JP2018178996A - 真空ポンプの為の冷却体、及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明の課題は、真空ポンプの冷却を改善することであり、そして、ひいては冷却体の製造を簡易化することである。【解決手段】課題は、真空ポンプの為の冷却体（２０）、特にスクロールポンプのハウジング、又はハウジング部分であって、真空ポンプの運転中、冷却流体によって付勢される正面（２４）を有し、この正面内に、正面（２４）内に形成され、そして正面（２４）に沿って延在する複数の空所部（２２）を有する冷却構造が形成されており、その際、少なくとも、正面（２４）から各空所部（２２）への移行部（３０）に、冷却流体の為の緩やかな転向領域（３２）が形成されていることを特徴とする冷却体（２０）により解決される。【選択図】 図１

Description

本発明は、真空ポンプ、特にスクロールポンプのハウジング、又はハウジング部分の為の冷却体に関する。この冷却体は、真空ポンプの運転中冷却流体により付勢される正面を有している。正面内には、正面に形成され、そして正面に沿って延在する複数の空所部を有する冷却構造が形成されている。

本発明は、更に、真空ポンプ、特にスクロールポンプの為の冷却体の製造の為の方法に関する。この方法において、正面を有するワークピースが、冷却体の為の初期要素として提供され、そして正面に沿って延在する複数の空所部が、ワークピース内にツールによって形成される。

先行技術に係るスクロールポンプの例示的な冷却体は、対流による熱交換の為の複数の冷却リブを有する。これらは、冷却体の製造の際、空所部を形成することにより空所部の間に残る。空所部は、その際、エンドミルカッターにより、冷却体の為のワークピース内に形成される。これは、比較的繊細で、かつ加工面（エンドミルカッターの回転軸に垂直に推移している）に関して複雑な冷却リブ構造の形成を可能とする。

エンドミルカッターによる冷却体の製造は、しかし時間がかかり、そして空所部ベース部の形態の自由度は制限されたもののみが可能である。よって、先行技術における空所部ベース部は、平らに形成される。

この形態から、更に、空所部ベース部が、冷却リブの全ての壁部に対して、及び旋削（切削）されていない他の部分に対して垂直に推移するということが生じる。しかしこれは、互いに直角である側壁部と空所部ベースの領域において、少なくとも個々の点（又は箇所、独語：ｐｕｎｋｔｕｅｌｌ）に関して冷却流体、例えば空気の停滞に通じる可能性がある。特に冷却流体が、空所部ベース部の面に対して直角に送られるとき、つまり冷却体の正面に正面から送られるとき、そのような可能性がある。

ドイツ連邦共和国特許第６９４２５８９９号

本発明の課題は、真空ポンプの冷却を改善することであり、そして、ひいては冷却体の製造を簡易化することである。

この課題は、請求項１に記載の冷却体によって解決され、特に、少なくとも、正面から各空所部への移行部に、冷却流体の為の緩やかな転向領域が形成されていることによって解決される。

冷却流体は例えば空気であることが可能である。以下においては、発明に従い他の冷却媒体も考え得るけれども、簡単の為、空気のみが冷却媒体として引き合いに出されている。

緩やかな転向領域によって、空気滞留が防止され、又は減少される。特に、ファンが冷却体を空気流によって付勢するとき、第一の方向の空気流が、第二の、基本的に垂直な第一の方向へと転向される結果、空気が恒常的な流れを維持することが可能であり、そして対流による熱交換が改善されることに転向領域は作用する。しかし、ファン無しでも、冷却体における自由対流の枠内で空気流が形成され、これが、転向領域によって有利に転向されることが可能である。発明に係る転向領域は、更に、より少ないノイズ発生と、停滞圧という結果を有する。

よって、緩やかな移行部とは、上に先行技術に関して説明されたような、特に従来の移行部よりも流れが良好であり、及び／又は摩擦を防止する移行部であると解される。

一つの実施形においては、空所部は、それぞれ細長い流れチャネルとして形成されている。これは、特に、正面と空所部の間の移行部から離れるような、改善された空気の案内のために使用されることが可能である。

例えば、空所部は、それぞれ直線状（線状）であることが可能である。これは、その製造を簡易化し、そして気導を改善する。障害となる方向転換が防止されるからである。代替として、又は追加的に、空所部は、空所部の長さに関して一定の幅を有し得る。

