서 분리 후 다시 결합하여도 광학투수광부(523)는 항상 같은 지점과 마주할 수 있다.
이와 같은 광학투수광부(523)는 센서 회로부(522)와 전기적으로 연결되어 있다. 광학투수광부(523)는 거리측정을 위한 레이저가 발사될 수 있다. 광학투수광부(523)에서 발사된 레이저는 진자 플레이트(20)에 반사되어 다시 되돌아 온다.
광학투수광부(523)로부터 발사된 레이저가 진자 플레이트(20)에 도달한 후, 다시 광학투수광부(523)로 귀환하는 시간차를 거리로 환산, 측정한다. 이때 측정된 값은 발광 표시부에 표시될 수 있다.
아울러, 센서부(52)가 진자 플레이트(20)가 정 위치에 위치하였는지를 측정할 때에는 진자 플레이트(20)가 공기 통로(12)를 닫고 있는 상태에서 이루어진다. 그러나, 진자 플레이트(20)가 공기 통로(12)를 완전하게 개방한 상태에서 진자 플레이트(20)의 위치를 측정할 수 있다.
본 실시예에 따른 진자 플레이트(20)에 레이저를 발사하여 거리를 측정하는 센서부(52)는 펄스 변조(Pulsed Modulation), 주파수 변조(Frequency Modulation), 페이즈 시프트(Phase shift), 트라이앵귤레이션(Triangulation), 간섭 측정(Interferometry) 중 어느 하나가 선택적으로 적용될 수 있다.
펄스 변조는 대략 1억분의 1초 정도의 짧은 레이저펄스를 발사한 후에 빛의 속도로 목표물에서 반사해 되돌아 오는 시간을 측정하여 목표물까지의 거리를 구한다. 목표물까지의 거리를 D라 하고, 빛의 속도는 c, 측정된 시간 t이면, 왕복하므로 D=c*t/2이라는 식으로 계산된다.
주파수 변조는 연속발진형 레이저를 변조(AM, FM)시켜서 목표물을 향해서 발사시키고 되돌아 온 광선을 원래의 광파와 비교하여 거리를 측정한다.
페이즈 시프트는 연속(CW)발진형 레이저를 발사하고, 타켓의 속도와 거리를 둘다 측정 가능하다. 목표물까지의 거리는 송 수신사이의 측정된 위상차이에 비례한다.
트라이앵귤레이션은 광학적 삼각측량은 산란된 표면의 변위를 결정하는 비접촉 방법을 제공하고 있다.
간섭 측정은 간섭성이 좋은 레이저를 이용하여 목표물에 거울을 놓고 여기에 레이저광선을 입사시킨 후 반사된 광선과 원래의 광선을 간섭시켜서 간섭무늬를 세어가면서 거리를 측정한다.
다음은 위에서 설명한 진자 밸브의 작용에 대하여 설명한다.
먼저, PM정비 시 반도체 생산라인들은 분해 될 수 있다. 이중 진자 밸브(1)는 밸브 하우징(10)으로부터 커버(40) 및 진자 플레이트(20)를 분해한다. 그리고 설치 공간(11) 및 진자 플레이트(20) 따위의 반도체 생산라인을 세정한다.
세정이 완료되면 진자 밸브(1)의 경우 진자 플레이트(20)를 설치 공간(11)에 배치한다. 이때 진자 플레이트(20)는 공기 통로(12)에 위치하도록 하여 공기 통로(12)를 폐쇄하도록 조립한다.
이와 같이 진자 플레이트(20)가 설치 공간(11)에 설치되면, 진자 플레이트 위치 측정 장치(50)를 개방부(13)에 조립한다. 이때 브래킷(51)이 테두리(14)에 위치하도록 한다. 그리고 볼트 따위의 체결 수단을 이용하여 브래킷(51)을 테두리(14)에 고정한다. 체결 수단의 단부는 브래킷(51)을 관통하여 체결홀(15)에 체결된다. 체결 수단이 체결홀(15)에 체결되면서 브래킷(51)은 테두리(14)에 견고히 고정될 수 있다.
브래킷(51)이 테두리(14)에 고정되면 광학투수광부(523)는 개방부(13)에 위치하여 진자 플레이트(20)의 기설정 지점과 마주한다. 체결 수단이 커버(40)를 결합하기 위한 체결홀(15)에 체결되므로 반복적인 브래킷(51)의 분리 결합에도 광학투수광부(523)는 항상 동일한 지점과 마주한다.
