JP2018182132A - レーザ加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ドライポンプの排気性能を容易に回復することができるレーザ加工装置を提供すること。
【解決手段】加工用のレーザビームＧを生成する発振部１０と、第１気体Ｍが封入された封入部２０と、発振部１０の動作に伴って封入部２０に発生する塵芥とともに第１気体Ｍを排気する排気部６０と、を備えるレーザ加工装置１であって、排気部６０は、ドライポンプ６１と、封入部２０とドライポンプ６１との間を接続する第１ライン６３と、第１気体Ｍよりも圧力の高い第２気体Ｎをドライポンプ６１に供給する第２ライン６４と、第１ライン６３及び第２ライン６４を開閉する弁部７０と、弁部７０の開閉を制御する制御部９０と、を備えるレーザ加工装置１に関する。
【選択図】図１

Description

本発明は、加工用のレーザビームを生成する発振部と、気体が封入された封入部と、発振部の動作に伴って封入部に発生する塵芥とともに気体を排気する排気部と、を備えるレーザ加工装置に関する。

従来、例えば炭酸ガス（ＣＯ_２）をレーザ媒質（媒質ガス）として用いるレーザ加工装置が知られている。レーザ加工装置は、発振部において媒質ガスを励起することにより、レーザビームを生成する。レーザビームは、ワークの加工に用いられ、例えば、チャンバ内に配置されたワークに照射される。

媒質ガスは、発振部における励起により劣化する。レーザビームを安定して生成するには、劣化した媒質ガスを新鮮な媒質ガスに入れ替える必要がある。そこで、新鮮な媒質ガスを供給する供給ラインと、劣化した媒質ガスを排気する排気ラインとを接続したレーザ加工装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１１−２２２５４５号公報

特許文献１に開示されたレーザ加工装置によれば、媒質ガスを循環するための循環路が発振部に接続される。循環路には、送風機が配置される。発振部及び循環路の内部に封入された媒質ガスは、送風機により強制的に循環される。循環路には、供給ラインと、排気ラインとが接続される。これにより、一定量の媒質ガスが交換されながら循環する。従って、励起により劣化した媒質ガスを交換しつつ、レーザビームの生成を続けることができ、レーザビームを安定して生成することができる。

ところで、排気ラインには、例えば、媒質ガスを吸気する真空ポンプが接続される。媒質ガスには、塵芥（発振部の動作に起因して発生した粉塵や、送風機に用いられている油等）が含まれており、真空ポンプの長期使用に伴って、真空ポンプの内部には塵芥が蓄積する。

真空ポンプとしてドライポンプ（オイルレスポンプ）を採用することは、ロータリポンプ（ウェットポンプ、油回転ポンプ）に比べ、ポンプに起因する蒸気や油等の媒質ガスへの混入を抑制できる点で有用である。一方で、ドライポンプは、ロータリポンプ（ウェットポンプ）のように潤滑油やフィルタ交換といった定期的なメンテナンスが不要であるため、蓄積した塵芥を排出する機会は一般的には無い。

また、ドライポンプは、ロータリポンプよりも比較的高価であり、できる限り長期間使用したいという要望がある。しかしながら、蓄積した塵芥を排出する機会が無いため、ドライポンプの排気性能や信頼性が低下すると、上記要望にも関わらず、ドライポンプ自体を交換する必要があった。そこで、ドライポンプを長期間使用できるように、ドライポンプの排気性能を容易に回復できれば好ましい。

本発明は、ドライポンプの排気性能を容易に回復することができるレーザ加工装置を提供することを目的とする。

（１）本発明は、加工用のレーザビーム（例えば、後述のレーザビームＧ）を生成する発振部（例えば、後述の発振部１０）と、第１気体（例えば、後述の第１気体Ｍ）が封入された封入部（例えば、後述の封入部２０）と、前記発振部の動作に伴って前記封入部に発生する塵芥とともに第１気体を排気する排気部（例えば、後述の排気部６０）と、を備えるレーザ加工装置（例えば、後述のレーザ加工装置１）であって、前記排気部は、ドライポンプ（例えば、後述のドライポンプ６１）と、前記封入部と前記ドライポンプとの間を接続する第１ライン（例えば、後述の第１ライン６３）と、第１気体よりも圧力の高い第２気体（例えば、後述の第２気体Ｎ）を前記ドライポンプに供給する第２ライン（例えば、後述の第２ライン６４）と、前記第１ライン及び前記第２ラインを開閉する弁部（例えば、後述の弁部７０）と、前記弁部の開閉を制御する制御部（例えば、後述の制御部９０）と、を備えるレーザ加工装置に関する。

（２）上記（１）のレーザ加工装置において、前記第２ラインは、前記第１ラインの途中に接続され、前記弁部は、前記第１ラインと前記第２ラインとが接続される接続部に配置される三方弁（例えば、後述の三方弁７１）であり、前記制御部は、前記第１ラインから前記ドライポンプへ第１気体が流入する第１流入状態から、前記第２ラインから前記ドライポンプへ第２気体が流入する第２流入状態へ切り換え、所定時間経過後に前記第１流入状態に切り換えるように、前記三方弁を制御する、ことが好ましい。

（３）上記（１）のレーザ加工装置において、前記弁部は、前記第１ラインを開閉する第１止め弁（例えば、後述の第１止め弁７２）と、前記第２ラインを開閉する第２止め弁（例えば、後述の第２止め弁７３）と、を備え、前記制御部は、前記第１止め弁及び前記第２止め弁を開いて、前記第１ライン及び第２ラインそれぞれから前記ドライポンプへ第１気体及び第２気体を供給し、所定時間経過後に、前記第２止め弁を閉じる、ことが好ましい。

（４）上記（３）のレーザ加工装置において、前記第２ラインは、前記封入部に接続される、ことが好ましい。

（５）上記（１）〜（４）のいずれかのレーザ加工装置において、前記制御部は、予め定められた開閉タイミングに基づいて前記弁部を開閉する、ことが好ましい。

（６）上記（５）のレーザ加工装置において、前記制御部は、前記弁部の前回の開閉動作から経過した経過時間に基づいて前記弁部を開閉させる、ことが好ましい。

（７）上記（５）又は（６）のレーザ加工装置において、前記制御部は、前記発振部の稼働開始からの積算時間に基づいて前記弁部を開閉させる、ことが好ましい。

（８）上記（５）〜（７）のいずれかのレーザ加工装置において、前記制御部は、前記発振部の動作開始前又は動作停止後に前記弁部を開閉させる、ことが好ましい。

（９）上記（１）〜（８）のいずれかのレーザ加工装置において、前記封入部の内部の第１気体の圧力を測定する圧力測定部（例えば、後述の圧力測定部８０）を更に備え、前記制御部は、測定された圧力が所定の基準圧力を満たしているか否かに基づいて前記弁部を開閉させる、ことが好ましい。

（１０）上記（９）のレーザ加工装置において、前記制御部は、測定された圧力と前記基準圧力との差に基づいて、前記第２ラインを開く時間的長さを設定する、ことが好ましい。