一つの実施形に従い、空所部は、其々高さｈと幅を有する。その際、高さｈは、特に少なくとも、少なくとも近似的に正面に対して平行に推移する領域において、幅と同じであるか、又は幅よりも大である。

一つの実施形では、転向領域は、部分円形状に形成されている。これは、気流内の運動エネルギーをロストが少ない状態での、特に緩やかな転向を可能とする。更に、そのような転向領域は、簡単に製造されることが可能である。

人等の実施例に従い、転向領域の半径は、転向領域を製造するために使用されるディスク状のツールの半径と同じであるか、又はそのようなツールの半径よりも大である。

発展形においては、空所部は、それぞれ切り込み、又は溝として形成されている。

例えば空所部は、それぞれ、少なくとも一つのディスク状のツール、特にサイドミルカッター、又は丸鋸によって製造されている。これは、特に簡単で、ひいては安価な製造を可能とする。特に、転向領域の形状は、ツールの形状に相当していることが可能である。よって、ツール選択によって既に、有利な転向領域が、いわば自動的に実現されることが可能である。しかしまた、転向領域の形状及び／又はサイズは、例えば、冷却体の製造の際、これら（ツール）が同時に複数の要素で正面に対して垂直及び平行に移動させられるときには、例えばツールの形状、又はサイズと異なることも可能である。

例えばサイドミルカッターや丸鋸のようなディスク状のツールは、構造上の理由から、多くの刃数を有することが可能である。結果、各時点に対して極めて多くの刃が同時にワークピースに介入する。これによって、一定の送りの際、歯毎に比較的高い送り速度が生じる。

別の実施形では、空所部は、其々、冷却体の中央領域から冷却体の縁部領域へと延在している。空所部は、そのようにして良好に空気を導くことに供する。代替として、又は追加的に、空所部は全体として星形に配置されており、よって其々星形に内側から外側に向かって推移する。これによって、空気の特に均等な分配と、ひいては均等な冷却が達成されることが可能である。

別の実施形においては、少なくともいくつかの空所部が、少なくともその長さの一部にわたって互いに平行に推移している。

別の実施形においては、少なくとも二つの空所部が交差し、及び／又は、少なくとも一つの空所部が、少なくとも一つの別の空所部内に開口している。

更に、少なくとも一つの空所部は、正面の中央を中心とする円の割線に対して、少なくとも近似的に平行に推移している。

別の実施例に従い書く、空所部は、特に冷却体の縁部領域内に、緩やかな流出部を有している。流出部の概念は、ここでは必ずしも流れ方向における空所部端部に関する必要は無く、例えば、転向領域と向かい合った（反対の）空所部の端部に関することも可能である。空所部は、極一般的には、冷却体の縁部領域に向かって案内されていることが可能であり、又は代替として正面内のみに定義されていることが可能である。流出部は、つまり例えば縁部面に開口しているか、又は緩やかに正面内に開口している。

移行部は、例えば、特に、空所部ベース部、又は転向領域の端部と正面の間に９０度を越えない角度を定義することができる。特に、移行部自体は、緩やか、及び／又は連続的であることが可能である。この事は、基本手的に０度の角度に相当しよう。

本発明の課題は、ここに説明する実施形に従う冷却体を有する真空ポンプによっても解決される。

冷却体は、例えば、真空ポンプのポンプ部分を画成する要素として、特にこれの為のハウジング部分として形成されていることが可能である。真空ポンプは、例えばスクロールポンプであることが可能である。その際、冷却体は、例えばスクロールポンプのポンプ効果を発する螺旋構造と一体に形成されていることが可能である。これは、スクロールポンプのポンプ効果を発する領域からの特に良好な熱導出に供する。

一つの実施形においては、ファンが設けられている。冷却体を空気により付勢するためである。ファンは、特に、流れ方向を定義する。流れ方向は、冷却体の主軸に対して少なくとも基本的に平行であり、及び／又は、冷却体の正面に対して少なくとも基本的に垂直である。

更に、本発明の課題は、請求項１１に従う真空ポンプの為の冷却体の製造方法によって解決され、そして特に、ツールがディスク形状のツール、例えばサイドミルカッター、又は丸鋸を有することによって解決される。

