JP2018179987A - 走査2次元x線検出器の角度カバレージを拡大するための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
Description
− アンダートラベルのためにはスペースが利用可能であるが、オーバートラベルのためには利用可能でない。
− アンダートラベルのためにはスペースが利用可能でないが、オーバートラベルのためには利用可能である。
− アンダートラベルのためには部分的にスペースが利用可能であるが、オーバートラベルのためには利用可能でない。
− アンダートラベルのためにはスペースが利用可能でないが、オーバートラベルのためには部分的に利用可能である。
− アンダートラベルおよびオーバートラベル両方のために部分的にスペースが利用可能である。
これらのケース(および他のケース)の各々において、仮想走査の概念に基づいた手順および方法に従うことによって、2D回折パターンが、検出器の2つの端部位置間の全2θ範囲について、収集されることができる。
Claims (15)
- 試料に向けられたX線ビームを有し、前記試料によって回折されたX線のエネルギーを、2次元X線検出器を用いて検出し、前記検出されたX線のエネルギーの表現を、円筒区域を含む検出領域に関する空間強度分布として記憶する、X線回折計を用いて、X線回折測定を実行するための方法であって、前記方法は、
前記回折されたX線のエネルギーを検出しながら、前記試料の場所の周りで走査経路に沿って角度方向に前記検出器を移動させるステップと、
前記検出器が前記走査経路の端部に配置されたとき、前記X線のエネルギーを検出している間、前記検出器の位置を維持し、前記検出されたX線のエネルギーの前記表現に寄与するように使用される、検出される前記X線のエネルギーの部分を、前記角度方向に沿って漸進的に変化させるステップと
を含む方法。 - 前記検出器は、検出されたX線のエネルギーが前記表現に寄与するように使用される対象となる前記検出領域の角度範囲が、事前決定されたスピードで変化するように、移動され、前記表現に寄与するように使用される、検出される前記X線のエネルギーの部分を漸進的に変化させるステップは、前記事前決定されたスピードに一致するレートで、前記部分を変化させるステップを含む請求項1に記載の方法。
- 前記検出器によって検出されたX線のエネルギーの空間分布は、前記検出されたX線のエネルギーの前記表現に寄与するように使用される前に、円筒投影を用いて変換される請求項1または2に記載の方法。
- 前記表現に寄与するように使用される、検出される前記X線のエネルギーの部分を漸進的に変化させるステップは、前記検出されたX線のエネルギーが前記円筒投影を用いて変換された後に、前記部分を前記角度方向に沿って漸進的に変化させるステップを含む請求項3に記載の方法。
- 前記検出器は、ピクセルの2次元アレイを備え、前記表現に寄与するように使用される、検出される前記X線のエネルギーの部分を変化させるステップは、検出されたX線のエネルギーが前記表現に寄与するように使用される前記ピクセルを変化させるステップを含む請求項1乃至4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記検出器内のピクセル列は、前記走査経路に対して直角であり、検出されたX線のエネルギーが使用される前記ピクセルを変化させるステップは、前記ピクセル列に対して直角の方向に、前記ピクセルを1列ずつ変化させるステップを含む請求項5に記載の方法。
- 前記検出器は、ピクセルの2次元アレイを備え、前記検出器の平面内の前記ピクセルによって検出されたX線強度の空間分布は、前記検出領域に実質的に対応する検出器ピクセルの円筒投影におけるX線強度の空間分布として記憶される請求項1乃至6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記表現に寄与するように使用される、検出される前記X線のエネルギーの前記部分を変化させるステップは、前記円筒投影において投影される、それらからの前記X線強度が使用される前記ピクセルを、前記走査経路の方向に沿って1列ずつ変化させるステップを含む請求項7に記載の方法。
- 走査経路に沿って角度方向に前記検出器を移動させるステップは、Δα/Δtのスピードで、前記試料の場所の周りで前記検出器を移動させるステップを含み、ここで、Δαは、走査方向に対して直角である、検出器ピクセルの隣接する列間の距離に対応する角度距離であり、前記検出器の前記位置を維持する間、前記回折されたX線のエネルギーは、N(Δt)の持続時間にわたってアクティブに収集され、ここで、Nは、前記ピクセル列の数であり、前記検出器によって収集された前記回折されたX線のエネルギーの測定された強度は、照射時間に関して正規化される、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の方法。
- 試料のX線回折測定を実行するためのX線回折計であって、
前記試料に向けられたX線ビームと、
前記試料によって回折されたX線のエネルギーを検出する2次元X線検出器と、
前記回折されたX線のエネルギーを検出しながら、前記試料の場所の周りで走査経路に沿って角度方向に前記検出器を移動させ、前記検出されたX線のエネルギーの表現を、円筒区域を含む検出領域に関する空間強度分布として記憶する、走査システムであって、前記検出器が前記走査経路の端部に配置されたとき、前記X線のエネルギーを検出している間、前記検出器の位置は維持され、前記検出されたX線のエネルギーの前記表現に寄与するように使用される、検出される前記X線のエネルギーの部分は、前記角度方向に沿って漸進的に変化される、走査システムと
を備えるX線回折計。 - 前記検出器は、検出されたX線のエネルギーが前記表現に寄与するように使用される対象となる前記検出領域の角度範囲が、事前決定されたスピードで変化するように、移動され、前記表現に寄与するように使用される、検出される前記X線のエネルギーの部分を漸進的に変化させることは、前記事前決定されたスピードに一致するレートで、前記部分を変化させることを含む請求項10に記載の回折計。
- 前記走査システムは、前記検出器によって検出されたX線のエネルギーの空間分布を、前記検出されたX線のエネルギーの前記表現に寄与するように使用される前に、円筒投影を用いて変換する、請求項10または11に記載の回折計。
- 前記検出されたX線のエネルギーの前記表現に寄与するように使用される、検出される前記X線のエネルギーの前記部分は、前記検出されたX線のエネルギーが前記円筒投影を用いて変換された後に、前記角度方向に沿って漸進的に変化される請求項12に記載の回折計。
- 前記検出器は、ピクセルの2次元アレイを備え、前記表現に寄与するように使用される、検出される前記X線のエネルギーの前記部分は、検出されたX線のエネルギーが前記表現に寄与するように使用される前記ピクセルを変化させることによって変化される、請求項10乃至13のいずれか一項に記載の回折計。
- 前記検出器は、ピクセルの2次元アレイを備え、前記検出器の平面内の前記ピクセルによって検出されたX線強度の空間分布は、前記検出領域に実質的に対応する検出器ピクセルの円筒投影におけるX線強度の空間分布として記憶される、請求項10乃至14のいずれか一項に記載の回折計。
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