本発明によれば、ドライポンプの排気性能を容易に回復することができるレーザ加工装置を提供することができる。

本発明の第１実施形態に係るレーザ加工装置を示す概略構成図である。 第１実施形態のレーザ加工装置の制御部を示すブロック図である。 第１実施形態のレーザ加工装置の装置停止前に、前回の開閉動作からの経過時間に基づいてドライポンプのパージを実施する動作を示すフローチャートである。 第１実施形態のレーザ加工装置の発振部の起動前に、前回の開閉動作からの経過時間に基づいてドライポンプのパージを実施する動作を示すフローチャートである。 第１実施形態のレーザ加工装置の装置停止前に、発振部の稼働時間に基づいてドライポンプのパージを実施する動作を示すフローチャートである。 第１実施形態のレーザ加工装置の発振部の起動前に、発振部の稼働時間に基づいてドライポンプのパージを実施する動作を示すフローチャートである。 第１実施形態のレーザ加工装置の発振部の起動前に、第１気体の圧力が基準圧力よりも高い場合にドライポンプのパージを実施する動作を示すフローチャートである。 第１気体の圧力と基準圧力との差を示す第１のグラフである。 第１気体の圧力と基準圧力との差を示す第２のグラフである。 第１実施形態のレーザ加工装置の発振部の起動前に、第１気体の圧力と基準圧力との差に基づいてドライポンプのパージ時間的長さを設定する動作を示すフローチャートである。 本発明の第２実施形態に係るレーザ加工装置を示す概略構成図である。 本発明の第３実施形態に係るレーザ加工装置を示す概略構成図である。 本発明の第４実施形態に係るレーザ加工装置を示す概略構成図である。 本発明の第５実施形態に係るレーザ加工装置を示す概略構成図である。 本発明の第６実施形態に係るレーザ加工装置を示す概略構成図である。

以下、本発明の第１〜第６実施形態に係るレーザ加工装置について、図１〜図１５を参照して説明する。

［第１実施形態］
まず、本発明に係る第１実施形態に係るレーザ加工装置について、図１〜図１０を参照して説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係るレーザ加工装置を示す概略構成図である。図２は、第１実施形態のレーザ加工装置の制御部を示すブロック図である。図３は、第１実施形態のレーザ加工装置の装置停止前に、前回の開閉動作からの経過時間に基づいてドライポンプのパージを実施する動作を示すフローチャートである。図４は、第１実施形態のレーザ加工装置の発振部の起動前に、前回の開閉動作からの経過時間に基づいてドライポンプのパージを実施する動作を示すフローチャートである。図５は、第１実施形態のレーザ加工装置の装置停止前に、発振部の稼働時間に基づいてドライポンプのパージを実施する動作を示すフローチャートである。

図６は、第１実施形態のレーザ加工装置の発振部の起動前に、発振部の稼働時間に基づいてドライポンプのパージを実施する動作を示すフローチャートである。図７は、第１実施形態のレーザ加工装置の発振部の起動前に、第１気体の圧力が基準圧力よりも高い場合にドライポンプのパージを実施する動作を示すフローチャートである。図８は、第１気体の圧力と基準圧力との差を示す第１のグラフである。図９は、第１気体の圧力と基準圧力との差を示す第２のグラフである。図１０は、第１実施形態のレーザ加工装置の装置起動前に、第１気体の圧力と基準圧力との差に基づいてドライポンプのパージ時間的長さを設定する動作を示すフローチャートである。

本実施形態に係るレーザ加工装置１は、媒質ガスを励起してレーザビームＧを生成するレーザ発振器５である。レーザ加工装置１は、図１に示すように、発振部１０と、封入部２０と、送風機３０と、熱交換器４０と、供給部５０と、排気部６０と、弁部７０と、圧力測定部８０と、制御部９０と、を備える。

発振部１０は、加工ワーク（図示せず）等を加工する加工用のレーザビームＧを生成する。発振部１０は、励起部１１と、光共振部１２と、を備える。

励起部１１は、一対の電源１３に接続される電極対（図示せず）を有する放電管として形成される。励起部１１の軸線方向両端には、光共振部１２が設置される。励起部１１には、媒質ガス（以下、第１気体Ｍという）が封入される。

光共振部１２は、リアミラー１４（全反射鏡又は部分透過鏡）と、出力ミラー１５（部分透過鏡）と、によって構成される。リアミラー１４は、励起部１１のうち、レーザビームＧを出射する方向（図１では、右方向）とは逆側（図１では、左側）の一端に設置される。出力ミラー１５は、励起部１１のうち、レーザビームＧを出射する方向の一端に設置される。

以上の発振部１０においては、交流電圧が一対の電源１３から電極対に印加される。これにより、電極対の間には、放電が発生する。第１気体Ｍは、放電により励起される。第１気体Ｍから放射された光は、光共振部１２の共振により増幅されて、出力ミラー１５からレーザビームＧが出射される。

封入部２０は、発振部１０との間で第１気体Ｍを循環する。即ち、封入部２０には、第１気体Ｍが封入される。封入部２０は、１つの導出ライン２１と、一対の導入ライン２２と、を備える。

導出ライン２１は、一端が励起部１１を構成する放電管の軸線方向中途部に接続される。具体的には、導出ライン２１は、放電管の中途部から放電管の径方向に延びる管として構成される。

一対の導入ライン２２のそれぞれは、一端が放電管の軸線方向両端部に接続される。本実施形態において、一対の導入ライン２２のそれぞれは、Ｌ字形状又は略Ｌ字形状に形成され、他端が対向するように配置される。ここでいう「Ｌ字形状」又は「略Ｌ字形状」とは、全体として屈曲している形状であればよい。

送風機３０は、例えば、ダイレクトドライブ型のターボファンの構成を有する。送風機３０は、導出ライン２１の他端と、一対の導入ライン２２の他端との間に配置される。送風機３０は、導出ライン２１の長さ方向に沿って延びる軸部３１と、軸部３１の先端に取り付けられた羽根車３２と、軸部３１及び羽根車３２を回転させるモータ部３３と、を有する。送風機３０は、潤滑油Ｌを貯留する油溜めをモータ部３３に有することにより、軸部３１に潤滑油Ｌを安定供給可能になっている。

以上の封入部２０及び送風機３０によれば、モータ部３３の駆動に基づいて、軸部３１及び羽根車３２が軸心周りに回転する。羽根車３２が回転することにより、放電管の中途部に存在する第１気体Ｍは、導出ライン２１に流入され、送風機３０に向けて流れる。送風機３０に至った第１気体Ｍは、羽根車３２により一対の導出ライン２１のそれぞれに分岐され、一対の導出ライン２１を通って放電管の両端に流入する。

熱交換器４０は、例えば多板式の構成を有する。熱交換器４０は、１つの導出ライン２１及び導入ライン２２のそれぞれに個別に配置される。即ち、本実施形態において、熱交換器４０は、３つ配置される。熱交換器４０は、１つの導出ライン２１及び導入ライン２２を通過する第１気体Ｍを冷却する。