これは、特にエンドミルカッターによる製造と比較して、特別簡単な製造方法である。更に、サイドミルカッターや丸鋸のようなディスク状のツールは、比較的高い送り速度で運転されることが可能であるので、製造プロセスが更に加速される。これと反対に、エンドミルカッターの送り速度は、特に比較的少ない歯数の為、相対的に制限されている。詳しく言うと、特に繊細な冷却リブ構造の製造の為、極めて幅の狭いエンドミルカッターが使用されるときそうである。本発明の製造方法は、しかし、比較的高速に実施可能であるのみならず、これにともない安価である。むしろ、空所部の適切な配置のもと、特別大きな冷却効果を奏する表面が形成されることが可能であり、これによって特に効率的な冷却体が完成される。

特に、正面から空所部への少なくとも一つの移行部には、ツールによって、冷却流体の為の転向領域が形成されることが可能である。上に詳細に記載したように、そのような転向領域は、冷却体の冷却作用を改善し、そして、例えば、正面に冷却流体を送る際に、ノイズがより低いといった別のメリットも提供する。

一つの実施形においては、各空所部に対しては、又は空所部の各セットに対しては、ツールとワークピースの間でまさに相対動作が行われる。そのような相対動作においては、一又は複数の空所部がワークピース内に形成されることが可能である。

別の実施形においては、空所部形成の為のツールは、ワークピースの主軸に対して半径方向の要素で、ワークピースに対して相対的に移動させられる。

ワークピースの主軸は、特に中央軸であることが可能であり、及び／又は、正面に対して垂直に推移する、つまりその法線であることが可能である。ワークピースは、例えば、基本的にシリンダー状の形状を有することが可能であり、及び／又は、基本的に円形のディスクであることが可能である。その際、主軸は、例えばシリンダー軸、又は中点軸によって定義されていることが可能である。

この出願の枠内において、二つの要素の相対動作に関する限り、相対動作は、一方の要素か、他方の要素によって実現されることも、又は同時に両方の要素によって実現されることも可能である。

別の実施形においては、ツールは、空所部の形成の為、ワークピースの主軸に関する軸方向の要素でワークピースに対して相対的に移動させられることが可能である。特にツールは、半径方向の要素、及び／又は軸方向の要素のみで移動させられることが可能である。

発展形では、其々、空所部を形成するため、又は、空所部のセットを形成するため、複数の加工過程が実施される。その際、加工過程は、順次実施され、そして加工過程の間にワークピースは、ワークピースの主軸に関してツールに対して相対的に回転される。これは例えば部分装置を介して、又はツール機械のｃ−軸を介して行われる。これは特別迅速なワークピースの加工を可能とする。各加工過程は、特に、空所部の製造の為、又は空所部のセットの製造の為に実施されることが可能である。

別の発展形では、複数の加工過程は、ワークピースの主軸に対する半径方向の加工深さが異なっている。これによって、異なる長さの複数の空所部が形成されることが可能である。これは、第一の加工深さを有する二つの空所部の間で、より浅い、第二の加工深さを有する少なくとも一つの空所部を、ワークピース内へと形成するために有効に利用されることが可能である。よって、第一の加工深さを有する空所部の間の領域（傾向として主軸に関して外側で最も大きい領域）が、冷却効果を奏する領域として使用されることが可能である。

ツールは、例えば、二つ同時に有効な、互いにある間隔で配置される個々のツールを有するダブルツール、又は二連ツールとして形成されていることが可能である。これによって一つの加工過程で、二つの空所部が作られることが可能であり、これによって製造方法が更に加速されることが可能である。個々のツールは、特に平行に配置されていることが可能である。二つよりも多くの個々のツールを有するツールも考え得る。