광학투수광부(523)가 진자 플레이트(20)와 마주하면, 제어부는 센서 회로부(522)에 신호를 인가하여 광학투수광부(523)가 진자 플레이트(20)를 향하여 레이저를 발사한다. 발사된 레이저는 진자 플레이트(20)에 접하여 다시 광학투수광부(523)로 되돌아 온다. 이때 센서 회로부(522)와 제어부는 되돌아 오는 시간을 측정하여 센서부(52)에서 진자 플레이트(20)의 거를 구하게 된다. 예컨대, 진자 플레이트(20)가 정확한 위치에 조립되었을 경우, 센서부(52)와 진자 플레이트(20)의 거리가 100MM 라고 가정했을 경우, 측정된 거리가 100MM 이하이거나, 100MM 를 초과할 경우 진자 플레이트(20)가 정 위치에 정확하게 조립되지 않았음을 알 수 있다.
측정된 거리가 100MM 이하이거나 100MM를 초과할 경우 제어부는 경보음 따위를 발생시킬 수 있다. 진자 플레이트(20)가 정 위치를 벗어나면, 작업자는 센서부(52)를 이용하여 거리를 측정하면서 진자 플레이트(20)를 정 위치에 조립한다.
진자 플레이트(20)가 정 위치에 조립되면 진자 플레이트 위치 측정 장치(50)를 밸브 하우징(10)에서 분리한다. 그리고 진자 플레이트 위치 측정 장치(50)가 분리된 위치에 커버(40)를 결합한다.
본 발명에 따르면 진자 플레이트를 레이저를 이용하여 거리를 측정하는 센서부(52)에 의해 진자 플레이트의 위치가 측정되므로 진자 플레이트의 위치를 정확하게 측정할 수 있다. 또한 레이저를 이용하여 거리를 측정하므로 진자 플레이트에 직접 접촉하지 않아도 진자 플레이트의 위치를 측정할 수 있다. 이에 따라 진자 플레이트가 공기 통로를 닫거나 개방한 상태에서 진자 플레이트의 정 위치를 측정할 수 있다.
한편, 본 발명의 한 실시예에 따른 센서부(52)는 각도 조절부(53)를 더 포함할 수 있다.
도 5를 다시 참고하면, 각도 조절부(53)는 광학투수광부(523)가 진자 플레이트(20)를 향하는 각도를 조절할 수 있다. 각도 조절부(53)는 각도 블록(531), 고정 부재(532), 그리고 조절 부재(533)를 포함한다.
각도 블록(531)은 몸체(521)와 광학투수광부(523) 사이에 위치한다. 각도 블록(531)의 일면에는 광학투수광부(523)가 결합되어 있다. 각도 블록(531)의 타면은 몸체(521)의 저면에 접해 있다. 이때 각도 블록(531)은 고정 부재(532) 따위로 몸체(521)에 결합된다. 고정 부재(532)는 머리가 없는 무드 볼트 구조로 형성되어 있다. 고정 부재(532)는 각도 블록(531)의 일측에 위치한 상태에서 단부가 각도 블록(531)을 관통하여 몸체(521)에 체결 고정된다.
이와 같은 각도 블록(531)의 일면은 기설정된 각도로 경사져 있다. 일면의 경사각도는 개방부(13)에서 멀어질수록 몸체(521)의 저면과 가까워지는 형태로 형성되어 있다.
광학투수광부(523)가 각도 블록(531)의 경사진 일면에 결합되어 있으므로 광학투수광부(523)는 기설정된 각도로 경사져 진자 플레이트(20)와 마주하게 된다.
조절 부재(533)는 각도 블록(531)의 타측에 위치한다. 조절 부재(533) 또한 무드 볼트 형태로 형성되어 있다. 조절 부재(533)는 각도 블록(531)에 결합되어 그 단부가 몸체(521)의 저면에 접해 있다. 조절 부재(533)가 삽입되는 방향으로 회전하면 각도 블록(531)의 타측이 몸체(521)의 저면에서 떨어질 수 있다. 각도 블록(531)의 타측이 몸체(521)에서 떨어지면 광학투수광부(523)에서 발사되는 레이저가 진자 플레이트(20)를 향하는 각도가 달라지게 된다. 아울러, 조절 부재(533)의 조절 전에 고정 부재(532)를 이용하여 각도 블록(531)과 몸체(521)의 결합 정도를 조절할 수 있다.