供給部５０は、第１気体Ｍを封入部２０に供給する。供給部５０は、ガスボンベ５１と、供給ライン５２と、を備える。

ガスボンベ５１は、第１気体Ｍを封入する。
供給ライン５２は、管体である。供給ライン５２は、ガスボンベ５１から供給された第１気体Ｍを封入部２０に供給可能に構成される。即ち、供給ライン５２は、一端がガスボンベ５１に接続され、他端が封入部２０に接続される。具体的には、供給ライン５２は、一端がガスボンベ５１に接続され、他端が一方の導出ライン２１に接続される。供給ライン５２には、止め弁５３及び流量制御弁５４が設けられ、供給される第１気体Ｍの流量を調整可能になっている。

排気部６０は、封入部２０に封入されている第１気体Ｍを排気する。具体的には、排気部６０は、発振部１０の動作に伴って封入部２０に発生する塵芥とともに第１気体Ｍを排気する。排気部６０は、塵芥として、例えば、発振部１０や封入部２０のメンテナンス時に進入した塵、発振部１０や封入部２０の消耗により発生した微粒子、及び送風機３０の潤滑油Ｌ等とともに第１気体Ｍを、封入部２０から排気する。排気部６０は、ドライポンプ６１と、排気ライン６２と、を備える。

ドライポンプ６１は、封入部２０に封入されている第１気体Ｍを吸入することにより、封入部２０から第１気体Ｍを排気する。ドライポンプ６１は、封入部２０に存在する塵芥とともに第１気体Ｍを吸入する。また、ドライポンプ６１は、第１気体Ｍよりも圧力の高い第２気体Ｎを吸入することにより、内部をパージ可能に構成される（パージについては、後で詳述する）。

排気ライン６２は、管体である。排気ライン６２は、第１気体Ｍ及び第２気体Ｎをドライポンプ６１に供給可能に構成される。排気ライン６２は、第１ライン６３と、第２ライン６４と、を備える。

第１ライン６３は、ドライポンプ６１と封入部２０との間を接続する。即ち、第１ライン６３は、一端がドライポンプ６１に接続され、他端が封入部２０に接続される。具体的には、第１ライン６３は、一端がドライポンプ６１に接続され、他端が他方の導入ライン２２に接続される。また、第１ライン６３は、モータ部３３の内部の第１気体Ｍを排気すべく、中途部から分岐してモータ部３３に接続される。分岐したラインを分岐第１ライン６３２で示す。第１ライン６３の分岐位置Ｊ１と封入部２０との間には、封入部２０に封入されている第１気体Ｍの圧力を調整するための流量調整弁６５及び止め弁６６が、並列に配置されて設けられる。

第２ライン６４は、第１ライン６３の途中に接続される。具体的には、第２ライン６４は、第１ライン６３の分岐位置Ｊ１と、ドライポンプ６１との間に接続される。第２ライン６４は、第１気体Ｍよりも圧の高い第２気体Ｎをドライポンプ６１に供給する。

弁部７０は、第１ライン６３及び第２ライン６４を開閉する弁である。本実施形態において、弁部７０は、三方弁７１であり、第１ライン６３と第２ライン６４とが接続される接続部に配置される。弁部７０は、第１ライン６３からドライポンプ６１へ第１気体Ｍが流入する第１流入状態と、第２ライン６４からドライポンプ６１へ第２気体Ｎが流入する第２流入状態を切り換え可能に構成される。

圧力測定部８０は、封入部２０の内部の第１気体Ｍの圧力を測定する圧力センサである。圧力測定部８０は、１つの導入ライン２２の中途部に配置される。

制御部９０は、弁部７０の開閉を制御する制御装置である。制御部９０は、弁部７０の開閉により、ドライポンプ６１のパージを制御する。具体的には、制御部９０は、予め定められた開閉タイミングに基づいて弁部７０を開閉することにより、ドライポンプ６１のパージを制御する。特に、制御部９０は、発振部１０の動作開始前又は動作停止後に弁部７０を制御する。また、制御部９０は、発振部１０の起動及び停止を制御する。制御部９０は、図２に示すように、記憶部９１と、起動停止部９２と、計時部９５と、制御時間設定部９３と、稼働時間計測部９４と、圧力比較部９６と、制御実行部９７と、を備える。

記憶部９１は、弁部７０の開閉動作をした前回の時刻を記憶する。また、記憶部９１は、発振部１０の稼働開始からの積算時間を記憶する。具体的には、記憶部９１は、弁部７０を開閉動作した前回の時刻から発振部１０が実際に稼働した積算時間を記憶する。また、記憶部９１は、ドライポンプ６１をパージする基準となる経過時間及びパージする基準となる第１気体Ｍの基準圧力を記憶する。

起動停止部９２は、レーザ加工装置１を起動又は停止する。また、起動停止部９２は、レーザ加工装置１を起動した後、電源１３（発振部１０）を起動して発振部１０からレーザビームＧを出射可能な状態にする。起動停止部９２は、例えば、機械的なスイッチ（図示せず）に接続され、スイッチ（図示せず）への入力に基づいてレーザ加工装置１を起動又は停止する。具体的には、レーザ加工装置１を起動する際に、起動停止部９２は、スイッチ（図示せず）への入力に基づいて、供給部５０及び排気部６０を起動する（スタンバイ状態、以下、第１状態とする）。起動停止部９２は、更なるスイッチ（図示せず）への更なる入力に基づいて、送風機３０を起動したのち、電源１３（発振部１０）を起動する。これにより、起動停止部９２は、レーザ加工装置１について、レーザビームＧを出射可能な状態にする（稼働状態、以下、第２状態とする）。

レーザ加工装置１を停止する際に、起動停止部９２は、スイッチ（図示せず）への入力に基づいて、電源１３（発振部１０）及び送風機３０を停止する（スタンバイ状態、以下、第３状態とする）。起動停止部９２は、更なるスイッチ（図示せず）への入力に基づいて、供給部５０及び排気部６０を停止する（停止状態、以下、第４状態とする）。起動停止部９２は、レーザ加工装置１を起動又は停止して第１状態又は第３状態にした場合に、起動信号又は停止信号を制御時間設定部９３、稼働時間計測部９４、及び圧力比較部９６に送る。また、起動停止部９２は、発振部１０を起動した際（第２状態にした際）に、稼働信号を稼働時間計測部９４に送る。

計時部９５は、いわゆるタイマーであり、現在の時刻を計測する。
制御時間設定部９３は、起動信号又は停止信号を起動停止部９２から取得する。制御時間設定部９３は、起動信号又は停止信号を取得すると、基準となる経過時間を記憶部９１から取得する。また、制御時間設定部９３は、弁部７０を開閉動作した前回の時刻を記憶部９１から取得する。制御時間設定部９３は、弁部７０を開閉動作した前回の時刻に基準となる経過時間を加える。制御時間設定部９３は、加えた結果が計時部９５から取得した現在の時刻を超えている場合に、パージを実行する信号を制御実行部９７に送る。