唯一の加工過程により、例えば、複数の一列に並ぶ空所部、又は空所部のセットが製造されることも可能である。よって、例えば、まず空所部、又は空所部のセットが形成され、そして引き続いて同じ加工過程において、別の空所部、又は空所部のセットが形成されることが可能である。特に、第一の空所部の形成の為、又は空所部の第一のセットの形成の為、ツールの半径方向内側に向かっての送り（動作）により加工過程が開始されることが可能である。その際、ツールは、第一の空所部、又は空所部の第一のセットの半径方向内側の端部において、軸方向にワークピースから外に走出され、そして更に（そのまま、独語：ｗｅｉｔｅｒ）まず選択された半径方向で移動させえられ、その際、引き続いてツールは、第二の空所部の形成の為、又は空所部の第二のセットの形成の為、再び軸方向にワークピース内へと挿入され、そして更に（そのまま、独語：ｗｅｉｔｅｒ）、まず選択された方向で移動させられる。この方向は、この時点において場合によっては外側に向かう半径方向である。

ツールの態様に関しては、ツールが、ディスク直径Ｄとディスク高さＨを有し、その際Ｄ／Ｈが４以上であることが意図され得る。

代替として、又は追加的に、ツールはディスク直径Ｄと、シャフト直径ｄを有するシャフトを有し、その際Ｄ／ｄが１．５以上であることが意図され得る。

発明に従う対象は、他の発明に従う対象によって、及びその実施形によって更に発展可能である。よって、例えば発明に係る冷却体と発明に係る真空ポンプは、発明に係る方法の実施形の意味において発展させられることが可能であり、又はその逆も可能である。

真空ポンプの冷却体の図。これは、エンドミルカッターによる製造され、そして本発明に属さない。 真空ポンプの発明に係る冷却体の一つの実施形の図。 真空ポンプの発明に係る冷却体の別の実施形の図。 真空ポンプの発明に係る冷却体の別の実施形の図。 真空ポンプの発明に係る冷却体の別の実施形の図。 シャフトに設けられたディスクを有するサイドミルカッターの形式のツールを回転軸に沿った断面として簡略的に表す図。 真空ポンプの発明に係る冷却体の別の実施形の図。 主軸に沿った断面として図７の冷却体を部分的に表す図。

図１には、真空ポンプの冷却体１０が斜視図で表されている。冷却体１０は、複数の冷却リブ１２を有する。これらは、エンドミルカッターによって空所部１４を設けることによって形成された。空所部１４は、各空所部ベース部が一つの平面内に位置している。冷却リブ１２と中央部分１６は、それぞれ側壁部を有する。これらは、この平面に対して垂直である。

冷却体１０の複雑な冷却リブ構造は、高い時間コスト・時間労力を払ってのみ製造可能である。更に、冷却リブ１２又は中央部分１６と、各空所部ベース部の間の垂直な移行部は、比較的劣悪な気導、特に移行部の領域の空気滞留へと通じる。更に、この態様から、冷却リブ構造への送風の際に著しいノイズ発生が起こる。

図２には、これと反対に、真空ポンプの発明に係る冷却体２０が、同様に斜視図で表されている。冷却体２０は、複数の空所部２２を有する。これらは、この実施形では、半径方向に、又は冷却体２０の主軸Ａに対して星形に延在している。冷却体２０は、基本的にシリンダー状の基礎形状を有する。その際、主軸Ａは、シリンダー状の基礎形状のシリンダー軸と一致している。図２において、反対を向いた側、つまり冷却体２０の見えない側には、本発明の好ましい実施形においては、スクロールポンプのポンプ効果を発する螺旋が形成されていることが可能である。つまり、冷却体２０は、スクロール真空ポンプの一構成要素である。

冷却体２０は、空所部２２が設けられている正面２４を有する。正面２４は、半径２６を介して縁部面２８へと移行している。これは、基本的にシリンダー側面に相当している。

各空所部２２は、正面２４から空所部２２への移行部３０に、冷却流体、特に空気の為の緩やかな転向領域３２を有する。転向領域３２は、各空所部２２の半径方向内側の端部に設けられている。半径方向外側の端部には、各空所部２２は、緩やかな流出部３４を有する。空所部２２は、空所部ベース部３６を有する。これは、全体としてアーチ型のプロフィルを定義している。代替として、空所部ベース部は、例えば直線状のプロフィルを有することも可能であろう。その際、特に、全空所部ベース部は、転向領域として作用することが可能であろう。