이와 같은 광학투수광부(523)의 각도 조절은 진자 플레이트(20)의 구조에 따라 달라질 수 있다.
다음으로 도 7을 참고하여 본 발명의 다른 실시예에 대하여 설명한다.
도 7을 참고하면, 본 실시예에는 도 1 내지 도 6을 참고하여 설명한 실시예의 구성요소를 대부분 가진다. 다만 본 실시예는 브래킷(51)이 다른 구조로 형성된다. 그리고 브래킷(51)이 밸브 하우징의 테두리(14)에 결합될 때 정 위치에 결합될 수 있도록 정위치 표시부(60a, 60b, 60c)를 포함한다.
먼저, 정 위치 표시부(60a, 60b, 60c)는 테두리(14), 브래킷(51), 그리고 몸체(521)에 각각 형성되어 있다. 브래킷(51)과 몸체(521)를 결합할 때 이들의 정 위치 표시부(60a, 60b, 60c)가 일치하도록 조립한다. 그리고 브래킷(51)의 정 위치 표시부(60b)와 테두리(14)의 정 위치 표시부(60a)가 일치하도록 하여 브래킷(51)을 밸브 하우징(10)에 결합한다. 각 정위치 표시부(60a, 60b, 60c)가 일치하면 광학투수광부(523)는 항상 동일한 지점의 진자 플레이트(20)와 마주하게 된다.
한편, 본 실시예에 따른 브래킷(51)은 정 위치 표시부(60a, 60b, 60c)들이 일치한 상태에서 브래킷(51)을 테두리(14)에 결합하고자 할 때 브래킷(51)을 관통한 체결 수단이 체결홀(15)에 위치하지 않을 경우 브래킷(51)의 길이를 조절하여 체결 수단과 체결홀(15)을 일치시킬 수 있다.
이에 따라 본 실시예에 따른 브래킷(51)은 길이를 늘리거나 줄일 수 있다. 따라서, 브래킷(51)은 다단의 로드가 상호 슬라이드 가능하게 결합하여 텔레스코픽(TELESCOPIC)방식으로 신축될 수 있는 구조로 형성되어 있다.
이에 따라 가장 외측에 위치한 로드를 슬라이드 이동시켜 체결 수단과 체결홀(15)이 일치하도록 할 수 있다. 브래킷(51)의 길이를 조절하게 되면서 다양한 모델의 진자 밸브 밸브 하우징에 진자 플레이트 위치 측정 장치를 장착할 수 있다.
이외 다른 구성은 도 1 내지 도 6의 실시예의 구성이 그대로 적용될 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
1: 진자 밸브 10: 밸브 하우징
11: 설치 공간 12: 공기 통로
13: 개방부 14: 테두리
15: 체결홀 20: 진자 플레이트
30: 진자 구동부 40: 커버
50: 진자 플레이트 위치 측정 장치
51: 브래킷 52: 센서부
521: 몸체 522: 센서 회로부
523: 광학투수광부 53: 각도 조절부
531: 각도 블록 532: 고정 부재
533: 조절 부재 60a, 60b, 60c: 정위치 표시부

Claims (7)

  1. 반도체 소자 제조용 장비의 공정 챔버와 진공 펌프 사이에 위치한 진자 밸브에 선택적으로 설치되어 상기 진자 밸브의 진자 플레이트 조립 위치를 측정하는 것으로,
    상기 진자 플레이트가 내부에 위치한 밸브 하우징의 개방부 테두리에 분리 가능하게 설치되는 브래킷 및 상기 브래킷에 연결되어 상기 개방부에 위치하고 상기 진자 플레이트의 위치를 측정하는 센서부를 포함하는 진자 플레이트 위치 측정 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 센서부는 거리측정 레이저 센서이며,
    상기 브래킷에 설치되어 있는 몸체,
    상기 몸체 내부에 위치한 센서 회로부, 그리고
    상기 몸체에 연결되어 상기 개방부에 위치하고, 상기 센서 회로부와 전기적으로 연결되어 있으며 상기 진자 플레이트와 마주하는 광학투수광부
    을 포함하는
    진자 플레이트 위치 측정 장치.
  3. 제2항에서,
    상기 몸체와 상기 광학투수광부 사이에 위치하고, 상기 광학투수광부가 상기 진자 플레이트를 향하는 각도를 조절하는 각도 조절부를 더 포함하는 진자 플레이트 위치 측정 장치.