稼働時間計測部９４は、起動停止部９２から起動信号、停止信号、又は稼働信号を取得する。稼働時間計測部９４は、起動信号を取得すると、発振部１０の稼働開始からの積算時間を記憶部９１から取得する。また、稼働時間計測部９４は、基準となる発振部１０の稼働時間を記憶部９１から取得する。稼働時間計測部９４は、取得した積算時間が基準となる発振部１０の稼働時間を超えている場合に、制御実行部９７にパージを実行する信号を送る。稼働時間計測部９４は、パージを実行する信号を送った場合に、積算時間をリセットして記憶部９１に格納する。また、稼働時間計測部９４は、稼働信号を取得した時間を計時部９５から取得する。

稼働時間計測部９４は、停止信号を取得すると、停止信号を取得した時刻を計時部９５から取得する。稼働時間計測部９４は、発振部１０の稼働開始からの積算時間を記憶部９１から取得する。また、稼働時間計測部９４は、基準となる発振部１０の稼働時間を記憶部９１から取得する。稼働時間計測部９４は、稼働信号を取得してから停止信号を取得するまでの時間を取得した積算時間に加える。稼働時間計測部９４は、加えた積算時間が基準となる発振部１０の稼働時間を超える場合にパージを実行する信号を、制御実行部９７に送る。稼働時間計測部９４は、パージを実行する信号を送った場合に、積算時間をリセットして記憶部９１に格納する。

圧力比較部９６は、起動信号を起動停止部９２から取得する。圧力比較部９６は、起動信号を取得すると、第１気体Ｍの基準圧力を記憶部９１から取得する。圧力比較部９６は、所定時間後に圧力測定部８０によって測定された圧力を取得する。圧力比較部９６は、基準圧力と、圧力測定部８０によって測定された圧力とを比較する。圧力比較部９６は、圧力測定部８０によって測定された圧力が基準圧力よりも高い場合に、パージを実行させる信号を制御実行部９７に送る。また、圧力比較部９６は、測定された圧力と基準圧力との差に基づいて、第２ライン６４を開いてドライポンプ６１をパージする時間的長さを設定する。圧力比較部９６は、ドライポンプ６１のパージを実行する信号を制御実行部９７に送る。また、圧力比較部９６は、設定した時間的長さを制御実行部９７に送る。

制御実行部９７は、弁部７０を開閉してドライポンプ６１のパージを実施する。制御実行部９７は、レーザ加工装置１のスタンバイ時にドライポンプ６１のパージを実施する。具体的には、制御実行部９７は、パージを実施する信号を稼働時間計測部９４、稼働時間設定部、又は圧力比較部９６から取得した場合にドライポンプ６１のパージを実施する。また、制御実行部９７は、圧力比較部９６からパージの時間的長さを取得している場合に、設定されたパージの時間的長さ分、第２ライン６４を開いて、第２気体Ｎを用いてドライポンプ６１をパージする。本実施形態において、制御部９０は、弁部７０である三方弁７１を切り換えることにより、第２ライン６４を開いて、第２気体Ｎを用いてドライポンプ６１をパージする。

次に、レーザ加工装置１のパージ動作を説明する。
レーザ加工装置１におけるドライポンプ６１のパージは、制御時間設定部９３、稼働時間計測部９４、及び圧力比較部９６の少なくとも１つから送られたパージを実施する信号に基づいて実施される。また、ドライポンプ６１のパージは、第１状態又は第３状態（スタンバイ状態）において実施される。以下、順に説明する。

まず、図３を参照して、レーザ加工装置１の装置停止前（第３状態）に、前回の開閉動作からの経過時間に基づいてドライポンプ６１のパージを実施する動作について説明する。

まず、ステップＳ１において、発振部１０が動作している間、起動停止部９２は、発振部１０の動作を停止する操作がスイッチ（図示せず）になされたか否かを判断する。スイッチ（図示せず）が操作されていない場合（ステップＳ１：ＮＯ）、起動停止部９２は、スイッチ（図示せず）が操作されるまで待機する。一方、スイッチ（図示せず）が操作された場合（ステップＳ１：ＹＥＳ）、起動停止部９２は、制御時間設定部９３に停止信号を送る。また、起動停止部９２は、電源１３を停止することにより、レーザ加工装置１を第２状態から第３状態に遷移させて、処理をステップＳ２へ進める。

ステップＳ２において、制御時間設定部９３は、停止信号を取得すると、現在の時刻を、計時部９５から取得する。また、制御時間設定部９３は、弁部７０を開閉動作した前回の時刻と、ドライポンプ６１のパージを実行する基準となる経過時間とを、記憶部９１から取得する。制御時間設定部９３は、基準となる経過時間を前回の時刻に加え、制御時間を算出する。制御時間設定部９３は、現在の時刻が制御時間を超えている場合に（ステップＳ２：ＹＥＳ）、パージを実施する信号を制御実行部９７に送り、処理をステップＳ３へ進める。一方、制御時間設定部９３は、現在の時刻が制御時間を超えていない場合に、処理をステップＳ４へ進める。

ステップＳ３において、制御実行部９７は、パージを実施する信号を取得する。制御実行部９７は、第１ライン６３からドライポンプ６１へ第１気体Ｍが流入する第１流入状態から、第２ライン６４からドライポンプ６１へ第２気体Ｎが流入する第２流入状態へ三方弁７１を切り換える。制御実行部９７は、所定時間（ドライポンプ６１を十分にパージできる時間）経過後に、第１流入状態へ三方弁７１を切り換える。また、制御実行部９７は、現在の時刻を計時部９５から取得して、弁部７０を開閉動作した前回の時刻を現在の時刻に更新して記憶部９１に記憶する。

ステップＳ４において、起動停止部９２は、供給部５０、及び排気部６０の動作を停止する。即ち、起動停止部９２は、レーザ加工装置１を第３状態から第４状態に遷移させる。これにより、レーザ加工装置１の動作が終了する。

次に、図４を参照して、レーザ加工装置１の発振部１０の起動前（第１状態）に、前回の開閉動作からの経過時間に基づいてドライポンプ６１のパージを実施する動作について説明する。

まず、ステップＳ１１において、起動停止部９２は、レーザ加工装置１を起動する操作がスイッチ（図示せず）になされたか否かを判断する。スイッチ（図示せず）が操作されていない場合（ステップＳ１１：ＮＯ）、起動停止部９２は、スイッチ（図示せず）が操作されるまで待機する。一方、スイッチ（図示せず）が操作された場合（ステップＳ１１：ＹＥＳ）、起動停止部９２は、制御時間設定部９３に起動信号を送る。また、起動停止部９２は、供給部５０、及び排気部６０を起動することにより、レーザ加工装置１を第４状態から第１状態に遷移させて、処理をステップＳ１２へ進める。

ステップＳ１２において、制御時間設定部９３は、起動信号を取得すると、現在の時刻を、計時部９５から取得する。また、制御時間設定部９３は、弁部７０を開閉動作した前回の時刻と、パージを実行する基準となる経過時間とを、記憶部９１から取得する。制御時間設定部９３は、基準となる経過時間を前回の時刻に加え、制御時間を算出する。制御時間設定部９３は、現在の時刻が制御時間を超えている場合に（ステップＳ１２：ＹＥＳ）、制御実行部９７にパージを実施する信号を送り、処理をステップＳ１３へ進める。一方、制御時間設定部９３は、現在の時刻が制御時間を超えていない場合に、処理をステップＳ１４へ進める。