緩やかな流出部３４は、基本的に連続的に縁部面２８へと移行している。図２の実施形においては、ほとんどの空所部２２が、そのような緩やかな流出部３４を有している。固定切欠き部３８の領域の幾つかの空所部のみが、基本的に垂直に、固定切欠き部３８の境界面へと移行している。

有利な態様においては、図示されていないファンが設けられている。これは、強制対流冷却の為、空気を、基本的に主軸Ａに沿って正面２４へと搬送する。その際、各転向領域３２は、気流の相応する部分が転向され（向きを変えられ）、そして各空所部２２を通って半径方向外側に向かってさらに流れるように作用する。送られた冷却空気は、つまり、空所部２２の方向に対応して、基本的に星形に冷却体２０にわたって分配され、そして半径方向外側に向かって案内される。これによって、特別一様でかつ効率的な熱連行が達成され、そして特に、緩やかな転向領域３２に基づいて、ノイズ発生が最小となる。

冷却体２０は、ダブルツールとして平行に配置された二つのサイドミルカッターにより製造された。その際、隣接する平行な二つの空所部２２の各セットの形成の為に、ダブルツールが、半径方向の要素と軸方向の要素でもって、主軸Ａに対して、冷却体２０の為に提供されたワークピースに対して相対的に移動する。ダブルツールは、その際、ワークピースの干渉する間、アーチ型の移動プロフィルを通過し、これによって、各空所部ベース部３６のアーチ型の形状が生じる。

隣接する平行な空所部２２の各セットは、一つの加工ステップによってワークピース内に形成された。加工過程の終了後、ワークピースは、主軸Ａを中心としてツールに対して回転され、そして半径方向の送りを伴う次の加工過程が実施された。その際、個々の加工過程は、半径方向の加工深さが異なっている。その際、空所部セットの二つのグループが形成された。その際、当該グループは、半径方向の加工深さに関して互いに異なっている。

発明に係る冷却体２０の別の実施形が図３に示されている。これは同様に、複数の空所部２２を有する。これらは、正面２４から各空所部２２への移行部３０に、緩やかな転向領域３２を有している。図２の実施形と反対に、図３の冷却体２０は、三つの空所部セットを有している。これらは、その半径方向の加工深さに関して互いに異なっている。

空所部２２の転向領域３２は、各一つの空所部ベース部を有する。これは、部分円形状であり、よって転向曲率半径を有する。ツール特に、サイドミルカッター、又は丸鋸の周囲の曲率半径は、この転向曲率半径以下であることが可能である。半径が、同じくらい大きいとき、軸Ａの方向のツールの半径方向の送りの際、緩やかな転向領域３２がいわば自動的に生ずる。ツール曲率半径が、転向曲率半径よりも小さいとき、ツールは、相応する移動プロフィルに沿って移動し、緩やかな転向領域３２を作り上げる。

図２及び３の冷却体２０は、比較的簡単なだけでなく、迅速、かつ安価に、例えばサイドミルカッター、及び／又は丸鋸のような少なくとも一つのディスク形状を有するツールによって製造されることが可能である。冷却体２０は、比較的大きな冷却効果を奏する表面を有する。この事は、特に良好の冷却作用に通じる。よって、所定の基準に対して、例えば図２の冷却体２０は、１，４６４ｃｍ２の表面を有し、そして、図３の冷却体２０は、１，４１１ｃｍ２の表面を有する。これと反対に図１の冷却体１０は、相応する基準に対して１，２５８ｃｍ２の表面のみを有する。ここで、同じ軸方向の加工深さが想定された。図２の冷却体２０は、つまり例えば、図１の冷却体１０より約１６％大きな表面を有する。より大きな表面、及び、送風される空気の追加的な転向によって、明らかに改善された冷却出力が、同様により少ないノイズ発生のもと気体されよう。