  4. 제3항에서,
    상기 각도 조절부는
    상기 광학투수광부가 결합된 일면이 기설정된 각도로 경사져 있고, 타면이 상기 몸체에 접한 각도 블록,
    상기 각도 블록을 상기 몸체에 고정하는 고정 부재, 그리고
    상기 고정 부재와 떨어져 있고, 상기 각도 블록에 회전 가능하게 결합되어 있으며, 상기 몸체에 접하는 조절 부재
    를 포함하며,
    상기 조절 부재의 회전에 의해 상기 각도 블록 일측과 상기 몸체 사이의 간격이 조절되어 상기 광학투수광부가 상기 진자 플레이트를 향하는 각도가 조절되는
    진자 플레이트 위치 측정 장치.
  5. 제1항에서,
    상기 밸브 하우징의 개방부 테두리에는 상기 개방부를 단속하는 커버를 결합하기 위한 체결홀들이 형성되어 있고, 상기 브래킷은 상기 체결홀에 고정되는 진자 플레이트 위치 측정 장치.
  6. 제5항에서,
    상기 개방부의 테두리에는 상기 센서부의 결합 위치를 나타내는 정 위치 표시부가 형성되어 있으며,
    상기 센서부가 상기 정 위치 표시부와 일치한 상태에서 상기 브래킷이 상기 체결홀에 맞지 않을 경우, 상기 브래킷과 상기 체결홀이 일치하도록 상기 브래킷의 길이를 늘리거나 줄일 수 있도록 상기 브래킷은 다단의 로드를 상호 슬라이드 가능하게 결합하여 텔레스코픽(TELESCOPIC)방식으로 신축될 수 있도록 한
    진자 플레이트 위치 측정 장치.
  7. 일측에 개방부가 형성되어 있고, 상하 관통된 공기 통로가 형성된 밸브 하우징,
    상기 밸브 하우징 내부에 회전 가능하게 배치되어 있고, 상기 공기 통로를 단속하는 진자 플레이트,
    상기 밸브 하우징에 결합되어 있고, 상기 진자 플레이트를 회전시키는 진자 구동부,
    상기 개방부에 분리 가능하게 결합되어 있는 커버, 그리고
    제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 정의 되어 있는 진자 플레이트 위치 측정 장치
    을 포함하며,
    상기 진자 플레이트 위치 측정 장치는, 상기 진자 플레이트가 상기 밸브 하우징에 조립되면 상기 커버를 상기 밸브 하우징에 결합하기 전에 상기 밸브 하우징의 상기 커버 결합 위치에 설치되어 상기 진자 플레이트의 위치를 측정하는
    진자 밸브.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3372883A1 (de) * 2017-03-09 2018-09-12 VAT Holding AG Vakuumventil mit optischem sensor

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6334660U (ko) * 1986-08-22 1988-03-05
JPH1047944A (ja) * 1996-08-02 1998-02-20 Nippon Sharyo Seizo Kaisha Ltd 位置検出装置
JP2846283B2 (ja) 1995-03-03 1999-01-13 ブラウン ポール−ビルヘルム 位置変化測定装置
KR20050015191A (ko) * 2003-08-04 2005-02-21 삼성전자주식회사 반도체 설비용 진자 밸브

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6334660U (ko) * 1986-08-22 1988-03-05
JP2846283B2 (ja) 1995-03-03 1999-01-13 ブラウン ポール−ビルヘルム 位置変化測定装置
JPH1047944A (ja) * 1996-08-02 1998-02-20 Nippon Sharyo Seizo Kaisha Ltd 位置検出装置
KR20050015191A (ko) * 2003-08-04 2005-02-21 삼성전자주식회사 반도체 설비용 진자 밸브

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3372883A1 (de) * 2017-03-09 2018-09-12 VAT Holding AG Vakuumventil mit optischem sensor
KR20180103716A (ko) * 2017-03-09 2018-09-19 배트 홀딩 아게 광학 센서를 갖는 진공 밸브
CN108571600A (zh) * 2017-03-09 2018-09-25 Vat控股公司 具有光学传感器的真空阀
US10520109B2 (en) 2017-03-09 2019-12-31 Vat Holding Ag Vacuum valve with optical sensor
CN108571600B (zh) * 2017-03-09 2021-08-06 Vat控股公司 真空阀系统
TWI752180B (zh) * 2017-03-09 2022-01-11 瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司 具有光學感測器之真空閥
KR102389821B1 (ko) 2017-03-09 2022-04-22 배트 홀딩 아게 광학 센서를 갖는 진공 밸브

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