ステップＳ１３において、制御実行部９７は、パージを実施する信号を取得する。制御実行部９７は、供給ライン５２に配置された止め弁を開く。また、制御実行部９７は、第１ライン６３からドライポンプ６１へ第１気体Ｍが流入する第１流入状態から、第２ライン６４からドライポンプ６１へ第２気体Ｎが流入する第２流入状態へ三方弁７１を切り換える。制御実行部９７は、所定時間（ドライポンプ６１を十分にパージできる時間）経過後に、第１流入状態へ三方弁７１を切り換える。また、制御実行部９７は、現在の時刻を計時部９５から取得して、弁部７０を開閉動作した前回の時刻を現在の時刻に更新して記憶部９１に記憶する。

ステップＳ１４において、起動停止部９２は、送風機３０を起動したのち、電源１３を起動する。即ち、起動停止部９２は、レーザ加工装置１を第１状態から第２状態に遷移させる。これにより、発振部１０が起動する。

次に、図５を参照して、レーザ加工装置１の装置停止前（第３状態）に、発振部１０の稼働時間に基づいてドライポンプ６１のパージを実施する動作について説明する。

まず、ステップＳ２１において、発振部１０が稼働している間、起動停止部９２は、発振部１０の動作を停止する操作がスイッチ（図示せず）になされたか否かを判断する。スイッチ（図示せず）が操作されていない場合（ステップＳ２１：ＮＯ）、起動停止部９２は、スイッチ（図示せず）が操作されるまで待機する。一方、スイッチ（図示せず）が操作された場合（ステップＳ２１：ＹＥＳ）、起動停止部９２は、稼働時間計測部９４に停止信号を送る。また、起動停止部９２は、電源１３及び送風機３０を停止することにより、レーザ加工装置１を第２状態から第３状態に遷移させて、処理をステップＳ２２へ進める。

ステップＳ２２において、稼働時間計測部９４は、停止信号を取得すると、現在の時刻を、計時部９５から取得する。また、稼働時間計測部９４は、発振部１０が起動された時刻（第２状態に遷移した時刻）と、パージを実行する基準となる稼働時間とを、記憶部９１から取得する。稼働時間計測部９４は、発振部１０の稼働開始からの積算時間を、更に記憶部９１から取得する。稼働時間計測部９４は、取得した積算時間に今回の発振部１０の稼働時間（第２状態への遷移から第３状態への遷移までの時間）を加える。稼働時間計測部９４は、加えた積算時間と基準となる稼働時間とを比較する。稼働時間計測部９４は、積算時間が基準となる稼働時間を超えている場合に（ステップＳ２２：ＹＥＳ）、制御実行部９７にパージを実施する信号を送り、処理をステップＳ２３へ進める。また、稼働時間計測部９４は、積算時間をリセットして、記憶部９１に記憶する。一方、稼働時間計測部９４は、実際の稼働時間が基準となる稼働時間を超えていない場合に、処理をステップＳ２４へ進める。また、稼働時間計測部９４は、取得した積算時間について、加えた積算時間に更新して記憶部９１に記憶する。

ステップＳ２３において、制御実行部９７は、パージを実施する信号を取得する。制御実行部９７は、第１ライン６３からドライポンプ６１へ第１気体Ｍが流入する第１流入状態から、第２ライン６４からドライポンプ６１へ第２気体Ｎが流入する第２流入状態へ三方弁７１を切り換える。制御実行部９７は、所定時間（ドライポンプ６１を十分にパージできる時間）経過後に、第１流入状態へ三方弁７１を切り換える。また、制御実行部９７は、現在の時刻を計時部９５から取得して、弁部７０の開閉動作をした前回の時刻を現在の時刻に更新して記憶部９１に記憶する。

ステップＳ２４において、起動停止部９２は、供給部５０、及び排気部６０の動作を停止する。即ち、起動停止部９２は、レーザ加工装置１を第３状態から第４状態に遷移させる。これにより、レーザ加工装置１の動作が終了する。

次に、図６を参照して、レーザ加工装置１の発振部１０の起動前（第１状態）に、発振部１０の稼働時間に基づいてドライポンプ６１のパージを実施する動作を説明する。

まず、ステップＳ３１において、起動停止部９２は、レーザ加工装置１を起動する操作がスイッチ（図示せず）になされたか否かを判断する。スイッチ（図示せず）が操作されていない場合（ステップＳ３１：ＮＯ）、起動停止部９２は、スイッチ（図示せず）が操作されるまで待機する。一方、スイッチ（図示せず）が操作された場合（ステップＳ３１：ＹＥＳ）、起動停止部９２は、稼働時間計測部９４に起動信号を送る。また、起動停止部９２は、供給部５０、及び排気部６０を起動することにより、レーザ加工装置１を第４状態から第１状態に遷移させて、処理をステップＳ３２へ進める。

ステップＳ３２において、稼働時間計測部９４は、起動信号を取得すると、発振部１０の稼働時間の積算時間を、記憶部９１から取得する。また、稼働時間計測部９４は、パージを実行する基準となる稼働時間を、記憶部９１から取得する。稼働時間計測部９４は、取得した積算時間と基準となる稼働時間とを比較する。稼働時間計測部９４は、積算時間が基準となる稼働時間を超えている場合に（ステップＳ３２：ＹＥＳ）、制御実行部９７にパージを実施する信号を送り、処理をステップＳ３３へ進める。一方、稼働時間計測部９４は、積算時間が基準となる稼働時間を超えていない場合に、処理をステップＳ３４へ進める。

ステップＳ３３において、制御実行部９７は、パージを実施する信号を取得する。制御実行部９７は、第１ライン６３からドライポンプ６１へ第１気体Ｍが流入する第１流入状態から、第２ライン６４からドライポンプ６１へ第２気体Ｎが流入する第２流入状態へ三方弁７１を切り換える。制御実行部９７は、所定時間（ドライポンプ６１を十分にパージできる時間）経過後に、第１流入状態へ三方弁７１を切り換える。また、制御実行部９７は、現在の時刻を計時部９５から取得して、弁部７０の開閉動作をした前回の時刻を現在の時刻に更新して記憶部９１に記憶する。

ステップＳ３４において、起動停止部９２は、送風機３０を起動したのち、電源１３を起動可能とする。即ち、起動停止部９２は、レーザ加工装置１を第１状態から第２状態に遷移させる。これにより、発振部１０が起動可能となり、レーザ加工装置１が起動する。

次に、図７を参照して、レーザ加工装置１の発振部１０の起動前（第１状態）に、第１気体Ｍの圧力が基準圧力よりも高い場合にドライポンプ６１のパージを実施する動作について説明する。