発明に係る冷却体２０の別の実施例を図４，５及び７が示す。

図４の冷却体２０においては、中央の領域から外側に向かって延在する複数の空所部２２が、それぞれ、半径方向に対して傾斜して推移する。その際、これらの仮想的延長は中央Ｚと交差しない。一つの空所部２２は、縁部領域２８まで延在するが、しかし、内側では他の空所部２２よりも正面２４の中央Ｚから離れて終了する。その上、図４からは、空所部２２が、中央Ｚに関して放射形状に推移する必要が無いことが見て取れる。内側に向かって段々に形成されている（独語：ｚｕｒｕｅｃｋｓｐｒｉｎｇｅｎｄｅｎ）段部４６の領域には、つまり比較的短い二つの空所部２２が形成されている。これらは横断して推移する、つまり少なくとも近似的に、正面２４の中央Ｚを中心とする円の割線上に位置し、そして周囲方向で直接相前後し連続する、内側から外側へと延在する二つの空所部２２内へと開口している。これら両方の空所部２２は、横断方向に推移する唯一の空所部と見られることが可能である。これは、内側から外側に向かって延在する空所部を横切っている。

そのような短い空所部（放射状に延在する他の空所部を横切るように推移している空所部）２２は、図５の冷却体２０においても段部４６の領域に設けられていることが可能である。

そのような横断方向に推移する空所部２２は、基本的に任意の数量で、かつ中央Ｚに対して任意の間隔で設けられていることが可能である。

図７の冷却体２０においては、２７０度を超える角度領域にわたって、二つの長い空所部２２の間に一つの短い空所部２２が形成されている。全ての空所部２２は、円部領域２８まで延在しており、その際、短い空所部２２の内側の端部は、中央Ｚを中心とする円上に位置している。この円は、中央Ｚを中心とする円（この円上に長い空所部２２の内側の端部が位置している円）よりも大きい。

空所部２２とその製造の為のディスク形状のツールの可能な相対寸法に関しては、図６及び８が参照される。

図６のように、このサイドミルカッターの回転軸Ｕを定義するシャフト４０は、直径ｄを有する。その際、シャフト４０に設けられ、複数の刃４４を有する半径方向外側の加工ディスク４２は、ディスク直径Ｄとディスク高さＨを有する。実践で有利な態様では、Ｄ／Ｈ≧４でありＤ／ｄ≧１．５である。

図８は、二つの空所部２２のプロフィルを例示的に示す。これら空所部は、それぞれ冷却体２２の正面２４から、移行部３０に、緩やかな、つまり特に流れに良好で、かつ摩擦を防止する転向領域３２を有し、これに続いて、正面２４に平行に推移する空所部ベース部３６を有し、そしてこれに続いて縁部領域２８への流出部を有する。空所部ベース部３６の上には、高さｈの正面２４が位置している。空所部２２の幅は、ツール（図６参照）のディスク４２の高さＨに相当していることが可能である。しかしその際、これは必須ではない。つまり、当該ツールにより基本的に、その幅が加工ディスク４２の高さよりも高い空所部も作られることが可能である。実践で有利な態様においては、空所部２２の高さｈが、其々、少なくとも空所部２２の幅と同じである。好ましくは高さｈは、幅よりも大きい。換言すると、空所部２２は、転向領域３２と流出部３４の間において、幅よりも深さが大である。

一つの空所部２２の転向領域３２の半径Ｒは、好ましくは、この空所部２２の形成の為に仕様される加工ディスク４２の半径Ｄ／２と同じであるが、しかしまた、この半径Ｄ／２よりも大きいことも可能である。

１０ 冷却体
１２ 冷却リブ
１４ 空所部
１６ 中央部分
２０ 冷却体
２２ 空所部
２４ 正面
２６ 半径
２８ 縁部面
３０ 移行部
３２ 転向領域
３４ 流出部
３６ 空所部ベース部
３８ 固定切欠き部
４０ シャフト
４２ ディスク
４４ 刃
４６ 段部
Ａ 主軸
ｄ シャフト直径
Ｄ ディスク直径
Ｈ ディスク高さ
ｈ 空所部の高さ
Ｒ 転向領域の半径
Ｕ 回転軸

Claims (15)