まず、ステップＳ４１において、起動停止部９２は、レーザ加工装置１を起動する操作がスイッチ（図示せず）になされたか否かを判断する。スイッチ（図示せず）が操作されていない場合（ステップＳ４１：ＮＯ）、起動停止部９２は、スイッチ（図示せず）が操作されるまで待機する。一方、スイッチ（図示せず）が操作された場合（ステップＳ４１：ＹＥＳ）、起動停止部９２は、圧力比較部９６に起動信号を送る。また、起動停止部９２は、供給部５０、及び排気部６０を起動することにより、レーザ加工装置１を第４状態から第１状態に遷移させて、処理をステップＳ４２へ進める。

ステップＳ４２において、圧力比較部９６は、起動信号を取得すると、所定時間経過後（例えば、図８及び図９の排気時間Ｔ１（ｓ））に、圧力測定部８０から第１気体Ｍの圧力を取得する。また、圧力比較部９６は、パージを実施する基準となる基準圧力を、記憶部９１から取得する。圧力比較部９６は、取得した圧力と、基準圧力とを比較する。圧力比較部９６は、取得した圧力が基準圧力よりも高い場合（ステップＳ４２：ＹＥＳ、図９参照）、ドライポンプ６１の排気能力が低下しているとして、パージを実施する信号を制御実行部９７に送り、ステップＳ４３へ進む。一方、稼働時間計測部９４は、取得した圧力が基準圧力をよりも低い場合（図８参照）、ドライポンプ６１の排気能力が低下していないとして、処理をステップＳ４４へ進める。

ステップＳ４３において、制御実行部９７は、パージを実施する信号を取得する。制御実行部９７は、第１ライン６３からドライポンプ６１へ第１気体Ｍが流入する第１流入状態から、第２ライン６４からドライポンプ６１へ第２気体Ｎが流入する第２流入状態へ三方弁７１を切り換える。制御実行部９７は、所定時間（ドライポンプ６１を十分にパージできる時間）経過後に、第１流入状態へ三方弁７１を切り換える。また、制御実行部９７は、現在の時刻を計時部９５から取得して、弁部７０の開閉動作をした前回の時刻を現在の時刻に更新して記憶部９１に記憶する。

ステップＳ４４において、起動停止部９２は、送風機３０を起動したのち、電源１３を起動可能とする。即ち、起動停止部９２は、レーザ加工装置１を第１状態から第２状態に遷移させる。これにより、発振部１０が起動可能となり、レーザ加工装置１が起動する。

次に、図１０を参照して、レーザ加工装置１の発振部１０の起動前（第１状態）に、第１気体Ｍの圧力と基準圧力との差に基づいてドライポンプ６１のパージ時間的長さを設定する動作について説明する。
まず、ステップＳ５１において、起動停止部９２は、レーザ加工装置１を起動する操作がスイッチ（図示せず）になされたか否かを判断する。スイッチ（図示せず）が操作されていない場合（ステップＳ５１：ＮＯ）、起動停止部９２は、スイッチ（図示せず）が操作されるまで待機する。一方、スイッチ（図示せず）が操作された場合（ステップＳ５１：ＹＥＳ）、起動停止部９２は、圧力比較部９６に起動信号を送る。また、起動停止部９２は、供給ライン５２の止め弁５３を開き、ドライポンプ６１を起動することにより、レーザ加工装置１を第４状態から第１状態に遷移させて、ステップＳ５２へ進む。

ステップＳ５２において、圧力比較部９６は、起動信号を取得すると、所定時間経過後（例えば、図８及び図９の排気時間Ｔ１（ｓ））に、圧力測定部８０から第１気体Ｍの圧力を取得する。また、圧力比較部９６は、パージを実施する基準となる基準圧力を、記憶部９１から取得する。圧力比較部９６は、取得した圧力と、基準圧力とを比較する。圧力比較部９６は、取得した圧力が基準圧力よりも高い場合（ステップＳ４２：ＹＥＳ、図９参照）、ドライポンプ６１の排気能力が低下しているとして、パージを実施する信号を制御実行部９７に送る。また、圧力比較部９６は、取得した圧力と基準圧力との差に基づいて、パージを実行する時間的長さを設定する。具体的には、圧力比較部９６は、差が大きい程、時間的長さを長く設定する。逆に、圧力比較部９６は、差が小さい程、時間的長さを短く設定する。圧力比較部９６は、設定した時間的長さを制御実行部９７に送り、処理をステップＳ４３に進める。一方、圧力比較部９６は、取得した圧力が基準圧力よりも低い場合（図８参照）、ドライポンプ６１の排気能力が低下していないとして、処理をステップＳ５４へ進める。

ステップＳ５３において、制御実行部９７は、パージを実施する信号を取得する。また、制御実行部９７は、パージを実施する時間的長さを取得する。制御実行部９７は、第１ライン６３からドライポンプ６１へ第１気体Ｍが流入する第１流入状態から、第２ライン６４からドライポンプ６１へ第２気体Ｎが流入する第２流入状態へ三方弁７１を切り換える。制御実行部９７は、取得した時間的長さの（ドライポンプ６１を十分にパージできる時間）経過後に、第１流入状態へ三方弁７１を切り換える。また、制御実行部９７は、現在の時刻を計時部９５から取得して、弁部７０の開閉動作をした前回の時刻を現在の時刻に更新して記憶部９１に記憶する。

ステップＳ５４において、起動停止部９２は、送風機３０を起動したのち、電源１３を起動可能とする。即ち、起動停止部９２は、レーザ加工装置１を第１状態から第２状態に遷移させる。これにより、発振部１０が起動可能となり、レーザ加工装置１が起動する。

以上の本発明の第１実施形態に係るレーザ加工装置１によれば、以下のような効果を奏する。
（１）排気部６０を、ドライポンプ６１と、封入部２０とドライポンプ６１との間を接続する第１ライン６３と、第１気体Ｍよりも圧力の高い第２気体Ｎをドライポンプ６１に供給する第２ライン６４と、第１ライン６３及び第２ライン６４を開閉する弁部７０と、弁部７０の開閉を制御する制御部９０と、を含んで構成した。制御部９０が弁部７０を動作させることにより、第１ライン６３及び第２ライン６４の流路を開閉できる。これにより、制御部９０は、第１気体Ｍ及び第２気体Ｎの少なくとも一方のドライポンプ６１への流入を制御することができる。第１気体Ｍよりも圧力の高い第２気体Ｎをドライポンプ６１へ流入させることにより、第１気体Ｍの排気に起因してドライポンプ６１に蓄積された塵芥をパージすることができる。従って、ドライポンプ６１の排気性能を容易に回復させることができ、ドライポンプ６１の不具合発生を抑制することができる。

（２）第２ライン６４を、第１ライン６３の途中に接続し、弁部７０を、第１ライン６３と第２ライン６４とが接続される接続部に配置される三方弁７１とした。また、制御部９０に、第１ライン６３からドライポンプ６１へ第１気体Ｍが流入する第１流入状態から、第２ライン６４からドライポンプ６１へ第２気体Ｎが流入する第２流入状態へ切り換え、所定時間経過後に第１流入状態に切り換えるように、三方弁７１を制御させた。ドライポンプ６１に供給される気体を第１気体Ｍ及び第２気体Ｎのいずれかに切り換え可能としたので、ドライポンプ６１を第２気体Ｎのみでパージすることができる。これにより、第１気体Ｍを同時にパージに用いる場合に比べ、塵芥を含む第１気体Ｍを排除することができるので、パージ性能を向上することができる。

（３）制御部９０に、予め定められた開閉タイミングに基づいて弁部７０を開閉させた。予め定められた開閉タイミングに基づいて弁部７０を動作させるので、ドライポンプ６１内に塵芥が蓄積するのを抑制しつつ、無駄なパージを抑制することができる。

（４）制御部９０に、弁部７０の前回の開閉動作から経過した積算時間に基づいて弁部７０を開閉させた。前回のドライポンプ６１のパージから一定時間ごとにドライポンプ６１がパージされるので、ドライポンプ６１の排気性能を一定レベルに保つことができる。

（５）制御部９０に、発振部１０の稼働開始からの積算時間に基づいて弁部７０を開閉させた。ドライポンプ６１に蓄積される塵芥が一定量を超えると予想されるタイミングでドライポンプ６１をパージできるので、ドライポンプ６１の排気性能を一定レベルに保つことができる。

（６）制御部９０に、発振部１０の動作開始前又は動作停止後に弁部７０を開閉させた。発振部１０の動作開始前又は動作停止後にドライポンプ６１をパージするので、加工を中断することなくドライポンプ６１をパージできる。従って、加工途中にパージすることによる加工効率の低下を抑制しつつ、ドライポンプ６１をパージすることができる。

（７）レーザ加工装置１を、封入部の内部の気体の圧力を測定する圧力測定部８０を含んで構成し、制御部９０に、測定された圧力が所定の基準圧力を満たすか否かに基づいて弁部７０を開閉させた。ドライポンプ６１の排気性能が低下していると考えられるタイミングでドライポンプ６１をパージできる。これにより、ドライポンプ６１の排気性能を回復させて、加工に与える影響を低減できる。

（８）制御部９０に、測定された圧力と基準圧力との差に基づいて、第２ライン６４を開く時間的長さを設定させた。測定された第１気体Ｍの圧力と、基準圧力との差に基づいて決定された長さだけ第２ライン６４を開放するので、パージに要する時間的な長さを最適化でき、レーザ加工装置１のダウンタイムを最小限にすることができる。

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態に係るレーザ加工装置について、図１１を参照して説明する。第２実施形態以降の説明にあたって、同一構成要件については同一符号を付し、その説明を省略もしくは簡略化する。図１１は、本発明の第２実施形態に係るレーザ加工装置を示す概略構成図である。
第２実施形態に係るレーザ加工装置１は、図１１に示すように、弁部７０が第１ライン６３を開閉する第１止め弁７２と、第２ライン６４を開閉する第２止め弁７３と、を備える点で第１実施形態と異なる。また、第２実施形態に係るレーザ加工装置１は、制御部９０（制御実行部９７）が、ドライポンプ６１のパージを実施する動作が第１実施形態と異なる。具体的には、制御部９０（制御実行部９７）は、第１止め弁７２及び第２止め弁７３を開いて、第１ライン６３及び第２ライン６４それぞれからドライポンプ６１へ第１気体Ｍ及び第２気体Ｎを供給し、所定時間経過後に、第２止め弁７３を閉じる。或いは、第２止め弁７３を開いて、第２ライン６４からドライポンプ６１へ第２気体Ｎを供給し、所定時間経過後に、第２止め弁７３を閉じ、第１止め弁７２を開いてもよい。

以上の本発明の第２実施形態に係るレーザ加工装置１によれば、以下のような効果を奏する。

（９）弁部７０を、第１ライン６３を開閉する第１止め弁７２と、第２ライン６４を開閉する第２止め弁７３と、を含んで構成した。また、制御部９０に、第１止め弁７２及び第２止め弁７３を開いて、第１ライン６３及び第２ライン６４それぞれからドライポンプ６１へ第１気体Ｍ及び第２気体Ｎを供給し、所定時間経過後に、第２止め弁７３を閉じさせた。封入部２０の気体を排気する第１ライン６３に対して、第２ライン６４及び第２止め弁７３を単に追加するだけでよいので、三方弁７１を設ける場合に比べ、必要となるコストを低下させることができる。

［第３実施形態］
次に、本発明の第３実施形態に係るレーザ加工装置について、図１２を参照して説明する。図１２は、本発明の第３実施形態に係るレーザ加工装置を示す概略構成図である。
第３実施形態に係るレーザ加工装置１は、図１２に示すように、第２ライン６４が、封入部２０に接続される点で第２実施形態と異なる。

以上の本発明の第３実施形態に係るレーザ加工装置１によれば、以下のような効果を奏する。
（１０）第２ライン６４を、封入部２０に接続した。封入部２０に第２気体Ｎを導入することにより、第１ライン６３を介して封入部２０内の第１気体Ｍを排気でき、その後第２気体Ｎによってドライポンプ６１をパージできる。これにより、封入部２０の内部についてもパージできるので、ドライポンプ６１内に塵芥が蓄積されるまでの時間をより長くすることができ、次のパージまでの時間をより長くすることができる。

［第４実施形態］
次に、本発明の第４実施形態に係るレーザ加工装置について、図１３を参照して説明する。図１３は、本発明の第４実施形態に係るレーザ加工装置を示す概略構成図である。
第４実施形態に係るレーザ加工装置１は、図１３に示すように、封入部２０がワークを加工するチャンバ１００である点で第１実施形態と異なる。また、第４実施形態に係るレーザ加工装置１は、吸気部及び排気部６０がチャンバ１００に接続されている点で第１実施形態と異なる。

チャンバ１００は、加工ワークＫを載せて移動可能な移動テーブル１１０を内部に有する。チャンバ１００には、第１気体Ｍが封入され、ミラー１２０（ガルバノミラーを含む）によって反射されたレーザビームＧを加工ワークＫに向けて透過可能に構成される。
排気部６０は、チャンバ１００内で加工ワークＫを加工した結果生じた塵芥を第１気体Ｍとともに排気可能に構成される。

以上の本発明の第４実施形態に係るレーザ加工装置１によれば、以下のような効果を奏する。
（１１）排気部６０を、チャンバ１００内で加工ワークＫを加工した結果生じた塵芥を第１気体Ｍとともに排気可能に構成した。ドライポンプ６１に供給される気体を第１気体Ｍ及び第２気体Ｎのいずれかに切り換え可能としたので、ドライポンプ６１を第２気体Ｎのみでパージすることができる。これにより、第１気体Ｍを同時にパージに用いる場合に比べ、塵芥を含む第１気体Ｍを排除することができるので、パージ性能を向上することができる。