1. 真空ポンプの為の冷却体（２０）、特にスクロールポンプのハウジング、又はハウジング部分であって、真空ポンプの運転中、冷却流体によって付勢される正面（２４）を有し、この正面内に、正面（２４）内に形成され、そして正面（２４）に沿って延在する複数の空所部（２２）を有する冷却構造が形成されており、その際、少なくとも、正面（２４）から各空所部（２２）への移行部（３０）に、冷却流体の為の緩やかな転向領域（３２）が形成されていることを特徴とする冷却体（２０）。
2. 空所部（２２）が、其々、細長い流れチャネルとして形成されており、及び／又は、空所部（２２）が、其々直線状であることを特徴とする請求項１に記載の冷却体（２０）。
3. 空所部（２２）が、其々、空所部（２２）の長さに関して一定の幅を有し、及び／又は、空所部（２２）が、其々、高さ（ｈ）と幅を有し、その際、特に少なくとも、正面（２４）に対して少なくとも近似的に平行に推移する領域内において、高さ（ｈ）が幅と同じであるか、高さ（ｈ）が幅よりも大であることを特徴とする請求項１または２の少なくとも一項に記載の冷却体（２０）。
4. 空所部（２２）が、其々、切り込み、又は溝として形成されており、及び／又は、空所部（２２）が、其々、少なくとも一つのディスク状のツールによって、特にサイドミルカッターによって、又は丸鋸によって製造されていることを特徴とする請求項１から３の少なくとも一項に記載の冷却体（２０）。
5. 転向領域（３２）が、部分円形状に形成されており、及び／又は、転向領域（３２）の半径が、転向領域（３２）の製造に使用されるディスク状のツールの半径と同じであるか、又は当該ツールの半径よりも大きいことを特徴とする請求項１から４の少なくとも一項に記載の冷却体（２０）。
6. 空所部（２２）が、其々、冷却体（２０）の中央領域から冷却体（２０）の縁部領域へと延在しており、及び／又は、空所部（２２）が星形に設けられていることを特徴とする請求項１から５の少なくとも一項に記載の冷却体（２０）。
7. 少なくともいくつかの空所部（２２）が、その長さの少なくとも一部にわたって互いに平行に推移し、及び／又は、少なくとも二つの空所部（２２）が交差し、及び／又は、少なくとも一つの空所部（２２）が、別の少なくとも一つの空所部（２２）内に開口し、及び／又は、少なくとも一つの空所部（２２）が、正面（２４）の中央（Ｚ）を中心とする円の割線に対して少なくとも近似的に平行に推移することを特徴とする請求項１から６の少なくとも一項に記載の冷却体（２０）。
8. 請求項１から７のいずれか一項に記載の冷却体（２０）を有する真空ポンプ。
9. 真空ポンプ、特にスクロールポンプの為の、特に請求項１から８のいずれか一項に記載の冷却体（２０）の製造の為の方法であって、
   正面（２４）を有するワークピースを冷却体（２０）の初期要素として提供するステップと、
   正面（２４）に沿って延在する複数の急所部（２２）をワークピース内にツールによって形成するステップを有し、
   その際、ツールがディスク状に形成されており、そして特にサイドミルカッター、又は丸鋸を有することを特徴とする方法。
10. 正面（２４）から空所部（２２）への少なくとも一つの移行部（３０）に、冷却流体の為の転向領域（３２）がツールによって形成されることを特徴とする請求項９に記載の方法。
11. 各空所部（２２）の為に、又は空所部（２２）の各セットの為に、ツールとワークピースの間の厳密に一回の相対移動が行われ、この相対移動の際に、一、又は複数の空所部（２２）がワークピース内に形成されることを特徴とする請求項９または１０に記載の方法。
12. 空所部（２２）を形成するためのツールが、ワークピースの主軸（Ａ）に対して半径方向の要素でもってワークピースに対し相対的に移動させられることを特徴とする請求項９から１１の少なくとも一項に記載の方法。
13. 其々、一つの空所部（２２）を形成するため、又は空所部（２２）のセットを形成するため、複数の加工過程が実施され、その際、加工過程が、順次的に実施され、そして加工過程の間にワークピースが、ワークピースの主軸（Ａ）に関して、ツールに対して相対的に回転させられることを特徴とする請求項９から１２の少なくとも一項に記載の方法。
14. ツールが、ディスク直径（Ｄ）及びディスク高さ（Ｈ）を有し、Ｄ／Ｈが４以上であることを特徴とする請求項９から１３の少なくとも一項に記載の方法。
15. ツールが、ディスク直径（Ｄ）及びシャフト直径（ｄ）を有するシャフトを有し、その際、Ｄ／ｄが１．５以上であることを特徴とする請求項９から１４の少なくとも一項に記載の方法。

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