［第５実施形態］
次に、本発明の第５実施形態に係るレーザ加工装置について、図１４を参照して説明する。図１４は、本発明の第５実施形態に係るレーザ加工装置を示す概略構成図である。
第５実施形態に係るレーザ加工装置１は、図１４に示すように、弁部７０が第１ライン６３を開閉する第１止め弁７２と、第２ライン６４を開閉する第２止め弁７３と、を備える点で第４実施形態と異なる。また、第５実施形態に係るレーザ加工装置１は、制御部９０（制御実行部９７）が、ドライポンプ６１のパージを実施する動作が第４実施形態と異なる。具体的には、制御部９０（制御実行部９７）は、第１止め弁７２及び第２止め弁７３を開いて、第１ライン６３及び第２ライン６４それぞれからドライポンプ６１へ第１気体Ｍ及び第２気体Ｎを供給し、所定時間経過後に、第２止め弁７３を閉じる。或いは、第２止め弁７３を開いて、第２ライン６４からドライポンプ６１へ第２気体Ｎを供給し、所定時間経過後に、第２止め弁７３を閉じ、第１止め弁７２を開いてもよい。

以上の本発明の第５実施形態に係るレーザ加工装置１によれば、以下のような効果を奏する。
（１２）弁部７０を、第１ライン６３を開閉する第１止め弁７２と、第２ライン６４を開閉する第２止め弁７３と、を含んで構成した。また、制御部９０に、第１止め弁７２及び第２止め弁７３を開いて、第１ライン６３及び第２ライン６４それぞれからドライポンプ６１へ第１気体Ｍ及び第２気体Ｎを供給し、所定時間経過後に、第２止め弁７３を閉じさせた。封入部２０の気体を排気する第１ライン６３に対して、第２ライン６４及び第２止め弁７３を単に追加するだけでよいので、三方弁７１を設ける場合に比べ、必要となるコストを低下させることができる。

［第６実施形態］
次に、本発明の第６実施形態に係るレーザ加工装置について、図１５を参照して説明する。図１５は、本発明の第６実施形態に係るレーザ加工装置を示す概略構成図である。
第６実施形態に係るレーザ加工装置１は、図１５に示すように、第２ライン６４が、封入部２０に接続される点で第５実施形態と異なる。

以上の本発明の第５実施形態に係るレーザ加工装置１によれば、以下のような効果を奏する。
（１３）第２ライン６４を、封入部２０に接続した。封入部２０に第２気体Ｎを導入することにより、第１ライン６３を介して封入部２０内の第１気体Ｍを排気でき、その後第２気体Ｎによってドライポンプ６１をパージできる。これにより、封入部２０の内部についてもパージできるので、ドライポンプ６１内に塵芥が蓄積されるまでの時間をより長くすることができ、次のパージまでの時間をより長くすることができる。

以上、本発明のレーザ加工装置の好ましい各実施形態につき説明したが、本発明は、上述の実施形態に制限されるものではなく、適宜変更が可能である。本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良は本発明に含まれる。

例えば、上記各実施形態において、第２気体Ｎとして、供給部５０のガスボンベ５１を接続した上でドライポンプ６１に供給してもよい。また、第２気体Ｎとして、フィルタを介して大気をドライポンプ６１に供給してもよい。なお、大気は、封入部２０に封入されている第１気体Ｍよりも高い圧力でドライポンプ６１に供給される。

また、上記各実施形態において、第１気体Ｍの圧力を測定してドライポンプ６１のパージを実施する場合、レーザ加工装置１の起動時に制限されない。即ち、レーザ加工装置１の停止時に実施されてもよい。この場合、圧力比較部９６は、起動時に測定された第１気体Ｍの圧力を記憶部９１に記憶しておき、レーザ加工装置１の停止時に基準圧力と比較してドライポンプ６１のパージを実施してもよい。

また、上記第３実施形態において、第２ライン６４の接続位置を一方の導入ライン２２としたが、他方の導入ライン２２や導出ライン２１であってもよい。

また、上記各実施形態において、制御実行部９７が弁部７０を制御して、ドライポンプ６１のパージを実施している際に、制御実行部９７は、パージを実施していることを報知部（図示せず）に報知させてもよい。

１ レーザ加工装置
５ レーザ発振器
１０ 発振部
２０ 封入部
６０ 排気部
６１ ドライポンプ
６３ 第１ライン
６４ 第２ライン
７０ 弁部
７１ 三方弁
７２ 第１止め弁
７３ 第２止め弁
８０ 圧力測定部
９０ 制御部
Ｇ レーザビーム
Ｍ 第１気体
Ｎ 第２気体

Claims (10)

1. 加工用のレーザビームを生成する発振部と、第１気体が封入された封入部と、前記発振部の動作に伴って前記封入部に発生する塵芥とともに第１気体を排気する排気部と、を備えるレーザ加工装置であって、
   前記排気部は、
   ドライポンプと、
   前記封入部と前記ドライポンプとの間を接続する第１ラインと、
   第１気体よりも圧力の高い第２気体を前記ドライポンプに供給する第２ラインと、
   前記第１ライン及び前記第２ラインを開閉する弁部と、
   前記弁部の開閉を制御する制御部と、
   を備えるレーザ加工装置。
2. 前記第２ラインは、前記第１ラインの途中に接続され、
   前記弁部は、前記第１ラインと前記第２ラインとが接続される接続部に配置される三方弁であり、
   前記制御部は、前記第１ラインから前記ドライポンプへ第１気体が流入する第１流入状態から、前記第２ラインから前記ドライポンプへ第２気体が流入する第２流入状態へ切り換え、所定時間経過後に前記第１流入状態に切り換えるように、前記三方弁を制御する、
   請求項１に記載のレーザ加工装置。
3. 前記弁部は、
   前記第１ラインを開閉する第１止め弁と、
   前記第２ラインを開閉する第２止め弁と、
   を備え、
   前記制御部は、前記第１止め弁及び前記第２止め弁を開いて、前記第１ライン及び第２ラインそれぞれから前記ドライポンプへ第１気体及び第２気体を供給し、所定時間経過後に、前記第２止め弁を閉じる、
   請求項１に記載のレーザ加工装置。
4. 前記第２ラインは、前記封入部に接続される、請求項３に記載のレーザ加工装置。
5. 前記制御部は、予め定められた開閉タイミングに基づいて前記弁部を開閉する、請求項１〜４のいずれかに記載のレーザ加工装置。
6. 前記制御部は、前記弁部の前回の開閉動作から経過した経過時間に基づいて前記弁部を開閉させる、請求項５に記載のレーザ加工装置。
7. 前記制御部は、前記発振部の稼働開始からの積算時間に基づいて前記弁部を開閉させる、請求項５又は６に記載のレーザ加工装置。
8. 前記制御部は、前記発振部の動作開始前又は動作停止後に前記弁部を開閉させる、請求項５〜７のいずれかに記載のレーザ加工装置。
9. 前記封入部の内部の第１気体の圧力を測定する圧力測定部を更に備え、
   前記制御部は、測定された圧力が所定の基準圧力を満たしているか否かに基づいて前記弁部を開閉させる、請求項１〜８のいずれかに記載のレーザ加工装置。
10. 前記制御部は、測定された圧力と前記基準圧力との差に基づいて、前記第２ラインを開く時間的長さを設定する、請求項９に記載のレーザ加工装置。

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